JPH0287308A - Magnetic head - Google Patents
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Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 80
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 64
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 57
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 57
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 43
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 24
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 18
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 16
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 15
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 15
- 239000007769 metal material Substances 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 abstract description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 35
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 7
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 6
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 229910017086 Fe-M Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 Mn-Zn ferrite Chemical class 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N azane;chromium Chemical compound N.[Cr] SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- OOYGSFOGFJDDHP-KMCOLRRFSA-N kanamycin A sulfate Chemical group OS(O)(=O)=O.O[C@@H]1[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CN)O[C@@H]1O[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O[C@@H]2[C@@H]([C@@H](N)[C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)[C@H](N)C[C@@H]1N OOYGSFOGFJDDHP-KMCOLRRFSA-N 0.000 description 1
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
の１
本発明は磁気ヘッドに関し、特に強磁性金属酸化物コア
材料と強磁性金属コア材料とによる複合磁性コア材料か
らなる磁気ヘッドに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) The present invention relates to a magnetic head, and particularly to a magnetic head made of a composite magnetic core material of a ferromagnetic metal oxide core material and a ferromagnetic metal core material.
従迷！ｕＬ１
例えば、ＦＤＤ （フロッピーディスクドライブ）等の
磁気記録再生装置においては、記録密度の高密度化が進
められており、これら対応して、磁気記録媒体として磁
性粉を用いた、いわゆるメタル塗布媒体が使用されるよ
うになっている。Obedience! uL1 For example, in magnetic recording and reproducing devices such as FDDs (floppy disk drives), the recording density is increasing, and in response to this, so-called metal-coated media using magnetic powder as magnetic recording media are being developed. It is now in use.
この種の磁気記録媒体は、高い抗磁力を有するので、記
録再生に用いる磁気ヘッドのヘッド材料には、媒体に対
応した高い飽和磁束密度を有することが要求される。従
来ヘッド材料として用いられているフェライト材では飽
和磁束密度が低（高抗磁力化に対処することができない
。Since this type of magnetic recording medium has a high coercive force, the head material of the magnetic head used for recording and reproduction is required to have a high saturation magnetic flux density corresponding to the medium. Ferrite materials conventionally used as head materials have a low saturation magnetic flux density (cannot cope with high coercive force).
そこで、上述の高抗磁力化に対応するために、磁気コア
部がフェライト等の強磁性金属酸化物材料からなり、こ
の磁気コア部に強磁性金属薄膜を被着形成したコア半体
を強磁性金属薄膜同士を突き合わせることにより磁気ギ
ャップを構成した、いわゆる複合型の磁気ヘッドが提案
されている。Therefore, in order to respond to the above-mentioned high coercive force, the magnetic core part is made of a ferromagnetic metal oxide material such as ferrite, and the core half with a ferromagnetic metal thin film coated on this magnetic core part is made ferromagnetic. A so-called composite magnetic head has been proposed in which a magnetic gap is formed by abutting metal thin films against each other.
上記磁気ヘッドは第４図と第５図に示すように磁気コア
部３Ｌ３２が強磁性金属酸化物のＭｎ −Ｚｎフェライ
ト等より形成され、その当接面が磁気ギャップと平行に
形成され、その両側に切り欠き溝を設けることにより、
トラック幅を規制している。磁気コア部３ｉ、３２の内
接面には主コアとなる強磁性金属薄膜３３．３４が被着
形成され、更に磁気ギャップｇ′の両側にはガラス等の
非磁性材３５．３６が溶融充填されている。更に磁気コ
ア部３１．３２の脚の部分には、信号入出力巻線導体３
７．３８が施され、磁気的にコア３１゜３２をつなぐた
めに強磁性金属酸化物材のＭｎ −Ｚｎフェライト等よ
りなるバックパー３９が貼りつけられている。更に磁気
コアの両側には、チタン酸カルシウム、チタン酸バリウ
ム等の非磁性材からなるスライダー４２．４３が貼りつ
けられている（破線で図示）。As shown in FIGS. 4 and 5, the magnetic head 3L32 is made of a ferromagnetic metal oxide such as Mn-Zn ferrite, and its abutting surface is parallel to the magnetic gap. By providing a notch groove in the
Track width is regulated. Ferromagnetic metal thin films 33 and 34, which will become the main core, are adhered to the inscribed surfaces of the magnetic core parts 3i and 32, and non-magnetic materials 35 and 36 such as glass are fused and filled on both sides of the magnetic gap g'. has been done. Further, the leg portions of the magnetic core portions 31 and 32 are provided with signal input/output winding conductors 3.
