JPH03101146A - Ｉｃ検査装置 - Google Patents
Ｉｃ検査装置Info
- Publication number
- JPH03101146A JPH03101146A JP23807289A JP23807289A JPH03101146A JP H03101146 A JPH03101146 A JP H03101146A JP 23807289 A JP23807289 A JP 23807289A JP 23807289 A JP23807289 A JP 23807289A JP H03101146 A JPH03101146 A JP H03101146A
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- JP
- Japan
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- measured
- value
- voltage
- changeover device
- resistance value
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はＩＣのボンディングや半田付のオープン シ
ョートをチエツクする検査するＩＣ検査装置に関する。
ョートをチエツクする検査するＩＣ検査装置に関する。
本発明は、ＩＣのボンディングや半田付のオープン、シ
ョート状態を触針によりチエツクするＩＣ検査装置にお
いて、前記ＩＣ検査装置の切換器のＯＮ抵抗の値を事前
にショート板によって接続することにより基準値を計測
しておき、コンピュータに記憶させておくことにより、
実際の測定では補正することにより測定精度を向上させ
るようにしたものである。
ョート状態を触針によりチエツクするＩＣ検査装置にお
いて、前記ＩＣ検査装置の切換器のＯＮ抵抗の値を事前
にショート板によって接続することにより基準値を計測
しておき、コンピュータに記憶させておくことにより、
実際の測定では補正することにより測定精度を向上させ
るようにしたものである。
従来、第２図のブロック線図に示すようにＩＣ又はＩＣ
搭載の被測定回路５のボンディング等をチエツクする場
合に定電流源ｌからの定電流が切換器４によりＩＣ又は
ＩＣ搭載の回路５の複数個の端子を順次切換えて電流を
流し込み、その時に印加される電圧を電圧計２で測定し
て、コンピュータ３で呼み込みオープン、ショートのチ
エツクを行っていた。
搭載の被測定回路５のボンディング等をチエツクする場
合に定電流源ｌからの定電流が切換器４によりＩＣ又は
ＩＣ搭載の回路５の複数個の端子を順次切換えて電流を
流し込み、その時に印加される電圧を電圧計２で測定し
て、コンピュータ３で呼み込みオープン、ショートのチ
エツクを行っていた。
（発明が解決しようとする課題〕
しかし従来のＩＣ検査装置は半導体アナログスイッチよ
りなる切換器４であり、そのＯＮ抵抗を含んだ状態で測
定しているため、各端子ごとの電圧の測定精度が粗いも
のとなっていた。
りなる切換器４であり、そのＯＮ抵抗を含んだ状態で測
定しているため、各端子ごとの電圧の測定精度が粗いも
のとなっていた。
そこでこの発明は従来のこのような欠点を解決するため
、切換器のＯＮ抵抗の影響を受けずに済むようにし、測
定精度を向上させることを目的にしたものである。
、切換器のＯＮ抵抗の影響を受けずに済むようにし、測
定精度を向上させることを目的にしたものである。
上記問題点を解決するためにこの発明は、複数の測定針
を同時に触針して、該測定針を逐次切換えて測定するＩ
Ｃ検査装置において、被測定素子を測定する前に、被測
定素子と同一条件で触針するショート板を設け、該ショ
ート板でショートしたＯＮ抵抗値を記憶させ、該記憶し
た抵抗値をもって前記被測定素子の各測定条件の補正を
行うことにより問題を解決するものである。
を同時に触針して、該測定針を逐次切換えて測定するＩ
Ｃ検査装置において、被測定素子を測定する前に、被測
定素子と同一条件で触針するショート板を設け、該ショ
ート板でショートしたＯＮ抵抗値を記憶させ、該記憶し
た抵抗値をもって前記被測定素子の各測定条件の補正を
行うことにより問題を解決するものである。
上記のように構成されたＩＣ検査機の切換器４のＯＮ抵
抗値に含まれる誤差を事前に測定し記憶しておくことに
より、切換器４のＯＮ抵抗の影響を受けない測定が可能
となる。
抗値に含まれる誤差を事前に測定し記憶しておくことに
より、切換器４のＯＮ抵抗の影響を受けない測定が可能
となる。
以下にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。第
１図のブロック線図において、複数本の測定針７により
ＩＣ又はＩＣ搭載の回路等の被測定物５を測定する。そ
の時、前にこの触針条件と同じ状態で接触するためのダ
ミーとしてショート板６を設けて接続する。そして、定
電流源１より生成される定電流を切換器４を介してＯＮ
にさせて流し込むようにさせる。
１図のブロック線図において、複数本の測定針７により
ＩＣ又はＩＣ搭載の回路等の被測定物５を測定する。そ
の時、前にこの触針条件と同じ状態で接触するためのダ
ミーとしてショート板６を設けて接続する。そして、定
電流源１より生成される定電流を切換器４を介してＯＮ
にさせて流し込むようにさせる。
これにより印加された電圧を電圧計２で測定してコンピ
ュータ５により電圧値÷電流値により、切換器４のＯＮ
抵抗値を求めることができ、これを全ての端子に対し切
換器４で切換え、各端子と切換器の条件を総合した特性
値をコンピュータ５に記憶させておく。そして次に被測
定物の測定作業としてＩＣ又はＩＣ搭載の回路５に触針
し接続して、前記と同様に切換器４を操作してＯＮさせ
ることにより、発生する電圧を電圧計２で測定し、コン
ピュータ５により測定された電圧値より前記のＯＮ抵抗
値と定電流値を掛けた結果を引くことにより、補正しＩ
Ｃ又はＩＣ搭載の回路５に印加されている真の電圧値を
求めることが可能となる。
ュータ５により電圧値÷電流値により、切換器４のＯＮ
抵抗値を求めることができ、これを全ての端子に対し切
換器４で切換え、各端子と切換器の条件を総合した特性
値をコンピュータ５に記憶させておく。そして次に被測
定物の測定作業としてＩＣ又はＩＣ搭載の回路５に触針
し接続して、前記と同様に切換器４を操作してＯＮさせ
ることにより、発生する電圧を電圧計２で測定し、コン
ピュータ５により測定された電圧値より前記のＯＮ抵抗
値と定電流値を掛けた結果を引くことにより、補正しＩ
Ｃ又はＩＣ搭載の回路５に印加されている真の電圧値を
求めることが可能となる。
（発明の効果〕
この発明は以上説明したように、切換器４のＯＮ抵抗の
影響を受けずに測定できるため、測定精度が飛躍的に向
上する効果がある。
影響を受けずに測定できるため、測定精度が飛躍的に向
上する効果がある。
第１図はこの発明にかかるＩＣ検査装置のブロック線図
であり、第２図は従来のＩＣ検査装置のブロック線図で
ある。 １・・・定電流源 ２・・・電圧計 ３・・・コンピュータ ４・・・切換器 ５・・・ＩＣ又はＩＣ搭載の回路（被測定物）６・ ・
・ショート板 ７・・・測定針 以上
であり、第２図は従来のＩＣ検査装置のブロック線図で
ある。 １・・・定電流源 ２・・・電圧計 ３・・・コンピュータ ４・・・切換器 ５・・・ＩＣ又はＩＣ搭載の回路（被測定物）６・ ・
・ショート板 ７・・・測定針 以上
Claims (1)
- 複数の測定針を同時に触針して、該測定針を逐次切換え
て測定するＩＣ検査装置において、被測定素子を測定す
る前に、被測定素子と同一条件で触針するショート板を
設け、該ショート板でショートしたＯＮ抵抗値を記憶さ
せ、該記憶した抵抗値をもって前記被測定素子の各測定
条件の補正を行うことを特徴とするＩＣ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23807289A JPH03101146A (ja) | 1989-09-13 | 1989-09-13 | Ｉｃ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23807289A JPH03101146A (ja) | 1989-09-13 | 1989-09-13 | Ｉｃ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03101146A true JPH03101146A (ja) | 1991-04-25 |
Family
ID=17024740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23807289A Pending JPH03101146A (ja) | 1989-09-13 | 1989-09-13 | Ｉｃ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03101146A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05296802A (ja) * | 1992-04-20 | 1993-11-12 | Nec Yamaguchi Ltd | Ｉｃ検査装置の自己診断方法 |
| JP2007107894A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Yokogawa Electric Corp | Ｉｃテスタ |
-
1989
- 1989-09-13 JP JP23807289A patent/JPH03101146A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05296802A (ja) * | 1992-04-20 | 1993-11-12 | Nec Yamaguchi Ltd | Ｉｃ検査装置の自己診断方法 |
| JP2007107894A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Yokogawa Electric Corp | Ｉｃテスタ |
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