JPH0290843U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0290843U JPH0290843U JP17020788U JP17020788U JPH0290843U JP H0290843 U JPH0290843 U JP H0290843U JP 17020788 U JP17020788 U JP 17020788U JP 17020788 U JP17020788 U JP 17020788U JP H0290843 U JPH0290843 U JP H0290843U
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- JP
- Japan
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- chemical liquid
- tank
- cup
- top surface
- sub
- Prior art date
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図Ａ，Ｂは従来装置を示すものでＡは斜視
図、Ｂは第１図のＸ−Ｘ線部分断面図、第２図は
本考案装置の全体斜視図、第３図は第２図のＹ−
Ｙ線部分断面図である。 １……カツプ、３……薬液供給口（ノズル）、
５……スピンドルチヤツク、６……被現像物、７
……薬液サブタンク、８……覆板、９……スリツ
ト、１０……止着ボルト。
図、Ｂは第１図のＸ−Ｘ線部分断面図、第２図は
本考案装置の全体斜視図、第３図は第２図のＹ−
Ｙ線部分断面図である。 １……カツプ、３……薬液供給口（ノズル）、
５……スピンドルチヤツク、６……被現像物、７
……薬液サブタンク、８……覆板、９……スリツ
ト、１０……止着ボルト。
Claims (1)
- カツプ外周面に薬液を一時的に貯留するように
するための薬液サブタンクを設け、該薬液サブタ
ンク上面には覆板を取付け、薬液サブタンク上面
からカツプ内底面へ向けて薬液を下降流入させる
ための供給スリツトを形成したことを特徴とする
デイツプ現像用カツプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988170207U JPH0425704Y2 (ja) | 1988-12-30 | 1988-12-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988170207U JPH0425704Y2 (ja) | 1988-12-30 | 1988-12-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0290843U true JPH0290843U (ja) | 1990-07-18 |
| JPH0425704Y2 JPH0425704Y2 (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=31460952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988170207U Expired JPH0425704Y2 (ja) | 1988-12-30 | 1988-12-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425704Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63168026A (ja) * | 1986-12-29 | 1988-07-12 | Tokyo Electron Ltd | 現像方法 |
-
1988
- 1988-12-30 JP JP1988170207U patent/JPH0425704Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63168026A (ja) * | 1986-12-29 | 1988-07-12 | Tokyo Electron Ltd | 現像方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0425704Y2 (ja) | 1992-06-19 |