7.38 is applied, and a backper 39 made of a ferromagnetic metal oxide material such as Mn-Zn ferrite is attached to magnetically connect the cores 31 and 32. Furthermore, sliders 42 and 43 made of a non-magnetic material such as calcium titanate or barium titanate are attached to both sides of the magnetic core (indicated by broken lines).
ところで、上記のセンダスト（Ｆｅ−５ｌ−Ｍ合金）等
の材料からなる強磁性金属薄膜３３．３４はスパッタリ
ング等の真空薄膜形成技術を用いて被着形成される。更
にガラス等の非磁性３５．３６は、４００〜７００℃の
高温で溶融充填される。By the way, the ferromagnetic metal thin films 33 and 34 made of a material such as Sendust (Fe-5l-M alloy) are deposited using a vacuum thin film forming technique such as sputtering. Furthermore, non-magnetic materials such as glass are melt-filled at a high temperature of 400 to 700°C.
すなわち、センダストがフェライト上に被着形成されて
後、センダストとフェライトの界面では密着した状態で
４００〜７００℃の高温状態にさらされることになる。That is, after the sendust is deposited on the ferrite, the interface between the sendust and the ferrite is exposed to a high temperature state of 400 to 700°C while in close contact.
このような状態になると、フェライトを構成している酸
素原子がセンダスト中に拡散し、センダストを構成する
Ｆｅ原子、 Ｓｌ原子或いはＭ原子と結合する。この結
果、上記界面近くのフェライトは還元された状態となり
、拡散層４０．４１が形成される。この拡散層４０．４
１は非磁性に近いものであり、しかもメインギャップｇ
゛と平行に位置するため疑似ギャップとして作用すると
いう欠点がある。この疑似ギャップは、メインギャップ
と同様に磁気記録媒体に記録された信号を再生するため
疑似ギャップにより再生された信号はエラーの原因とな
っている。例えば孤立信号を再生した場合、第６図に示
すような再生波形が得られる。In such a state, the oxygen atoms constituting the ferrite diffuse into the sendust and combine with the Fe atoms, Sl atoms, or M atoms constituting the sendust. As a result, the ferrite near the interface is reduced, and diffusion layers 40 and 41 are formed. This diffusion layer 40.4
1 is close to non-magnetic, and the main gap g
It has the disadvantage that it acts as a pseudo gap because it is located parallel to . This pseudo gap, like the main gap, reproduces the signal recorded on the magnetic recording medium, and thus the signal reproduced by the pseudo gap causes an error. For example, when an isolated signal is reproduced, a reproduced waveform as shown in FIG. 6 is obtained.
メインギャップｇ′により再生された信号４５と疑似ギ
ャップにより再生された信号４６．４７との出力比は−
１０〜−１４ｄＢと大きくエラーを招く原因となってい
る。The output ratio of the signal 45 reproduced by the main gap g' and the signal 46.47 reproduced by the pseudo gap is -
This causes a large error of 10 to -14 dB.
そこで従来、上記疑似ギャップの影響を抑制するために
、強磁性金属酸化物材料からなる磁気コア部とこの磁気
コア部にセンダスト等の強磁性金属薄膜を被着形成して
なるコア半体を、上記強磁性金属薄膜同士を突き合わせ
て磁気ギヤ、プを構成してなる磁気ヘッドにおいて、上
記強磁性金属酸化物と、強磁性金属薄膜の界面に酸化物
材料及び金属材料よりなる反応防止膜を介在させ、上記
反応防止膜の酸化物材料を上記磁気コア部側に配し、金
属材料を上記強磁性金属薄膜側に配したことを特徴とす
る磁気ヘッドが例えば特開昭６２−１４５５１０号公報
はて提案され、上記反応防止膜により、上記強磁性酸化
物の還元反応が防止でき疑似ギャップの影響を低減され
ることが確認されている。Conventionally, in order to suppress the influence of the above-mentioned pseudo gap, a core half body consisting of a magnetic core part made of a ferromagnetic metal oxide material and a ferromagnetic metal thin film such as sendust coated on the magnetic core part was used. In a magnetic head formed by abutting the ferromagnetic metal thin films to form a magnetic gear, a reaction prevention film made of an oxide material and a metal material is interposed at the interface between the ferromagnetic metal oxide and the ferromagnetic metal thin film. For example, JP-A-62-145510 discloses a magnetic head characterized in that the oxide material of the reaction prevention film is disposed on the magnetic core side, and the metal material is disposed on the ferromagnetic metal thin film side. It has been confirmed that the reaction prevention film can prevent the reduction reaction of the ferromagnetic oxide and reduce the influence of the pseudo gap.
上記ヘッドの媒体槽動部要部拡大図を第７図に示した。An enlarged view of the main parts of the medium tank moving part of the head is shown in FIG.
磁気コア部５１．５２が強磁性酸化物のＭｎ−Ｚｎ系フ
ェライト等より形成され、その当接面が磁気ギャップｇ
”と平行となるように形成され、その両側が斜めに切り
欠かれトラック幅を規制している。各磁気コア部の対向
面には、５１０２等からなる反応防止膜５７．５８が被
着され、その上にＣｒ等の金属材料からなる反応防止膜
５９．６０が被着形成される。更にこの上に主コアとな
るセンダスト等の強磁性金属薄膜５３．５４が被着形成
されている。The magnetic core portions 51 and 52 are made of a ferromagnetic oxide such as Mn-Zn ferrite, and the contact surface thereof is the magnetic gap g.
", and both sides thereof are diagonally cut out to regulate the track width. Reaction prevention films 57 and 58 made of 5102 or the like are coated on the opposing surfaces of each magnetic core part. A reaction prevention film 59, 60 made of a metal material such as Cr is deposited thereon.Furthermore, a ferromagnetic metal thin film 53, 54 such as sendust, which serves as the main core, is deposited thereon.
ところで上記強磁性金属薄膜５３．５４と金属材料から
なる反応防止膜５９．６０との界面では高温にさらされ
た場合に拡散層６１．６２が形成される。By the way, at the interface between the ferromagnetic metal thin film 53, 54 and the reaction prevention film 59, 60 made of a metal material, a diffusion layer 61, 62 is formed when exposed to high temperature.
すなわち、センダスト（強磁性金属薄膜）が、Ｃｒ（反
応防止膜）の上にスパッタリング法により被着形成され
、４００〜７００°Ｃの高温にさらされることになる。That is, sendust (ferromagnetic metal thin film) is deposited on Cr (reaction prevention film) by sputtering and exposed to high temperatures of 400 to 700°C.
これにより反応防止膜中のＣｒ原子はセンダスト膜中に
拡散し、拡散層８１．Ｅ３２が形成される。この拡散層
６１．Ｅ３２は非磁性に近いものであり、メインギャッ
プｇ”と平行に位置するため疑似ギヤ、プとして作用す
るという欠点がある。この疑似ギャップは、再生信号の
劣化の原因となっている。例えば、上記磁気ヘッドで孤
立信号を再生した場合、第８図に示すようにメインギャ
ップｇ”により再生された信号６５と疑似ギャップによ
り再生され信号８８．６７との出力比は−２０〜−２４
ｄＢと充分に小さいとはいえず、エラーを招く原因とな
っている。As a result, the Cr atoms in the reaction prevention film are diffused into the sendust film, and the diffusion layer 81. E32 is formed. This diffusion layer 61. E32 is nearly non-magnetic and has the disadvantage that it acts as a pseudo gear because it is located parallel to the main gap g''. This pseudo gap causes deterioration of the reproduced signal. For example: When an isolated signal is reproduced by the above magnetic head, the output ratio between the signal 65 reproduced by the main gap g" and the signal 88.67 reproduced by the pseudo gap is -20 to -24, as shown in FIG.
dB, which is not sufficiently small and causes errors.
