JPH0290949A - クリーンベンチ - Google Patents
クリーンベンチInfo
- Publication number
- JPH0290949A JPH0290949A JP24344288A JP24344288A JPH0290949A JP H0290949 A JPH0290949 A JP H0290949A JP 24344288 A JP24344288 A JP 24344288A JP 24344288 A JP24344288 A JP 24344288A JP H0290949 A JPH0290949 A JP H0290949A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- shade
- plate
- clean bench
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 7
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract 4
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
- B08B15/02—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using chambers or hoods covering the area
- B08B15/023—Fume cabinets or cupboards, e.g. for laboratories
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は半導体装置の製造や各種測定等に使用されるク
リーンベンチに関する。
リーンベンチに関する。
（ロ）従来の技術
一般に、クリーンルーム内で更にハイクラスの清浄空気
を局所的に得るにはクリーンベンチが使用される。この
クリーンベンチの作業台上には光学ＷＪ微鏡や酸化膜厚
測定装置等が置かれ、半導体装置製造中の条件設定や解
析等に使用されることが多い。
を局所的に得るにはクリーンベンチが使用される。この
クリーンベンチの作業台上には光学ＷＪ微鏡や酸化膜厚
測定装置等が置かれ、半導体装置製造中の条件設定や解
析等に使用されることが多い。
従来、この種のクリーンベンチは特開昭６１２０５７４
１号公報等に記載されているように、フィルタ及び空気
吹き出し口が取り付けられた天井板と、作業機器をｅ、
置して作業を行う作業台とこの作業台と天井板の間に作
業空間を形成するよう配設された背面板、側面板、及び
開閉自在の前面板と、前記フィルタを通過するよう空気
を循環させる電動ファンと、前記後面板に装着された照
明器具とを備えて構成されている。
１号公報等に記載されているように、フィルタ及び空気
吹き出し口が取り付けられた天井板と、作業機器をｅ、
置して作業を行う作業台とこの作業台と天井板の間に作
業空間を形成するよう配設された背面板、側面板、及び
開閉自在の前面板と、前記フィルタを通過するよう空気
を循環させる電動ファンと、前記後面板に装着された照
明器具とを備えて構成されている。
（ハ）発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記の構成において照明装置には螢光灯
等が使用されており作業中の損傷を防止するために通常
、筒状のシェードが設けられる。
等が使用されており作業中の損傷を防止するために通常
、筒状のシェードが設けられる。
そのため、螢光灯の熱が放熱されずに該螢光灯周辺で熱
による空気の対流が起こり、作業空間内の気流を乱し塵
を滞留させるという問題があった。
による空気の対流が起こり、作業空間内の気流を乱し塵
を滞留させるという問題があった。
本発明は斯る点に鑑みなされたものであり、照明装置の
発熱を防ぎ、作業空間内の気流の乱れを防止して該空間
内に塵等が滞留することのない性能の良いクリーンベン
チを提供することを目的とする。
発熱を防ぎ、作業空間内の気流の乱れを防止して該空間
内に塵等が滞留することのない性能の良いクリーンベン
チを提供することを目的とする。
（ニ）課題を解決するための手段
本発明は、フィルタ及び空気吹き出し口が取り付けられ
た天井板と、作業機器を載置して作業を行う作業台と、
この作業台と天井板の間に作業空間を形成するよう配設
された背面板、側面板、及び開閉自在の前面板と、前記
フィルタを通過するよう空気を循環させる電動ファンと
、前記背面板に装着された照明器具とを備え、前記作業
空間を清浄に保つクリーンベンチにおいて、前記照明装
置を、上面に空気の入口孔を有する筒状のシェードで覆
うと共に、該シェード内に位置する背面板に空気の出口
孔を設け、電動ファンによって循環する空気を前記シェ
ード内に導くよう構成したものである。
た天井板と、作業機器を載置して作業を行う作業台と、
この作業台と天井板の間に作業空間を形成するよう配設
された背面板、側面板、及び開閉自在の前面板と、前記
フィルタを通過するよう空気を循環させる電動ファンと
、前記背面板に装着された照明器具とを備え、前記作業
空間を清浄に保つクリーンベンチにおいて、前記照明装
置を、上面に空気の入口孔を有する筒状のシェードで覆
うと共に、該シェード内に位置する背面板に空気の出口
孔を設け、電動ファンによって循環する空気を前記シェ
ード内に導くよう構成したものである。
（ホ）作用
本発明のクリーンベンチは上記の構成により、天井板の
空気吹き出し口から吹き出されて作業空間を流下する空
気を、シェードの入口孔を介して該シェード内に導くこ
とができ、照明装置の冷却を促進できると共に、ここで
加熱された空気を、出口孔から背面板の裏側に放出する
ことができ、照明装置周辺の空気の加熱を防止して作業
空間における空気流の乱れを抑制し、これによる塵等の
滞留や堆積を低減できるものである。しかも本構成によ
れば既成の循環空気流の一部をシェード内に導くという
簡単な構成で達成できる。
空気吹き出し口から吹き出されて作業空間を流下する空
気を、シェードの入口孔を介して該シェード内に導くこ
