JPH0295202A - 干渉計 - Google Patents
干渉計Info
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- JPH0295202A JPH0295202A JP63248485A JP24848588A JPH0295202A JP H0295202 A JPH0295202 A JP H0295202A JP 63248485 A JP63248485 A JP 63248485A JP 24848588 A JP24848588 A JP 24848588A JP H0295202 A JPH0295202 A JP H0295202A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明はレーザ等を用いた干渉計に関するものである
。
。
［従来の技術］
第７図に、角度変化を測定する従来のレーザ干渉計を示
す。このレーザ干渉計は、レーザユニット２、ビームス
ブリットユニット４、コーナーキューブユニット６から
構成されており、レーザユニット２の出力は、演算ユニ
ット８に与えられる。
す。このレーザ干渉計は、レーザユニット２、ビームス
ブリットユニット４、コーナーキューブユニット６から
構成されており、レーザユニット２の出力は、演算ユニ
ット８に与えられる。
その原理を第８図に示す。この干渉計は、コーナーキュ
ーブユニット６の置かれている紙面に垂直な面とビーム
スブリットユニット４の置かれている紙面に垂直な面と
の間の傾きを、測定するものである。レーザ１２は、コ
ントローラｌＯによって制御され、垂直偏光のレーザ光
と平行偏光のレーザ光とを出力する。両レーザ光は、ビ
ームスブリットユニット４の光分割器であるビームスプ
リッタ−２０によって、２方向に分割される。すなわち
、一部は反射され、残りは透過される。
ーブユニット６の置かれている紙面に垂直な面とビーム
スブリットユニット４の置かれている紙面に垂直な面と
の間の傾きを、測定するものである。レーザ１２は、コ
ントローラｌＯによって制御され、垂直偏光のレーザ光
と平行偏光のレーザ光とを出力する。両レーザ光は、ビ
ームスブリットユニット４の光分割器であるビームスプ
リッタ−２０によって、２方向に分割される。すなわち
、一部は反射され、残りは透過される。
透過した光は、コーナーキューブユニット６のキューブ
コーナープリズム２４において、入射光と平行に反射し
、再びビームスプリッタ−２０に戻ってくる。このレー
ザ光の光路を第１の光路に１とする。
コーナープリズム２４において、入射光と平行に反射し
、再びビームスプリッタ−２０に戻ってくる。このレー
ザ光の光路を第１の光路に１とする。
一方、レーザ１２を出て、ビームスプリッタ−２０で反
射した光は、方向規制用の反射器１８において反射され
、コーナーキューブユニット６のキューブコーナープリ
ズム２２に入射され、反射される。
射した光は、方向規制用の反射器１８において反射され
、コーナーキューブユニット６のキューブコーナープリ
ズム２２に入射され、反射される。
キューブコーナープリズム２２で反射された光は、再び
、反射器１８において反射されてビームスプリッタ−２
０に向う。このレーザ光の光路を第２の光路に２とする
。
、反射器１８において反射されてビームスプリッタ−２
０に向う。このレーザ光の光路を第２の光路に２とする
。
光路に、と光路に２は、ビームスプリッタ−２０によっ
て爪ね合わされ、光出力Ａ、 、Ａ、となる。
て爪ね合わされ、光出力Ａ、 、Ａ、となる。
測定の際には、コーナーキューブユニット６を移動させ
て行う。第５図に示すように、ユニット６を移動し、角
度がα、からα２へと変化したとすると、光路に、と光
路に２の長さの差も変化する。したがって、光出力Ａ、
、Ａ、の干渉縞の変化を観測することにより、プリズム
間の距離２に基づき、角度α、と角度α２の差を求める
ことができる。
て行う。第５図に示すように、ユニット６を移動し、角
度がα、からα２へと変化したとすると、光路に、と光
路に２の長さの差も変化する。したがって、光出力Ａ、
、Ａ、の干渉縞の変化を観測することにより、プリズム
間の距離２に基づき、角度α、と角度α２の差を求める
ことができる。
なお、角度αが大きくなっているのが、小さくなってい
るのかを検出できるように、λ／８の波長板３０が設け
られている。この波長板３ｏは、水平偏光成分の位相を
λ／８だけ遅らせるものである。
るのかを検出できるように、λ／８の波長板３０が設け
られている。この波長板３ｏは、水平偏光成分の位相を
λ／８だけ遅らせるものである。
したがって、この波長板３０を２回通過する光路に２の
光は、水平偏光成分が垂直偏光成分に比べ、λ／４遅れ
ることになる。
光は、水平偏光成分が垂直偏光成分に比べ、λ／４遅れ
ることになる。
光出力Ａ、、Ａ２は、偏光ビームスプリッタ−３２によ
って、垂直成分と水平成分に分けられ、検出器１４．１
６により、それぞれの干渉縞が観測される。
って、垂直成分と水平成分に分けられ、検出器１４．１
６により、それぞれの干渉縞が観測される。
検出器１４．１６からの出力は、演算回路８によって演
算される。前述のように、第２の光路に２を通った光の
水平偏光成分は、垂直偏光成分よりλ／４遅らされてい
るので、角度変化の大きさだけでなく、変化の方向（符
号）も算出される。
算される。前述のように、第２の光路に２を通った光の
水平偏光成分は、垂直偏光成分よりλ／４遅らされてい
るので、角度変化の大きさだけでなく、変化の方向（符
号）も算出される。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記のような従来の干渉計では、コーナ
ーキューブユニット６の角度の変化は高精度で測定でき
るが、コーナーキューブユニット６の移動量は測定でき
ない。すなわち、従来では、コーナーキューブユニット
６の移動量は、基準定規等によって別途測定しなければ
ならず、手間がかかるばかりでなく、測定精度も十分で
はなかった。
ーキューブユニット６の角度の変化は高精度で測定でき
るが、コーナーキューブユニット６の移動量は測定でき
ない。すなわち、従来では、コーナーキューブユニット
６の移動量は、基準定規等によって別途測定しなければ
ならず、手間がかかるばかりでなく、測定精度も十分で
はなかった。
この発明は、上記の問題点を解決して、コーナーキュー
ブユニット６の角度の変イビのみならず、移動量をも同
時に測定できる干渉計を提供することを目的とする。
ブユニット６の角度の変イビのみならず、移動量をも同
時に測定できる干渉計を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
請求項１に係る干渉計は、
方向規制用反射器のかわりに、第２の光分割器を設けて
、第２の反射鏡からの反射レーザ光を２つに分割し、一
方を透過させ、 光源と第１の光分割器との間に、光源からのレーザ光を
２つに分割し、一方を透過し、残りを反射する第３の光
分割器を設け、 第２の光分割器を透過した第２の反射鏡からの反射レー
ザ光の光路と、第３の光分割器によって２つに分割され
た光源からのレーザ光のうち一方の光路との交点に第４
の光分割器を設け、第２の光出力を得るようにしたこと
を特徴としている。
、第２の反射鏡からの反射レーザ光を２つに分割し、一
方を透過させ、 光源と第１の光分割器との間に、光源からのレーザ光を
２つに分割し、一方を透過し、残りを反射する第３の光
分割器を設け、 第２の光分割器を透過した第２の反射鏡からの反射レー
ザ光の光路と、第３の光分割器によって２つに分割され
た光源からのレーザ光のうち一方の光路との交点に第４
の光分割器を設け、第２の光出力を得るようにしたこと
を特徴としている。
請求項２に係る干渉計は、
方向規制用反射器の一部分を第２の光分割器として、第
２の反射鏡からの反射レーザ光を２つに分割し、一方を
透過させ、 光源と第１の光分割器との間に、光源からのレーザ光を
２つに分割し、一方を透過し、残りを反射する第３の光
分割器を設け、 第２の光分割器を透過した第２の反射鏡からの反射レー
ザ光の光路と、第３の光分割器によって２つに分割され
た光源からのレーザ光のうち一方の光路との交点に第４
の光分割器を設け、第２の光出力を得るようにしたこと
を特徴としている。
２の反射鏡からの反射レーザ光を２つに分割し、一方を
透過させ、 光源と第１の光分割器との間に、光源からのレーザ光を
２つに分割し、一方を透過し、残りを反射する第３の光
分割器を設け、 第２の光分割器を透過した第２の反射鏡からの反射レー
ザ光の光路と、第３の光分割器によって２つに分割され
た光源からのレーザ光のうち一方の光路との交点に第４
の光分割器を設け、第２の光出力を得るようにしたこと
を特徴としている。
請求項３に係る干渉計は、請求項１．２のものにおいて
、 光源は互に偏光面の異なる第１・第２のレーザ光を出力
するようにし、 第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つのレーザ
光であって、第２の反射鏡もしくは第３の光分割器のい
ずれか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせるよう
にしたことを特徴としている。
、 光源は互に偏光面の異なる第１・第２のレーザ光を出力
するようにし、 第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つのレーザ
光であって、第２の反射鏡もしくは第３の光分割器のい
ずれか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせるよう
にしたことを特徴としている。
請求項４に係る干渉計は、
方向規制用反射器の代りに、第２の光分割器を設けて、
第１の光分割器からのレーザ光のほぼ半分を透過すると
ともに、第２の光反射鏡からの反射レーザ光のほぼ半分
を透過させ、 第１の光分割器からのレーザ光のうち第２の光分割器を
透過したレーザ光を反射して、第２の反射鏡からの反射
レーザ光のうち第２の光分割器を透過したレーザ光の光
路と交差させて交点を形成する参照光反射器を設け、 前記交点に結合用光分割器を設け、第２の光出力を得る
ようにしたことを特徴としている。
第１の光分割器からのレーザ光のほぼ半分を透過すると
ともに、第２の光反射鏡からの反射レーザ光のほぼ半分
を透過させ、 第１の光分割器からのレーザ光のうち第２の光分割器を
透過したレーザ光を反射して、第２の反射鏡からの反射
レーザ光のうち第２の光分割器を透過したレーザ光の光
路と交差させて交点を形成する参照光反射器を設け、 前記交点に結合用光分割器を設け、第２の光出力を得る
ようにしたことを特徴としている。
請求項５に係る干渉計は、請求項４のものにおいて、
光源は互に偏光面の異なる第１・第２のレーザ光を出力
するようにし、 第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つのレーザ
光であって、第２の反射鏡もしくは参照光反射器のいず
れか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせるように
したことを特徴としている。
するようにし、 第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つのレーザ
光であって、第２の反射鏡もしくは参照光反射器のいず
れか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせるように
したことを特徴としている。
請求項６に係る干渉計は、
レーザ光の代わりに、干渉を計測することが可能なレー
ザ光以外の放射光を用いることを特徴としている。
ザ光以外の放射光を用いることを特徴としている。
請求項７に係る干渉計は、
レーザ光を発生する光源、
光源からのレーザ光を第１・第２の光路に分割する分割
手段、 第１・第２の光路上に配置され、第１・第２の光路のレ
ーザ光を反射する光反射手段、光反射手段からの反射光
を結合し、第１の光出力をつくる結合手段、 を備え、分割手段と光反射手段とが相対的に移動する場
合、第１の光路長に対する第２の光路長の変化を検出す
るようにした干渉計において、光源からのレーザ光の一
部と、光反射手段からの第１もしくは第２の光路のレー
ザ光とを結合して第２の光出力を得て、分割手段と光反
射手段との相対的な移動距離もあわせて測定できるよう
にしたことを特徴としている。
手段、 第１・第２の光路上に配置され、第１・第２の光路のレ
ーザ光を反射する光反射手段、光反射手段からの反射光
を結合し、第１の光出力をつくる結合手段、 を備え、分割手段と光反射手段とが相対的に移動する場
合、第１の光路長に対する第２の光路長の変化を検出す
るようにした干渉計において、光源からのレーザ光の一
部と、光反射手段からの第１もしくは第２の光路のレー
ザ光とを結合して第２の光出力を得て、分割手段と光反
射手段との相対的な移動距離もあわせて測定できるよう
にしたことを特徴としている。
［作用］
請求項１．２．４．７において、第２の光出力は、第１
・第２の反射鏡の位置にかかわらず一定の光路を経たレ
ーザ光と、第２の反射鏡の位置によって長さの変る光路
を経てきたレーザ光との合成されたものとなる。したが
って、第２の光出力に基づき、第１の光分割器または分
割手段と第２の反射鏡との相対的な移動距離を演算する
ことができる。
・第２の反射鏡の位置にかかわらず一定の光路を経たレ
ーザ光と、第２の反射鏡の位置によって長さの変る光路
を経てきたレーザ光との合成されたものとなる。したが
って、第２の光出力に基づき、第１の光分割器または分
割手段と第２の反射鏡との相対的な移動距離を演算する
ことができる。
さらに、第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つ
のレーザ光であって、第２の反射鏡もしくは第３の光分
割器のいずれか一方からの反射レーザ光の位相を異なら
せるようにすれば、移動の方向も合わせて演算すること
ができる。
のレーザ光であって、第２の反射鏡もしくは第３の光分
割器のいずれか一方からの反射レーザ光の位相を異なら
せるようにすれば、移動の方向も合わせて演算すること
ができる。
また、第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つの
レーザ光であって、第２の反射鏡もしくは参照光反射器
のいずれか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせる
ようにしても、移動の方向も合わせて演算することがで
きる。
レーザ光であって、第２の反射鏡もしくは参照光反射器
