JPH029427U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH029427U JPH029427U JP8766488U JP8766488U JPH029427U JP H029427 U JPH029427 U JP H029427U JP 8766488 U JP8766488 U JP 8766488U JP 8766488 U JP8766488 U JP 8766488U JP H029427 U JPH029427 U JP H029427U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- end point
- etching
- chamber
- dry etching
- differential amplifier
- Prior art date
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- Pending
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 3
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図はこの発明の一実施例のドライエツチン
グの終点検出装置の概略構成図である。第２図ａ
，ｂはそれぞれ第１図の装置における増幅器の検
出出力の強度特性図である。第３図は第１図の装
置における差動増幅器における検出出力の強度特
性図である。第４図は従来のドライエツチングの
終点検出装置の概略構成図である。第５図は従来
装置における検出出力の強度特性図である。 １１……チヤンバ、１７ａ，１７ｂ……光検出
器、１９……差動増幅器。
グの終点検出装置の概略構成図である。第２図ａ
，ｂはそれぞれ第１図の装置における増幅器の検
出出力の強度特性図である。第３図は第１図の装
置における差動増幅器における検出出力の強度特
性図である。第４図は従来のドライエツチングの
終点検出装置の概略構成図である。第５図は従来
装置における検出出力の強度特性図である。 １１……チヤンバ、１７ａ，１７ｂ……光検出
器、１９……差動増幅器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ドライエツチング用チヤンバ内のプラズマから
放出される特定の発光スペクトルをチヤンバ外に
設けた光検出器にて検出し、発光スペクトルの強
度変化からエツチング終点の検出を行うドライエ
ツチングの終点検出装置において、 チヤンバ外に２個の光検出器を設け、これら両
光検出器の検出出力を差動増幅器に入力し、この
差動増幅器の出力でエツチングの終点の検出を行
うようにしたことを特徴とするドライエツチング
の終点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8766488U JPH029427U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8766488U JPH029427U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH029427U true JPH029427U (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=31312265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8766488U Pending JPH029427U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH029427U (ja) |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP8766488U patent/JPH029427U/ja active Pending