JPH0285748A - 質量吸収係数測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、蛍光Ｘ線分析のマトリックス補正時に必要と
なる質量吸収係数を測定する技術に間する。

（従来技術） 蛍光Ｘ線分析においでは質量吸収係数μを知る必要があ
るため、通常、試料を構成している個々の元素の組成比
と、各元素ごとに質量吸収係数データに基づいて演算に
より求めている。しかしなから、このような手法を採る
ためには試料を構成している元素のｉＭＷＩ、及びその
成分比が判明しでいなければならず、これが不明な試料
にあっては予め予備分析を必要として作用が繁雑である
と□いう問題がある。

どのような問題を解消するため、コンプトン散乱強度の
逆数が質量吸収係数に比例することに着目して、任意の
波長の質量吸収係数をコンプトン散乱強度から求めるこ
とが行われている。

（解決すべき課題） しかしながら、例えばターゲツト材としてタングステ′
：／を使用したＸ線管球を用いてニッケル化合物の質量
吸収係数を測定しようとすると、第５図に示したように
Ｘ線管球からの特性Ｘ線ＷＬβは、試料を構成しでいる
ニッケルのの成端か、Ｘ線管球からの特性Ｘ線ＷＬβよ
り短波長側に存在するため、ニッケルの組成比が高い試
料にあってはニッケルの吸収端よりも長波長側の質量吸
収係数の算出が不可能であるという問題があった。

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであっ
て、試料を構成する元素の吸収端の有無に間わりなく広
い波長範囲にわたって高い精度により質量吸収係数を測
定することができる新規な装置を提供することである。

（課題を解決するための手段） このような問題を解消するために本発明においでは、Ｘ
線発生手段と、試料台との間に異なる元素からなる複数
の薄膜を備えたフィルター部材を移動可能に配設すると
ともに、試料からのコンプトン散乱強度を質量吸収係数
に変換する回路手段を設けた。

（作用） フィルタ部材の金属薄膜によりＸ線管球からの特性Ｘ線
の波長を変更させて、試料を構成している元素の吸収端
よつも長波長側にコンプトン散乱を出現させ、測定回路
により各Ｘ線波長毎の質量吸収係数を求めるようにした
。

（実施例） そこで、以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づい
て説明する。

第１図は、本発明の一実施例を示すものであって、図中
符号］は、Ｘ線管球２とコリメータ３との間で、かつＸ
線管球２の照射口に可及的に近接させて配設されたフィ
ルタ部材で、第２図に示したように移動可能な枠体５に
穿設した複数の窓にｆｌ類の異なる金属、例えば鉄、ニ
ッケル、モリブデン等の金Ｒ薄膜６，７．８を設けると
共に、Ｘ線管球２からのＸ線をそのまま透過させるよう
に１つの窓９として残して構成されている。

１０は、測定装置で、予め雲量吸収係数か既知である標
準試料を用いて求めたコンプトン散乱強度の逆数と質量
吸収係数の関係（第３図）を、各フィルタについて求め
て、間係式や、辞書の形式で有しでいで、Ｘ線検出器］
１により検出されたコンプトン散乱強度から試料につい
ての質量吸収係数を求めるように構成されている。なお
、図中符号１２は、試料台］３にＲＭされた試料によつ
散乱されたＸ線を受ける分光用結晶を示す。

この実施例においで、ターゲツト材としてタングステン
を用いたＸ線管球２を使用しで、測定すべき試料として
ニッケル化合物を試料台１３をセットする。この状態で
装置を作動させると、試料はＸ線管球２がらのタングス
テンの特性Ｘ線ＷＬβによるコンプトン散乱を生じる。

この特性Ｘ線ＷＬｆ３により短波長側からニッケルの吸
収端波長まで質量吸収係数の算出が終了した段階で、フ
ィルタ部材１を操作して鉄フィルタ膜６をＸ線管球２の
照射口にセットする。

この状態で、装置を作動させると、Ｘ線管球２から出た
Ｘ線ＷＬβは、鉄フィルタ膜を照射し、これから鉄の特
゛ｉＸ線ＦｅＫａ線を発生することになる。試料は、フ
ィルタ部材１がらのＸ線ＦｅＫαの照射を受け、この波
長に対応したコンプトン散乱を生し、検出器１１により
検出される。測定装Ｍ１０は、検出器１１がらの信号と
、格納されているデータ、つまりコンプトン散乱強度の
逆数と質量吸収係数の関係に基づいて貴ｊｌ吸収係数を
算出する。

ところで、フィルタ部材１がらのＸ線、この実施例では
ＦｅＫα線は、試料に含何されている主成分であるニッ
ケルの吸収端１．４８８Ａよりも長波長側に表われるこ
とになるから（第４図）、試料中のニッケルの吸収端波
長１．４８８Ａよりもざらに長波長側のコンプトン散乱
強度を得ることができる。云うまでもなく、この特性Ｘ
線ＦｅＫαは、ニッケルの吸収端波長１．４８８Ａより
も長波長側に位置しでいるから、ニッケルの吸収端波長
よりも長波長側の質ｊｌ吸収係数の算出が可能となる。

なお、この実施例においでは２種類の特性Ｘ線による測
定に例を採って説明したが、フィルターを交換すること
により３ｔ！類以上の特性Ｘ線による測定を行うことが
できる。

また、この実施例においてはフィルターとしで構成しで
いるが、二次ターゲットとして構成しても同様の作用を
奏することは明らかである。

（９カ果　） 以上説明したように本発明においては、Ｘ線発生手段と
、試料台との間に異なる元素からなる複数の薄膜を備え
たフィルター部材を移動可能に配設するとともに、試料
からのコンプトン散乱強度を質量吸収係数に変換する回
路手段を設けたので、フィルタ部材を切換えることによ
り、試料を構成する元素の吸収端の短波長側、及び長波
長側のコンプトン散乱強度から広範な波長領域における
吸収係数を高い精度により算出することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示す装置の構成図、第２
図は同上装置におけるフィルター部材の一実施例を示す
上面図、第３図は同上装置における測定回路に格納され
ているデークの一例を示す線図、第４図は同上装置の動
作を示す説明図、及び第５図は従来装置におけるコンプ
トン散乱強度から質量吸収係数を求める場合の様子を示
す説明図である。 １・・・フィルタ部材　　２・−Ｘ線管球３・・・コリ
メータ　　　５・・・枠体６〜８・・・金属薄膜　　１
１−・・検出器１３・・・試料台 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　Ｘ線発生手段と、試料台との間に異なる元素からなる
   複数の薄膜を備えたフィルター部材を移動可能に配設す
   るとともに、試料からのコンプトン散乱強度を検出する
   検出手段からの信号を質量吸収係数に変換する回路手段
   を設けてなる質量吸収係数測定装置。