のいずれか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせる
ようにしても、移動の方向も合わせて演算することがで
きる。
なお、レーザ光以外の放射光であっても、干渉が計測で
きるものであれば、レーザ光と同様の作用を発揮する。
きるものであれば、レーザ光と同様の作用を発揮する。
［実施例］
第１図に、この発明の一実施例による干渉計を示す。こ
の実施例においては、方向規制用の反射器１８に代えて
、第２の光分割器であるビームスプリッタ−４０を設け
ている。また、ビームスプリッタ−４０と第２の反射鏡
であるキューブコーナープリズム２２との間に、λ／８
の波長板４８が設けられている。この波長板４８は、こ
れを通過する光のうち、水平偏光成分の位相をλ／８遅
らせるものである。さらに、レーザ１２と第１の光分割
器であるビームスプリッタ−２０との間に、第３の光分
割器であるビームスプリッタ−４２が設けられている。
の実施例においては、方向規制用の反射器１８に代えて
、第２の光分割器であるビームスプリッタ−４０を設け
ている。また、ビームスプリッタ−４０と第２の反射鏡
であるキューブコーナープリズム２２との間に、λ／８
の波長板４８が設けられている。この波長板４８は、こ
れを通過する光のうち、水平偏光成分の位相をλ／８遅
らせるものである。さらに、レーザ１２と第１の光分割
器であるビームスプリッタ−２０との間に、第３の光分
割器であるビームスプリッタ−４２が設けられている。
ビームスプリッタ−４２によって反射した光と、キュー
ブコーナープリズム２２で反射して、ビームスプリッタ
−４０を透過した光との交点に、第４の光分割器である
ビームスプリッタ−４４が設けられている。
ブコーナープリズム２２で反射して、ビームスプリッタ
−４０を透過した光との交点に、第４の光分割器である
ビームスプリッタ−４４が設けられている。
このような構成によれば、第１の光出力Ａ、、Ａ２は従
来と同様のものが得られ、コーナーキューブユニット６
の角度変化を算出することができる。
来と同様のものが得られ、コーナーキューブユニット６
の角度変化を算出することができる。
さらに、ビームスプリッタ−４２，４４で反射された光
Ａ３と、キューブコーナープリズム２２で反射されてビ
ームスプリッタ−４０を透過した光Ａ２とにより、第２
の光出力Ａ２．Ａ３が得られる。光Ａ３の光路長は、キ
ューブコーナープリズム２２の位置に拘らず一定である
から、第２の光出力Ａ、、Ａｓに基づいて、ビームスブ
リットユニット４０に対する、コーナーキューブユニッ
ト６の移動距離を演算することができる。また、波長板
４８により、光Ａ２の水平成分の位相がλ／４（すなわ
ち、９０°）遅らされる。これにより、キューブコーナ
ープリズム２２の移動方向も知ることができる。
Ａ３と、キューブコーナープリズム２２で反射されてビ
ームスプリッタ−４０を透過した光Ａ２とにより、第２
の光出力Ａ２．Ａ３が得られる。光Ａ３の光路長は、キ
ューブコーナープリズム２２の位置に拘らず一定である
から、第２の光出力Ａ、、Ａｓに基づいて、ビームスブ
リットユニット４０に対する、コーナーキューブユニッ
ト６の移動距離を演算することができる。また、波長板
４８により、光Ａ２の水平成分の位相がλ／４（すなわ
ち、９０°）遅らされる。これにより、キューブコーナ
ープリズム２２の移動方向も知ることができる。
レーザユニット２に受光された第２の光出力は、偏光ビ
ームスプリッタ−４６によって、水平成分と垂直成分と
に分けられる。垂直成分の光は、検出器３６において、
干渉縞が観測され、それに対応した出力が出される。こ
の出力は、演算回路８に、人力８Ｃとして与えられる。
ームスプリッタ−４６によって、水平成分と垂直成分と
に分けられる。垂直成分の光は、検出器３６において、
干渉縞が観測され、それに対応した出力が出される。こ
の出力は、演算回路８に、人力８Ｃとして与えられる。
なお、検出器３６としては、フォトダイオード等の光電
変換素子を用いるとよい。
変換素子を用いるとよい。
同様に、水平成分の光に基づく出力は、検出器３８から
演算回路８へ、入力８ｄとして与えられる。
演算回路８へ、入力８ｄとして与えられる。
演算回路８を、第２図にブロックで示す。方向判別・パ
ルス化回路８０は、垂直成分人力８ｃと水平成分人力８
ｄをパルス化し、両者の位相差に基づき、コーナーキュ
ーブユニット６の移動方向を判別する。コーナーキュー
ブユニット６か遠ざかる方向にあれば、入力したパルス
をＵＰ出ノ］ ８０ａから田七、近付く方向にあれば、
ＤＯＷＮ出力８０ｂから出す。両パルスの数は、それぞ
れカウンタ８２，８４においてカウントされる。カウン
ト結果は、減算器８６において減算され、乗算器９０に
おいて分解能が掛は合わされて、距離が演算される。演
算された距離は、表示器９２により表示される。
ルス化回路８０は、垂直成分人力８ｃと水平成分人力８
ｄをパルス化し、両者の位相差に基づき、コーナーキュ
ーブユニット６の移動方向を判別する。コーナーキュー
ブユニット６か遠ざかる方向にあれば、入力したパルス
をＵＰ出ノ］ ８０ａから田七、近付く方向にあれば、
ＤＯＷＮ出力８０ｂから出す。両パルスの数は、それぞ
れカウンタ８２，８４においてカウントされる。カウン
ト結果は、減算器８６において減算され、乗算器９０に
おいて分解能が掛は合わされて、距離が演算される。演
算された距離は、表示器９２により表示される。
なお、第１の光出力Ａ、 、Ａ、に対しても同様の演算
がなされ、光路に１に対する光路に２の長さの変化が求
められる。この長さの変化とプリズム２２．２４間の距
離夕に基づき、角度の変化（α１−α２）が算出される
。
がなされ、光路に１に対する光路に２の長さの変化が求
められる。この長さの変化とプリズム２２．２４間の距
離夕に基づき、角度の変化（α１−α２）が算出される
。
上記のようにして、コーナーキューブユニット６の角度
変化だけでなく、コーナーキューブユニット６のビーム
スブリットユニット４に対する移動距離も得ることがで
きる。
変化だけでなく、コーナーキューブユニット６のビーム
スブリットユニット４に対する移動距離も得ることがで
きる。
第３図に、他の実施例による干渉計を示す。この実施例
においては、波長板５２を、光路に２の復路にのみ設け
ている。この場合には、λ／４の波長板を用いることで
、第１図の場合と同様の位相差を得ることができる。
においては、波長板５２を、光路に２の復路にのみ設け
ている。この場合には、λ／４の波長板を用いることで
、第１図の場合と同様の位相差を得ることができる。
また、この実施例においては、ビームスプリッタ−２０
からの光を受ける部分は方向規制用の反射鏡５０とし、
プリズム２２からの光を受ける部分を第２の光分割器と
してのビームスプリッタ−４０としている。したがって
、ビームスプリッタ−２０から反射鏡５０へ向う光は、
すべて反射され、プリズム２２に入射する。すなわち、
第１図の実施例におけるような、光Ａ４のロスがなく、
光のエネルギーを有効に活用できる。
からの光を受ける部分は方向規制用の反射鏡５０とし、
プリズム２２からの光を受ける部分を第２の光分割器と
してのビームスプリッタ−４０としている。したがって
、ビームスプリッタ−２０から反射鏡５０へ向う光は、
すべて反射され、プリズム２２に入射する。すなわち、
第１図の実施例におけるような、光Ａ４のロスがなく、
光のエネルギーを有効に活用できる。
また、第４図に示す実施例のように、反射鏡５０とビー
ムスプリッタ−４０の位置を入れ替えてもよい。さらに
この実施例では、反射鏡５０・ビームスプリッタ−４０
とビームスプリッタ−２０との間に、λ／８波長板３０
を設け、ビームスプリッタ−４０とビームスプリッタ−
４４との間に、λ／８波長板５４を設けている。
ムスプリッタ−４０の位置を入れ替えてもよい。さらに
この実施例では、反射鏡５０・ビームスプリッタ−４０
とビームスプリッタ−２０との間に、λ／８波長板３０
を設け、ビームスプリッタ−４０とビームスプリッタ−
４４との間に、λ／８波長板５４を設けている。
なお、上記実施例では、水平偏光成分の位相を遅らせて
いるが、垂直偏光成分の位相を遅らせるようにしてもよ
い。位相を遅らせる手段としては、波長板の他、ソレイ
ユ補正器等を用いてもよい。
いるが、垂直偏光成分の位相を遅らせるようにしてもよ
い。位相を遅らせる手段としては、波長板の他、ソレイ
ユ補正器等を用いてもよい。
または、フロムネル位相差板等で用いられる全反射によ
る手段でもよい。また、λ／４以外の位相差を設けるよ
うにしてもよい。
る手段でもよい。また、λ／４以外の位相差を設けるよ
うにしてもよい。
第５図に、参照光反射器と結合用光分割器を用いた場合
の実施例を示す。ビームスプリッタ−４０は、第２の光
分割器として作用するものである。
の実施例を示す。ビームスプリッタ−４０は、第２の光
分割器として作用するものである。
レーザ光源１２より出てビームスプリッタ−２０におい
て反射した光のうち、はぼ半分はこのビームスプリッタ
−４０を透過する。透過したレーザ光は、参照光反射器
であるキューブコーナプリズム６２によって反射される
。この反射光は、第２のキューブコーナープリズム２２
からのレーザ光であって、ビームスプリッタ−４０を透
過した光の光路と交差する。この交点に、結合用光分割
器であるビームスプリッタ−６０が設けられており、２
つのレーザ光が結合され、第２の光出力Ａ、ＡＳが得ら
れる。
て反射した光のうち、はぼ半分はこのビームスプリッタ
−４０を透過する。透過したレーザ光は、参照光反射器
であるキューブコーナプリズム６２によって反射される
。この反射光は、第２のキューブコーナープリズム２２
からのレーザ光であって、ビームスプリッタ−４０を透
過した光の光路と交差する。この交点に、結合用光分割
器であるビームスプリッタ−６０が設けられており、２
