JPH0310078A

JPH0310078A - 基板加工装置、その組合体および基板加工方法

Info

Publication number: JPH0310078A
Application number: JP2131116A
Authority: JP
Inventors: Cleon R Yates; クレオン　アール．イェイツ
Original assignee: Cryco Twenty Two Inc
Current assignee: Tosoh Quartz Inc
Priority date: 1989-05-22
Filing date: 1990-05-21
Publication date: 1991-01-17
Also published as: EP0399671A3; EP0399671A2; US4976610A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は基板加工装置、その組合体および基板加工方法
に関し、さらに詳細には、基板加工用ファーネスに対す
るウェハ・ロード位置、ウェハ・パージ位置およびウェ
ハ加工位置間で使用するのに適した、パドルを備えた可
動式石英エレファント管を有する可動カンチレバー式パ
ージ・システムからなる基板加工装置、その組合体およ
び基板加工方法に関する。

［従来の技術］従来の装置は、ウェハ・ロード位置かまたはウェハ加工
位置のどちらかを設けているが、他の二つの位置間には
パージ位置は適切に設けられていない。

「カンチレバー式拡散管装置右よび方法」と題したＷｏ
ｌ１ｍａｎｎ出願の米国特許第４．４５９．１０４号お
よび「カンチレバー式拡散管装置および方法」と題した
同人出願の米国特許第４．５２６．５３４号の各々は、
加工管の底部にスロットを有している。

「スロット付カンチレバー式拡散管システムおよびロー
ディングのだめの方法とその装置」と題したＷｈａｎｇ
等出願の米国特許第４．５４３．０５９号には、拡散管
装置が記載されている。本引例は、底部にスロットを備
えた大型の石英管が記載されている。加工管内部には一
個のガラス・スリーブがある。パドルを支えるベローズ
は設けられていない。このガラス・スリーブは単一のラ
ンナウェー上に支えられると共に加工管に極めて接近し
ている。

［発明が解決しようとする課題］本発明はウエノいロードパージ位置およびウェハ加工位
置に用いて好適な可動式エレファント管を配設すること
によって従来技術の欠点を克胤すると共にエレファント
管にパージ・インジェクタおよびリターン排気管を備え
ることが可能である。可動式エレファント管は、ウェハ
・ロードに接近できると共に加速クー−リング・サイク
ルを有する加工間のパージングを提供している。他の実
施例には低圧ＣＶＤ法が挙げられる。

「課題を解決するための手段］前記の課題を解決するために、本発明は可動式石英エレ
ファント管をウェハ加工用ファーネス中の可動式石英エ
レファント管およびそのファーネスのスキャベンジャ面
の回りをシールするシール・リング・アセンブリを備え
た可動式石英エレファント管を利用する可動カンチレバ
ー式パージ・システムを提供することにある。

本発明の一実施例には、ステンレス・スチール製シャフ
ト上のベアリング・ブロックに位置決めされた可動式石
英エレファント管を備えた可動カンチレバー式パージ・
システムが示されている。炭化珪素またはセラミック製
パドルはカンチレバー式パドル・クランプ移動体に支承
されると共にステンレス・スチール製シャフト上に設け
られている。ステンレス・スチール製シャフト・アセン
ブリは加工用ファーネスに隣接して配置されると共に石
英加工管とアラインしている。可動式石英エレファント
管は、ウェハ・ロード位置と、ウェハ・パージ位置とウ
ェハ加工位置との間で移動する。石英リングを加工管に
対しておよびステンレス・スチール製リングをスキャベ
ンジャ作用面に対して夫々シールする特殊なシール装置
は、これらリングが三次元運動および可動式石英エレフ
ァント管と、加工管とドア付ファーネスとの間の同心性
を与えるという点で一つのシステムを提供する。

本発明の他の実施例には、ウェハ加工用ファーネス内の
加工管に係合し且つそれに対して密封を行うためにステ
ンレス・スチール製可動式エレファント管の一端部と配
置に応じてアラインするベローズ方式のクロージヤー・
ドアを備えた可動カンチレバー式パージ・システムが示
されている。低圧ＣＶＤ法に基づいてエレファント室内
の環境を圧力気密状態または真空状態にもたらすエレフ
ァント間の端部においてパドルをシールするための別な
ベローズ型ドアが設けである。

本発明の主たる構成の要点は、ウェハ加工管に対してシ
ールを行う石英ドアと、石英ドアと金属ドアとが可動式
石英エレファント管およびウェハ加工管に対して同心円
的にシーリング作用を行う場合においてスキャベンジャ
面に対してシーリング作用を行う金属ドアとを有する可
動式石英エレファント管を備えた可動カンチレバー式パ
ージ・システムが設けられていることを特徴としている
。また、スキャベンジャ面と全てのガスを排気させるリ
ターン排気装置との間にシールが行われるシール装置が
ある。さらにまた、これはガスの逆流を防止する実用可
能なシステムも提供される。

本発明の他の構成の要点は、ウェハ・ロード位置と、ウ
ェハ・パージ位置とウェハ加工位置との間でスライドす
るエレファント管が配設されていることを特徴としてい
る。エレファント管および支持構造体はまたリターン・
スキャベンジャ排気管を介してガスの排気および急送り
−リング右よび／またはパージングを提供する。

シーリング装置により、ルームからエレファント管への
大気ガスの逆流はほとんどないか、あるいはごく僅かで
ある。

本発明のまた他の別な構成の要点は、蒸着法等の大気環
境を制御することが可能な可動カンチレバー式パージ・
システムが設けられていることを特徴としている。また
、大気は不活性ガス等によってパージ可能である。

本発明の他の実施例によるさらに他の構成の要点は、複
数のホールを有する少なくとも一個の内部インジェクタ
を使用する可動カンチレバー式パージ・システムが設け
られていることを特徴としている。

本発明の他の実施例によるなおさらに別の構成の要点は
、セルフ・アラインメント・ベローズ式クロージヤー・
ドアが設けられていることを特徴としている。

本発明のなふさらに別の構成の要点は、低圧ＣＶＤ法に
より圧力シールまたは真空シールを設定するためにエレ
ファント管およびカンチレバー式パドルを中心としたベ
ローズ型ドアを利用している点を特徴としている。

このように本発明の主要な実施例について説明してきた
が、本発明の主たる目的は、トラックまたはレール装置
に載せる少なくとも一個、好ましくは二個のインジェク
タ・ノズルを備えたエレファント管を利用する可動カン
チレバー式パージ・システムを提供することにある。

本発明の一つの目的は、異なった各位置間で且つツート
ン・パドル等のパドルハンドルのシャフトに沿って可動
なエレファント管を提供することにある。

本発明の他の目的は、ガスが逃れるのを防止し、且つガ
スの逆流を防止するために周囲構造体の回りをシールす
る気密シール装置を構成するエレファント管アセンブリ
を提供することにある。作動パラメータ、作動温度およ
び作動圧に応じて、ガスの逃げまたはガスの逆流はごく
微小になり得るが、そのような場合は、量的には極めて
少ない。

本発明のさらに他の目的は、圧力シールまたは真空シー
ル環境条件を設定するためにベローズ型ドアを用いた低
圧式ＣＶＤシステムを提供することにある。

［好適な実施例］第１図は、可動式石英エレファント管１２を備えた可動
カンチレバー式パージ・システムの側面図を示す。この
エレファント管１２は特定の荷重要求＄よびウェハ・サ
イズに応じて直径および長さを可変可能である。エレフ
ァント管１２は、−開放端部１４と、炭化珪素またはセ
ラミック製パドル支持軸若しくはハンドル１８が１イン
チの約７０／１０００および１インチの１０−１００／
１０００の範囲の最小クリアランスを通過するように十
分なサイズと形状を持つ部分閉端部１６の開口部を残し
て部分的に閉じ得る対向端部１６とを有する。また、可
動式石英エレファント管１２は、例えば、大気から酸素
を除去するために窒素または他のガスがウニへ面を横切
るように重要な個所に設けられた可動式石英エレファン
ト管１２の内壁に配置・固定された複数の窒素パージ・
インジェクタ２０ａ乃至２Ｏｎを備えることが可能であ
る。

また、可動式石英エレファント管１２は、ガス通過式装
置構造体を取り付けるために複数の結合用ニップルを備
えることも可能である。サイズおよび心間スペーシング
を可変させる複数のホール２２ａ乃至２２ｎは、第２図
に示すように、窒素または他のガスがシリコン・ウェハ
の表面を通過するようにさせるために窒素パージ・イン
ジェクタ２０ａ乃至２０Ｔ１に形成されている。石英排
気ニップル２４は、ガス源が取り付けできる可動式石英
エレファント管１２の前記端部１６に配置される。石英
排気ニップル２４は、窒素パージ・インジェクタ２０ａ
乃至２０ｎに結合している。石英排気ニップル２６は、
気密用０’Ｊング圧縮コネクタおよびフランジ・アセン
ブリ２８を取り付けるために可動式石英エレファント管
１２の内部に直に配管およびシールされる石英から構成
される。ステンレス・スチール製コネクタ・エルボ３０
は、気密用０リング圧縮コネクタ２８の他端および気密
用０リング圧縮コネクタ３２に結合している。ステンレ
ス・スチール製コネクタ・エルボ３０は、ステンレス・
スチールまたは他の同様の材料からなり、且つ石英排気
ニップル２６を介する可動式石英エレファント管１２、
気密用０リング圧縮コネクタ２８．３２也ステンレス・
スチール製リターン・スキャベンジャ排気管３４の直線
区域との管で空密結合を提供する。さらに、これはファ
ーネス・スキャベンジャ・エリアより排出し得る排気ガ
スをルート化するための配管を提供している。ブラケッ
ト４９．５１は、エレファント管１２をエレファント・
キャリヤ移動体３８に固定している。リターン・スキャ
ベンジャ排気管３４用のクロージヤー・ドア３６は、ス
テンレス・スチールまたは他の同様な材料から構成され
、ステンレス・スチール製シール・ドア５８と共働して
ステンレス・スチール製フレキシブル・ジヨイント３６
ａを結合させると共にステンレス・スチール製リターン
・スキャベンジャ排気管３４に取り付けられている。ク
ロージヤー・ドア３６は、パージ位置若しくはウェハ加
工位置にあるとき、スキャベンジャ面１２１とステンレ
ス・スチール製リターン・スキャベンジャ排気管３４と
の間で実質的に気密シールを行う。第６図に示されるよ
うに、圧縮型気密Ｏリング３７は、クロージヤー・ドア
３６の端部に隣接して配置され、以後スキャベンジャ面
１２１のリターン・スキャベンジャ排気ホール１３２に
対してシールを行う。十分な内／外径および厚さを持っ
た石英シール・ドア５２は、可動式石英エレファント管
１２に対しておよびそれを中心として同心円的に配置さ
れている。石英シール・ドア５２は、水平にアラインさ
れた二個またはそれ以上の石英スライド・ロッドによっ
てエレファント・キャリヤ移動体３８の側対向側に支持
されており、また可動式石英エレファント管１２がパー
ジ位置若しくはウェハ加工位置にあるとき可動式石英エ
レファント管Ｉ２と加工管との間で気密作用を行う。十
分な内／外径および厚さをもったステンレス・スチール
若しくは他の同様な材料からなるステンレス・スチール
製シール・ドア５８は、可動式石英エレファント管１２
に対しておよびそれを中心にして同心円的に配置され、
水平にアラインされた二個またはそれ以上の円筒管６０
．６２によって支承され、さらに可動式石英エレファン
ト管１２がパージ位置若しくはウェハ加工位置にあると
き可動式石英エレファント管１２とスキャベンジャ排気
エリアの外側部との間でシール作用を行う。ステンレス
・スチール若しくは他の同様な材料からなる取付フラン
ジ６４．６６は、ステンレス・スチール製シール・ドア
５８を確実に取り付けるために円筒管６０．６２上に同
心円的に配置されている。ステンレス・スチール若しく
は他の同様な材料からなるピボット式調整ブロック６８
．７０は、エレファント・キャリヤ移動体３８０両対向
側に配置され且つ取り付けられ、さらに石英シール・ド
ア５２およびステンレス・スチール製シール・ドア５８
に対して上下ピボット調整と回転角度的なピボット調整
の両方を供与しながら石英スライドロッド５４．５６お
よび円筒管６０．６２を支承する手段を提供している。

ステンレス・スチール若しくは他の同様な材料からなる
円筒管６０．６２は、ピボット式調整ブロック６８．７
０に配置されるとともに取り付けられ、一端がオーブン
し他端がクローズするステンレス・スチール製スプリン
グを備えた密封ハウジングを有し、さらに−個以上の同
心円筒型テフロン・スペーサをも備えている。テフロン
・スペーサは、夫々石英スライドロッド５４．５６およ
び円筒管６０．６２との間の同心性を保持するとともに
石英シール・ドア５２がパージ・サイクル若しくはウェ
ハ加工サイクル中、加工管と同心円的に接触する。ステ
ンレス・スチール製スプリングは石英スライドロッド５
４．５６の柔軟性を可能にし、パージ・サイクル若しく
はウェハ加工サイクル中、石英シール・ドア５２の係合
と引張作用を確実に適切に行う。

ピボット式ビン７２．７４は、石英シール・ドア５２と
可動式石英エレファント管１２およびステンレス働スチ
ール製シール亭ドア５８と可動式石英エレファント管１
２との間で同心性が達成されるように調整がなされたと
き、エレファント・キャリヤ移動体３８の両射向側にお
よび可動式石英エレファント管１２の両対向面上に配置
されたピボット式調整ブロック６８．７０に対して軸を
なす。石英シール・ドア、石英スライドロッド、円筒管
、テフロン・スペーサ右よびピボット式調整ブロックに
関する引例が、同一発明者および同一譲受人に譲渡され
た出願「大気用ドア・クロージャ」に示されている。

パドル・ホール７８が可動式石英エレファント管１２の
前記端部１６に形成され且つ炭化珪素製パドル支持軸１
８が通過する通路を形成する。

部分的に閉じる端部１６のサイズおよび形状は、特定の
炭化珪素製パドルのサイズに応じて変化する。カンチレ
バー式パドル・クランプ移動体８０は、硬ステンレス・
スチールとなり得るアルミニウムまたは他の同様な材料
から構成されるとともに平行なステンレス・スチール製
シャフト４８．５０に対してスムーズな移動を提供する
複数のベアリング・ブロック８２ａ乃至８２ｎによって
支えられている。カンチレバー式パドル・クランプ移動
体８０は、確実に炭化珪素製パドル支持軸１８を支承す
る。またカンチレバー式パドル・クランプ移動体８０は
、加工管および他の構成要素に対してパドルのアライン
メントを行う。さらに、カンチレバー式パドル・クラン
プ移動体８０は、先の同時継続出願で引用したように炭
化珪素製パドル支持軸１８と、可動式石英エレファント
管１２と加工管との間のアラインメントを確実に行う炭
化珪素製パドル支持軸１８に対して上下・横方向の調整
を行う。可動式石英エレファント管１２用のクロージヤ
ー・ドア８４は、ステンレス・スチールまたは他の同様
な材料から構成され、適当な材料からなる圧縮式気密０
リング型シール９１を介して炭化珪素製パドル支持軸１
８に取り付けられている。クロージヤー・ドア８４は、
適当な材料からなる任意の圧縮式気密０リング８９を備
え得ることが可能で、可動式石英エレファント管１２の
前記端部１６と係合し且つパージ位置若しくはウェハ加
工位置にあるとき炭化珪素製パドル支持軸１８と可動式
石英エレファント管１２との間で実質的に確実な気密シ
ール作用を行うシール・プレート８８に取り付けられた
ステンレス・スチール製フレキシブル・ベローズ８６か
らなっている。ステンレス・スチールまたは他の同様な
材料からなるシャフト支持体９０．９２は、ステンレス
・スチール製シャフト４８．５０を確実に支承する構造
体を提供するので、ベアリング・ブロック４０ａ乃至４
０ｎおよび８２ａ乃至８２１１がシャフト支持体９０．
９２に沿ってスムーズに載置可能となる。０リング８９
はシール・プレート８８およびエレファント管１２の端
部をシールする。もう一つの０リング型シール９１は炭
化珪素製パドル支持軸１８を中心として設けられたクロ
ージヤー・ドア８４をシールする。

第２図は、第１図の２−２線による可動カンチレバー式
パージ・システム１０の断面端面図を示す。但し、全符
号は、上記構成要素のものに対応している。特に同図に
おいて示されているものは、可動式石英エレファント管
１２に対しておよびそれを中心にして同心円的に設けら
れたステンレス・スチール製シール・ドア５８である。

複数の窒素パージ・インジェクタ２０ａ乃至２０ｎは、
可動式石英エレファント管１２の内部側壁の、例えば、
支持体前部にわたって所望のパージングを行うように配
置されている。さらに、別符号の窒素パージ・インジェ
クタ２０ａ乃至２Ｏｎを前記システムに組み込むことが
可能である。窒素パージ・インジェクタ２０ａ乃至２Ｏ
ｎは、上記位置以外の内部側壁上の位置に配置すること
が可能であり、また第５図に示されるように、マニホー
ルド化可能である。

第３図は、第１図の３−３線による可動カンチレバー式
パージ・システム１０の断面で示した端面図である。但
し、全符号は上記構成要素のものに対応している。縦支
持部材９４．９６はエレファント・キャリヤ移動体３８
の取付板４２から垂直に延在して、可動式石英エレファ
ント管１２０両サイドを支持する。可動式石英エレファ
ントｉＦ１２ヲ含むエレファント・キャリヤ移動体３８
は、複数のベアリング・ブロック４０ａ乃至４０ｎ上で
且つシャフト４８．５０に沿ってトラバースする。シャ
フト４８．５０は、シャフト支持体９０．９２の最上部
に沿って支承されている。

ピボット式ピン７２．７４は、ピボット式調整ブロック
６８．７０の中に示されている。また、部分的に第１図
に示されているように、ピボット式調整ブロック６８中
の調整ねじ９５．９７およびピボット式調整ブロック７
０中の調整ねじ９８．、００は、ピボット式ピン７２．
７４を中心にピボット式調整ブロック６８．７０を枢動
可能に調整して円筒管６０．６２、石英スライドロッド
５４、５６およびステンレス・スチール製石英シール・
ドア５８．５２を水平にアラインさせる。シール・ドア
５２．５８は加工管とスキャベンジャ面に対して同心ド
アとして作用する。

第４図は、可動式石英エレファント管１２の縦断面図を
示す。但し、全符号は、上記構成要素のものに対応して
いる。特に図示されているものは、可動式石英エレファ
ント管Ｉ２の内壁に固定されたパージ・インジェクタの
一つ２０ａである。さらに、第５図に示されているよう
に、マニホールド１０２は、各インジェクタ間のホール
２２ｎに隣接したパージ・インジェクタ２０ａ乃至２Ｏ
ｎの各端部を接合させる。

第５図は、第４図の５−５線による可動式石英エレファ
ント管１２の端面図を示す。但し、全符号は上記構成要
素のものに対応している。

マニホールド１０２は、窒素パージ・インジェクタ２０
ａ乃至２Ｏｎを結合させる可動式石英エレファント管１
２の内部を横切るように図示されている。

［動作モード］第６図乃至第８図は、ウェハ加工用ファーネスに関連し
て可動カンチレバー式パージ・システムの動作のモード
を最もよく表している。

第６図は、ウェハ・ロード位置においてウェハ加工用フ
ァーネス１２０に隣接した、部分断面で示された可動カ
ンチレバー式パージ・システム１０を示している。同図
の全符号は、先に説明した構成要素のものと対応してい
る。パドルのウェハ・ロードゾーン１８ａはパドルの中
間点から炭化珪素製パドル支持軸１８の一端部まで延在
している。加工準備中のウェハ・ボート１２２は、ロー
ド・ゾーン１８ａ上にある複数のウェハ１２４ａ乃至１
２４ｎを有し加工前の状態を示している。ウェハ加工用
ファーネス１２０は、スキャベンジャ面１２１、その面
１２１に形成されたスキャベンジャ・ホール１２６、石
英加工管１２８および加工管オリフィス１３０を備えて
いる。ウェハ加工用ファーネス１２０内に形成されたス
キャベンジャ壁１２７は、ウェハ加工用ファーネス１２
０内の加工エリア１３６とスキャベンジャ・エリア１３
４とを分離する。以後、加工管オリフィス１３０に対し
てシールを行うべく、スキャベンジャ・ホール１２６の
直径は、石英シール・ドア５２がスキャベンジャ・ホー
ル１２６を通過するように加工管オリフィス１３０の直
径より大き（取っである。スキャベンジャ・ホール１２
６は、ステンレス・スチール製シール・ドア５８とＭ方
向にアラインし、続いてシール・ドア５８に対してシー
ルを行う。同様に、加工管オリフィス１３０は、石英シ
ール・ドア５２と同軸方向にアラインし、続いてシール
・ドア５２に対してシールを行う。ウェハ加工用ファー
ネス１２０のスキャベンジャ面１２１に形成されたリタ
ーン・スキャベンジャ排気ホール１３２は、リターン・
スキャベンジャ排気管３４、クロージヤー・ドア３６お
よびフレキシブル・ジヨイント３６ａとアラインする。