とができ、照明装置の冷却を促進できると共に、ここで
加熱された空気を、出口孔から背面板の裏側に放出する
ことができ、照明装置周辺の空気の加熱を防止して作業
空間における空気流の乱れを抑制し、これによる塵等の
滞留や堆積を低減できるものである。しかも本構成によ
れば既成の循環空気流の一部をシェード内に導くという
簡単な構成で達成できる。
（へ）実施例
以下、本発明の実施例を図面に基ずいて説明する。
ｌはクリーンベンチである。このクリーンベンチは、内
部にフィルタ２とこのフィルタに空気を送る電動式のシ
ロッコファン３を有し、且つ、その下面に空気の吹き出
し口４を形成した天井板５と、作業ｍ器をａ置して作業
を行うと共にその上面に空気の吸い込み口６を形成した
作業台７と、この作業台と天井板５の間に作業空間８を
形成するよう配設された背面板９、ガラス製の側面板１
０、及び同じくガラス製で開閉自在の前面板１１と、前
記背面板９に装着され、筒状のシェード１２．１２で被
覆された螢光灯１３，１３、及び［ｉ灯１４．１４とを
備えて構成されている。１５は、前記フェード１２の中
央上面に設けられた、複数の空気の入口孔、１６はシェ
ード１２内で螢光灯１３の両端に位置する背面板９に設
けられた空気の出口孔である。また、１７は前記背面板
９に形成されて前記損口孔１６と連通するダクトであり
、このダクト内は前記シロッコファン３の吸引力によっ
て負圧に保たれている。
部にフィルタ２とこのフィルタに空気を送る電動式のシ
ロッコファン３を有し、且つ、その下面に空気の吹き出
し口４を形成した天井板５と、作業ｍ器をａ置して作業
を行うと共にその上面に空気の吸い込み口６を形成した
作業台７と、この作業台と天井板５の間に作業空間８を
形成するよう配設された背面板９、ガラス製の側面板１
０、及び同じくガラス製で開閉自在の前面板１１と、前
記背面板９に装着され、筒状のシェード１２．１２で被
覆された螢光灯１３，１３、及び［ｉ灯１４．１４とを
備えて構成されている。１５は、前記フェード１２の中
央上面に設けられた、複数の空気の入口孔、１６はシェ
ード１２内で螢光灯１３の両端に位置する背面板９に設
けられた空気の出口孔である。また、１７は前記背面板
９に形成されて前記損口孔１６と連通するダクトであり
、このダクト内は前記シロッコファン３の吸引力によっ
て負圧に保たれている。
このように構成されたクリーンベンチにおいて運転を開
始すると、シロッコファン３が回りダクト１７側から空
気を吸い込むと共にフィルタ２で塵等を取り除いた後、
吹き出し口４を介して作業空間８に清浄された空気を放
出する。この後、作業台７の吸い込み口６がら空気を吸
い込みダクト１７を介してシロッコファン３に戻すこと
により該クリーンベンチ内で空気を循環させ、作業空間
８を清浄に保っている。ここで、天井板５の吹き出し口
４から作業空間８へ放出される空気のうち一部はフェー
ド１２の入口孔１５から該フェード内に流入し螢光灯１
３の冷却に充てられた後、背面板９の出口孔１６からダ
クト１７へ吸引放出され、該ダクト内を流れる空気と合
流する。尚、上記のように循環する空気流において、前
面板１１は通常、第１図の如く少し開いて使われるため
、前面板１１と作業台７の間の隙間１８からは新しい空
気が流入する。
始すると、シロッコファン３が回りダクト１７側から空
気を吸い込むと共にフィルタ２で塵等を取り除いた後、
吹き出し口４を介して作業空間８に清浄された空気を放
出する。この後、作業台７の吸い込み口６がら空気を吸
い込みダクト１７を介してシロッコファン３に戻すこと
により該クリーンベンチ内で空気を循環させ、作業空間
８を清浄に保っている。ここで、天井板５の吹き出し口
４から作業空間８へ放出される空気のうち一部はフェー
ド１２の入口孔１５から該フェード内に流入し螢光灯１
３の冷却に充てられた後、背面板９の出口孔１６からダ
クト１７へ吸引放出され、該ダクト内を流れる空気と合
流する。尚、上記のように循環する空気流において、前
面板１１は通常、第１図の如く少し開いて使われるため
、前面板１１と作業台７の間の隙間１８からは新しい空
気が流入する。
このように、天井板５の空気吹き出し口４から吹き出さ
れて作業空間８を流下する空気は、シェード１２の入口
孔１５を介して該シェード内に導かれるため、螢光灯１
３の冷却を促進できると共に、ここで加熱された空気を
、出口孔１６から背面板９の裏側ダクト１７に放出する
ことができ、発光灯１３周辺の空気の加熱を防止して作
業空間８における空気流の乱れを抑制し、これによる塵
等の滞留や堆積を低減できるものである。しかも本構成
によれば既成の循環空気流の一部をシェーＩＪ１２内に
導くという簡単な構成で上記の効果を達成できる。
れて作業空間８を流下する空気は、シェード１２の入口
孔１５を介して該シェード内に導かれるため、螢光灯１
３の冷却を促進できると共に、ここで加熱された空気を
、出口孔１６から背面板９の裏側ダクト１７に放出する
ことができ、発光灯１３周辺の空気の加熱を防止して作
業空間８における空気流の乱れを抑制し、これによる塵
等の滞留や堆積を低減できるものである。しかも本構成
によれば既成の循環空気流の一部をシェーＩＪ１２内に
導くという簡単な構成で上記の効果を達成できる。
尚、本実施例では空気流を負圧式としたクリーンベンチ
について説明したが、陽圧式のものでも良く、また、電
動ファンの位置や種類もこれに限定されるものではない
。
について説明したが、陽圧式のものでも良く、また、電
動ファンの位置や種類もこれに限定されるものではない
。
（ト）発明の効果
以上のように本発明によれば、既存の空気流を利用した
簡単な構成により、照明装置の発熱を防ぎ、作業空間内
の気流の乱れを防止して該空間内に塵等が滞留すること
のない性能の良いクリーンベンチを提供できる。
簡単な構成により、照明装置の発熱を防ぎ、作業空間内
の気流の乱れを防止して該空間内に塵等が滞留すること
のない性能の良いクリーンベンチを提供できる。
第１図は本発明の一実施例を示すクリーンベンチの斜視
図、第２図は正面から見た空気流を示す説明図、第３図
は側面から見た空気流を示す説明図である。 １・・・クリーンベンチ、２・・・フィルタ、３・・・
シロッコファン、４・・・吹き出し口、５・・・天井板
、７・・・作業台、８・・・作業空間、９・・・背面板
、１０・−・側面板、１１・・正面板、１２・・・シェ
ード、１３・・・発光灯、１５・・・人口孔、１６・・
出口孔。
図、第２図は正面から見た空気流を示す説明図、第３図
は側面から見た空気流を示す説明図である。 １・・・クリーンベンチ、２・・・フィルタ、３・・・
シロッコファン、４・・・吹き出し口、５・・・天井板
、７・・・作業台、８・・・作業空間、９・・・背面板
、１０・−・側面板、１１・・正面板、１２・・・シェ
ード、１３・・・発光灯、１５・・・人口孔、１６・・
出口孔。
Claims (1)
- １、フィルタ及び空気吹き出し口が取り付けられた天井
板と、作業機器を載置して作業を行う作業台と、この作
業台と天井板の間に作業空間を形成するよう配設された
後面板、側面板、及び開閉自在の前面板と、前記フィル
タを通過するよう空気を循環させる電動ファンと、前記
後面板に装着された照明器具とを備え、前記作業空間を
清浄に保つクリーンべンチにおいて、前記照明装置を、
上面に空気の入口孔を有する筒状のシェードで覆うと共
に、該シェード内に位置する背面板に空気の出口孔を設
け、電動ファンによって循環する空気を前記シェード内
に導くよう構成したことを特徴とするクリーンベンチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63243442A JP2698116B2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | クリーンベンチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63243442A JP2698116B2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | クリーンベンチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0290949A true JPH0290949A (ja) | 1990-03-30 |
| JP2698116B2 JP2698116B2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=17103939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63243442A Expired - Fee Related JP2698116B2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | クリーンベンチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2698116B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102658219A (zh) * | 2012-05-23 | 2012-09-12 | 哈尔滨工业大学 | 便携式简易超净工作台 |
| CN104209152A (zh) * | 2013-06-04 | 2014-12-17 | 中国人民解放军军事医学科学院生物工程研究所 | 多功能试验操作箱 |
| CN106824860A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-06-13 | 无锡市湖昌机械制造有限公司 | 具备简易加热保温功能的清洗箱 |
| CN107932440A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-04-20 | 无锡市军豪复合材料有限公司 | 一种海绵加工操作台 |
| CN109647798A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-04-19 | 山东劳动职业技术学院（山东劳动技师学院） | 一种教学用电器仪表清洁装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107008520B (zh) * | 2017-05-04 | 2019-07-19 | 华北理工大学 | 两用型超净工作台 |
| CN107020169B (zh) * | 2017-05-04 | 2019-04-02 | 华北理工大学 | 自动化超净工作台 |
-
1988
- 1988-09-27 JP JP63243442A patent/JP2698116B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102658219A (zh) * | 2012-05-23 | 2012-09-12 | 哈尔滨工业大学 | 便携式简易超净工作台 |
| CN104209152A (zh) * | 2013-06-04 | 2014-12-17 | 中国人民解放军军事医学科学院生物工程研究所 | 多功能试验操作箱 |
| CN106824860A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-06-13 | 无锡市湖昌机械制造有限公司 | 具备简易加热保温功能的清洗箱 |
| CN107932440A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-04-20 | 无锡市军豪复合材料有限公司 | 一种海绵加工操作台 |
| CN109647798A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-04-19 | 山东劳动职业技术学院（山东劳动技师学院） | 一种教学用电器仪表清洁装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2698116B2 (ja) | 1998-01-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |