JPH029760B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH029760B2 JPH029760B2 JP56104778A JP10477881A JPH029760B2 JP H029760 B2 JPH029760 B2 JP H029760B2 JP 56104778 A JP56104778 A JP 56104778A JP 10477881 A JP10477881 A JP 10477881A JP H029760 B2 JPH029760 B2 JP H029760B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic matching
- matching layer
- layer
- acoustic
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、複数の圧電振動子が配設された超音
波探触子の製造方法の改良に関し、特に音響整合
層を圧電振動子に接着する際生じる悪影響を除去
し、音響特性の向上を図りうる超音波探触子の製
造方法に関する。
波探触子の製造方法の改良に関し、特に音響整合
層を圧電振動子に接着する際生じる悪影響を除去
し、音響特性の向上を図りうる超音波探触子の製
造方法に関する。
超音波探触子は超音波診断装置等において広く
利用されている。電子走査を行うためには、複数
の圧電振動子を一列又は複数列に配列した配列型
超音波探触子を用いることが必要となる。
利用されている。電子走査を行うためには、複数
の圧電振動子を一列又は複数列に配列した配列型
超音波探触子を用いることが必要となる。
このような配列型超音波探触子は第１図の様な
工程で従来作成されていた。
工程で従来作成されていた。
即ち、第１図Ａの様にダンパー等の保持部材１
上に圧電振動子層２を接着等によつて設ける。
上に圧電振動子層２を接着等によつて設ける。
次に第１図Ｂの様に圧電振動子層２を覆う如
く、音響整合層３を圧電振動子層２に接着剤４に
よつて接着する。更に、第１図Ｃの如く、音響整
合層３側からカツター等により音響整合層３及び
圧電振動子層２を短冊状に切断し、分離された音
響整合層３０を備える圧電振動子２０を複数形成
する。保持部材１がダンパーであれば、第１図Ｃ
の形で配列型超音波探触子を構成し、保持部材１
がダンパーでなく、単なる保持具であれば、保持
具から外された後別に用意されたダンパーに取付
けられて、配列型超音波探触子を構成する。
く、音響整合層３を圧電振動子層２に接着剤４に
よつて接着する。更に、第１図Ｃの如く、音響整
合層３側からカツター等により音響整合層３及び
圧電振動子層２を短冊状に切断し、分離された音
響整合層３０を備える圧電振動子２０を複数形成
する。保持部材１がダンパーであれば、第１図Ｃ
の形で配列型超音波探触子を構成し、保持部材１
がダンパーでなく、単なる保持具であれば、保持
具から外された後別に用意されたダンパーに取付
けられて、配列型超音波探触子を構成する。
このような従来の製造方法では、圧電振動子層
２と音響整合層３とを接着する際には、両者の接
合面積が大のため、接着剤４のにげ場がなく、接
着剤４の層厚が厚くなる。
２と音響整合層３とを接着する際には、両者の接
合面積が大のため、接着剤４のにげ場がなく、接
着剤４の層厚が厚くなる。
このため、接着剤層４への音響的減衰、反射が
生じ易く、又音響整合層３の見かけ上の厚みが大
となつてしまい、音響的整合がとれにくいという
問題がある。
生じ易く、又音響整合層３の見かけ上の厚みが大
となつてしまい、音響的整合がとれにくいという
問題がある。
しかも、前述の接合面積の大のため、接着剤層
４の厚みの不均一性が大となつて、均一な音響特
性を阻害したり、接着剤層４中の気泡などがぬけ
にくく音響的悪影響が大きい。
４の厚みの不均一性が大となつて、均一な音響特
性を阻害したり、接着剤層４中の気泡などがぬけ
にくく音響的悪影響が大きい。
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、
整合層による音響的整合を確実にとり、音波の放
射面の面積が大きい場合にも、音響整合層を接着
することによる音響特性の劣化を防止し、かつ、
配列された複数の圧電振動子の所定数毎に分離さ
れた音響整合層を形成できる超音波探触子の製造
方法を提供することを目的としている。超音波探
触子の製造方法を提供するにある。
整合層による音響的整合を確実にとり、音波の放
射面の面積が大きい場合にも、音響整合層を接着
することによる音響特性の劣化を防止し、かつ、
配列された複数の圧電振動子の所定数毎に分離さ
れた音響整合層を形成できる超音波探触子の製造
方法を提供することを目的としている。超音波探
触子の製造方法を提供するにある。
以下、図面に従い本発明を詳細に説明する。
第２図は本発明の一実施例工程説明図であり、
第１図で示したものと同一のものは同一の記号で
示してある。
第１図で示したものと同一のものは同一の記号で
示してある。
本発明では、先づ第２図Ａに示す様に、保持部
材１上に短冊状の複数の圧電振動子２０を形成す
る。このためには、第１図Ａの如く、保持部材１
上に層上の圧電振動子２を形成し、音響整合層３
を設ける前に、圧電振動子層２を短冊状に切断
し、分離された短冊状の複数の圧電振動子２０を
形成すればよい。このような短冊状圧電振動子２
０を形成する方法として、予じめ切断された圧電
振動子２０を保持部材１上に配列する方法もあ
る。
材１上に短冊状の複数の圧電振動子２０を形成す
る。このためには、第１図Ａの如く、保持部材１
上に層上の圧電振動子２を形成し、音響整合層３
を設ける前に、圧電振動子層２を短冊状に切断
し、分離された短冊状の複数の圧電振動子２０を
形成すればよい。このような短冊状圧電振動子２
０を形成する方法として、予じめ切断された圧電
振動子２０を保持部材１上に配列する方法もあ
る。
次に、第２図Ｂに示す如く、短冊状の圧電振動
子２０の複数をまたがる様に、音響整合層３を設
ける。音響整合層３は接着剤４によつて個々の分
離された短冊状の圧電振動子２０に接着される。
子２０の複数をまたがる様に、音響整合層３を設
ける。音響整合層３は接着剤４によつて個々の分
離された短冊状の圧電振動子２０に接着される。
更に、第２図Ｃに示す如く、音響整合層３を切
断して分離された音響整合層３０を形成する。
断して分離された音響整合層３０を形成する。
これにより、配列型超音波探触子が形成される
ことになる。
ことになる。
上述の第２図Ｂの工程における作用を第３図に
より詳細に説明する。第３図は第２図Ｂの部分断
面図であり、図中、第２図で示したものと同一の
ものは同一の記号で示してある。
より詳細に説明する。第３図は第２図Ｂの部分断
面図であり、図中、第２図で示したものと同一の
ものは同一の記号で示してある。
分離された圧電振動子２０の間には、切断溝２
１が形成されているので、音響整合層３が接着剤
４によつて接着される際に、接着剤４が切断溝２
１に少しづつ逃げることができる。このため、実
質的に接着面積を小さくしたような効果が生じ、
接着剤４の層の厚みを非常に薄くすることができ
るので、音響的減衰、反射が小さくなる。又、こ
の切断溝２によつて接着剤の不均一も除去出来、
接着剤４の気泡も容易に抜け出すことが可能なた
め、音響的悪影響が小さくなる。
１が形成されているので、音響整合層３が接着剤
４によつて接着される際に、接着剤４が切断溝２
１に少しづつ逃げることができる。このため、実
質的に接着面積を小さくしたような効果が生じ、
接着剤４の層の厚みを非常に薄くすることができ
るので、音響的減衰、反射が小さくなる。又、こ
の切断溝２によつて接着剤の不均一も除去出来、
接着剤４の気泡も容易に抜け出すことが可能なた
め、音響的悪影響が小さくなる。
更に、圧電振動子の切断溝２は第３図の如く、
中空となることから、弾性的に隣接する振動子同
志が音響的に遮へいされる効果が生じ、各々の振
動子の独立性が良くなり、配列型超音波探触子と
して位相制御等に適する良好な特性が得られる。
中空となることから、弾性的に隣接する振動子同
志が音響的に遮へいされる効果が生じ、各々の振
動子の独立性が良くなり、配列型超音波探触子と
して位相制御等に適する良好な特性が得られる。
しかも、圧電振動子２０と音響整合層３とを高
温で接合する場合には、両者の膨張係数の差によ
つて、いずれか一方にソリが生ずる恐れがある
が、本発明では、切断溝２１が膨張係数の差によ
る伸び縮みを吸収するため、ソリが生じないとい
う効果も発揮しうる。
温で接合する場合には、両者の膨張係数の差によ
つて、いずれか一方にソリが生ずる恐れがある
が、本発明では、切断溝２１が膨張係数の差によ
る伸び縮みを吸収するため、ソリが生じないとい
う効果も発揮しうる。
ところで、上記音響整合層３０（第２図Ｃ）の
ように音響整合層３の板を短冊状の圧電振動子２
０のすべてに対応して切断すると、薄い音響整合
層３は切断の工程で割れが生じ易く、大きな放射
面を有する超音波探触子の製造は、非常に困難で
ある。そこで本発明では、第４図に示すように第
２図のＡ及びＢ工程後、３つの圧電振動子２０に
対し１つの音響整合層３１が割当てられる様、音
響整合層３を切断した。
ように音響整合層３の板を短冊状の圧電振動子２
０のすべてに対応して切断すると、薄い音響整合
層３は切断の工程で割れが生じ易く、大きな放射
面を有する超音波探触子の製造は、非常に困難で
ある。そこで本発明では、第４図に示すように第
２図のＡ及びＢ工程後、３つの圧電振動子２０に
対し１つの音響整合層３１が割当てられる様、音
響整合層３を切断した。
つまり、音響整合層３１による音響的整合を確
実にとり、音波の放射面の面積が大きい場合に
も、音響整合層３１を接着剤による音響特性の劣
化から防止するだけでなく、音響整合層３として
接着された板を切断することにより圧電振動子２
０をそれぞれ所定数含む分離された音響整合層と
して形成でき、切断工程での割れが少なくなつ
て、歩留りが向上し、かつ工程が簡単になる。さ
らに個々の圧電振動子２０の厚みと幅の寸法比が
１に近く断面が正方形に近いと複数の振動モード
を生じて特性が劣化するという問題も解決され
る。すなわち圧電振動子２０をそれぞれ所定数含
むように音響整合層３を切断することによつて、
振動子の厚みに比して幅を実質的に大きくしたこ
とと等価になり、単一の振動モードで確実に励振
することができ特性の向上を望める。
実にとり、音波の放射面の面積が大きい場合に
も、音響整合層３１を接着剤による音響特性の劣
化から防止するだけでなく、音響整合層３として
接着された板を切断することにより圧電振動子２
０をそれぞれ所定数含む分離された音響整合層と
して形成でき、切断工程での割れが少なくなつ
