JPS63201539A - 分光分析装置 - Google Patents
分光分析装置Info
- Publication number
- JPS63201539A JPS63201539A JP3408587A JP3408587A JPS63201539A JP S63201539 A JPS63201539 A JP S63201539A JP 3408587 A JP3408587 A JP 3408587A JP 3408587 A JP3408587 A JP 3408587A JP S63201539 A JPS63201539 A JP S63201539A
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- JP
- Japan
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- diffraction grating
- array detector
- angle
- wavelength range
- degrees
- Prior art date
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- Granted
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はアレイ検出器を用いた所謂ポリクロメータ式の
回折格子分光分析装置に関するものである。
回折格子分光分析装置に関するものである。
（従来技術）
この種の分光分析装置は、回折格子分光器の出口スリッ
トを移動させる代わりに、複数のセルで構成されたアレ
イ検出器を用いて広い波長域を同時に測定するものであ
るが、カバーする波長域を広くすればするほどアレイ検
出器の素子数が多くなりコストが高くなる。また例えば
測定波長域２００〜７００ｎｍの１個のアレイ検出器を
用いて測定を行う場合、４００ｎｍ以上の波長域で２０
０〜３５０ ｎｍの２次回折光が１次回折光と重なり合
うために正確な測定ができないことがあり、。
トを移動させる代わりに、複数のセルで構成されたアレ
イ検出器を用いて広い波長域を同時に測定するものであ
るが、カバーする波長域を広くすればするほどアレイ検
出器の素子数が多くなりコストが高くなる。また例えば
測定波長域２００〜７００ｎｍの１個のアレイ検出器を
用いて測定を行う場合、４００ｎｍ以上の波長域で２０
０〜３５０ ｎｍの２次回折光が１次回折光と重なり合
うために正確な測定ができないことがあり、。
その対策として従来は、まずフィルタなしで２００〜４
００ｎｍの波長域の測定を行い、次に例えば３５０ ｎ
ｍ以下の光が遮断されるシャープカットフィルタを入口
スリットの入射側に挿入して４００〜７００ｎｍの測定
を行っていた。この場合それぞれの測定において、アレ
イ検出器内の約半分のセルの測定値は利用されないので
、その有効利用率は５０％となり極めて不経済であった
。
００ｎｍの波長域の測定を行い、次に例えば３５０ ｎ
ｍ以下の光が遮断されるシャープカットフィルタを入口
スリットの入射側に挿入して４００〜７００ｎｍの測定
を行っていた。この場合それぞれの測定において、アレ
イ検出器内の約半分のセルの測定値は利用されないので
、その有効利用率は５０％となり極めて不経済であった
。
そこで測定波長域の約半分をカバーするような１個のア
レイ検出器によって全波長城を測定できるように、２回
の測定をアレイ検出器の位置を移動させて行う方法、あ
るいは回折格子を光軸を含む面内で微小角だけ回転させ
て行う方法が考えられるが、実際にはアレイ検出器をス
ライドさせる機構あるいは回折格子を微小角回転させる
機構の精度に問題があり、再現性の良いものが得られな
かった。
レイ検出器によって全波長城を測定できるように、２回
の測定をアレイ検出器の位置を移動させて行う方法、あ
るいは回折格子を光軸を含む面内で微小角だけ回転させ
て行う方法が考えられるが、実際にはアレイ検出器をス
ライドさせる機構あるいは回折格子を微小角回転させる
機構の精度に問題があり、再現性の良いものが得られな
かった。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は上記の点に鑑み、全波長域の約半分をカバーす
るアレイ検出器を用いて測定波長域を２゜段に切り換え
ることができる分光分析装置を、極めて簡単でしかも再
現性の高い構造で提供することを目的とするものである
。
るアレイ検出器を用いて測定波長域を２゜段に切り換え
ることができる分光分析装置を、極めて簡単でしかも再
現性の高い構造で提供することを目的とするものである
。
（問題点を解決するための手段）
上記の目的を達成するために本発明による分光分析装置
は、人口スリット１と回折格子２とアレイ検出器３を備
えた分光器において、回折格子２の裏面に分光器光軸を
含む面内で回折格子面の法線Ｎと一定の角θをなす如く
設けられた回転軸５により、回折格子２を１８０度反転
自在として、回折格子２への光の入射角を２段に切り換
え自在としたものである。
は、人口スリット１と回折格子２とアレイ検出器３を備
えた分光器において、回折格子２の裏面に分光器光軸を
含む面内で回折格子面の法線Ｎと一定の角θをなす如く
設けられた回転軸５により、回折格子２を１８０度反転
自在として、回折格子２への光の入射角を２段に切り換
え自在としたものである。
（作用）
上記の構成によれば、回折格子が光軸と直角な面内で１
８０度回転するので、停止位置の変動が入射角に及ぼす
影響を殆ど無視することができるものである。
８０度回転するので、停止位置の変動が入射角に及ぼす
影響を殆ど無視することができるものである。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を示したもので、入口スリッ
トｌから入射した光りは、矢印で示したように、回折格
子２で回折されてアレイ検出器３に入射し、ここで回折
光のスペクトル分布が検出される。回折格子２は低速モ
ータ４などで回転駆動される回転軸５の先端に固着され
て１８０度反転自在に構成されている。この回転軸５は
、第２図に示ずように、回折格子２のほぼ中心部の裏側
に、かつ分光器光軸を含む面内で、即ち回折格子の入射
光束及び出射光束の各中心線を含む面内において、回折
格子面の法線Ｎと一定の角θをなすように設けられてお
り、同図（ａ）及び（ｂ）に示すように、互いに１８０
度反転した２位置で停止するように構成されている。ま
た入口スリット１０入射側に設けられた短波長カット用
フィルタ６が、ギア系７を介して回折格子２と連動回転
するようになっている。
トｌから入射した光りは、矢印で示したように、回折格
子２で回折されてアレイ検出器３に入射し、ここで回折
光のスペクトル分布が検出される。回折格子２は低速モ
ータ４などで回転駆動される回転軸５の先端に固着され
て１８０度反転自在に構成されている。この回転軸５は
、第２図に示ずように、回折格子２のほぼ中心部の裏側
に、かつ分光器光軸を含む面内で、即ち回折格子の入射
光束及び出射光束の各中心線を含む面内において、回折
格子面の法線Ｎと一定の角θをなすように設けられてお
り、同図（ａ）及び（ｂ）に示すように、互いに１８０
度反転した２位置で停止するように構成されている。ま
た入口スリット１０入射側に設けられた短波長カット用
フィルタ６が、ギア系７を介して回折格子２と連動回転
するようになっている。
第２図（ａ）の例は、格子定数ｓｏｏ本／ ｍ ｍ 。
回折格子２の法線Ｎに対する回転軸５の傾斜角θを１．
２５度、長波長域測定位置における入口スリット１から
の光の入射角α、を一１０度、アレイ検出器３の方角す
なわち主回折角β１を一２０度に設定したもので、この
場合β、の方角には約６４５ｎｍの光が出射する。また
この状態では、第１図に示すように、短波長カット用フ
ィルタ６が入口スリット１の入射側に挿入される。次に
この状態から回折格子２を反転させて、同図（ｂ）に示
すように、短波長域測定位置に切り換えると、ローラン
ド円は破線位置から実線位置に移動し、入射角α＊＝１
２．５度、上回折角β、＝２．５度となって、約３２５
ｎｍの光がアレイ検出器３の中央で検出されることにな
る。
２５度、長波長域測定位置における入口スリット１から
の光の入射角α、を一１０度、アレイ検出器３の方角す
なわち主回折角β１を一２０度に設定したもので、この
場合β、の方角には約６４５ｎｍの光が出射する。また
この状態では、第１図に示すように、短波長カット用フ
ィルタ６が入口スリット１の入射側に挿入される。次に
この状態から回折格子２を反転させて、同図（ｂ）に示
すように、短波長域測定位置に切り換えると、ローラン
ド円は破線位置から実線位置に移動し、入射角α＊＝１
２．５度、上回折角β、＝２．５度となって、約３２５
ｎｍの光がアレイ検出器３の中央で検出されることにな
る。
なお上記の例においては、等間隔溝の回折格子２を用い
ており、アレイ検出器３はローランド円に沿った検出面
から若干逸れることになるが、検出感度に及ぼす影響は
僅少であり、また回転軸５の延長位置を回折格子の中心
点からずらすことにより、この誤差を小さくすることも
可能である。
ており、アレイ検出器３はローランド円に沿った検出面
から若干逸れることになるが、検出感度に及ぼす影響は
僅少であり、また回転軸５の延長位置を回折格子の中心
点からずらすことにより、この誤差を小さくすることも
可能である。
また例えばホログラフィにより製作された不等間隔溝の
回折格子２を用いれば、アレイ検出器３の位置を常に検
出面に一致させることもできる。
回折格子２を用いれば、アレイ検出器３の位置を常に検
出面に一致させることもできる。
（発明の効果）
上述のように本発明による分光分析装置は、回折格子を
格子面の法線と一定の角をなす如く設けられた回転軸に
より１８０度回転させて、回折格子への光の入射角を２
段に切り換えるようにしたものであるから、全波長域を
一度に測定する場合に比し二次回折光の影響を除去でき
る上に、アレイ検出器の長さが約半分になるために、素
子数を約半分で済ませるか、あるいは同じ素子数で分解
