JPH0287546A

JPH0287546A - 保護フイルムの貼付方法

Info

Publication number: JPH0287546A
Application number: JP63240242A
Authority: JP
Inventors: Minoru Ametani; 雨谷　稔; Keigo Funakoshi; 船越　啓吾
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1988-09-22
Filing date: 1988-09-22
Publication date: 1990-03-28

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明はカセットから取出した、例えば集積回路形成
用半導体ウェハの上面に粘着フィルムからなる保護フィ
ルムを自動的に貼付して、カットしたのち、この保護フ
ィルムを貼付したウェハをふたたびカセットに戻す保護
フィルムの貼付方法に関するものである。

〔従来の技術〕

このようなウェハの場合、表面に保護フィルムを貼付し
て保護したのち、フィルムを貼付していない側を水流を
併用して研磨するなどの作業を行う。

上記のような保護フィルムの貼付方法としては、上面に
保護フィルムを貼付する前のウェハをテブル上に真空吸
引により固定し、この固定したウェハ上にテープ状の保
護フィルムを貼着し、つぎにカット手段により保護フィ
ルムをウェハ上でカットしたのち、カット後のテープ状
保護フィルムを巻取って除去する方法が行われている。

上記のような従来の保護フィルムの貼付方法は保護フィ
ルム貼付部の後方に設けたカセットから取出したウェハ
を搬送ベルトにより保護フィルム貼付部へ搬送し、この
保護フィルム貼付部で保護フィルムを貼付してカントし
た、保護フィルム貼付ずみのウェハは何等かの搬送手段
で前方の搬送ベルトへ送り出して、この搬送ベルトによ
り搬送したウェハをカセットに収納するという工程から
なっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の保護フィルム貼付方法は、上記のように、きわめ
て？Ｊ！雑な工程からなっている。

従ってこの方法を実施する装置もきわめて複雑で大型の
ものとなり、高価であるとともに取扱いも面倒であるな
どの問題があった。

〔課題を解決するための手段］上記の問題点を解決するために、この発明は昇降自在の
縦向きの旋回軸上に横向きのアームを固定し、このアー
ムに半径方向に自在に進退するよう装着した進退部材の
先端に薄板状の真空吸着板を固定した搬送手段と、この
搬送手段の周囲に配置したウェハ収納カセット支持台お
よび保護フィルム貼付部からなり、上記搬送手段の旋回
軸の昇降運動と、アームに装着した進退部材の進退運動
により、カセット内のウェハを前記真空吸着板により吸
着して取出し、この取出したウェハを保護フィルム貼付
部まで移動させて、この保護フィルム貼付部にウェハを
正しくセットしたのち、保護フィルム貼付部のテーブル
上にウェハを固定し、つぎに、上記真空吸着板をウェハ
の吸着を解いて退避させたのち、ウェハ上において、保
護フィルム貼付部に設けたカット手段により保護フィル
ムをカットし、カプトした保護フィルムはウェハ上に貼
付した部分を残して巻取り、保護フィルムを貼付したウ
ェハはテーブルの真空吸引を解除すると同時に前記真空
吸着板で吸着して所定のカセットに収納したのち真空吸
着を解除してカセットから退避させることを特徴とする
保護フィルムの貼付方法を提供するものである。

また、上記カセット支持台と保護フィルム貼付部の間に
ウェハのアライメント部を設けて、搬送手段によりカセ
ットから取出したウェハをアライメント部によりセンタ
リングおよびアライメントを行ったのち保護フィルム貼
付部に供給する場合もある。