リターン・スキャベンジャ排気ホール１３２は、任意に
スキャベンジャ・ホール１２６に付加することが可能で
ある。スキャベンジャ排気ホール１３８はスキャベンジ
ャ・エリア１３４に隣接したウェハ加工用ファーネス１
２０上に設けられている。

第７図は、ウェハ・パージ位置を示している。

但し、同図における全符号は上記した構成要素のものと
同一である。可動式石英エレファント管１２およびこれ
に対応する部材がウェハ加工用ファーネス１２０および
パージ用の石英加工管１２８内で部分的に位置決めされ
るとともに同ウェハ加工用ファーネス１２０および間管
１２８に対してシールを行うような配位状態で、第１図
に示したエレファント・キャリヤ移動体３８およびカン
チレバー式パドル・クランプ移動体８０は、ステンレス
・スチール製シャフト４８．５０に沿ってスライドして
位置を定める。

上記に述べたように、ウェハ加工用ファーネス１２０は
、ステンレス・スチール製シール・ドア５８をファーネ
ス・スキャベンジャ面１２１と嵌め合わせ係合させるこ
とによってシールされる。石英加工管１２８は、石英シ
ール・ドア５２を加工管オリフィス１３０と嵌め合わせ
係合させることによってシールされる。フレキシブル・
ジヨイント３６ａを含むクロージヤー・ドア３６は、リ
ターン・スキャベンジャ排気ホール１３２を突出するリ
ターン・スキャベンジャ排気管３４をウェハ加工用ファ
ーネス１２０のファーネス・スキャベンジャ・エリア１
３４で密閉する。石英シール・ドア５２およびステンレ
ス・スチール製シール・ドア５８は、スキャベンジャ面
１２１および石英加工管１２８に対して可動式石英エレ
ファント管１２を密閉するために連続状態でシールを行
う。最初、スプリング・クツション式石英シール・ドア
５２は、石英加工管１２８の加工管オリフィス１３０と
嵌合しビボッ、ト式調整ブロック６８．７０内の内部ス
プリングを圧縮する。その後、第１図に示されたエレフ
ァント・キャリヤ移動体３８がさらに左側に移動すると
、ウェハ加工用ファーネス１２０のスキャベンジャ面１
２１に対してステンレス・スチール製シール・ドア５８
の位置が定まる。加圧窒素力°ス若しくは他のガスは石
英排気ニップル２４に導入され、第１図、第２図、第４
図および第５図に示されたパージ・インジェクタ２０ａ
乃至２Ｏｎを介して密閉された可動式石英エレファント
管１２の内部に入る。使用済みガスは、密閉された可動
式石英エレファント管１２から石英排気ニップル２６を
介して気密用０リング圧縮コネクタ２８、ステンレス・
スチール製コネクターエルボ３０、気密用Ｏリング圧縮
コネクタ３２を介して且つすターン・スキャベンジャ排
気管３４を介してパージされウェハ加工用ファーネス１
２０のファーネス加工エリア１３６に入る。

第８図は、ウェハ加工位置を示している。但し、同図の
全符号は、先に述べた構成要素のものに相当する。可動
式石英エレファント管１２のパージング後、カンチレバ
ー型パドル・クランプ移動体８０が、さらに左方向に且
つエレファント・キャリヤ移動体３８方向に位置調整さ
れて全ウェハ１２４ａ乃至１２４ｎを含むウェハ・ロー
ドゾーン１８ａを位置決めしウェハ加工用の石英加工管
１２８の内部に完全に入る。

炭化珪素製パドル支持軸１８が左へ移動して第１図に示
したパドル・ホール７８を通過するとエレファント・キ
ャリヤ移動体３８およびこれに対応した構成要素は固定
状態を維持する。

石英加工管１２８内でウェハ１２４ａ乃至１２４ｎを加
工処理後、ウェハ・ロードゾーン１８ａおよび可動式石
英エレファント管１２は、平行配列されたステンレス・
スチール製シャフト４８．５０に沿うエレファント・キ
ャリヤ移動体３８およびカンチレバー式パドル・クラン
プ移動体８０のシーケンス的移動によって石英加工管１
２８およびウェハ加工用ファーネス１２０から逆の順に
引き抜かれる。

第９図は、カンチレバー式パドル・クランプ移動体８０
の斜視図を示す。但し、同図の全符号は、先に述べた構
成要素のものと対応している。矩形型ベース板１５０は
複数の切り込みされた調整ホール１５２ａ乃至１５２ｎ
を有し前記調整ホール１５２ａ乃至１５２ｎを介して適
当な小ねじファスナーによって第１図のベアリング・ブ
ロック８２ａ乃至８２ｒｌに固定している。平行な垂直
壁部材１５４．１５６はベース板１５０より垂直に延在
し、第１０図に示されるように、ファスナー１５８ａ乃
至１５８ｎによってベース板１５０に固定される。上部
取付板１６０は複数のファスナー１６２ａ乃至１６２ｎ
に４って垂直壁部材１５４．１５６に固定される。ピボ
ット式クランプ・アセンブリ１６４はチャネル化された
上部クランプ部材１６６とチャネル化された下部クラン
プ部材１６８を備えている。前記上部クランプ部材１６
６および下部クランプ部材１６８はアラインし、これら
のチャネル化壁は互いに対向し、且つ第１０図に示され
るように、複数のファスナー１７０ａ乃至１７０ｎによ
って炭化珪素製パドル支持軸１８に対してともに固定さ
れる。ピボット軸１７２は、前記上部クランプ部材１６
６の浮きだし矩形型固定部材１７４のホール１７５を介
して固定しており、第１０図に示された薄ナツト１７６
．１７８によって調整されるとともに前記固定部材１７
４に固着される。ピボット軸１７２は、垂直壁部材１５
４．１５６内に形成されたホール１８０．１８２にアラ
インするとともに同ホール内で枢動する。薄ナツト１８
６．１８８を備えた垂直方向にアラインされるねじ込み
調整ロッド１８４は、前記上部クランプ部材１６６の一
端部において切り込みされた開きホール１９０にアライ
ンし、さらに第１１図に示されるように、上部取付板１
６０に形成されたホール１９２にアラインする。工具が
ファスナー１７０ａ乃至１７０ｎに接近できるように、
複数の工作ホール１９４ａ乃至１９４ｎは、第１１図に
示されるように、ファスナー１７０ａ乃至１７０ｎとア
ラインし、その結果、上部、下部クランプ部材１６６．
１６８が炭化珪素製パドル支持軸１８に対しておよびそ
の回りを固く締めつけることが可能となる。止めねじ１
９６は、上部取付板１６０に形成されたホール１９２に
水平方向にアラインしてホール１９２内の調整ロッド１
８４の上端部を固定する。前記上部、下部クランプ部材
１６６．１６８内に固定された前記炭化珪素製パドル支
持軸１８と前記上部、下部クランプ部材１６６．１６８
との横方向の調整は、ピボット軸１７２に沿っておよび
前記固形部材１７４の両壁に対して水平方向に薄ナツト
１７６．１７８を調整することによってなされる。炭化
珪素製パドル支持軸１８の垂直方向の高度調整は、調整
ロッド１８４に沿って垂直に薄ナツ）１８６．１８８を
調整することによってなされ、これにより前記上部、下
部クランプ部材１６６．１６８および炭化珪素製パドル
支持軸１８を含むピボット式クランプ・アセンブリ１６
４がピボット軸１７２を中心にして枢動する。炭化珪素
製パドル支持軸１８の横方向のアラインメントおよび縦
方向の高度アラインメントが正しく行われると、止めね
じ１９６は調整ロッド１８４の上部に対して締めつけを
行い、ピボット軸１７２は、垂直壁部材１５４．１５６
内で水平方向にアラインする止めねじ１９８．２００に
よって所定位置に固定される。止めねじ１９８．２００
は、ホール１８０．１８２内のピボット軸１７２の端部
に対して垂直に締めつけを行う。