つのレーザ光が結合され、第２の光出力Ａ、ＡＳが得ら
れる。
このような構成によれば、第１図、第３図、第４図のも
のがビームスプリッタ−４２，４４を共に調整する必要
があるのに比べ、ビームスプリッタ−６０のみの調整で
よく、容易に調整できる。
のがビームスプリッタ−４２，４４を共に調整する必要
があるのに比べ、ビームスプリッタ−６０のみの調整で
よく、容易に調整できる。
また、第６図のように配置しても、第５図と同様の効果
を得ることができる。
を得ることができる。
なお、干渉を観測可能なものであれば、レーザ光以外の
放射光も用いることができる。
放射光も用いることができる。
さらに、上記各実施例では、コーナーキューブユニット
６を移動して測定を行う場合について説明したが、ビー
ムスブリットユニット４を移動して測定を行ってもよい
。
６を移動して測定を行う場合について説明したが、ビー
ムスブリットユニット４を移動して測定を行ってもよい
。
なお、上記の実施例ではキューブコーナプリズムを用い
たが、他の実施例としてルーフミラーやコーナーレフレ
クタ−を用いてもよい。
たが、他の実施例としてルーフミラーやコーナーレフレ
クタ−を用いてもよい。
［発明の効果］
請求項１に係る干渉計は、
方向規制用反射器のかわりに、第２の光分割器を設けて
、第２の反射鏡からの反射レーザ光を２つに分割し、一
方を透過させ、 光源と第１の光分割器との間に、光源からのレーザ光を
２つに分割し、一方を透過し、残りを反射する第３の光
分割器を設け、 第２の光分割器を透過した第２の反射鏡からの反射レー
ザ光の光路と、第３の光分割器によって２つに分割され
た光源からのレーザ光のうち一方の光路との交点に第４
の光分割器を設け、第２の光出力を得るようにしたこと
を特徴としている。
、第２の反射鏡からの反射レーザ光を２つに分割し、一
方を透過させ、 光源と第１の光分割器との間に、光源からのレーザ光を
２つに分割し、一方を透過し、残りを反射する第３の光
分割器を設け、 第２の光分割器を透過した第２の反射鏡からの反射レー
ザ光の光路と、第３の光分割器によって２つに分割され
た光源からのレーザ光のうち一方の光路との交点に第４
の光分割器を設け、第２の光出力を得るようにしたこと
を特徴としている。
したがって、第２の光出力に基づき、２つの反射鏡の傾
きのみならず、移動距離（および移動速度）も同時にか
つ高精度で測定可能であり、計測の自動化を行うことが
可能となる。
きのみならず、移動距離（および移動速度）も同時にか
つ高精度で測定可能であり、計測の自動化を行うことが
可能となる。
請求項２に係る干渉計は、
方向規制用反射器の一部分を第２の光分割器として、第
２の反射鏡からの反射レーザ光を２つに分割し、一方を
透過させることにより、請求項１と同様の効果を得てい
る。第１の光分割器からの光は、方向規制用反射器によ
ってすべて反射され、第２の反射鏡に入射されるので、
光のエネルギーを有効に活用できる。
２の反射鏡からの反射レーザ光を２つに分割し、一方を
透過させることにより、請求項１と同様の効果を得てい
る。第１の光分割器からの光は、方向規制用反射器によ
ってすべて反射され、第２の反射鏡に入射されるので、
光のエネルギーを有効に活用できる。
請求項３に係る干渉計は、
光源は互に偏光面の異なる第１・第２のレーザ光を出力
するようにし、 第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つのレーザ
光であって、第２の反射鏡もしくは第３の光分割器のい
ずれか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせるよう
にしたことを特徴としている。
するようにし、 第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つのレーザ
光であって、第２の反射鏡もしくは第３の光分割器のい
ずれか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせるよう
にしたことを特徴としている。
したがって、移動方向および角度変化の方向も知ること
ができる。
ができる。
請求項４に係る干渉計は
方向規制用反射器の代りに、第２の光分割器を設けて、
第１の光分割器からのレーザ光のほぼ半分を透過すると
ともに、第２の光反射鏡からの反射レーザ光のほぼ半分
を透過させ、 第１の光分割器からのレーザ光のうち第２の光分割器を
透過したレーザ光を反射して、第２の反射鏡からの反射
レーザ光のうち第２の光分割器を透過したレーザ光の光
路と交差させて交点を形成する参照光反射器を設け、 前記交点に結合用光分割器を設け、第２の光出力を得る
ようにしたことを特徴としている。
第１の光分割器からのレーザ光のほぼ半分を透過すると
ともに、第２の光反射鏡からの反射レーザ光のほぼ半分
を透過させ、 第１の光分割器からのレーザ光のうち第２の光分割器を
透過したレーザ光を反射して、第２の反射鏡からの反射
レーザ光のうち第２の光分割器を透過したレーザ光の光
路と交差させて交点を形成する参照光反射器を設け、 前記交点に結合用光分割器を設け、第２の光出力を得る
ようにしたことを特徴としている。
したがって、第２の光出力に基づき、２つの反射鏡の傾
きのみならず、移動距離（および移動速度）も同時にか
つ高精度で測定可能であり、計測の自動化を行うことが
可能となる。
きのみならず、移動距離（および移動速度）も同時にか
つ高精度で測定可能であり、計測の自動化を行うことが
可能となる。
請求項５に係る干渉計は、
光源は互に偏光面の異なる第１・第２のレーザ光を出力
するようにし、 第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つのレーザ
光であって、第２の反射鏡もしくは参照光反射器のいず
れか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせるように
したことを特徴としている。
するようにし、 第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つのレーザ
光であって、第２の反射鏡もしくは参照光反射器のいず
れか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせるように
したことを特徴としている。
したがって、移動方向および角度変化の方向も知ること
ができる。
ができる。
請求項７に係る干渉計は、
光源からのレーザ光の一部と、光反射手段からの第１も
しくは第２の光路のレーザ光とを結合して第２の光出力
を得ている。
しくは第２の光路のレーザ光とを結合して第２の光出力
を得ている。
したがって、第２の光出力に基づき、２つの反射鏡の傾
きのみならず、移動距離（および移動速度）も同時にか
つ高精度で測定可能であり、計測の自動化を行うことが
可能となる。
きのみならず、移動距離（および移動速度）も同時にか
つ高精度で測定可能であり、計測の自動化を行うことが
可能となる。
第１図はこの発明の一実施例による干渉計を示す図、第
２図は演算回路８を示すブロック図、第３図・第４図・
第５図・第６図は他の実施例による干渉計を示す図、第
７図は干渉計の外観を示す図、第８図は従来の干渉計の
原理を示す図である。 １２・・・・・・レーザ ２０．４０ ・・・・ビームスプリッタ−２２・・・
・・・第２のキューブコーナプリズム２４・・・・・・
第１のキューブコーナプリズム４２．４４．６０・・・
ビームスプリッタ−３０，４８，５２，５４・波長板 ５０・・・・・・反射器
２図は演算回路８を示すブロック図、第３図・第４図・
第５図・第６図は他の実施例による干渉計を示す図、第
７図は干渉計の外観を示す図、第８図は従来の干渉計の
原理を示す図である。 １２・・・・・・レーザ ２０．４０ ・・・・ビームスプリッタ−２２・・・
・・・第２のキューブコーナプリズム２４・・・・・・
第１のキューブコーナプリズム４２．４４．６０・・・
ビームスプリッタ−３０，４８，５２，５４・波長板 ５０・・・・・・反射器
Claims (7)
- （１）レーザ光を発する光源、 光源からのレーザ光を２つに分割し、一方を透過して可
動反射鏡の第１の反射鏡に入射させ、残りを反射する第
１の光分割器、 光分割器によって反射されたレーザ光を反射して、可動
反射鏡の第２の反射鏡に入射させるとともに、第２の反
射鏡からの反射レーザ光を反射して、第１の光分割器に
入射させる方向規制用反射器、 を備え、第１・第２の反射鏡からの反射レーザ光を合成
して第１の光出力を得る干渉計において、方向規制用反
射器のかわりに、第２の光分割器を設けて、第２の反射
鏡からの反射レーザ光を２つに分割し、一方を透過させ
、 光源と第１の光分割器との間に、光源からのレーザ光を
２つに分割し、一方を透過し、残りを反射する第３の光
分割器を設け、 第２の光分割器を透過した第２の反射鏡からの反射レー
ザ光の光路と、第３の光分割器によって２つに分割され
た光源からのレーザ光のうち一方の光路との交点に第４
の光分割器を設け、第２の光出力を得るようにしたこと
を特徴とする干渉計。 - （２）レーザ光を発する光源、 光源からのレーザ光を２つに分割し、一方を透過して可
動反射鏡の第１の反射鏡に入射させ、残りを反射する第
１の光分割器、 光分割器によって反射されたレーザ光を反射して、可動
反射鏡の第２の反射鏡に入射させるとともに、第２の反
射鏡からの反射レーザ光を反射して、第１の光分割器に
入射させる方向規制用反射器、 を備え、第１・第２の反射鏡からの反射レーザ光を合成
して第１の光出力を得る干渉計において、方向規制用反
射器の一部分を第２の光分割器として、第２の反射鏡か
らの反射レーザ光を２つに分割し、一方を透過させ、 光源と第１の光分割器との間に、光源からのレーザ光を
２つに分割し、一方を透過し、残りを反射する第３の光
分割器を設け、 第２の光分割器を透過した第２の反射鏡からの反射レー
ザ光の光路と、第３の光分割器によって２つに分割され
た光源からのレーザ光のうち一方の光路との交点に第４
の光分割器を設け、第２の光出力を得るようにしたこと
を特徴とする干渉計。 - （３）請求項１または２の干渉計において、光源は互に
偏光面の異なる第１・第２のレーザ光を出力するように
し、 第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つのレーザ
光であって、第２の反射鏡もしくは第３の光分割器のい
ずれか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせるよう
にしたことを特徴とする干渉計。 - （４）レーザ光を発する光源、 光源からのレーザ光のを２つに分割して、一方を可動反
射鏡の第１の反射鏡に入射させる第１の光分割器、 光分割器によって分割されたレーザ光の他方を反射して
、可動反射鏡の第２の反射鏡に入射させるとともに、第
２の反射鏡からの反射レーザ光を反射して、第１の光分
割器に入射させる方向規制用反射器、 を備え、第１・第２の反射鏡からの反射レーザ光を合成
して第１の光出力を得る干渉計において、方向規制用反
射器の代りに、第２の光分割器を設けて、第１の光分割
器からのレーザ光のほぼ半分を透過するとともに、第２
の光反射鏡からの反射レーザ光のほぼ半分を透過させ、 第１の光分割器からのレーザ光のうち第２の光分割器を
透過したレーザ光を反射して、第２の反射鏡からの反射
レーザ光のうち第２の光分割器を透過したレーザ光の光
路と交差させて交点を形成する参照光反射器を設け、 前記交点に結合用光分割器を設け、第２の光出力を得る
ようにしたことを特徴とする干渉計。 - （５）請求項４の干渉計において、 光源は互に偏光面の異なる第１・第２のレーザ光を出力
するようにし、 第１または第２のレーザ光のうちいずれか１つのレーザ
光であって、第２の反射鏡もしくは参照光反射器のいず
れか一方からの反射レーザ光の位相を異ならせるように
したことを特徴とする干渉計。 - （６）請求項１、２、３、４または５の干渉計において
、 レーザ光の代わりに、干渉を計測することが可能なレー
ザ光以外の放射光を用いることを特徴とするもの。 - （７）レーザ光を発生する光源、 光源からのレーザ光を第１・第２の光路に分割する分割
手段、 第１・第２の光路上に配置され、第１・第２の光路のレ
ーザ光を反射する光反射手段、 光反射手段からの反射光を結合し、第１の光出力をつく
る結合手段、 を備え、分割手段と光反射手段とが相対的に移動する場
合、第１の光路長に対する第２の光路長の変化を検出す
るようにした干渉計において、光源からのレーザ光の一
部と、光反射手段からの第１もしくは第２の光路のレー
ザ光とを結合して第２の光出力を得て、分割手段と光反
射手段との相対的な移動距離もあわせて測定できるよう
にしたことを特徴とする干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63248485A JP2725746B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63248485A JP2725746B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0295202A true JPH0295202A (ja) | 1990-04-06 |
| JP2725746B2 JP2725746B2 (ja) | 1998-03-11 |
Family
ID=17178861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63248485A Expired - Lifetime JP2725746B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2725746B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4714769U (ja) * | 1971-03-19 | 1972-10-20 |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP63248485A patent/JP2725746B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4714769U (ja) * | 1971-03-19 | 1972-10-20 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2725746B2 (ja) | 1998-03-11 |
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