〔実施例〕

第１図はこの発明方法を実施する装置の全体を示す平面
図で、Ａは搬送手段、Ｂはウェハ収納カセット支持台で
、図では２個配置しである。

また、Ｃはアライメント部、Ｄは保護フィルム貼付部で
ある。

第２図は搬送手段Ａの側面図である。この図で１は機箱
で、その中央に垂直の旋回軸２が設けである。

この旋回軸２は機箱１内に設けた駆動手段および制御手
段により任意の位置への昇降および３６０゜の範囲の任
意の角度への旋回ができるものである。

上記旋回軸２の上端には水平のアーム３を固定する。こ
の水平のアーム３上にはガイド溝があり、このガイド溝
に沿って進退する進退部材４を有し、アーム３内には進
退部材４の駆動手段を設ける。

また、上記進退部材４の先端には真空吸着板５をネジ止
めなどの手段で着脱自在に固定しである。

上記吸着板５はその前端部上面または下面などの必要部
分に複数の吸着孔を設け、吸着板５内に設けた細い連通
孔を進退部材４に連結した真空吸引ホース６に連通させ
、このホース６を自動制御弁を介して真空吸引装置に連
結しである。

上記搬送手段Ａはエンコーダおよび各部に配置した各種
センサによる動作チエツク機能をもち、ティーチング機
能を内蔵した制御装置を有するもので、この制御装置に
よりあらかじめ設定されたプログラムに従って旋回軸２
の昇降と旋回、進退部材４の進退、真空吸着板５の吸着
作用および吸着解除を行う・。

第３図ないし第４図はアライメント部Ｃを示すもので、
第３図の１１は旋回手段である。

この旋回手段は軸受１２に回動自在に取付けた吸着台１
４と、この台１４を旋回させるステッピングモータ１３
と、軸受１２をモータ１３とともに固定した固定フレー
ム１８からなっている。

吸着台１４は第４図のようにその上面に吸着用溝１６が
あり、この溝１６が図示省略しである真空吸引装置に通
じる第３図の連通孔１７に連通している。

２１は検出手段で、前記軸受１２の上端に固定したブラ
ケット２２に複数の検出２Ｓ２３を固定するが、この検
出器２３は吸着台１４の中心を通る延長線上に適当間隔
で配置し、かつ吸着台１４の上面より低い位置とする。

前記検出器２３が光電素子の場合、ブラケット２２の外
端には覆い板２６を取付け、この板２６の下面には各検
出ｒ＆２３に向けて光線を送る複数の投光器２７を固定
する。

３１はセンタリング装置で、取付台３２上にガイドレー
ル３３を設け、このガイドレール３３に摺動自在または
揺動自在に取付けた一対の上向きの腕３４にセンタリン
グ板３５をネジ止めなどで着脱自在に取付けたもので、
センタリング板３５には、第４図のように対向する円弧
状の凹部３６が形成されている。

凹部３６はウェハ７の円周に一致するもので、前記各部
３４は図示省略しであるリンク機構などにより開閉する
もので、閉じたとき両凹部３６でウェハ７の外周に一致
する円が吸着台１４と同芯に形成されるものである。

上記の検出器２３および投光器２７が複数あるのは径の
異なるウェハに対応するためで、センタリング板３５も
同し理由で着脱自在とする。

第２図は、各支持台Ｂ上に、複数枚のウェハ７を収容し
たカセット１０を載せた状態を示している。

いま、搬送手段Ａの吸着板５が、第１図、第２図のよう
にカセット１０内の所定のウェハ７の下側に挿入され、
゛ついで真空吸引によりウェハ７の下面を吸着すると、
進退部材４が後退して、吸着したウェハ７をカセット１
０から取り出す。

ついで、旋回軸２が回転してアーム３を旋回させ、その
先端のウェハ７をアライメント部Ｃに向けて停止する。

つぎに、進退部材４がアライメント部Ｃに向けて前進す
る。

このとき、アライメント部Ｃの上方からウェハをセット
するため、ウェハ７は板３５．２６に接触せずに吸着台
１４上に移動する。

上記のように吸着台１４に供給されたウェハ７の中心が
吸着台１４の旋回中心とほぼ一致したことを何らかの検
知手段が検知すると、旋回軸２が少し下降し、ウェハ７
を吸着台１４上に載せ、吸着を解除する。

各センタリング板３５が閉し始め、両板３５の凹所３６
がウェハ７の外周に一致するとウェハ７の中心と吸着台
１４の旋回中心が一致する。

この状態となると同時に吸着台１４の真空吸引が始まり
、ウェハ７が吸着台１４上に固定されると同時に両腕３
４が開き、両センタリング仮３５がウェハ７から離れる
。

図示例のようにウェハ７が最小径の場合は最も内寄りの
投光器２７から最も内側の検出器２３に向けて光線が送
られる。同時にモータ制′４１０用のパルスジェネレー
タからのパルス信号によりステッピングモータ１３が起
動し、吸着台１４を第４図の矢印方向に回し始める。

第４図のようにウェハ７により検出器２３が覆われてい
るときは検出器２３からは信号は出ないが、ウェハ７の
直線状のオリエンテーションフラットすなわちオリフラ
８が第５図１のように検出器２３の位置にくると、投光
器２７からの光線が検出器２３に当り、この検出器２３
からの信号でモータ１３の回転速度を低下させて停止精
度を向上させる。

こうして低速となったモータ１３により同方向に回転さ
れるウェハ７のオリフラ８が第５図Ｈのように再度検出
器２３と出合うと、投光器２７からの光線が遮断され、
同検出器２３からの信号で、モータ１３は停止する。モ
ータ１３が停止したのち、制御回路からモータ１３へ逆
転指令が出されると同時にパルスモータの回転を指令す
るパルスジェネレータが発するパルスを積算するカウン
タ回路が作動を開始する。

上記のようにモータ１３が逆転して第５図■のように再
びオリフラ８が検出器２３で検出されると、パルスジェ
ネレータの発信は停止し、モータ１３は停止する。

従ってカウンタ回路で積算したパルス数αは、モータ１
３がオリフラ８の一端から他端まで回転した角度を示す
。また、■パルスに対するモータ１３の回転角は定まっ
ているから、パルス数αはオリフラ８と検出器２３とが
出合った２個所の点し、その値のパルスをモーター３に
与えてその角度だけ、第５図■の位置からモーター３を
逆転させて停止させる。

上記のαは任意の数で例えばαをＯとすると、第３図Ｎ
のように検出器２３の位置とオリフラ８の中心点が合致
する。

また、αを○以外の任意の整数にすれば、検出器２３の
位置をオリフラ８の中心点以外の任意の位置にできる。

上記のようにしてウェハ７の位置決めを行なったのち、
アーム３上の進退部材４がふたたびアライメント部Ｃへ
向けて前進し、吸着板５をウェハ７の外周下面に挿入し
たのち、旋回軸２が若干上昇して吸着板５をウェハ７の
下面に接触させ、ついでウェハ７を吸着する。

上記のように吸着板５がウェハ７の下面を吸着すると同
時に、吸着台１４はウェハ７の吸着を解除し、そののち
、旋回軸２が若干上昇し、ついで進退部材４が後退して
アライメント部Ｃからウェハ７を取り出す。

上記のようにアライメント部Ｃから取出されたウェハ７
は旋回軸２の旋回と進退部材４の前進によりつぎの保護
フィルム貼付部りへ送り出される。

第６図は保護フィルム貼付部を示すものである。

この第６図において、４１は真空吸引式テーブルで、そ
の後方にフレーム４２がある。

上記フレーム４２の正面には、制動装置を有する巻軸４
３と駆動装置により矢印方向に駆動される巻取軸４４を
それぞれ取付け、巻軸４３には粘着テープからなる保護
フィルム４５を巻き、前記ウェハ７上に貼着されてカッ
トしたのちの保護フィルム４５は巻取軸４４に巻取るよ
うにする。

第６図の４６は図示省略しである適宜の駆動手段により
前後方向（第６図に向って左を前、右を後とする）に移
動する貼付ユニットで、このユニフト４６にはゴムなど
の柔軟な材料からなる貼付ローラ４８とガイドローラ４
９を設ける。また、この貼付ユニット４６はエアシリン
ダなどにより上下２段に変位するようになっている。