て、歩留りが向上し、かつ工程が簡単になる。さ
らに個々の圧電振動子２０の厚みと幅の寸法比が
１に近く断面が正方形に近いと複数の振動モード
を生じて特性が劣化するという問題も解決され
る。すなわち圧電振動子２０をそれぞれ所定数含
むように音響整合層３を切断することによつて、
振動子の厚みに比して幅を実質的に大きくしたこ
とと等価になり、単一の振動モードで確実に励振
することができ特性の向上を望める。
このように、本発明によれば、分離された複数
の圧電振動子を形成した後に、圧電振動子に音響
整合層を接着剤で接着するので、分離された圧電
振動子間の溝が接着剤の逃げ場を提供し、従つて
接着剤による層を薄くすることが出来る。しか
も、圧電振動子をそれぞれ所定数含む音響整合層
に切断する工程で、振動子間についてもその分離
が確保され、かつ薄い音響整合層の割れが生じに
くいから、製造歩留りの向上が図れ、また音響的
減衰、反射が小さくなつて、接着剤による音響的
悪影響を少なくするとともに実質的に音響整合層
の厚みを増加させることがないので、音響整合性
を損なうこともない。又、前述の逃げ場の提供に
よつて、接着剤層の厚みの不均一がなくなり、又
接着剤の気泡の除去も容易に行えるため、音響特
性が一層向上する。
の圧電振動子を形成した後に、圧電振動子に音響
整合層を接着剤で接着するので、分離された圧電
振動子間の溝が接着剤の逃げ場を提供し、従つて
接着剤による層を薄くすることが出来る。しか
も、圧電振動子をそれぞれ所定数含む音響整合層
に切断する工程で、振動子間についてもその分離
が確保され、かつ薄い音響整合層の割れが生じに
くいから、製造歩留りの向上が図れ、また音響的
減衰、反射が小さくなつて、接着剤による音響的
悪影響を少なくするとともに実質的に音響整合層
の厚みを増加させることがないので、音響整合性
を損なうこともない。又、前述の逃げ場の提供に
よつて、接着剤層の厚みの不均一がなくなり、又
接着剤の気泡の除去も容易に行えるため、音響特
性が一層向上する。
更に、高温接合する際には、この溝によつて圧
電振動子と音響整合層との膨張係数の差によるソ
リを吸収して、ソリを防止することが出来る。
電振動子と音響整合層との膨張係数の差によるソ
リを吸収して、ソリを防止することが出来る。
尚、本発明は上述の実施例に限られず、本発明
の主旨に従い、種々の変形が可能であり、これら
を本発明の範囲から排除するものではない。
の主旨に従い、種々の変形が可能であり、これら
を本発明の範囲から排除するものではない。
第１図は従来の製造方法工程説明図、第２図は
本発明の一実施例工程説明図、第３図は第２図の
一部工程の部分断面図、第４図は本発明の他の実
施例説明図である。 図中の記号は以下を示す。 １……保持部材、２……圧電振動子層、３……
音響整合層、４……接着剤、２０……圧電振動
子、２１……切断溝、３０，３１……分離された
音響整合層。
本発明の一実施例工程説明図、第３図は第２図の
一部工程の部分断面図、第４図は本発明の他の実
施例説明図である。 図中の記号は以下を示す。 １……保持部材、２……圧電振動子層、３……
音響整合層、４……接着剤、２０……圧電振動
子、２１……切断溝、３０，３１……分離された
音響整合層。
Claims (1)
- １ 音波の放射面側に被検査体の音響インピーダ
ンスと整合をとるための音響整合層が形成される
超音波探触子の製造方法において、保持部材上に
相互に分離して配列された複数の圧電振動子を形
成する工程と、これら圧電振動子の全放射面を覆
うように前記音響整合層となる所定の厚さの板を
その裏面に塗布した接着剤により接着する工程
と、前記接着された板を切断することにより前記
圧電振動子をそれぞれ所定数含む分離された音響
整合層として形成する工程からなることを特徴と
する超音波探触子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56104778A JPS586462A (ja) | 1981-07-04 | 1981-07-04 | 超音波探触子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56104778A JPS586462A (ja) | 1981-07-04 | 1981-07-04 | 超音波探触子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS586462A JPS586462A (ja) | 1983-01-14 |
| JPH029760B2 true JPH029760B2 (ja) | 1990-03-05 |
Family
ID=14389930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56104778A Granted JPS586462A (ja) | 1981-07-04 | 1981-07-04 | 超音波探触子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS586462A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4053822B2 (ja) * | 2002-06-10 | 2008-02-27 | 日本碍子株式会社 | 圧電／電歪デバイスとその製造方法 |
| US7621028B2 (en) * | 2007-09-13 | 2009-11-24 | General Electric Company | Method for optimized dematching layer assembly in an ultrasound transducer |
| KR101354604B1 (ko) * | 2012-01-16 | 2014-01-23 | 삼성메디슨 주식회사 | 초음파 프로브 및 그 제조방법 |
| JP6641723B2 (ja) * | 2015-05-08 | 2020-02-05 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波振動子およびその製造方法、超音波探触子ならびに超音波撮像装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52132577A (en) * | 1976-04-30 | 1977-11-07 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method of producing probe for ultrasonic diagnostic device |
| JPS54131380A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-12 | Hitachi Medical Corp | Dumbbell type ultrasonic wave detecting contacting piece |
| JPS5574300A (en) * | 1978-11-30 | 1980-06-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Manufacture for array type ultrasonic wave probe |
-
1981
- 1981-07-04 JP JP56104778A patent/JPS586462A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS586462A (ja) | 1983-01-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4939826A (en) | Ultrasonic transducer arrays and methods for the fabrication thereof | |
| US5423220A (en) | Ultrasonic transducer array and manufacturing method thereof | |
| US4326418A (en) | Acoustic impedance matching device | |
| US4371805A (en) | Ultrasonic transducer arrangement and method for fabricating same | |
| JPS6133516B2 (ja) | ||
| JPS60100950A (ja) | 超音波探触子 | |
| US11813640B2 (en) | Planar phased ultrasound transducer array | |
| JP2013501405A (ja) | 集積電気接続を備えた超音波イメージング変換器音響スタック | |
| US6489706B2 (en) | Medical diagnostic ultrasound transducer and method of manufacture | |
| JPH029760B2 (ja) | ||
| JPS5817358A (ja) | 超音波探触子 | |
| US6359375B1 (en) | Method to build a high bandwidth, low crosstalk, low EM noise transducer | |
| JPH03270282A (ja) | 複合圧電体 | |
| JP3302068B2 (ja) | 医療用超音波診断装置の超音波プローブ | |
| JP3943630B2 (ja) | 超音波トランスジューサ | |
| JPS6031435B2 (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JPS60235600A (ja) | 超音波探触子とその製造方法 | |
| JPH09222424A (ja) | 超音波プローブ | |
| JPS59152800A (ja) | 超音波探触子製造方法 | |
| JPH11318893A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS6133923Y2 (ja) | ||
| Snook et al. | Design of a high frequency annular array for medical ultrasound | |
| JPH0884397A (ja) | 超音波プローブ | |
| JP3171715B2 (ja) | 高周波数用の配列型超音波探触子 | |
| JPS5911239B2 (ja) | 超音波探触子の製造方法 |