；日−の
そこで本発明は上述の事情に鑑みて提案されたものであ
り、強磁性金属薄膜と反応防止膜の金属膜との界面での
拡散を防止し、これにより疑似ギャップの影響を低減し
記録再生特性の優れた磁気ヘッドを提供することを目的
とする。The present invention was proposed in view of the above-mentioned circumstances, and is intended to prevent diffusion at the interface between the ferromagnetic metal thin film and the metal film of the reaction prevention film, thereby reducing the effects of pseudo gaps. The object of the present invention is to provide a magnetic head with excellent recording and reproducing characteristics.
本発明の磁気ヘッドは、強磁性金属酸化物よりなる磁気
コア部とこの磁気コア部に被着形成される強磁性金属薄
膜により磁気コア半体が構成され、上記強磁性金属薄膜
同士を突き合わせ磁気ギャップを構成してなる磁気ヘッ
ドにおいて、少なくとも磁気ギャップ近傍で上記強磁性
金属酸化物と強磁性金属薄膜の界面に酸化物材料及び金
属窒化物材料からなる反応防止膜を介在させ、さらに詳
述すれば、上記反応防止膜の酸化物材料を上記磁気コア
部側に配し、金属材料を上記強磁性金属薄膜に配したこ
とを特徴とするものである。In the magnetic head of the present invention, a magnetic core half is constituted by a magnetic core made of a ferromagnetic metal oxide and a ferromagnetic metal thin film deposited on the magnetic core, and the ferromagnetic metal thin films are butted against each other to create a magnetic field. In the magnetic head comprising a gap, a reaction prevention film made of an oxide material and a metal nitride material is interposed at the interface between the ferromagnetic metal oxide and the ferromagnetic metal thin film at least in the vicinity of the magnetic gap. For example, the oxide material of the reaction prevention film is disposed on the magnetic core side, and the metal material is disposed on the ferromagnetic metal thin film.
１皿
磁気コア部と強磁性金属薄膜との界面に酸化物材料及び
金属の窒化物よりなる反応防止膜を介在させ、しかも上
記酸化物材料を上記磁気コア部側に配することにより高
温時における磁気コア部から強磁性金属薄膜への酸素原
子の拡散を防止することができる。更に上記金属の窒化
物材料を強磁性金属薄膜側に配することにより強磁性金
属薄膜の密着性が向上し、しかも窒化物であることから
熱的に安定しており、強磁性金属薄膜中に金属の窒化物
材料を構成する金属材料が拡散し、疑似ギャップとなる
のを防止し、しかも強磁性金属薄膜の密着性も向上する
。A reaction prevention film made of an oxide material and a metal nitride is interposed at the interface between the magnetic core part and the ferromagnetic metal thin film, and the oxide material is arranged on the magnetic core part side, so that it can withstand high temperatures. Diffusion of oxygen atoms from the magnetic core portion to the ferromagnetic metal thin film can be prevented. Furthermore, by disposing the nitride material of the above metal on the side of the ferromagnetic metal thin film, the adhesion of the ferromagnetic metal thin film is improved, and since it is a nitride, it is thermally stable, and the ferromagnetic metal thin film has This prevents the metal material constituting the metal nitride material from diffusing and forming a pseudo gap, and also improves the adhesion of the ferromagnetic metal thin film.
炎監叶 次に本発明について図面を参照して説明する。Flame Superintendent Kano Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
第１図は本発明の一実施例の外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of one embodiment of the present invention.
第２図は磁気記録媒体摺動面を示す要部拡大平面図であ
る。FIG. 2 is an enlarged plan view of a main part showing a sliding surface of a magnetic recording medium.
磁気コア部１，２はフェライト等の強磁性金属酸化物材
料で形成され、トラック幅を規制するための溝５ａ、６
ａがギャップｇの両側に斜めに切り欠かれている・。The magnetic core parts 1 and 2 are made of a ferromagnetic metal oxide material such as ferrite, and have grooves 5a and 6 for regulating the track width.
A is cut diagonally on both sides of gap g.
また、磁気コア１，２にはフロントギャップ付近を除い
た対向面に、信号の入出力を行うコイル１３．１４を巻
くための切り欠き２３．２４が施されて磁気コア半体２
１．２２が構成されている。In addition, the magnetic core halves 1 and 2 are provided with cutouts 23 and 24 on their opposing surfaces, excluding the vicinity of the front gap, for winding coils 13 and 14 for inputting and outputting signals.
1.22 is configured.
また、リアギャップ付近には磁気的な導通を行うための
強磁性金属酸化物材料からなるバックパー１５が貼り付
けられている。また磁気コア１．２の両側には磁気記録
媒体との良好な接触状態を得るためにチタン酸カルシウ
ム等のセラミック材料からなるスライダー１１．１２が
貼りつけられている（破線で図示）。Further, a backper 15 made of a ferromagnetic metal oxide material is attached near the rear gap for magnetic conduction. Furthermore, sliders 11.12 made of a ceramic material such as calcium titanate are attached to both sides of the magnetic core 1.2 (indicated by broken lines) in order to obtain good contact with the magnetic recording medium.
そして、上記各磁気コア１，２に形成された強磁性金属
薄膜３，４を突き合わせることにより磁気ギャップｇが
構成されている。またトラック幅を規制する溝５ａ、（
３ａ内には、強磁性金属薄膜３．４の摩耗を防止するた
めの非磁性材５，６が溶融充填されている。A magnetic gap g is formed by abutting the ferromagnetic metal thin films 3 and 4 formed on each of the magnetic cores 1 and 2. Also, grooves 5a, (
Non-magnetic materials 5 and 6 are melt-filled in 3a to prevent wear of the ferromagnetic metal thin film 3.4.
上記強磁性金属薄膜３，４は、強磁性非晶質合金、Ｆｅ
７５１−Ｍ系合金、Ｆｅ−５ｉ系合金、Ｆｅ−３ｌ−Ｃ
ｏ系合金＋ Ｆｅ−Ｍ系合金＋ Ｆｅ−旧糸合金等の強
磁性金属材料、あるいはこれら強磁性金属材料を絶縁層
を介して積層したもので構成され、その形成方法として
は、真空蒸着法、スパッタリング法。The ferromagnetic metal thin films 3 and 4 are made of a ferromagnetic amorphous alloy, Fe
751-M alloy, Fe-5i alloy, Fe-3l-C
It is composed of ferromagnetic metal materials such as o-based alloy + Fe-M-based alloy + Fe-old thread alloy, or a stack of these ferromagnetic metal materials with an insulating layer interposed therebetween, and its formation method is vacuum evaporation. , sputtering method.
イオンブレーティング法等の真空成膜技術がある。There are vacuum film forming techniques such as ion blating method.
そして本発明の磁気ヘッドでは、この強磁性金属薄膜３
，４と強磁性金属酸化物よりなる磁気コア部１．２との
界面に酸化物膜７，８及び金属の窒化物膜９，１０より
なる反応防止膜が形成されている。In the magnetic head of the present invention, this ferromagnetic metal thin film 3
, 4 and the magnetic core portion 1.2 made of ferromagnetic metal oxide, a reaction prevention film made of oxide films 7, 8 and metal nitride films 9, 10 is formed.
上記酸化物膜７，８は材料とＬ チー５ｉ０２． Ｍ２
Ｏ３＋Ｃｒ２０ａ等の酸化物材料を用いることができる
。The oxide films 7 and 8 are made of materials L Qi 5i02. M2
Oxide materials such as O3+Cr20a can be used.
