JPH0286143A - インゴット端面形状測定方法 - Google Patents
インゴット端面形状測定方法Info
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- JPH0286143A JPH0286143A JP23849688A JP23849688A JPH0286143A JP H0286143 A JPH0286143 A JP H0286143A JP 23849688 A JP23849688 A JP 23849688A JP 23849688 A JP23849688 A JP 23849688A JP H0286143 A JPH0286143 A JP H0286143A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く利用分野〉
この発明は半導体素子製造に際して、シリコン等のイン
ゴットをウェハに切断する装置において、切断されたイ
ンゴットの端面のほぼ中心点の反りの状態を測定して、
ブレードの切断状況を判断する方法に係るものである。
ゴットをウェハに切断する装置において、切断されたイ
ンゴットの端面のほぼ中心点の反りの状態を測定して、
ブレードの切断状況を判断する方法に係るものである。
〈従来技術〉
インゴットの末端から薄いウェハを正確な形状に切断す
るためには回転切断ブレードの張力及びブレードの刃の
ドレッシング等の調整に留意する必要があるが、切り出
されたウェハの形状測定からウェハの形状を立体的に求
め、かつこの立体形状から調整を合理的に行なうことは
面倒な作業である。そこで従来インゴットの端面（ウェ
ハを切り落とした後の面）に対して変位検出器を当てて
形状を測定していた。このとき大体直径方向に検出器を
移動させて数点の測定を行なって形状の大体を判断して
いたが、これからどのような調整をすべきかは考えられ
ていなかった。
るためには回転切断ブレードの張力及びブレードの刃の
ドレッシング等の調整に留意する必要があるが、切り出
されたウェハの形状測定からウェハの形状を立体的に求
め、かつこの立体形状から調整を合理的に行なうことは
面倒な作業である。そこで従来インゴットの端面（ウェ
ハを切り落とした後の面）に対して変位検出器を当てて
形状を測定していた。このとき大体直径方向に検出器を
移動させて数点の測定を行なって形状の大体を判断して
いたが、これからどのような調整をすべきかは考えられ
ていなかった。
く本発明の概要〉
第１図において回転するブレード２の中心孔に立てられ
て保持されたインゴット１を矢印（図では右方向）に移
動させて、インゴットの末端からウェハを切り落す。こ
こでインゴットｌの移動方向を切断方向とする。
て保持されたインゴット１を矢印（図では右方向）に移
動させて、インゴットの末端からウェハを切り落す。こ
こでインゴットｌの移動方向を切断方向とする。
本発明においては、まず切断方向において、インゴット
１の端面の反りの度合Ｘを測定し、ついで切断方向に対
して直角の方向において、端面の反りの度合Ｙを測定す
る。そしてＸ、Ｙの値のく＋）（−）の組合せにより、
端面形状の基本的形状を判定し、この基本形状からブレ
ード調整処理の可否の指示を受けようとするもので、合
理的に、かつ簡単にドレッシング、ツルーイング等の調
整を可能とするものである。
１の端面の反りの度合Ｘを測定し、ついで切断方向に対
して直角の方向において、端面の反りの度合Ｙを測定す
る。そしてＸ、Ｙの値のく＋）（−）の組合せにより、
端面形状の基本的形状を判定し、この基本形状からブレ
ード調整処理の可否の指示を受けようとするもので、合
理的に、かつ簡単にドレッシング、ツルーイング等の調
整を可能とするものである。
〈実施例〉
本発明における端面の反り値Ｘ、Ｙの測定方法を第２図
によって説明する。
によって説明する。
丁字形測定部材３の上面にインゴットの端面７に当る３
つの突部４ 、５、．６を設ける。ここで４５は直径方
向、６は４，５に対して直角方向とする。
つの突部４ 、５、．６を設ける。ここで４５は直径方
向、６は４，５に対して直角方向とする。
そして突部 ４，５間の中心点に変位検出器９の接触子
８を設ける。なお接触子８は３つの突部４゜５．６ の
先端の作る面に対して直角方向の変位を測定して、直径
方向 ４．５に対して中央部がどのように反っているか
を測定する。そして前述のように切断方向の反りの値を
Ｘ、これと９０’の方向における反り値をＹとし、第３
図に示すように実線の窪んでいる状態では反り値Ｘを（
＋）とし、ふくらんでいる状態を（−）とする。
８を設ける。なお接触子８は３つの突部４゜５．６ の
先端の作る面に対して直角方向の変位を測定して、直径
方向 ４．５に対して中央部がどのように反っているか
を測定する。そして前述のように切断方向の反りの値を
Ｘ、これと９０’の方向における反り値をＹとし、第３
図に示すように実線の窪んでいる状態では反り値Ｘを（
＋）とし、ふくらんでいる状態を（−）とする。
ここでＸ、Ｙ値だけからインゴット端面の立体形状を正
確に決定することは幾何学的には不可能であるが、内周
刃ブレードをもってインゴ／トを切断するとき発生する
形状は、これを第４図に示すような種類分けに判定する
ことのできる確率は非常に大であることを本発明者は知
見した。
確に決定することは幾何学的には不可能であるが、内周
刃ブレードをもってインゴ／トを切断するとき発生する
形状は、これを第４図に示すような種類分けに判定する
ことのできる確率は非常に大であることを本発明者は知
見した。
なおここで円筒形としたのは円筒体の表面を円形に切り
出したときの形状を意味する。
出したときの形状を意味する。
即ち、第４図において左側図を切断方向（Ｘ方向）に右
側図をその直交方向（Ｙ方向）とし、それぞれにおいて
端面測定を行なうと、適正切断による平坦面形に対し、
椀型（Ａ）、鞍型（Ｂ）、円筒型（Ｃ）の３つの群から
なる変位状態の基本形に分類できるのである。
側図をその直交方向（Ｙ方向）とし、それぞれにおいて
端面測定を行なうと、適正切断による平坦面形に対し、
椀型（Ａ）、鞍型（Ｂ）、円筒型（Ｃ）の３つの群から
なる変位状態の基本形に分類できるのである。
例えば、Ｘ方向に測定した場合の反り値Ｘが（＋）で出
力され、Ｙ方向に測定した場合の反り値Ｙが（＋）で出
力されたときには、第４図の対応図右端列に示すように
インゴット端面はいわゆる半球状に窪んだ椀型形状と測
定することになる。また、Ｘ方向の反り値Ｘが（＋）、
Ｙ方向が（−）と出力された場合にはインゴット端面は
Ｘ方向が窪んだ鞍型形状と判定することになる。
力され、Ｙ方向に測定した場合の反り値Ｙが（＋）で出
力されたときには、第４図の対応図右端列に示すように
インゴット端面はいわゆる半球状に窪んだ椀型形状と測
定することになる。また、Ｘ方向の反り値Ｘが（＋）、
Ｙ方向が（−）と出力された場合にはインゴット端面は
Ｘ方向が窪んだ鞍型形状と判定することになる。
ここでＸ、Ｙ値が許容範囲内であれば切断状況は良好と
判定できる。このとき傾向として第４図に示すように適
正な平坦面形に対し、３つの群からなる基本形すなわち
椀形（Ａ）、鞍形（Ｂ）、円筒形（Ｃ）のいずれである
かを形状図をもって表示することもできる。即ち、イン
ゴット端面の切断形状は上記のような種類分けに区別で
きるから、これを予めコンピュータ等を利用して記憶さ
せておき、次に測定値と記憶データとを比較照合せしめ
て最も近似の対応形状を例えばＣＲＴ、プロッタ、その
他のハードコピー機器等により出力表示させることが可
能となるのである。
判定できる。このとき傾向として第４図に示すように適
正な平坦面形に対し、３つの群からなる基本形すなわち
椀形（Ａ）、鞍形（Ｂ）、円筒形（Ｃ）のいずれである
かを形状図をもって表示することもできる。即ち、イン
ゴット端面の切断形状は上記のような種類分けに区別で
きるから、これを予めコンピュータ等を利用して記憶さ
せておき、次に測定値と記憶データとを比較照合せしめ
て最も近似の対応形状を例えばＣＲＴ、プロッタ、その
他のハードコピー機器等により出力表示させることが可
能となるのである。
またＸ、Ｙ値が許容値を越えた場合には、注意を表示し
、そのときの Ｘ、Ｙ値、設定された図形の表示を行な
うようにすることもできる。
、そのときの Ｘ、Ｙ値、設定された図形の表示を行な
うようにすることもできる。
ここで端面形状″を判定することにより、ブレードに対
しどのような調整を行なう必要があるがを判断すること
ができる。すなわち椀形であるときは、その凹凸形状に
よりブレードドレッシングの方向が決定されるので、こ
れによりドレッシングを行なう。また円筒形状の場合に
はブレードの張力の増加調整を行ない、鞍形の場合には
ツルーイング作業を行なうといったものであるが、その
修正の度合はＸ、Ｙ値による。
しどのような調整を行なう必要があるがを判断すること
ができる。すなわち椀形であるときは、その凹凸形状に
よりブレードドレッシングの方向が決定されるので、こ
れによりドレッシングを行なう。また円筒形状の場合に
はブレードの張力の増加調整を行ない、鞍形の場合には
ツルーイング作業を行なうといったものであるが、その
修正の度合はＸ、Ｙ値による。
従って、基本形状を判定表示すると共に、ブレードのド
レッシング信号を出力することも、修正事項を表示する
ことも可能である。
レッシング信号を出力することも、修正事項を表示する
ことも可能である。
なお測定方法を自動化すれば自動測定、自動調整も可能
とすることができる。
とすることができる。
〈効果〉
本発明により、簡単な２方向の測定により基本的端面形
状を判定して、これによってブレードの修正処理に対す
る方針を決定できるようになった。
状を判定して、これによってブレードの修正処理に対す
る方針を決定できるようになった。
第１図はインゴットとブレードの関係を示す説明図、第
２図は本発明における端面の反りの検出測定器、第３図
は端面の表示説明図、第４図は反り値と基本端面形状の
関係図。 １・・・ブレード ２・・・インゴット ３・・・
Ｔ字形測定部材 ４．５．６・・・突部 ８・・・
接触子９・・・検出器 特許出願人 株式会社 東京精密 第４図 切断方向 ０■ ｙ（±）
２図は本発明における端面の反りの検出測定器、第３図
は端面の表示説明図、第４図は反り値と基本端面形状の
関係図。 １・・・ブレード ２・・・インゴット ３・・・
Ｔ字形測定部材 ４．５．６・・・突部 ８・・・
接触子９・・・検出器 特許出願人 株式会社 東京精密 第４図 切断方向 ０■ ｙ（±）
Claims (2)
- （１）ウェハ切断終了のインゴット端面に対して、切断
方向及びこれと直角方向におけるインゴットの直径にお
ける反りの度合を測定し、この反りデータによって予め
特定の種類分けに設定された基準データから端面形状及
び反りの度合を判定するインゴットの端面形状測定方法
。 - （２）請求項１において、反りデータによりこれが許容
値以上のときブレード調整の要処理信号を発信すると共
に、判定形状を表示するようにした形状測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23849688A JP2610494B2 (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | インゴット端面形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23849688A JP2610494B2 (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | インゴット端面形状測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0286143A true JPH0286143A (ja) | 1990-03-27 |
| JP2610494B2 JP2610494B2 (ja) | 1997-05-14 |
Family
ID=17031113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23849688A Expired - Fee Related JP2610494B2 (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | インゴット端面形状測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2610494B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009253153A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Asmo Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
| JP2014087854A (ja) * | 2012-10-29 | 2014-05-15 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 内周刃ブレードのドレッシング方法 |
| JP2015172541A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | 国立大学法人京都大学 | 表面形状計測装置 |
-
1988
- 1988-09-21 JP JP23849688A patent/JP2610494B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009253153A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Asmo Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
| JP2014087854A (ja) * | 2012-10-29 | 2014-05-15 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 内周刃ブレードのドレッシング方法 |
| JP2015172541A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | 国立大学法人京都大学 | 表面形状計測装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2610494B2 (ja) | 1997-05-14 |
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Legal Events
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