能を約２倍に上げることができるという利点があり、し
かも回折格子を光軸と直角な面内で回転させるので、波
長誤差は回折格子の回転に伴う角度設定誤差の二乗に比
例することになって、停止位置の変動が入射角に及ぼす
影響が極めて小さく再現性の高い測定ができるという利
点がある。
格子面の法線と一定の角をなす如く設けられた回転軸に
より１８０度回転させて、回折格子への光の入射角を２
段に切り換えるようにしたものであるから、全波長域を
一度に測定する場合に比し二次回折光の影響を除去でき
る上に、アレイ検出器の長さが約半分になるために、素
子数を約半分で済ませるか、あるいは同じ素子数で分解
能を約２倍に上げることができるという利点があり、し
かも回折格子を光軸と直角な面内で回転させるので、波
長誤差は回折格子の回転に伴う角度設定誤差の二乗に比
例することになって、停止位置の変動が入射角に及ぼす
影響が極めて小さく再現性の高い測定ができるという利
点がある。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図（ａ）
及び（ｂ）は同上の動作説明図である。 ｌ・・・人口スリット、２・・・回折格子、３・・・ア
レイ検出器、４・・・低速モータ、５・・・回転軸、６
・・・短波長カット用フィルタ、７・・・ギア系。
及び（ｂ）は同上の動作説明図である。 ｌ・・・人口スリット、２・・・回折格子、３・・・ア
レイ検出器、４・・・低速モータ、５・・・回転軸、６
・・・短波長カット用フィルタ、７・・・ギア系。
Claims (1)
- （１）入口スリットと回折格子とアレイ検出器を備えた
分光器において、回折格子の裏面に分光器光軸を含む面
内で回折格子面の法線と一定の角をなす如く設けられた
回転軸により、回折格子を１８０度反転自在として、回
折格子への光の入射角を２段に切り換え自在として成る
分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62034085A JPH07113582B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62034085A JPH07113582B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201539A true JPS63201539A (ja) | 1988-08-19 |
| JPH07113582B2 JPH07113582B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=12404424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62034085A Expired - Lifetime JPH07113582B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113582B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06160186A (ja) * | 1991-11-01 | 1994-06-07 | Agency Of Ind Science & Technol | 高感度分光測光システム |
| AU2004284319B2 (en) * | 2003-10-29 | 2009-11-05 | Saika Technological Institute Foundation | Spectrophotometer |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55112229U (ja) * | 1979-01-30 | 1980-08-07 |
-
1987
- 1987-02-17 JP JP62034085A patent/JPH07113582B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55112229U (ja) * | 1979-01-30 | 1980-08-07 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06160186A (ja) * | 1991-11-01 | 1994-06-07 | Agency Of Ind Science & Technol | 高感度分光測光システム |
| AU2004284319B2 (en) * | 2003-10-29 | 2009-11-05 | Saika Technological Institute Foundation | Spectrophotometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07113582B2 (ja) | 1995-12-06 |
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