このように上記界面に酸化物膜７，８を形成することに
より磁気コア部１，２を構成する酸素原子が強磁性金属
薄膜３．４中に拡散するのが防止され磁気コア部１．２
界面の低酸素状態の拡散層の発生を防止することができ
る。By forming the oxide films 7 and 8 at the interfaces in this way, the oxygen atoms constituting the magnetic core parts 1 and 2 are prevented from diffusing into the ferromagnetic metal thin film 3.4.
It is possible to prevent the formation of a diffusion layer in a low oxygen state at the interface.
一方、上記界面に形成される金属窒化膜９゜１０は強磁
性金属薄膜３．４と接合するように配されており、材料
としては窒化クロム、窒化アルミ、窒化シリコン等が挙
げられる。このように界面に金属の窒化膜９，１０を形
成することにより強磁性金属薄膜３，４の密着性が向上
し、しかも金属膜よりもそれを窒化したほうが熱的に安
定となるため金属の窒化膜９，１０を構成する金属原子
が強磁性金属薄膜３，４に拡散して従来例で説明したよ
うに拡散層が形成されるのを防止でき、疑似ギャップの
発生を防止することができる。On the other hand, the metal nitride film 9.10 formed at the interface is disposed so as to be in contact with the ferromagnetic metal thin film 3.4, and its material may include chromium nitride, aluminum nitride, silicon nitride, etc. By forming the metal nitride films 9 and 10 at the interface in this way, the adhesion between the ferromagnetic metal thin films 3 and 4 is improved, and since nitriding the ferromagnetic metal thin films 3 and 4 is more thermally stable than the metal film, the metal It is possible to prevent the metal atoms constituting the nitride films 9 and 10 from diffusing into the ferromagnetic metal thin films 3 and 4 and form a diffusion layer as explained in the conventional example, and it is possible to prevent the occurrence of a pseudo gap. .
本発明者は、磁気コア部１，２ににｎ−Ｚｎ系フェライ
トを、強磁性金属薄膜３．４としてＦｅ−５１−Ｍ系合
金を用い、酸化物膜７，８としてＡｅ２０３を１００人
、金属の窒化１に９．１０として窒化クロム膜を４００
人形成した磁気へ・ラドについて孤立波再生波形を調べ
たところ、第３図に示すような結果となった。この第３
図に示すように、メインギャップｇにより再生した信号
２５と疑似ギャップにより再生した信号２８．２７の出
力比は−２４〜−２８ｄＢと小さく、拡散防止膜に金属
膜を用いた磁気ヘッド（第７図）に比べ４ｄＢ程度改善
されていることがわかる。The present inventor used n-Zn ferrite for the magnetic core parts 1 and 2, Fe-51-M alloy for the ferromagnetic metal thin film 3.4, and Ae203 for the oxide films 7 and 8. Metal nitride 1 to 9.10 and chromium nitride film 400
When we investigated the solitary wave reproduction waveform of the human-formed magnetic field, we obtained the results shown in Figure 3. This third
As shown in the figure, the output ratio of the signal 25 reproduced by the main gap g and the signal 28.27 reproduced by the pseudo gap is as small as -24 to -28 dB. It can be seen that this is an improvement of about 4 dB compared to the previous figure.
光匪叫簸１
以上説明したように、本発明の磁気ヘッドによれば上記
磁気コア部と強磁性金属薄膜の界面に磁気コア部の低酸
素状態の拡散層が形成されなくなり、この拡散層に起因
して生じる疑似ギャップの影響を軽減することができる
。As explained above, according to the magnetic head of the present invention, the low-oxygen diffusion layer of the magnetic core part is no longer formed at the interface between the magnetic core part and the ferromagnetic metal thin film, and this diffusion layer is The influence of the resulting pseudo gap can be reduced.
一方、拡散防止膜の金属膜の窒化により、金属窒化膜を
構成する金属原子が強磁性金属膜中に拡散して拡散層を
形成するのを防止することができ、この拡散層に起因し
て生じる疑似ギャップの影響を軽減する効果がある。On the other hand, by nitriding the metal film of the diffusion prevention film, it is possible to prevent the metal atoms constituting the metal nitride film from diffusing into the ferromagnetic metal film and forming a diffusion layer. This has the effect of reducing the effects of pseudo gaps that occur.
第１図は本発明の磁気ヘッドの外観斜視図、第２図はそ
の磁気記録媒体摺動面を示す要部拡大平面図である。
第３図は本発明の磁気ヘッドの孤立波再生波形を示す図
である。
第４図は従来の磁気ヘッドの外観斜視図、第５図はその
磁気記録媒体摺動面を示す要部拡大平面図、第６図はそ
の磁気ヘッドの孤立波再生波形を示す図である。
第７図は改良された従来の磁気へ、ラドの磁気記録媒体
摺動面を示す要部拡大平面図、第８図はその磁気ヘッド
の孤立波再生波形を示す図である。
１．２・・・・・・磁気コア部（強磁性金属酸化物）、
３．４・・・・・・強磁性金属薄膜、
７．８・・・・・・酸化物膜、
９．１０・・・・・・金属窒化膜。
う
特因
！ｉ３ｖＡ
第
図
８寄
ｆｌ
第
図
第
図FIG. 1 is an external perspective view of the magnetic head of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged plan view of the main part showing the sliding surface of the magnetic recording medium. FIG. 3 is a diagram showing a solitary wave reproduction waveform of the magnetic head of the present invention. FIG. 4 is an external perspective view of a conventional magnetic head, FIG. 5 is an enlarged plan view of a main part showing a sliding surface of a magnetic recording medium, and FIG. 6 is a diagram showing a solitary wave reproduction waveform of the magnetic head. FIG. 7 is an enlarged plan view of a main part showing the sliding surface of a magnetic recording medium of an improved conventional magnetic RAD, and FIG. 8 is a diagram showing a solitary wave reproduction waveform of the magnetic head. 1.2...Magnetic core part (ferromagnetic metal oxide),
3.4...Ferromagnetic metal thin film, 7.8...Oxide film, 9.10...Metal nitride film. Special cause! i3vA Figure 8 fl Figure Figure Figure
Claims (1)
性金属薄膜により構成される磁気コア半体を、上記強磁
性金属薄膜同士を相対して突き合わせて磁気ギャップが
構成される磁気ヘッドにおいて、 少なくとも磁気ギャップ近傍で、上記強磁性金属酸化物
と強磁性金属薄膜の界面に金属窒化物材料よりなる反応
防止膜を介在させることを特徴とする磁気ヘッド。[Claims] Two magnetic core halves each made of a ferromagnetic metal thin film deposited on a magnetic core portion made of a ferromagnetic metal oxide are butted against each other to form a magnetic gap. What is claimed is: 1. A magnetic head comprising: a reaction prevention film made of a metal nitride material interposed at the interface between the ferromagnetic metal oxide and the ferromagnetic metal thin film at least near the magnetic gap.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63237788A JPH0778856B2 (en) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63237788A JPH0778856B2 (en) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | Magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287308A true JPH0287308A (en) | 1990-03-28 |
| JPH0778856B2 JPH0778856B2 (en) | 1995-08-23 |
Family
ID=17020440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63237788A Expired - Lifetime JPH0778856B2 (en) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0778856B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0668414A (en) * | 1992-08-20 | 1994-03-11 | Nec Kansai Ltd | Mig type magnetic head and its production |
| KR100244186B1 (en) * | 1992-10-06 | 2000-02-01 | 구자홍 | Stacked Magnetic Heads |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63298806A (en) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Sony Corp | Composite magnetic head |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP63237788A patent/JPH0778856B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63298806A (en) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Sony Corp | Composite magnetic head |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0668414A (en) * | 1992-08-20 | 1994-03-11 | Nec Kansai Ltd | Mig type magnetic head and its production |
| KR100244186B1 (en) * | 1992-10-06 | 2000-02-01 | 구자홍 | Stacked Magnetic Heads |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0778856B2 (en) | 1995-08-23 |
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