JPH0289331A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents

ワイヤボンディング装置

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JPH0289331A
JPH0289331A JP63241353A JP24135388A JPH0289331A JP H0289331 A JPH0289331 A JP H0289331A JP 63241353 A JP63241353 A JP 63241353A JP 24135388 A JP24135388 A JP 24135388A JP H0289331 A JPH0289331 A JP H0289331A
Authority
JP
Japan
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bonding
inert gas
horn
bonding wire
ball
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63241353A
Other languages
English (en)
Inventor
Nariyuki Uenishikubo
上西窪　成幸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electronics Corp filed Critical Matsushita Electronics Corp
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Publication of JPH0289331A publication Critical patent/JPH0289331A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体製造装置の組立工程に用いられる不活
性ガス雰囲気中での放電によりボンディングワイヤ先端
にボールを形成するネールヘッドワイヤボンディング装
置に関する。
従来の技術 ネールヘッドワイヤボンディングは、通常、以下の工程
に従がって行なわれる。第２図に示すように水平方向に
動＜ＸＹステージに取り付けられた上下方向に動くボン
ディングホーン１に個室されたキャピラリー２からボン
ディングワイヤ３を挿通させ、電気トーチ用電極４によ
り上記ボンディングワイヤ３の先端部を溶かしボールを
形成する。次に第３図の様に上記ボンディングホーン１
を降ろしリードフレームにダイボンディングされた半導
体チップ上の電極パッド５と上記ボールを熱圧着させる
。
次に第４図に示す様に上記ボンディングホーンｌを上げ
ながら上記ボンディングホーン１全体を外部電極６上に
移動させ、再度上記ボンディングホーンを降ろし上記外
部電極と上記ボンディングワイヤ３を熱圧着する。次に
第５図に示す様に上記ボンディングホーン１を上げて上
記ボンディングワイヤ３を切断し、以後、上記工程を繰
り返す。
さて、銅又はアルミニウムなどのボンディングワイヤは
、放電によって上記ボンディング先端にボールを形成す
る瞬間、酸化するために、上記ボンディングワイヤ先端
付近の放電空間を不活性ガス雰囲気にしてボールが形成
されている。
従来、前記ボンディングワイヤ先端付近の放電空間を不
活性ガス雰囲気にする方法としては、第６図に示す様な
方法が知られている。第６図は放電電極１と不活性ガス
噴出パイプ７とをそれぞれ独立して設けた構造になって
いる。なお、第６図において、１はボンディングホーン
、２はキャピラリー、３はボンディングワイヤ、４は電
気トーチ用電極、７は不活性ガス噴出パイプ、８はボン
ディングワイヤ３の先端に形成されたボールである。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、第６図の構成を有するボンディングワイ
ヤ先端付近の放電空間を不活性ガス雰囲気にする方法で
は、不活性ガスの噴出が一方向の真横からボンディング
ワイヤ３に当るために、不活性ガスの噴出方向と逆側の
ボール８部分に、十分な不活性ガスが噴射されてもとど
かなく、上記ボール８が酸化したり、上記ボール８の中
心がずれるという問題があった。
本発明は、上記問題点を解決するもので、構造１優れた
不活性ガス噴出手段を有するワイヤボンディング装置を
提供するものである。
課題を解決するための手段 上記の問題点を解決するために、・本発明はボンディン
グホーンに不活性Ｉス噴出機能をもたせたものである。
作用 上記の構造によりボールの形成作業におけるよりよい不
活性ガス雰囲気によって、ボールの酸化防止及び形状の
均一化を図ることができる。
実施例 本発明の一実施例を第１図により説明する。同図は、本
発明によるボンディングホーンの断面図で、上記した従
来方法と興なる点は、まず、キャピラリー２を固定して
いるボンディングホーン１に中空部を設けて、上記中空
部より小径の穴を設け、上記穴を介して不活性ガスの噴
出機能を持たせたことにより、ボンディングワイヤ３の
上方部よりボンディングワイヤ３の全周わたり不活性ガ
スを噴出した点と、ボンディングホーン１に噴出機能を
持たせることにより、不活性ガス噴出専用パイプを配設
する必要がなくなった点である。
この様に、ボンディングワイヤ３の先端上方部より不活
性ガスが噴出供給されて、上記ボンディングワイヤ３の
先端付近を不活性ガス雰囲気化するので、ボール８の酸
化防止及び均一形状形成がされる。又、不活性ガスは常
にボンディングホーン１より供給されている。
発明の詳細 な説明したように、本発明によれば、キャピラリに挿通
したボンディングワイヤ先端付近に上よりシャワー状に
不活性ガスを供給するので、ボールの酸化が防止される
と共に、均一なボール形状ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のワイヤボンディング装置の実施例を示
す概略断面図、第２図から第５図はネールヘッドワイヤ
ボンディングの工程説明図、第６図は従来例の側面図で
ある。 １・・・・・・ボンディングホーン、２・・・・・・キ
ャピラリー、３・・・・・・ボンディングワイヤ、４・
・・・・・電気トーチ用電極、５・・・・・・電極パッ
ド、６・・・・・・外部電極、７・・・・・・不活性ガ
ス噴出パイプ、８・・・・・・ボール。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　ほか１名第 図 １３１！１ ε−震−ル 籐 図 第 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 上下方向に動くボンディングホーンに取付けられたキャ
    ピラリーと、電気トーチ用電極とを有するワイヤボンデ
    ィング装置において、上記キャピラリーを取付ける上記
    ボンディングホーン内部に中空部を設けて、上記中空部
    より不活性ガスを下方部に向かって、シャワー状に噴出
    させる小径の穴が上記ボンディングホーンに複数箇所あ
    いていることを特徴とするワイヤボンディング装置。
JP63241353A 1988-09-27 1988-09-27 ワイヤボンディング装置 Pending JPH0289331A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63241353A JPH0289331A (ja) 1988-09-27 1988-09-27 ワイヤボンディング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63241353A JPH0289331A (ja) 1988-09-27 1988-09-27 ワイヤボンディング装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0289331A true JPH0289331A (ja) 1990-03-29

Family

ID=17073035

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63241353A Pending JPH0289331A (ja) 1988-09-27 1988-09-27 ワイヤボンディング装置

Country Status (1)

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JP (1) JPH0289331A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9366551B2 (en) 2012-01-30 2016-06-14 Olympus Corporation Optical sensor having a characteristic changing part in a characteristic light guiding member

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US9366551B2 (en) 2012-01-30 2016-06-14 Olympus Corporation Optical sensor having a characteristic changing part in a characteristic light guiding member

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