４７は上記貼付ユニッ１−４６とは別の駆動手段により
１１１１後方向に移動する剥離ユニフトで、上下一対の
ローラ５０の下部にピーリングローラ５１を設けたもの
である。

前記貼付ローラ４８およびピーリングローラ５１はウェ
ハ７の直径よりも広［１１である。

また、フレーム４２の正面にはガイドローラ５２．５３
を設ける。

第７図ａ、ｂ、第８図ａ、ｂはテーブル４１の各実施例
を示すもので、第７図はテーブル４１に複数の真空吸着
バイブ５５を昇降自在に取付けて、適宜の駆動手段で昇
降させるようにしたもの、第８図はテーブル４１の中央
に、複数の真空吸着口５６を有する真空吸着台５７を昇
降自在に装着して適宜の駆動手段で昇降させるようにし
たものである。

第６図の６１はカント手段で、その詳細を第９図、第１
０図に示す。

第９図において、６２はフレーム４２の前面板６３に設
けた縦長孔で、前面板６３の盤面には上下に長いレール
６５が取付けられている。また、テーブル４１の上方に
は昇降台６６が配置され、この昇降台６６は上記レール
６５に沿って上下移動可能に支持され、前面板６３に支
持された昇降用駆動装置６７の作動によって上下動する
。

上記昇降台６６の下側に設けたガイドロンドロ８は、テ
ーブル４１の径方向に延び、同ガイドロンドロ８に沿っ
て移動可能に支持された往復台６９は、昇降台６６の下
面に支持された移動用駆動装置７０の作動によってテー
ブル４１の上方をその径方向に移動する。

この往復台６９の下面には筒体７１が取付けられ、この
筒体７１によって回転可能に支持された回転軸７２は、
上記往復台６９の下面に支持されたモータ７３によって
回転駆動される。

上記回転軸７２の上端には外周に透光部（図示省略）を
有する円板７４が取付けられ、この円板７４の透光部を
同円板７４の外周部に設けた検出器６０が検出すると、
この検出器６０からの検出信号によって前記モータ７３
が停止する。

また、回転軸７２の下端には、ガイドバー支持枠７５が
取付けられ、このガイドバー支持枠７５に支持された一
対のガイドバー７６に沿って支持台７７が移動可能に支
持されている。

上記支持台７７は、対向配置された一対の板体７８を備
え、この板体７８間に渡した一対のガイドロッド７Ｓは
、上記ガイドバー７６に対して交差方向に長くなってい
る。また、一対の板体７８間には、上記一対のガイドロ
ッド７９間に位置する送りネジ８０が渡され、このネジ
８０の駆動用モータ８１が支持台７７の端部に支持され
ている。

このネジ８０は、上記ガイドロッド７９に沿って移動可
能な支持枠８２の雌ネジにねじ込まれており、このネジ
８０を回転すると、支持枠８２がガイドロッド７９に沿
って移動する。

シリンダ支持枠８２の側部に設けた軸受８４にホルダ支
持枠８５の上面に設けた軸８６が回動可能に支持されて
いる。このホルダ支持枠８５は、首振り用シリンダ８８
により軸８６を中心に回転する。

また、ホルダ支持枠８５の一対の側板８７間に円柱状の
刃物ホルダ９１の上部が位置し、この刃物ホルダＳ１の
外周上部の対向位置に設けた一対のビンＳ２が上記側板
８７で回転可能に支持されている。

刃物ホルダＳ１の下端には刃物９３が取付けられ、この
刃物９３の切断方向の先行側には、前記ウェハ７のオリ
フラ８の端に連続する円周部９を検出する透過型の検出
器９４が配置されている。