第１０図は、炭化珪素製パドル支持軸１８に対してクラ
ンプを行うカンチレバー式パドル・クランプ移動体８０
の端面図を示す。同図における全符号は、先に述べた構
成要素のものに対応している。ここで特に説明されてい
るものは、ピボット式クランプ・アセンブリ１６４を横
方向に位置決めを行う薄ナツト１７６．１７８である。

第１１図は、カンチレバー式パドル・クランプ移動体の
断面側面図を示す。特に同図において示されているもの
は、ピボット式クランプ・アセンブリ１６４およびこれ
に係合する炭化珪素製パドル支持軸１８を上、下方に位
置決めを行う薄ナツト１８６．１８８である。

第１２図は、ステンレス・スチール製可動式エレファン
ト管２０２を有する可動カンチレバー式パージ・システ
ム２０１の分解側面図を示している。ステンレス・スチ
ール製可動式エレファント管２０２は、特定の加重要求
量およびウェハ・サイズに応じて径および長さを可変可
能である。前記エレファント管２０２は、−開放端部２
０４と、炭化珪素またはセラミック製パドル支持軸若し
くはハンドル２０８が１インチの約７０／ｌ　０００お
よび１インチの１０−１００／１０００の範囲の最小ク
リアランスを通過するように十分なサイズと形状を持つ
、部分閉端部２０６の開口部２０７とともに部分的に閉
じ得る対向端部２０６とを有する。また、ステンレス・
スチール製可動式エレファント管２０２は、例えば、大
気から酸素を除去するために窒素または他のガスがウェ
ハ面または基板面を横切るように重要な個所に設けられ
たステンレス・スチール製画ａ式エレファント管２０２
の内壁に配置・固定された複数の窒素パージ・インジェ
クタ２０１ａ乃至２０１ｎを備えることが可能である。

また、ステンレス・スチール製可動式エレファント管２
０２は、ガス通過式装置構造体を取り付けるために複数
の結合用ニップルを備えることも可能である。サイズお
よび心間スペーシングを可変させる複数のホール２１２
ａ乃至２１２ｎは、第１３図に示すように、窒素または
他のガスがシリコン・ウェハの表面を通過するようにさ
せるために窒素パージ・インジェクタ管２１０ａ乃至２
１０ｎに形成されている。ニップル２１４は、ガス源が
取り付は可能なステンレス・スチール製可動式エレファ
ント管２０２の前記部分閉端部２０６に配置される。ニ
ップル２１４は、窒素パージ・インジェクタ管２１０ａ
乃至２１０ｎに結合している。ニップル２１５は、酸素
または他の全てのガスをモニタ・プローブでモニタする
ためにステンレスΦスチール製可動式エレファント管２
０２の排気用の管の端部２０６に設けられている。パド
ル・ホール２１８を有する端板２１６はステンレス・ス
チール製可動式エレファント管２０２の前記端部２０６
に隣接して配置されている。炭化珪素、セラミック等の
他の物質含有のパドル支持軸２０８はパドル・ホール２
１８を貫通する。前記端部２０６に形成されたパドル・
ホール２１８のサイズおよび形状は、各々のパドル・サ
イズに応じて変化する。第１図のカンチレバー式パドル
・クランプ移動体８０に類似した可動カンチレバー式パ
ドル・クランプ移動体２２０は、硬ステンレス・スチー
ルにもなり得るアルミニウム若しくは他の同様な物質か
ら構成され、可動カンチレバー式パドル・クランプ移動
体２２０および平行配列されたステンレス・スチール製
シャフト２２４．２２６の円滑な移動を提供する複数の
ベアリング・ブロック２２２ａ乃至２２２ｎによって支
持されている。可動カンチレバー式パドル・クランプ移
動体２２０は、炭化珪素製パドル支持軸２０８を固定す
るとともに支承する。可動カンチレバー式パドル・クラ
ンプ移動体２２０はまた加工管２２８および他の構成要
素に対してパドル支持軸２０８のアラインメントを行う
。さらに可動カンチレバー式パドル・クランプ移動体２
２０はまた炭化珪素製パドル支持軸２０８に対して上下
および横方向の調整を提供し、これにより炭化珪素製パ
ドル支持軸２０８と、ステンレス・スチール製可動式エ
レファント管２０２と加工管２２８との間のアラインメ
ントが確保される。ステンレス・スチール製可動式エレ
ファント管２０２に対するパドル支持軸２０８のシール
を行うためのクロージヤー・ドア２３０は、ステンレス
・スチールまたは他の同様な物質から構成されるととも
に炭化珪素製パドル支持軸２０８に対しておよびそれを
中心にして同軸的に固定している。前記ベローズの対向
両端部における環状フランジ２３、２３２は、リング・
プレート２３３．２３５によって且つリング・プレート
２３３．２３５および環状フランジ２３、２３２に対し
て固定された複数のクランプ２３８ａ乃至２３８ｎによ
ってシール・プレート２３７．２３６に固定される。別
な管２９０はシール・プレート２３７に溶接されるとと
もにスライド面であるシール・プレート２３６に及ぶ。

前記管２９０は好ましくは任意に選択できる。０リング
２２７は、リング・プレート２３３とシール・プレート
２３７との間に配設され、他の０リング２２９は、リン
グ・プレー）２３５とシール・プレート２３６との間に
配設されている。勾配付内面を持つ円形フランジ２３９
．２４０は複数の小ねじ２４１ａ乃至２４１ｎによって
シール・プレート２３７に対して固定される。複数のＯ
ＩＪソング４３ａ乃至２４３ｎは、環状フランジ２３９
．２４０の勾配付内面によって圧縮されドア・クロージ
ヤー・アセンブリ２３０をパドル支持軸２０８に固着し
、マウントし且つシールする。ベローズは実質的に環状
フランジ２３９．２４０および０リング２４３ａ乃至２
４３ｎによってパドル支持軸２０８に据え付けられる。

ベローズ２３４は、この据え付はエリアから屈曲し且つ
それがエレファント管２０２の端板２１６に対してシー
ルを行い得るようにパドル支持軸２０８に対して同心関
係にあるシール・プレート２３６ふよび０リング２４７
をパドル支持軸２０８に沿ってスライドさせる。調整可
能なベローズ・ストップ２４９はシール・プレート２３
７に固定しており且つベローズ運動を調整するためにシ
ール・プレート２３７とシール・プレート２３６との間
に配設されている。ステンレス・スチール若しくは他の
同様な物質から構成されるシャフト支持体２４０．２４
２は、ベアリング・ブロック２４４ａ乃至２４４ｎおよ
び２２２ａ乃至２２２ｎがシャフト支持体２２４．２２
６に沿って円滑に支えられて移動可能となるよ、うにス
テンレス・スチール製シャフト２２４．２２６を確実に
支承するための構造体を提供する。エレファント管キャ
リヤ２４５は、ステンレス・スチール製可動式エレファ
ント管２０２を取付板２４６およびベアリング・ブロッ
ク２４４ａ乃至２４４ｎに固定するブラケット２４８．
２５０を備えたベアリング・ブロック２４４ａ乃至２４
４ｎ上に固定された取付板２４６を有する。

他のクロージヤー・ドア２５１は、クロージヤー・ドア
２３０に類似しており、ステンレス・スチール製可動式
エレファント管２０２と加工管２２８との間でシールが
行われるようにステンレス・スチール製可動式エレファ
ント管２０２上にその回りに且つそこに固定されたステ
ンレス・スチール製フレキシブル・ベローズ２５２を有
する。垂直にアラインしフラットでド−ナッツ状の取付
板２５４は溶接または他の手段によってステンレス・ス
チール製可動式エレファント管２０２に固定される。ス
テンレス・スチール製フレキシブル・ベローズ２５２の
一端部における環状フランジ２５６および０リング・シ
ール２６０は、取付板２５４およびリング取付板２５５
の外面の回りとその上に固定された複数のブラケッ）２
５８ａ乃至２５８ｎによってリング取付板２５５の真下
に固定されている。フレキシブル・ベローズ２５２０対
向端邪において、他の環状フランジ２６６および０リン
グ２６８が、取付板２６６およびリング取付板２６９の
外面の回りとその上に固定された複数のブラケッ）２７
０ａ乃至２７０ｎによってリング取付板２６９の真下に
固定されている。

リング取付板２５５．２６９はベローズの一部であり、
且つベローズの当該部に溶接される。

フレキシブル・ベローズ２５２は固定された取付板２５
４に対してばね作用を行う。環状フランジ２６６は、エ
レファント管２０２に固定されておらず、エレファント
管２０２に対してベローズとともに自由に移動する。０
リング２７２は、環状フランジ２６６と複数の小ねじ２
７６ａ乃至２７６ｎによって加工管２２８に固定された
他のフランジ２７４との間のシールを行うために環状フ
ランジ２６６の環状溝に配置されている。小ねじ２７６
ａ乃至２７６ｎは、加工管２２８の端部から延在する環
状フランジ２８０に対してフランジ２７４および円形プ
レート２７８を吸引移動させるために円形プレート２７
８にねじ込まれる。ガスリング２７４内の０リング２８
２および円形プレート２７８内の０リング２８４は、環
状フランジ２８０に対してシール作用を行う。水平方向
に向けられた調整可能なベローズ・ストップ２８６は、
ステンレス・スチール製フレキシブル・ベローズ２５２
の圧縮調整を行うために取付板２５４の上部に固定され
る。

第１３図は、第１２図の１３−１３線による可動カンチ
レバー式パージ・システム２０１の断面を示した端面図
である。但し、全符号は、先に述べた構成要素のものに
対応している。同図において特に示されているものは、
ステンレス・スチール製可動式エレファント管２０２に
わたって且つそれを中心にして同心円関係にあるクロー
ジヤー・ドア２５１である。複数のパージ・インジェク
タ管２１０ａ乃至２１０ｎは、例エバ、ステンレス・ス
チール製可動式エレファント管２０２の内部側壁の基板
前部にわたって所望のパージを行うように配置されてい
る。

さらに、他の全ての番号のパージ・インジェクタ管２１
０ａ乃至２１０ｎも同システムに組み込むことも可能で
ある。パージ・インジェクタ管２１０ａ乃至２１０ｎは
、上記説明した位置以外の内部側壁上の位置に配設可能
であり、またともにマニホールド化が可能である。

第１４図は第１２図の１４−１４線による可動カンチレ
バー式バー、ジ・システム２０１の断面端面図である。

但し、同図の全符号は上記した構成要素のものに対応し
ている。長さ方向のシャフト支持体２４０．２４２はエ
レファント管キャリヤ２４５の取付板２５４から垂直に
延びてステンレス・スチール製可動式エレファント管２
０２を支承する。ステンレス・スチール製可動式エレフ
ァント管２０２を有するエレファント管キャリヤ２４５
は複数のベアリング・ブロック２４４ａ乃至２４４ｎ上
をトラバースするとともにステンレス・スチール製シャ
フト２２４．２２６に沿ってトラバースする。ステンレ
ス・スチール製シャフト２２４．２２６はシャフト支持
体２４０．２４２の最上部に沿って支承される。

第１５図乃至第１８図には、ウェハ加工用ファーネスに
関連した可動カンチレバー式パージ・システムの動作モ
ードが最もよく示されている。

第１５図はウェハ加工用ファーネス２８８に隣接し且つ
ウェハ・ローディング位置における一部断面で示された
可動カンチレバー式パージ・システム２０１を示してい
る。同図の全符号は、先に述べた構成要素のものと対応
している。

パドルのウェハ・ロードゾーン２０８ａｌ；！、パドル
の中間点からパドル支持軸２０８の一端部に延在する加
工準備中のウェハ・ボート２９０ａ乃至２９０ｎは、ウ
ェハ・ロードゾーン２０８ａ上にある複数の基板若しく
はウェハ２９２ａ乃至２９２ｎを有し加工前の状態を示
している。エレファント管キャリヤ２４５上のステンレ
ス・スチール可動式エレファント管２０２および可動カ
ンチレバー式パドル・クランプ移動体２２０は、ステン
レス・スチール製シャフト２２４．２２６上の右側に配
置されている。ウェハ加工用ファーネス２８８は、スキ
ャベンジャ面２９４、前記スキャベンジャ面２９４に形
成されたスキャベンジャ・ホール２９６、加工管２２８
およびフランジ２７４の中心におかれた加工管オリフィ
ス２９８を備えている。ウェハ加工用ファーネス２８８
内に形成されたスキャベンジャ壁３００は、ウェハ加工
用ファーネス２８８内の加工エリア３０４とスキャベン
ジャ・エリア３０２とを分離する。以後、フランジ２７
４における加工管２２８に対してシールを行うべく、ス
キャベンジャ・ホール２９６のｉ！径ハ、ステンレス・
スチール製フレキシブル・ベローズ２５２およびこれに
対応した周辺構成要素がスキャベンジャ・ホール２９６
を通過するように加工管２９８の直径より大きく取っで
ある。

第１６図は、ウェハ・パージ位置ｒＡＪを示しており、
同図中の全符号は先に述べた構成要素のものと対応して
いる。エレファント管キャリヤ２４５上にあるステンレ
ス・スチール製可動式エレファント管２０２に加えて当
該エレファント管キャリヤ２４５は、ステンレス・スチ
ール製シャフト２２４．２２６に沿って且つウェハ・ボ
ート２９０ａ乃至２９０ｎおよび複数のウェハ２９２ａ
乃至２９２ｎを含むウニ／’ｉ・ロードゾーン２０８ａ
にわたって左方向にスライドして位置決めされ、またウ
ェハ・ボート２９０ａ乃至２９０ｎおよびウェハ２９２
ａ乃至２９２ｎがウェハ加工用ファーネス２８８内に入
るための姿勢に保たれる。

第１７図は、ウェハ・パージ位置「Ｂ」を示しており、
同図の全符号は、先に述べた構成要素のものと対応して
いる。ウェハ・ボート２９０ａ乃至２９０ｎの回りのス
テンレス・スチール製可動式エレファント管２０２を含
むエレファント管キャリヤ２４５、ウェハ２９２ａ乃至
２９２ｎおよび可動カンチレバー式パドル・クランプ移
動体２２０は、ステンレス・、スチール製フレキシブル
・ベローズ２５２の環状フランジ２６６が加工管２２８
の端部においてフランジ２７４に係合し且つ前記フラン
ジ２７４に対してシールヲ行ウマで、ステンレス・スチ
ール製シャフト２２４．２２６に沿って左にスライドす
ると同時に位置決めされる。炭化珪素製パドル支持軸２
０８が第１２図に示されるように左方向に移動してパド
ル・ホール２１８を通過すると、エレファント管キャリ
ヤ２４５およびこれに関連した構成要素は静止状態とな
る。クロージヤー・ドア２３０と複数のウェハ２９２ａ
乃至２９２ｎを載せたウェハ・ボート２９０ａ乃至２９
０ｎを含むパドル支持軸２０８とを備えた可動カンチレ
バー式パドル・クランプ移動体２２０は、左方向に位置
決め動作を継続して行いステンレス・スチール製可動式
エレファント管２０２の内部の相対位置からウェハ・ボ
ート２９０ａ乃至２９０ｎおよびウェハ２９２ａ乃至２
９２ｎを位置決めし、第１８図に示されるように加工管
２２８のフラットゾーン若しくはホットゾーンに入る。

第１８図の加工位置に到達するとガスバージが終わる。

第１８図は管の端部２０６と係合し前記端部で圧力気密
シール若しくは真空気密シールを行い、これによりパド
ル・ホール２１８のエリアにおける周囲大気からステン
レス・スチール製可動式エレファント管２０２の内部を
シールするクロージヤー・ドア２３０およびクロージヤ
ー・ドア２５１による同様なシール装置を示している。

第１８図は、ウェハ加工位置を示しており、同図の全符
号は、先に述べた構成要素のものに対応している。図の
ように可動カンチレバー式パドル・クランプ移動体２２
０は左に完全に移動して位置決めされ、クロージヤー・
ドア２３０がステンレス番スチール製可動式エレファン
ト管２０２に対してシールを行うとともにパドル支持軸
２０８が左に完全に移動して位置決めされ、これにより
ウェハ加工用ファーネス２８８の中間部においてパドル
支持軸２０８上のウェハ・ボート２９０ａ乃至２９０ｎ
および複数のウェハ２９２ａ乃至２９２ｎが位置決めさ
れることになる。

加工管２２８内においてウェハ２９２ａ乃至２９２ｎの
加工処理後、ウェハ・ロードゾーン２０８ａおよびステ
ンレス・スチール製可動式エレファント管２０２は、平
行に配置されたステンレス・スチール製シャフト２２４
．２２６に沿うエレファント管キャリヤ２４５および可
動カンチレバー式パドル・クランプ移動体２２０のシー
ケンス運動によって加工管２２８およびウェハ加工用フ
ァーネス２８８から逆の順で取り出される。

第１９図は、支持フレームに関するＬＰ−ＣＶＤ法用の
カンチレバー式基板／ウェハ・パージ・ローディングシ
ステムの斜視図を示しており、同図で使用する全符号は
先に述べた構成要素のものと対応している。対向する二
つのフレーム部材およびこれに関連する構造体は対向す
る両レールを支承する。外側で対向する任意の二本のレ
ールはエレファント管キャリヤ用の別の移動支持体をな
す。電子マイクロプロセッサに基づく制御部が前記フレ
ームに固定されたハウジング内に収容されている。

本発明の範囲を逸脱することなしに本発明に対して種々
変更態様が可能であることは明らかである。

本発明の装置は、基板若しくは半導体を加工するための
考えられる全ての方法にも適用することが可能であると
ともに必ずしもＬＰ・ＣＶＤ法に限定されない。このＬ
Ｐ−ＣＶＤ法は、単に説明する上で使用されているだけ
で、本発明の装置によって実行し得る方法としてだけと
解釈されるべきではない。構成要素（部品）の配列の典
型的なものが教示されているが、この構成要素は本発明
の教示に従って、組立可能であり、特にエレファント管
およびドア・ベローズ構造体に関して言えるものである
。ドア・ベローズ構造体は、他種のパドル若しくは他種
のパドル・クランプ移動体を使用可能であり、各図にお
いて示されたタイプのパドルおよびパドル・クランプ移
動体に限定されるものではない。

エレファント管は、開示されているようにステンレス・
スチールより寧ろ石英材で構成可能である。材料の加工
および状態によって、例えば、高度の科学技術による新
素材で求め得るところによる石英若しくはステンレス・
スチールの外に他の材料もまた利用可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の可動カンチレバー式パージ・システム
の側面図、第２図は第１図の２−２線による前記パージ・システム
の断面端面図、第３図は第１図の３−３線による前記パージ・システム
の断面端面図、第４図は可動式エレファント管の縦断面図、第５図は可
動式エレファント管の端面図、第６図は部分断面で示し
た可動カンチレバー式パージ・システムのウェハ・ロー
ド位置の動作モードを説明する図、第７図はウェハ・パージ位置の動作モードの説明図、第８図はウェハ加工位置の動作モードの説明図、第９図は可動カンチレバー式パドル・クランプ移動体の
斜視図、第１０図は可動カンチレバー式パドル・クランプ移動体
の端面図、第１１図は可動カンチレバー式パドル・クランブ移動体
の断面図、第１２図は他の実施例による斜視図が第１９図に示され
た可動カンチレバー式パージ・システムの側面図、第１３図は第１２図の１３−１３線による可動カンチレ
バー式パージ・システムの断面端面図、第１４図は第１２図の１４−１４線による可動カンチレ
バー式パージ・システムの断面端面図、第１５図は前記他の実施例による部分断面で示した可動
カンチレバー式パージ・システムのウェハ・ロード位置
の動作モードを説明する図、第１６図は前記他の実施例
によるウェハ・パージ位置「Ａ」における動作モードの
説明図、第１７図は前記他の実施例によるウェハ・パー
ジ位置「Ｂ」における動作モードの説明図、第１８図は
前記他の実施例によるウェハ加工位置における動作モー
ドの説明図、第１９図は第１２図の他の実施例の斜視図である。０・・・可動カンチレバー式パージ・２！・・可動式石英エレファント管訃・・炭化珪素製パドル支持軸０・・・コネクタ・エルボ８・・・シール・ドア０・・・パドル・クランプ移動体２０・・・ウェハ加工用ファーネスシステム

Claims

【特許請求の範囲】

（１）レール手段上を移動するための手段と、移動手段
に固定され且つパドルのハンドルを収容するために後端
部にホールを形成したステンレス・スチール製エレファ
ント管とを備えたエレファント管用移動体と、前記エレ
ファント管の中間部に一端において固定されたドア・ベ
ローズ手段とからなることを特徴とする基板加工装置。
（２）フレーム手段および前記フレーム手段上に支持さ
れた対向レール手段と、前記レール手段上を移動するた
めの手段および少なくとも基板キャリヤを支えるための
カンチレバー型パドルを有するパドル移動体と、前記パ
ドル移動体の前端に固定されたドア・ベローズ手段と、
前記レール手段上を移動するための手段と、前記移動手
段に固定され且つ前記パドルのハンドルを収容するため
に後端部にホールを形成したステンレス・スチール製エ
レファント管とを有するエレファント管用移動体と、前
記エレファント管の中間部に一端において固定されたド
ア・ベローズ手段とからなることを特徴とする基板加工
装置。
（３）請求項１記載の装置において、前記パドル移動体
用の前記ドア・ベローズ手段は、Ｏリングを備えた前部
シールプレートを有していることを特徴とする基板加工
装置。
（４）請求項２記載の装置において、前記パドル移動体
用の前記ドア・ベローズ手段は、少なくとも一個の調整
可能なベローズ・ストップを有していることを特徴とす
る基板加工装置。
（５）請求項３記載の装置において、前記パドル移動体
用の前記ドア・ベローズ手段は、後部シールプレートを
有していることを特徴とする基板加工装置。
（６）請求項１記載の装置において、前記エレファント
管用の前記ドア・ベローズ手段は前記プレートを備えて
いることを特徴とする基板加工装置。
（７）請求項４記載の装置において、前記パドル移動体
用の前記ドア・ベローズ手段は、前記後部シールプレー
トから前記前部シールプレートの前方へ僅かに移動した
位置に結合された管を備えていることを特徴とする基板
加工装置。
（８）請求項６記載の装置において、少なくとも一個の
調整可能なベローズ・ストップを備えていることを特徴
とする基板加工装置。
（９）請求項１記載の装置において、ガス導入用リング
を備えていることを特徴とする基板加工装置。
（１０）請求項１記載の装置において、パージ・ニップ
ルを備えていることを特徴とする基板加工装置。
（１１）請求項１記載の装置において、前記パージ・ニ
ップルに結合された前記エレファント管に対し内部に設
けられた少なくとも一個のインジェクタ管を備えている
ことを特徴とする基板加工装置。
（１２）請求項１記載の装置において、モニタ用ボート
・ニップルを備えていることを特徴とする基板加工装置
。
（１３）請求項２記載の装置において、前記装置はＬＰ
・ＣＶＤ法に好適であることを特徴とする基板加工装置
。
（１４）半導体加工管および基板加工装置の組合体であ
って、気体雰囲気において複数の基板またはウェハを加
工するための半導体加工管手段と、フレーム手段および
前記フレーム手段上に支持された対向レール手段と、前
記レール手段上を移動するための手段および少なくとも
基板キャリヤを支えるためのカンチレバー型パドルを有
するパドル移動体と、前記パドル移動体の前端に固定さ
れたドア・ベローズ手段と、前記レール手段上を移動す
るための手段と、前記移動手段に固定され且つ前記パド
ルのハンドルを収容するために後端部にホールを形成し
たステンレス・スチール製エレファント管とを有するエ
レファント管用移動体および前記エレファント間の中間
部に一端において固定されたドア・ベローズ手段とを備
えている基板加工装置とからなることを特徴とする組合
体。
（１５）請求項１４記載の組合体において、前記装置は
ＬＰ・ＣＶＤ法に好適であることを特徴とする組合体。
（１６）基板ローディング位置においてパドル手段上の
複数の基板をローディングする工程と、基板ローディン
グ位置から基板パージング位置へ前記基板を位置決めす
る工程と、エレファント管の中間部においてドア・ベロ
ーズ手段を備えた前記エレファント管で前記パドル手段
および前記基板を包囲する工程と、加工管と圧力気密シ
ール若しくは真空気密シールを提供する前記加工管の一
端部に係合する前記ドア・ベローズ手段とに達する前記
エレファント管の一部で加工用ファーネス中の前記加工
管内における前記基板を加工する工程と、逆の順序で前
記各工程を繰り返す工程とからなることを特徴とする半
導体用ファーネス中のＣＶＤ加工管内における基板加工
方法。
（１７）請求項１６記載の方法において、前記パドル手
段は前記エレファント間の端部を通って移動することを
特徴とする基板加工方法。
（１８）請求項１７記載の方法において、前記パドル手
段を中心とした第２のドア・ベローズ手段は、前記エレ
ファント管の前記端部に係合することを特徴とする基板
加工方法。
（１９）請求項１６記載の方法において、前記エレファ
ント管はステンレス・スチールであることを特徴とする
基板加工方法。
（２０）請求項１６記載の方法において、前記エレファ
ント管は石英であることを特徴とする基板加工方法。
（２１）請求項１６記載の方法において、ＬＰ・ＣＶＤ
法に好適であることを特徴とする基板加工方法。