JPH067291Y2 - レーザ干渉測定装置 - Google Patents
レーザ干渉測定装置Info
- Publication number
- JPH067291Y2 JPH067291Y2 JP16103088U JP16103088U JPH067291Y2 JP H067291 Y2 JPH067291 Y2 JP H067291Y2 JP 16103088 U JP16103088 U JP 16103088U JP 16103088 U JP16103088 U JP 16103088U JP H067291 Y2 JPH067291 Y2 JP H067291Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflected
- transmitted light
- beam splitter
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はレーザ干渉測定装置に係り、特にレーザ干渉測
定装置に使用される光学系に関する。
定装置に使用される光学系に関する。
最近、レーザ干渉測定装置は工作機械、３次元測定装置
等様々な分野で利用されている。第３図は従来のレーザ
干渉測定装置を使用した変位測定システムの原理図であ
る。第３図のシステムで使用されるレーザ干渉測定装置
はレーザ光を発生するレーザ光源５０、ビームスプリッ
タ５２、変位を測定しようとする物体に設置した可動反
射鏡５４、参照反射鏡５６、可動反射鏡５４、参照反射
鏡５６からの反射光とによって得られた干渉縞をカウン
トして表示する図示しない表示部とによって構成され
る。
等様々な分野で利用されている。第３図は従来のレーザ
干渉測定装置を使用した変位測定システムの原理図であ
る。第３図のシステムで使用されるレーザ干渉測定装置
はレーザ光を発生するレーザ光源５０、ビームスプリッ
タ５２、変位を測定しようとする物体に設置した可動反
射鏡５４、参照反射鏡５６、可動反射鏡５４、参照反射
鏡５６からの反射光とによって得られた干渉縞をカウン
トして表示する図示しない表示部とによって構成され
る。
出射されたレーザ光５８はビームスプリッタ５２によっ
て光学的に分割され、反射光６０と透過光６２となる。
そして、透過光６２は移動する可動反射鏡５４によって
反射され再びビームスプリッタ５２に送られる。
て光学的に分割され、反射光６０と透過光６２となる。
そして、透過光６２は移動する可動反射鏡５４によって
反射され再びビームスプリッタ５２に送られる。
他方の反射光６０は参照反射鏡５６によって反射され、
ビームスプリッタ５２で、可動反射鏡５４によって反射
した透過光６２と重ね合わされ、干渉縞が形成される。
干渉縞はフォトダイオード等により電気信号に光電変換
され、干渉縞の数をカウントし、表示部に可動反射鏡５
４の変位が表示される。
ビームスプリッタ５２で、可動反射鏡５４によって反射
した透過光６２と重ね合わされ、干渉縞が形成される。
干渉縞はフォトダイオード等により電気信号に光電変換
され、干渉縞の数をカウントし、表示部に可動反射鏡５
４の変位が表示される。
しかしながら、従来のレーザ干渉測定装置は参照反射鏡
５６を必要とするため、干渉計全体が大型になり、スペ
ース効率の点からも好ましくなかった。
５６を必要とするため、干渉計全体が大型になり、スペ
ース効率の点からも好ましくなかった。
本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、機器
全体を小型化したレーザ干渉測定装置を提供することを
目的とする。
全体を小型化したレーザ干渉測定装置を提供することを
目的とする。
本考案は前記問題点を解決するために、レーザ光を発射
するレーザ光源と、該レーザ光の光軸上に配設され該レ
ーザ光を第１の透過光とこれに直交する第１の反射光と
に分割する第１のビームスプリッタと、被測定物に設置
され分割された第１の透過光を反射させる可動反射鏡
と、前記可動反射鏡から反射された第１の透過光が入射
し該第１の透過光を第２の透過光とこれに直交する第２
の反射光とに分割する第２のビームスプリッタと、第１
の反射光と第２の反射光とが入射し、第１の反射光と第
２の反射光とを干渉させる第３のビームスプリッタと、
からなることを特徴としている。
するレーザ光源と、該レーザ光の光軸上に配設され該レ
ーザ光を第１の透過光とこれに直交する第１の反射光と
に分割する第１のビームスプリッタと、被測定物に設置
され分割された第１の透過光を反射させる可動反射鏡
と、前記可動反射鏡から反射された第１の透過光が入射
し該第１の透過光を第２の透過光とこれに直交する第２
の反射光とに分割する第２のビームスプリッタと、第１
の反射光と第２の反射光とが入射し、第１の反射光と第
２の反射光とを干渉させる第３のビームスプリッタと、
からなることを特徴としている。
本考案によれば、レーザ光を第１のビームスプリッタに
よって第１の透過光と第１の反射光とに分割し、第１の
透過光を被測定物の可動反射鏡に照射して反射させ、こ
の第１の反射光を第３のビームスプリッタに入射させる
ようにしている。
よって第１の透過光と第１の反射光とに分割し、第１の
透過光を被測定物の可動反射鏡に照射して反射させ、こ
の第１の反射光を第３のビームスプリッタに入射させる
ようにしている。
また、可動反射鏡によって反射された第１の透過光を第
２のビームスプリッタへ入射させ、第２の透過光と第２
の反射光とに分割する。第２の反射光は第３のビームス
プリッタに入射し、第１の反射光と重ね合わされ干渉縞
を発生する。このように、参照鏡を使用しないため機器
全体の小型化を図ることができ、光学系の構造を簡単に
することが可能である。
２のビームスプリッタへ入射させ、第２の透過光と第２
の反射光とに分割する。第２の反射光は第３のビームス
プリッタに入射し、第１の反射光と重ね合わされ干渉縞
を発生する。このように、参照鏡を使用しないため機器
全体の小型化を図ることができ、光学系の構造を簡単に
することが可能である。
〔実施例〕 以下、添付図面に従って本考案に係るレーザ干渉測定装
置の好ましい実施例を詳説する。
置の好ましい実施例を詳説する。
第１図は本考案に係るレーザ干渉測定装置による変位測
定システムの原理図である。本考案に係るレーザ干渉測
定装置はレーザ光１０を発射する図示しないレーザ光
源、干渉縞を形成する第１、第２及び第３のビームスプ
リッタ１２、１４、１６からなる光学系と、干渉縞をカ
ウントする光電変換部１８から構成されている。
定システムの原理図である。本考案に係るレーザ干渉測
定装置はレーザ光１０を発射する図示しないレーザ光
源、干渉縞を形成する第１、第２及び第３のビームスプ
リッタ１２、１４、１６からなる光学系と、干渉縞をカ
ウントする光電変換部１８から構成されている。
レーザ光１０の光軸上にレーザ光１０を第１の透過光２
０とこれに直交する第１の反射光２２とに分割する第１
のビームスプリッタ１２が配設される。第１の透過光２
０は被測定物の可動反射鏡５４に照射され、また第１の
反射光２２はその光軸上に配設された第３のビームスプ
リッタ１６へ導かれる。
０とこれに直交する第１の反射光２２とに分割する第１
のビームスプリッタ１２が配設される。第１の透過光２
０は被測定物の可動反射鏡５４に照射され、また第１の
反射光２２はその光軸上に配設された第３のビームスプ
リッタ１６へ導かれる。
第１の透過光２０は可動反射鏡５４によって反射され、
反射透過光２０Ａとなり第１の透過光２０と平行にもど
る。第２のビームスプリッタ１４は反射透過光２０Ａの
光軸上に配設され、反射透過光２０Ａを第２の透過光２
０Ａ′と、これに直交する第３のビームスプリッタに入
射する第２の反射光２０Ａ″とに分割する。
反射透過光２０Ａとなり第１の透過光２０と平行にもど
る。第２のビームスプリッタ１４は反射透過光２０Ａの
光軸上に配設され、反射透過光２０Ａを第２の透過光２
０Ａ′と、これに直交する第３のビームスプリッタに入
射する第２の反射光２０Ａ″とに分割する。
更に、反射透過光２０Ａの光軸の延長線上には被測定物
の方位を検出する２分割フォトダイオードの位置検出器
２４が設置され、干渉計の方位を制御している。
の方位を検出する２分割フォトダイオードの位置検出器
２４が設置され、干渉計の方位を制御している。
そして、第１の反射光２２と第２の反射光２０Ａ″は第
３のビームスプリッタ１６で干渉し、光電変換部１８に
よって干渉縞の数がカウントされる。光電変換部１８に
よって得られた電気信号は図示しない表示部等に送ら
れ、変位として表示される。
３のビームスプリッタ１６で干渉し、光電変換部１８に
よって干渉縞の数がカウントされる。光電変換部１８に
よって得られた電気信号は図示しない表示部等に送ら
れ、変位として表示される。
前記の如く構成したレーザ干渉測定装置の作用は以下の
通りである。
通りである。
第２図は本考案に係るレーザ干渉測定装置の光学系の説
明図である。第２図において、レーザ光１０はビームス
プリッタ１２に入射して分割され、第１の透過光２０と
第１の反射光２２となる。第１の透過光２０は被測定物
に取り付けられている可動反射鏡５４（第１図参照）に
よって反射し反射透過光２０Ａとなり第１の透過光２０
と平行に戻る。そして、反射透過光２０Ａはビームスプ
リッタ１４に入射し、更にビームスプリッタ１４によっ
て透過する第２の透過光２０Ａ′と、反射された第２の
反射光２０Ａ″とに分割される。
明図である。第２図において、レーザ光１０はビームス
プリッタ１２に入射して分割され、第１の透過光２０と
第１の反射光２２となる。第１の透過光２０は被測定物
に取り付けられている可動反射鏡５４（第１図参照）に
よって反射し反射透過光２０Ａとなり第１の透過光２０
と平行に戻る。そして、反射透過光２０Ａはビームスプ
リッタ１４に入射し、更にビームスプリッタ１４によっ
て透過する第２の透過光２０Ａ′と、反射された第２の
反射光２０Ａ″とに分割される。
第２の透過光２０Ａ′は、位置検出器２４に入射し、電
気信号に変換され、図示しない制御部に送られて干渉計
の方位を制御している。
気信号に変換され、図示しない制御部に送られて干渉計
の方位を制御している。
第２の反射光２０Ａ″はビームスプリッタ１６に入射し
てビームスプリッタ１２によって分割された第１の反射
光２２と干渉する。ビームスプリッタ１６に入射した干
渉光は光電変換部１８によって、干渉縞がカウントさ
れ、その光電信号をもとに演算を行ない、被測定物の変
位を表示部に示す。
てビームスプリッタ１２によって分割された第１の反射
光２２と干渉する。ビームスプリッタ１６に入射した干
渉光は光電変換部１８によって、干渉縞がカウントさ
れ、その光電信号をもとに演算を行ない、被測定物の変
位を表示部に示す。
〔考案の効果〕 以上説明したように本考案に係るレーザ干渉測定装置に
よれば、参照反射鏡を用いていないので機器全体の小型
化を図ることができると共に、干渉計の構成が簡単とな
る。このため、変位測定システム等にレーザ干渉測定装
置を使用した場合にシステム全体の小型化を図ることで
き、スペース効率の向上に寄与する。
よれば、参照反射鏡を用いていないので機器全体の小型
化を図ることができると共に、干渉計の構成が簡単とな
る。このため、変位測定システム等にレーザ干渉測定装
置を使用した場合にシステム全体の小型化を図ることで
き、スペース効率の向上に寄与する。
第１図は本考案に係るレーザ干渉測定装置を使用した変
位測定システムの原理図、第２図は本考案に係るレーザ
干渉測定装置の光学系の説明図、第３図は従来のレーザ
干渉測定装置を使用した変位測定システムの原理図であ
る。 １０…レーザ光、１２…第１のビームスプリッタ、１４
…第２のビームスプリッタ、１６…第３のビームスプリ
ッタ、１８…光電変換部、 ２０…第１の透過光、２２…第１の反射光、 ２０Ａ…反射透過光、２０Ａ′…第２の透過光、２０
Ａ″…第２の反射光、５４…可動反射鏡。
位測定システムの原理図、第２図は本考案に係るレーザ
干渉測定装置の光学系の説明図、第３図は従来のレーザ
干渉測定装置を使用した変位測定システムの原理図であ
る。 １０…レーザ光、１２…第１のビームスプリッタ、１４
…第２のビームスプリッタ、１６…第３のビームスプリ
ッタ、１８…光電変換部、 ２０…第１の透過光、２２…第１の反射光、 ２０Ａ…反射透過光、２０Ａ′…第２の透過光、２０
Ａ″…第２の反射光、５４…可動反射鏡。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 審査官 江藤 保子 (56)参考文献 特開 昭60−237307（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ光を発射するレーザ光源と、 該レーザ光の光軸上に配設され該レーザ光を第１の透過
光とこれに直交する第１の反射光とに分割する第１のビ
ームスプリッタと、 被測定物に設置され分割された第１の透過光を入射方向
と同方向に反射させる可動反射体と、 前記可動反射体から反射された第１の透過光が入射し該
第１の透過光を第２の透過光とこれに直交する第２の反
射光とに分割する第２のビームスプリッタと、 第１の反射光と第２の反射光とが入射し、第１の反射光
と第２の反射光とを干渉させて干渉縞を発生させる第３
のビームスプリッタと、 前記第３のビームスプリッタからの干渉縞を検出素子で
検出すると共にその検出信号に基づいて干渉縞をカウン
トして前記被測定物の距離を測定する手段と、 前記第２のビームスプリッタを透過した第２の透過光が
入射し、その入射位置に対応して被測定物の方位を検出
する検出手段と、 前記位置検出手段の検出出力に基づいて前記レーザ光の
発射する干渉計の方位を制御する手段と、 からなることを特徴とするレーザ干渉測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16103088U JPH067291Y2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | レーザ干渉測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16103088U JPH067291Y2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | レーザ干渉測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281408U JPH0281408U (ja) | 1990-06-22 |
| JPH067291Y2 true JPH067291Y2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=31443619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16103088U Expired - Lifetime JPH067291Y2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | レーザ干渉測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067291Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-12 JP JP16103088U patent/JPH067291Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0281408U (ja) | 1990-06-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |