JPH0287580A - 赤外線センサ用キャップ及びその製造方法 - Google Patents
赤外線センサ用キャップ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0287580A JPH0287580A JP63239359A JP23935988A JPH0287580A JP H0287580 A JPH0287580 A JP H0287580A JP 63239359 A JP63239359 A JP 63239359A JP 23935988 A JP23935988 A JP 23935988A JP H0287580 A JPH0287580 A JP H0287580A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window member
- cap
- infrared sensor
- window
- cap body
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
- G01J5/041—Mountings in enclosures or in a particular environment
- G01J5/045—Sealings; Vacuum enclosures; Encapsulated packages; Wafer bonding structures; Getter arrangements
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、赤外線センサ用キャップ及びその製造方法に
関し、詳しくは、窓孔を穿設したキップと、内側にフィ
ルタを形成した窓部材とを気密的に封着した赤外線セン
サ用キャップ及び両者を気密的に封止する製造方法に関
する。
関し、詳しくは、窓孔を穿設したキップと、内側にフィ
ルタを形成した窓部材とを気密的に封着した赤外線セン
サ用キャップ及び両者を気密的に封止する製造方法に関
する。
赤外線センサ用キャップを有する赤外線センサを第3図
に示して説明する。
に示して説明する。
図において、(1)は、円盤状をしたFe製のステム基
板で、例えば、2箇所に貫通孔(la)を穿設しである
。(2)は、前記貫通孔(1a)に挿通したリードで、
ガラス(3)によって気密絶縁的に封止される。(4)
は、上記ステム基板(1)上に載置し、リード(2)と
電気的に接続されたベース部で、インピーダンス変換用
のFETやソース抵抗の回路部品等から構成される。(
5)は、前記ベース(4)の上側に配置する円盤状の焦
電体で、広い波長領域の赤外線に感応するものである。
板で、例えば、2箇所に貫通孔(la)を穿設しである
。(2)は、前記貫通孔(1a)に挿通したリードで、
ガラス(3)によって気密絶縁的に封止される。(4)
は、上記ステム基板(1)上に載置し、リード(2)と
電気的に接続されたベース部で、インピーダンス変換用
のFETやソース抵抗の回路部品等から構成される。(
5)は、前記ベース(4)の上側に配置する円盤状の焦
電体で、広い波長領域の赤外線に感応するものである。
(6)は、上記ステム基板(1)の外周縁部上に固着す
るハツト形状のキャップ本体で、天板部に窓孔(6a)
を形成しである。(7)は、前記窓孔(6a)の内面に
封着する窓部材で、キャップ(6)と窓部材(7)とは
樹脂(8)によって固着する。窓部材(7)は、赤外線
の透過性に優れるS!又はGeによって形成し、また、
キャップ本体(6)に封着する以前に、特定の波長の赤
外線のみを透過するフィルタ(9)を、窓部材(7)の
内側に、予め塗布形成しておく。
るハツト形状のキャップ本体で、天板部に窓孔(6a)
を形成しである。(7)は、前記窓孔(6a)の内面に
封着する窓部材で、キャップ(6)と窓部材(7)とは
樹脂(8)によって固着する。窓部材(7)は、赤外線
の透過性に優れるS!又はGeによって形成し、また、
キャップ本体(6)に封着する以前に、特定の波長の赤
外線のみを透過するフィルタ(9)を、窓部材(7)の
内側に、予め塗布形成しておく。
赤外線センサは以上のように構成され、焦電体(5)が
感応する赤外線量が変化したときに、リード(2)に焦
電電流が流れるようにされている。
感応する赤外線量が変化したときに、リード(2)に焦
電電流が流れるようにされている。
例えば、フィルタ(9)が、人体の出す赤外線のみを通
過するものであるときに、赤外線センサは、自動ドアや
侵入警報器として利用される。
過するものであるときに、赤外線センサは、自動ドアや
侵入警報器として利用される。
赤外線センサは、絶縁抵抗の低下や経時変化の防止乃至
雰囲気からの汚染保護のため、気密性が要求される。
雰囲気からの汚染保護のため、気密性が要求される。
ステム基板(1)の貫通孔(1a)とリード(2)とは
、ガラス(3)によって気密絶縁的に封止しであるから
、この部分から湿気が侵入することはない。
、ガラス(3)によって気密絶縁的に封止しであるから
、この部分から湿気が侵入することはない。
しかし、窓部材(7)とキャップ本体(6)とは樹脂(
8)によって封着しているから、この部分での気密性が
低く、樹脂(8)を通して、赤外線センサ内に湿気が侵
入してくることがある。
8)によって封着しているから、この部分での気密性が
低く、樹脂(8)を通して、赤外線センサ内に湿気が侵
入してくることがある。