この検出器９４は、前記ホルダ支持枠８５の下部に支持
されて上記刃物９３と共に移動し、検出器Ｓ４からの検
出信号によって首振り用シリンダ８８が作動する。

前記支持台７７には、第１０図に示すように、ホルダ支
持枠８５の側板８７背部に張り出す支詩板９５が設けら
れ、同支持板９５の張り出し部に設けた一対のガイド板
９６は、支持枠８２と共に刃物ホルダ９１が移動すると
き、この刃物ホルダＳ１の移動を案内してビンＳ２を中
心に刃物ホルダ９１が回動するのを防止している。

いま、前記のアライメント部Ｃによりアライメン［ずみ
のウェハ７を吸着した吸着板５がアーム３の旋回と進退
部材４の前進によりテーブル４１上の正しい位置に供給
される。

つぎに、各吸着パイプ５５が上昇し、旋回軸２が若干下
降して第７図のａのようにパイプ５５上にウェハ７を赦
せる。

上記のようにウェハ７がパイプ５５上に載ると、真空吸
引手段が働き、パイプ５５上の真空吸引口がウェハ７を
吸着してパイプ５５上に固定する。

上記のようにウェハ７がパイプ５５上に吸着されると吸
着板５はウェハ７の吸着を解き、進退部材４とともに後
退する。

そののら、各パイプ５５が同時に下降し、第７図すのよ
うにウェハ７をテーブル４１上に固定する。

ついで、貼付ユニット４６が前方へ移動し始めるとテー
プ状の保護フィルム４５がウェハ７の後端上面に接触し
てその下面の粘着面によりウェハ７１面に接着し、貼付
ユニット４６が貼付ローラ４８とともに前進していくと
、第７図すのように保護フィルム４５がウェハ７上に貼
着される。

第８図の例の場合も、同図ａ、ｂのように真空吸着台５
７の昇降によりウェハ７の受渡しを行うが、この場合、
真空吸着板５は２叉状にする。

上記のようにウェハ７上に保護フィルム４５が貼付され
たとき、ウェハ７とテーブル４１は同心に位置決めされ
ている。

一方、カット手段６１の移動用駆動装置７０の作動によ
り、往復台６Ｓをガイドロッド６８に沿って移動させて
位置調整を行ないカント手段６１の軸８６をテーブル４
１の中心に一部させる。

また、モータ７３の駆動による回転軸７２の回転と、支
持台７７を移動させる操作とによって刃物９３をウェハ
７のオリフラ８の長さ方向中央部に位置させる。このよ
うな刃物Ｓ３の位置調整後に、保護フィルム４５のカッ
トを行う。

まず、カント手段６１が上昇位置にある間に、移動用駆
動装置７０の作動により刃物Ｓ３をオリフラ８と平行に
移動させる。

刃物９３がオリフラ８の端部の直上よりさらに外の位置
に達すると、駆動装置７０は停止し、つぎに昇降用駆動
装置６７が作動して昇降台６６が下降する。

上記の昇降台６６の下降によって、刃物９３も同様に下
降し、その刃物９３がフィルム４５を突き刺すと、上記
昇降用駆動装置６７が停止し、停止後、前記移動用駆動
装置７０が作動して、往復台６９を移動させ、刃物９３
によってウェハ７のオリフラ８に平行にカットする。

上記のオリフラ８のカットの途中で駆動装置７０が停止
し、同時にモータ８１によるネジ　８０の駆動で刃物９
３をひきつづき直線移動させる。

刃物９３がオリフラ８の端まで移動して、これと共に移
動する検出器９４がウェハ７のオリフラ８に続く円周部
９の一部を検出すると、モータ８１が停ると同時に首振
り用シリンダ８８の作用で、ホルダ支持枠８５を設定角
度回転させて刃物９３の向きを円弧状カットに適する方
向に向ける。

つぎにモータ７３が回転を始め、刃物９３を回転軸７２
を中心に回転させ、保護フィルム４５をウェハ７の円周
部Ｓに沿ってカンｌ−する。

カットが終了すると、検出器６０からの信号でモータ７
３を止め、ソリンダ８８を作動させて刃物Ｓ３を直線カ
ットの向きとし、ついでモータ８１の逆転で刃物Ｓ３を
原点に戻し、駆動装置６７によりカント手段６１を上界
させてカット工程を終る。

カット工程が終了し、カント手段６１が上昇すると、剥
離ユニット４７が前進を始める。

剥離ユニシト４７が前進を始めると、ウェハ７に貼付さ
れている保護フィルムを残して保護フィルム４５がテー
ブル４１上から離れる。

上記の作用により保護フィルムのカント後の孔のあいた
テープ状の保護フィルム４５が完全にテーブル４１上か
ら離れると、再度各パイプ５５または吸着台５７が上昇
して保護テープ貼付ずみのウェハ７をテーブル４１上か
ら浮上らせる。

ついで、ふたたび吸着板５が接近し、保護フィルムを貼
付したウェハ７を吸着する。同時にテーブル４１上のパ
イプ５５または吸着台５７はウェハ７の吸着を解き、吸
着板５は進退部材４とともに後退して旋回軸２とともに
旋回し、元のカセット１０にウェハ７を向けて進退部材
４を前進させ、カセット１０内にウェハ７を戻して吸着
板５は元に戻る。

上記の保護フィルム貼付部りにおけるフィルム４５の貼
付中において、搬送手段へを働かせ、カセッＮＯ内から
つぎのウェハ７を取り出してアライメント部Ｃに供給す
ることができる。

第１図のようにカセット支持台Ｂを２個所に配置した場
合、カセット１０から取り出して保護フィルムを貼付し
たウェハは原則として同じカセット１０の元の位置に戻
す。

こうして、保護フィルムを貼付したウェハ７のみとなっ
たカセット１０は、保護フィルムを貼付する１ｉｉｌの
ウェハ７を収納したカセット１０と取り替える。この間
に他方の支持台Ｂ上のカセット１０から取出したウェハ
７に保護フィルムの貼付作業を行っていることは勿論で
ある。

前記の実施例ではアライメント部を独立させたが、貼付
部りにアライメント部を組み込むこともできる。

すなわち、第８図の実施例における真空吸着台５７を回
転式にして第３図の吸着台１４と同じ機能をもたせ、そ
の他の検出機構を適宜に配置すればよい。

なお、アライメントが不用な場合はアライメント部Ｃを
省略する。

また、カント手段６１は第９図、第１０図に示す装置以
外の任意の機構のものを利用し得る。

すなわち、例えば第１１図のように、図示省略しである
モータによりベルト伝動などを経て駆動される軸３０端
のクランク３７と昇降台６６をコンネクチングロツド３
８により連結してモータとクランク機構により昇降台６
６を昇降させる機構にしてもよい。

また、第９図の実施例の移動用駆動装置７０を廃止して
ネジ８０を長くすることにより機構が簡単となる。この
場合はカント手段６１の回転中心となる回転軸７２の中
心をテーブル４１の中心に合せておき、ネジ８０のスト
ロークの増大を利用して刃物Ｓ３をウェハ７の外側まで
後退させた状態でテープに切込みを入れたのち、オリフ
ラ８に沿ってカットを行ない、その他端にてウェハ７の
外周を検出して刃物９３の方向を変更し、ウェハ８の外
周に沿って刃物Ｓ３を回転させることによりテープを連
続的に切抜くものである。

〔発明の効果］この発明は上記のように、昇降自在の縦向き旋回軸上に
横向きアームを固定し、このアームに半径方向に自在に
進退するよう装着した進退部材の先端に薄板状の真空吸
着板を固定した搬送手段を用い、その周囲にはウェハ収
納カセットおよびウェハのアライメント部（不要な場合
もある）ならびにウェハ上の保護テープ貼付部を配置し
たものであるから、従来の装置のような搬送ヘルドが不
要となる。

また、ウェハの搬送は全て搬送手段のアームを支持する
旋回軸の昇降運動と、旋回運動ならびに進退部材のａ退
運動と真空吸着板の吸着作用と吸着解除の組合せによっ
て行うので、カセット支持台を昇降させることなく、ウ
ェハを所望の位置から取出したり、所望の位置に収納し
たりできる。

また、カセット支持台やアライメント部、保護テープ貼
付部などは搬送手段を中心としてその周囲に配置したも
のであるから、各部を一列に並べて搬送ベルトでウェハ
を搬送する従来の装置に比較して小型化でき、駆動手段
も簡単となるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の平面図、第２図
は同上の搬送手段とカセ７）支持台の拡大側面図、第３
図はアライメント部の拡大縦断正面図、第４図は同上の
拡大平面図、第５図１−ＩＶは同上の作用を説明する行
程別平面図、第６図は保護フィルム貼付部の正面図、第
７図ａ、ｂおよび第８図ａ、ｂはそれぞれ真空吸着テー
ブルの各実施例の作用を示す拡大断面図、第９図はカッ
ト手段の一部縦断拡大側面図、第１Ｏ図は同上の要部を
さらに拡大した一部縦断側面図、第１１図はカット手段
の他の例を示す拡大側面図である。Ａ・・・・・搬送手段、　　　Ｂ・・・・・・カセット
支持台、Ｃ・・・・・アライメント部、Ｄ・・・・・・保護フィルム貼付部、２・・・・・・旋回軸、　　　　３・・・・・アーム、
４・・・・・・進退部材、　　５・・・・・・吸着板、
７・・・・・・ウェハ、　　　　８・・・・・・オリフ
ラ、９・・・・・・円周部、　　　　１０・・・・・・
カセット、１１・・・・・・旋回手段、　　１４・・・
・・・吸着台、２１・・・・・検出手段、　　３１・・
・・・・センタリング装置、４１・・・・・・真空吸引
テーブル、４３・・・・・・巻軸、　　　４４・・・・・・巻取軸
、４５・・・・・・保護フィルム、４６・・・・・・貼付ユニット、４７・・・・・７．１１離ユニント、４８・・・・・・貼付ローラ、５１・・・・・・ピーリ
ングローラ、６１　・・・・・カット手段。第１図第６図第３図第２図１゜＄７図第８図第４図第５図第９図第１０図別

Claims

【特許請求の範囲】

（１）昇降自在の縦向きの旋回軸上に横向きのアームを
固定し、このアームに半径方向に自在に進退するよう装
着した進退部材の先端に薄板状の真空吸着板を固定した
搬送手段と、この搬送手段の周囲に配置したウェハ収納
カセット支持台および保護フィルム貼付部からなり、上
記搬送手段の旋回軸の昇降運動と、アームに装着した進
退部材の進退運動により、カセット内のウェハを前記真
空吸着板により吸着して取出し、この取出したウェハを
保護フィルム貼付部まで移動させて、この保護フィルム
貼付部にウェハを正しくセットしたのち、保護フィルム
貼付部のテーブル上にウェハを固定し、つぎに、上記真
空吸着板をウェハの吸着を解いて退避させたのち、ウェ
ハ上において、保護フィルム貼付部に設けたカット手段
により保護フィルムをカットし、カットした保護フィル
ムはウェハ上に貼付した部分を残して巻取り、保護フィ
ルムを貼付したウェハはテーブルの真空吸引を解除する
と同時に前記真空吸着板で吸着して所定のカセツトに収
納したのち真空吸着を解除してカセットから退避させる
ことを特徴とする保護フィルムの貼付方法。
（２）上記カセット支持台と保護フィルム貼付部の間に
ウェハのアライメント部を設けて、搬送手段によりカセ
ットから取出したウェハをアライメント部によりセンタ
リングおよびアライメントを行ったのち保護フィルム貼
付部に供給する請求項１記載の保護フィルムの貼付方法
。