JPH029323Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH029323Y2 JPH029323Y2 JP19228384U JP19228384U JPH029323Y2 JP H029323 Y2 JPH029323 Y2 JP H029323Y2 JP 19228384 U JP19228384 U JP 19228384U JP 19228384 U JP19228384 U JP 19228384U JP H029323 Y2 JPH029323 Y2 JP H029323Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- air shower
- room
- clean
- relief
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Specific Sealing Or Ventilating Devices For Doors And Windows (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
イ 考案の目的
産業上の利用分野
この考案は、クリーンルームのエアシヤワー装
置の改良に関するものである。
置の改良に関するものである。
従来の技術
クリーンルームの出入口には出入りする人に付
着するじんあいの持ち込みを防止するためのエア
シヤワー室が設けられている。エアシヤワーは清
浄な空気を人体に吹き付けることによつて、人体
や衣服に付着したじんあいを吹き飛ばしじんあい
を除去するためのものである。
着するじんあいの持ち込みを防止するためのエア
シヤワー室が設けられている。エアシヤワーは清
浄な空気を人体に吹き付けることによつて、人体
や衣服に付着したじんあいを吹き飛ばしじんあい
を除去するためのものである。
従来のエアシヤワー室の構造は、空気を送風機
によりエアシヤワー室と高性能フイルターとの間
を循環させているだけなので作業開始時または終
業時のように短時間に多数の人が通過するときに
は吹き付ける空気に臭気がいちじるしく集積し、
使用者の苦情が絶えなかつた。
によりエアシヤワー室と高性能フイルターとの間
を循環させているだけなので作業開始時または終
業時のように短時間に多数の人が通過するときに
は吹き付ける空気に臭気がいちじるしく集積し、
使用者の苦情が絶えなかつた。
またリリーフダンパーは、クリーンルームと室
外との隔壁に直接に設けられるのが一般的であ
り、室内外の設定圧力差保持のために排出される
清浄空気は、単に排出されるだけなのでエネルギ
ーの有効利用という点で問題があつた。そこで実
開昭59−168644号に開示されているようにクリー
ンルームから排出される清浄空気をダクトでエア
シヤワーに給気するものが開発されていた。
外との隔壁に直接に設けられるのが一般的であ
り、室内外の設定圧力差保持のために排出される
清浄空気は、単に排出されるだけなのでエネルギ
ーの有効利用という点で問題があつた。そこで実
開昭59−168644号に開示されているようにクリー
ンルームから排出される清浄空気をダクトでエア
シヤワーに給気するものが開発されていた。
考案が解決しようとする問題点
実開昭59−168644号のようにクリーンルームか
ら排出される清浄空気をダクトでエアシヤワー室
に給気するものは、エアシヤワー室内で清浄空気
を循環させて使用するためエアシヤワー室内の改
造に経費が嵩むという欠点があつた。
ら排出される清浄空気をダクトでエアシヤワー室
に給気するものは、エアシヤワー室内で清浄空気
を循環させて使用するためエアシヤワー室内の改
造に経費が嵩むという欠点があつた。
本考案は上記をかんがみ室内外の設定圧力差保
持のためにクリーンルームから単に排出されてい
た清浄空気をエアシヤワー室を通して排出するこ
とによりそのエネルギーを有効に利用するととも
にエアシヤワー室の改造にあまり経費の掛らない
簡単な構造のエアシヤワー装置を提供することを
目的とするものである。
持のためにクリーンルームから単に排出されてい
た清浄空気をエアシヤワー室を通して排出するこ
とによりそのエネルギーを有効に利用するととも
にエアシヤワー室の改造にあまり経費の掛らない
簡単な構造のエアシヤワー装置を提供することを
目的とするものである。
ロ 考案の構成
問題点を解決するための手段
本考案は、クリーンルームに隣接するエアシヤ
ワー室において、エアシヤワー室に出入りする扉
の上方および下方に、圧力の高い方から低い方に
開くようにリリーフダンパーを取付けたことを特
徴とするリリーフダンパーと一体化したエアシヤ
ワー装置である。
ワー室において、エアシヤワー室に出入りする扉
の上方および下方に、圧力の高い方から低い方に
開くようにリリーフダンパーを取付けたことを特
徴とするリリーフダンパーと一体化したエアシヤ
ワー装置である。
作用
クリーンルームとエアシヤワー室、またエアシ
ヤワー室と室外（汚染区域）の２個所の各出入口
の扉の上下にリリーフダンパーを付け、かつ該リ
リーフダンパーの開き勝手をそれぞれ圧力の高い
方から低い方に開くように取付けることによりエ
アシヤワー室内のじんあいおよび臭気を効率よく
除去したうえ排気でき、扉の開放による圧力差の
低下があつてもリリーフダンパーの開き勝手によ
り気流の通路が閉鎖されるので気流の逆流が起る
心配はない。
ヤワー室と室外（汚染区域）の２個所の各出入口
の扉の上下にリリーフダンパーを付け、かつ該リ
リーフダンパーの開き勝手をそれぞれ圧力の高い
方から低い方に開くように取付けることによりエ
アシヤワー室内のじんあいおよび臭気を効率よく
除去したうえ排気でき、扉の開放による圧力差の
低下があつてもリリーフダンパーの開き勝手によ
り気流の通路が閉鎖されるので気流の逆流が起る
心配はない。
実施例
以下にこの考案の好適な実施例について添付図
面を参照にして詳細に説明する。
面を参照にして詳細に説明する。
１はエアシヤワー装置全体を表し、クリーンル
ーム４とエアシヤワー室５の間に扉３を設け、か
つ該扉３の上下にリリーフダンパー２，２を取付
け、圧力差の高いクリーンルーム４の方からエア
シヤワー室５内に清浄空気が入るような開き勝手
となつており、逆にエアシヤワー室５からクリー
ンルーム４の方へは気流が流れ込まない構造とな
つている。
ーム４とエアシヤワー室５の間に扉３を設け、か
つ該扉３の上下にリリーフダンパー２，２を取付
け、圧力差の高いクリーンルーム４の方からエア
シヤワー室５内に清浄空気が入るような開き勝手
となつており、逆にエアシヤワー室５からクリー
ンルーム４の方へは気流が流れ込まない構造とな
つている。
またエアシヤワー室５と室外６即ち汚染区域側
との境にも扉３′が設けられていて、前記したク
リーンルーム４とエアシヤワー室５との境の扉３
同様、上下に圧力差の高い方から低い方へと空気
が流れるようにリリーフダンパー２′，２′を取付
けてあり、室外６からエアシヤワー室５に入つた
作業員は、クリーンルーム４側の扉３の上下に設
けられたリリーフダンパー２，２より出てくる清
浄空気により付着しているじんあいや臭気等が除
去され、汚染された空気は室外６側の扉３′の上
下に設けられたリリーフダンパー２′，２′から室
外６に排気され、エアシヤワー室５は常に清浄空
気で満たされた状態になつているものである。こ
のように既存の扉３，３′の上下にリリーフダン
パー２，２′を取付けるだけで、今までただ排気
されていた清浄空気を有効に利用でき、簡単な改
造で効率のよいエアシヤワー装置１が得られるも
のである。
との境にも扉３′が設けられていて、前記したク
リーンルーム４とエアシヤワー室５との境の扉３
同様、上下に圧力差の高い方から低い方へと空気
が流れるようにリリーフダンパー２′，２′を取付
けてあり、室外６からエアシヤワー室５に入つた
作業員は、クリーンルーム４側の扉３の上下に設
けられたリリーフダンパー２，２より出てくる清
浄空気により付着しているじんあいや臭気等が除
去され、汚染された空気は室外６側の扉３′の上
下に設けられたリリーフダンパー２′，２′から室
外６に排気され、エアシヤワー室５は常に清浄空
気で満たされた状態になつているものである。こ
のように既存の扉３，３′の上下にリリーフダン
パー２，２′を取付けるだけで、今までただ排気
されていた清浄空気を有効に利用でき、簡単な改
造で効率のよいエアシヤワー装置１が得られるも
のである。
ハ 考案の効果
今まではただ単に排気していたクリーンルーム
内の清浄空気を、扉に付けたリリーフダンパーを
通しエアシヤワー室に取入れ、エアシヤワー装置
としたのでエネルギーの有効利用が計れるととも
にエアシヤワー装置として構造が簡単なためコス
トダウンにつながるものである。
内の清浄空気を、扉に付けたリリーフダンパーを
通しエアシヤワー室に取入れ、エアシヤワー装置
としたのでエネルギーの有効利用が計れるととも
にエアシヤワー装置として構造が簡単なためコス
トダウンにつながるものである。
また出入口の扉の上下にリリーフダンパーを取
付けることにより入つてくる清浄空気が装置全体
に行きわたるためじんあいおよび臭気を効率よく
除去でき、じんあいおよび臭気を除去した汚染空
気も室外側に付けた上下のリリーフダンパーによ
り効率よく排気できる。
付けることにより入つてくる清浄空気が装置全体
に行きわたるためじんあいおよび臭気を効率よく
除去でき、じんあいおよび臭気を除去した汚染空
気も室外側に付けた上下のリリーフダンパーによ
り効率よく排気できる。
またリリーフダンパーの開き勝手を圧力の高い
方から低い方だけに開くようにしてあるので扉の
開放により圧力差の低下があつてもリリーフダン
パーにより気流の通路が閉鎖されるので逆流する
ことがなく、簡単な改造なので費用も掛らず効率
のよいエアシヤワー装置が得られるものである。
方から低い方だけに開くようにしてあるので扉の
開放により圧力差の低下があつてもリリーフダン
パーにより気流の通路が閉鎖されるので逆流する
ことがなく、簡単な改造なので費用も掛らず効率
のよいエアシヤワー装置が得られるものである。
図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図
はエアシヤワー室を示した断面図で、第２図が正
面図である。 １……エアシヤワー装置、２，２′……リリー
フダンパー、３，３′……扉、４……クリーンル
ーム、５……エアシヤワー室、６……室外、図中
矢印は風の流れを示したものである。
はエアシヤワー室を示した断面図で、第２図が正
面図である。 １……エアシヤワー装置、２，２′……リリー
フダンパー、３，３′……扉、４……クリーンル
ーム、５……エアシヤワー室、６……室外、図中
矢印は風の流れを示したものである。
Claims (1)
- クリーンルーム４に隣接するエアシヤワー室５
において、エアシヤワー室５に出入りする扉３，
３′の上方および下方に、圧力の高い方から低い
方に開くようにリリーフダンパー２，２′を取付
けたことを特徴とするリリーフダンパーと一体化
したエアシヤワー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19228384U JPH029323Y2 (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19228384U JPH029323Y2 (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61106848U JPS61106848U (ja) | 1986-07-07 |
| JPH029323Y2 true JPH029323Y2 (ja) | 1990-03-07 |
Family
ID=30749706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19228384U Expired JPH029323Y2 (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH029323Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021167703A (ja) * | 2020-04-13 | 2021-10-21 | 大志工業株式会社 | 異物除去装置 |
-
1984
- 1984-12-20 JP JP19228384U patent/JPH029323Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61106848U (ja) | 1986-07-07 |
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