ところが、窓部材(7)の裏面には、フィルタ(9)を
、予め、塗布形成してあり、このフィルタ(9)は有機
物質であることから、耐熱性に弱く、窓部材(7)とキ
ャップ本体(6)とを高温によりガラス封着することが
できない。
、予め、塗布形成してあり、このフィルタ(9)は有機
物質であることから、耐熱性に弱く、窓部材(7)とキ
ャップ本体(6)とを高温によりガラス封着することが
できない。
そこで、本発明は、窓部材とキャップ本体との気密性を
向上させた赤外センサ用キャップ及びその製造方法を提
供することを目的とする。
向上させた赤外センサ用キャップ及びその製造方法を提
供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成するため、赤外線センサ用キ
ャップは、天板部に窓孔を形成したハント形状のキャッ
プ本体の前記窓孔に窓部材が低融点ガラスにて封着され
、かつ、この窓部材の内側にフィルタが形成されたもの
で、また、赤外線センサ用キャップの製造方法は、ハン
ト形状のキャップの天板部に形成した窓孔に窓部材を低
融点ガラスにて封着した後、前記窓部材の内側にフィル
タを形成するものである。
ャップは、天板部に窓孔を形成したハント形状のキャッ
プ本体の前記窓孔に窓部材が低融点ガラスにて封着され
、かつ、この窓部材の内側にフィルタが形成されたもの
で、また、赤外線センサ用キャップの製造方法は、ハン
ト形状のキャップの天板部に形成した窓孔に窓部材を低
融点ガラスにて封着した後、前記窓部材の内側にフィル
タを形成するものである。
キャップ本体と窓部材とを低融点ガラスにて封着したこ
とにより、両者の気密性が向上する。
とにより、両者の気密性が向上する。
窓部材に形成するフィルタは、窓部材をキャップ本体に
封着した後に形成するため、フィルタが低融点ガラスを
封着する際の高熱によって損傷することはない。
封着した後に形成するため、フィルタが低融点ガラスを
封着する際の高熱によって損傷することはない。
本発明に係る実施例を第1図を参照して説明する。但し
、従来と同一部品は同一符号を付して、その説明は省略
する。
、従来と同一部品は同一符号を付して、その説明は省略
する。
本発明においては、窓部材(7)には、当初フィルタ(
9)を形成しておかない。そして、第1図(a)に示す
ように、キャップ本体(6)に形成した窓部(6a)を
下側にし、窓部(6a)の周辺に、円環状に低融点ガラ
ス(10)を被着して宜く。そして、低融点ガラス(1
0)上に、フィルタ(9)を形成していない窓部材(7
)を載せ、600℃ぐらいに加熱する。すると、低融点
ガラス(10)が熔融し、再び室温に戻したときに、低
融点ガラス(11)が、キャップ本体(6)と窓部材(
7)とを、気密性高く封着する。あるいは、予め窓部材
(7)の方に低融点ガラス(10)を被着しておくか、
キャップ本体(6)と窓部材(7)の両方に低融点ガラ
ス(10)を被着しておいて、両者を気密に封着しても
よい。
9)を形成しておかない。そして、第1図(a)に示す
ように、キャップ本体(6)に形成した窓部(6a)を
下側にし、窓部(6a)の周辺に、円環状に低融点ガラ
ス(10)を被着して宜く。そして、低融点ガラス(1
0)上に、フィルタ(9)を形成していない窓部材(7
)を載せ、600℃ぐらいに加熱する。すると、低融点
ガラス(10)が熔融し、再び室温に戻したときに、低
融点ガラス(11)が、キャップ本体(6)と窓部材(
7)とを、気密性高く封着する。あるいは、予め窓部材
(7)の方に低融点ガラス(10)を被着しておくか、
キャップ本体(6)と窓部材(7)の両方に低融点ガラ
ス(10)を被着しておいて、両者を気密に封着しても
よい。
場合によっては、低融点ガラスタブレットを用いて両者
を気密に封着してもよい。
を気密に封着してもよい。
その後、第1図(b)に示すように、窓部材(7)の内
側に、フィルタ(9)を形成する。
側に、フィルタ(9)を形成する。
フィルタ(9)は、スプレーにより塗布するか、シート
状のものを接着するかは特定するものではない。
状のものを接着するかは特定するものではない。
このようにして、赤外線センサ用キャップが製造される
と、従来と同様、ベース部(4)や焦電体(5)を載置
したステム基板(1)の外周縁部上に、この赤外線セン
サ用キャップを固着する。
と、従来と同様、ベース部(4)や焦電体(5)を載置
したステム基板(1)の外周縁部上に、この赤外線セン
サ用キャップを固着する。
次に、第2図に変形例を示して説明する。変形例におい
ては、窓部材(7)の周辺部には、フィルタ(9)を形
成せず、このフィルタ(9)のない窓部材(7)の周辺
部とキャップ本体(6)の内壁部とを導電性接着剤(1
2)によって接続する。すると、窓部材(7)とキャッ
プ本体(6)とが同電位になり、外来ノイズに対するシ
ールド効果を高めることができる。尚、導電性接着剤(
12)で接続する場合であっても、第1の実施例と同様
、キャップ本体(6)と窓部材(7)とは低融点ガラス
によって封着した後、窓部材(7)の内側にフィルタ(
9)を形成する。
ては、窓部材(7)の周辺部には、フィルタ(9)を形
成せず、このフィルタ(9)のない窓部材(7)の周辺
部とキャップ本体(6)の内壁部とを導電性接着剤(1
2)によって接続する。すると、窓部材(7)とキャッ
プ本体(6)とが同電位になり、外来ノイズに対するシ
ールド効果を高めることができる。尚、導電性接着剤(
12)で接続する場合であっても、第1の実施例と同様
、キャップ本体(6)と窓部材(7)とは低融点ガラス
によって封着した後、窓部材(7)の内側にフィルタ(
9)を形成する。
本発明の赤外線センサ用キャップは、キャップ本体と窓
部材とを低融点ガラスにて封着したことにより気密性が
高く、この赤外線センサ用キャップを用いた赤外線セン
サは気密性が高く維持され、製品の品質を長年に亘って
良好に保つことができる。
部材とを低融点ガラスにて封着したことにより気密性が
高く、この赤外線センサ用キャップを用いた赤外線セン
サは気密性が高く維持され、製品の品質を長年に亘って
良好に保つことができる。
また、窓部材に形成するフィルタは、低融点ガラスによ
って、窓部材を封着した後に形成するため、フィルタが
高温に晒されることがなく、フィルタの性能は維持され
る。。
って、窓部材を封着した後に形成するため、フィルタが
高温に晒されることがなく、フィルタの性能は維持され
る。。
第1図は本発明に係る第1の実施例を示す縦断面図、第
2図は同じく第2の実施例を示す縦断面図である。 第3図は従来の赤外線センサ用キャップを含む赤外線セ
ンサの縦断面図である。 (6)−・キャップ本体、(6a)−窓孔、(7)−・
窓部材、 (9)・・・フィルタ、(11)−・
−低融点ガラス。 特 許 出 願 人 関西日本電気株式会社代
理 人 江 原 省 吾i1図 第3図 6aた札 第2図
2図は同じく第2の実施例を示す縦断面図である。 第3図は従来の赤外線センサ用キャップを含む赤外線セ
ンサの縦断面図である。 (6)−・キャップ本体、(6a)−窓孔、(7)−・
窓部材、 (9)・・・フィルタ、(11)−・
−低融点ガラス。 特 許 出 願 人 関西日本電気株式会社代
理 人 江 原 省 吾i1図 第3図 6aた札 第2図
Claims (2)
- (1)天板部に窓孔を形成したハント形状のキャップ本
体の前記窓孔に窓部材が低融点ガラスにて封着され、か
つ、この窓部材の内側にフィルタが形成されていること
を特徴とする赤外線センサ用キャップ - (2)ハント形状のキャップの天板部に形成した窓孔に
窓部材を低融点ガラスにて封着した後、前記窓部材の内
側にフィルタを形成することを特徴とする赤外線センサ
用キャップの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63239359A JPH0287580A (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 赤外線センサ用キャップ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63239359A JPH0287580A (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 赤外線センサ用キャップ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287580A true JPH0287580A (ja) | 1990-03-28 |
Family
ID=17043585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63239359A Pending JPH0287580A (ja) | 1988-09-24 | 1988-09-24 | 赤外線センサ用キャップ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0287580A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003258272A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光受信モジュール |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59213189A (ja) * | 1983-05-18 | 1984-12-03 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
| JPS62204581A (ja) * | 1986-03-05 | 1987-09-09 | Shinko Electric Ind Co Ltd | ウインドウキヤツプ |
-
1988
- 1988-09-24 JP JP63239359A patent/JPH0287580A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59213189A (ja) * | 1983-05-18 | 1984-12-03 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
| JPS62204581A (ja) * | 1986-03-05 | 1987-09-09 | Shinko Electric Ind Co Ltd | ウインドウキヤツプ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003258272A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光受信モジュール |
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