JPH0310137A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH0310137A JPH0310137A JP1145895A JP14589589A JPH0310137A JP H0310137 A JPH0310137 A JP H0310137A JP 1145895 A JP1145895 A JP 1145895A JP 14589589 A JP14589589 A JP 14589589A JP H0310137 A JPH0310137 A JP H0310137A
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- Japan
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- pressure
- pressure sensor
- magnetic alloy
- amorphous magnetic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサ
に関するものであａ 従来の技術 近紙 非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサが
提案されていも 第４図はこのような圧力センサの一例
の概醋を示す断面図である。 １１は円柱状の本体 １
２は圧力導入口 １３は圧力を伝える圧力室である。
１４は本体１１の一部を薄く加工した変形部分、 １５
は圧力による歪が生じないようにした非変形部分である
。非変形部分１５は圧力室１３と同径の中空部分１６を
持つ。
に関するものであａ 従来の技術 近紙 非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサが
提案されていも 第４図はこのような圧力センサの一例
の概醋を示す断面図である。 １１は円柱状の本体 １
２は圧力導入口 １３は圧力を伝える圧力室である。
１４は本体１１の一部を薄く加工した変形部分、 １５
は圧力による歪が生じないようにした非変形部分である
。非変形部分１５は圧力室１３と同径の中空部分１６を
持つ。
１７は本体１１の外周上で、変形部分１４及び非変形部
分１５の上に接着した非晶質磁性合金であ＆ １８は
圧力検出コイルで、変形部分１４の外周上に接着した非
晶質磁性合金１７の外側にボビン１９を介して配される
。２０は圧力検出コイル１８と同構成の差動用コイルで
、非変形部分１５の外周上に接着した非晶質磁性合金１
７の外側にボビン１９を介して配される。２１はヨーつ
てボビン１９の外周に装着されム ２２は本体１１の固
定用ネジ部分、 ２３は検出回路であａ圧力は圧力導入
口１２から圧力室１３に伝わり、圧力室１３を膨らませ
る方向に応力をかけも その結果 変形部分１４が変動
し その表面に接着された非晶質磁性合金１７の透磁率
が変化すムこの透磁率変化を圧力検出コイル１８でイン
ダクタンスの変化として検出し 差動用コイル２０との
差動出力より圧力の変化を得ていも 発明が解決しようとする課題 従来の構成の圧力センサで流体の圧力を測る場合、第５
図に示すように円筒管３１から圧力センサ３２を取り付
けるバイパス管３３が必要となるので場所を取り、さら
に圧力センサ３２およびバイパス管３３の取り付は位置
が限定される課題があっち 本発明の目的（ム 流体圧力を測る場合、場所を取らず
、流体を伝達する円筒管の任意の位置に取り付けられる
圧力センサを提供することにあム課題を解決するための
手段 円筒管の表面上の一部に磁歪を有する非晶質磁性合金を
固着し 前記非晶質磁性合金の外周に磁気回路をなすよ
う透磁率検出素子を配置した構成を有し 流体の圧力変
化にともなう前記素子の透磁率の変化から圧力を検出す
る圧力センサによも作用 本発明の構成によれ（ｆ、流体を伝達する円筒管の表面
に直接非晶質磁性合金を固着するたべ 場所を取らず任
意の場所に取り付けられる圧力センサを構成することが
可能となる。
分１５の上に接着した非晶質磁性合金であ＆ １８は
圧力検出コイルで、変形部分１４の外周上に接着した非
晶質磁性合金１７の外側にボビン１９を介して配される
。２０は圧力検出コイル１８と同構成の差動用コイルで
、非変形部分１５の外周上に接着した非晶質磁性合金１
７の外側にボビン１９を介して配される。２１はヨーつ
てボビン１９の外周に装着されム ２２は本体１１の固
定用ネジ部分、 ２３は検出回路であａ圧力は圧力導入
口１２から圧力室１３に伝わり、圧力室１３を膨らませ
る方向に応力をかけも その結果 変形部分１４が変動
し その表面に接着された非晶質磁性合金１７の透磁率
が変化すムこの透磁率変化を圧力検出コイル１８でイン
ダクタンスの変化として検出し 差動用コイル２０との
差動出力より圧力の変化を得ていも 発明が解決しようとする課題 従来の構成の圧力センサで流体の圧力を測る場合、第５
図に示すように円筒管３１から圧力センサ３２を取り付
けるバイパス管３３が必要となるので場所を取り、さら
に圧力センサ３２およびバイパス管３３の取り付は位置
が限定される課題があっち 本発明の目的（ム 流体圧力を測る場合、場所を取らず
、流体を伝達する円筒管の任意の位置に取り付けられる
圧力センサを提供することにあム課題を解決するための
手段 円筒管の表面上の一部に磁歪を有する非晶質磁性合金を
固着し 前記非晶質磁性合金の外周に磁気回路をなすよ
う透磁率検出素子を配置した構成を有し 流体の圧力変
化にともなう前記素子の透磁率の変化から圧力を検出す
る圧力センサによも作用 本発明の構成によれ（ｆ、流体を伝達する円筒管の表面
に直接非晶質磁性合金を固着するたべ 場所を取らず任
意の場所に取り付けられる圧力センサを構成することが
可能となる。
実施例
実施例１
第１図は本発明の一実施例による圧力センサの概略を示
す断面図である。 ■は流体を伝達する円筒管であり、
その表面にはＦ ｅ−３ｉ −Ｂ−Ｃｒ系非晶質磁性合
金２がエポキシ系接着剤により２５０＼ ２時間で固着
されている。３は非晶質磁性合金２の外周に配されたテ
トラフルオロエチレン製ボビン４のまわりに１００回コ
イルを巻いて形成した圧力検出コイルである。ボビン４
の外周には４５％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるヨーク５が装
着されも 〇は検出回路であも 以下に本発明の圧力センサの動作を説明する。
す断面図である。 ■は流体を伝達する円筒管であり、
その表面にはＦ ｅ−３ｉ −Ｂ−Ｃｒ系非晶質磁性合
金２がエポキシ系接着剤により２５０＼ ２時間で固着
されている。３は非晶質磁性合金２の外周に配されたテ
トラフルオロエチレン製ボビン４のまわりに１００回コ
イルを巻いて形成した圧力検出コイルである。ボビン４
の外周には４５％Ｎｉ−Ｆｅ合金よりなるヨーク５が装
着されも 〇は検出回路であも 以下に本発明の圧力センサの動作を説明する。
円筒管１内を流れる流体の圧力が変化すると、それに応
じて円筒管表面が膨張 あるいは収縮方向に応力を受け
る。その結果 円筒管１の表面に固着された非晶質磁性
合金２が歪を受ける。この歪により、逆磁歪効果で非晶
質磁性合金２の透磁率が変化する。この変化をインダク
タンスの変化として圧力検出コイル３で検出し検出回路
６を通して圧力を得も 本実施例の圧力センサの出力例を第２図に示す。
じて円筒管表面が膨張 あるいは収縮方向に応力を受け
る。その結果 円筒管１の表面に固着された非晶質磁性
合金２が歪を受ける。この歪により、逆磁歪効果で非晶
質磁性合金２の透磁率が変化する。この変化をインダク
タンスの変化として圧力検出コイル３で検出し検出回路
６を通して圧力を得も 本実施例の圧力センサの出力例を第２図に示す。
図より低ヒステリシスで、直線性のよい良好な出力が得
られることがわかる。また 第５図に示したようなバイ
パス管や圧力センサ本体の占める場所が不要となるので
、省スペース化が図れ さらに円筒管の任意の場所に非
晶質磁性合金を固着できるので圧力センサを任意の場所
に設置できもな抵 実施例１では非晶質磁性合金の透磁
率の変化をコイルで検出した力交 これはヘッドを用い
てもよく、その一実施例の構成の概略を示す断面図を第
３図（イ）に示す。
られることがわかる。また 第５図に示したようなバイ
パス管や圧力センサ本体の占める場所が不要となるので
、省スペース化が図れ さらに円筒管の任意の場所に非
晶質磁性合金を固着できるので圧力センサを任意の場所
に設置できもな抵 実施例１では非晶質磁性合金の透磁
率の変化をコイルで検出した力交 これはヘッドを用い
てもよく、その一実施例の構成の概略を示す断面図を第
３図（イ）に示す。
円筒管１の表面の一部分に非晶質磁性合金２を固着し
非晶質磁性合金２の表面で円筒管ｌの円周方向に検出ヘ
ッド７を、軸方向に差動用ヘッド８をそれぞれ配した構
成を持つ。第３図（ロ）は第３図（イ）の検出ヘッド７
をＡ側から見た矢視図であも 第３図（イ）のような構成にすることて 非晶質磁性合
金の一部にヘッドを当てるだけでよいので、コイルに比
べさらに小型の圧力センサを得ることが可能となも また第３図（イ）のヘッド構成で円筒管の円周方向およ
び軸方向にそれぞれヘッドを配すると、軸方向のヘッド
８の出力は円周方向のヘッド７の出力に比べ非常に小さ
いた八 両者の差を取ることによって温度特性のよい出
力が高精度で得られる。
非晶質磁性合金２の表面で円筒管ｌの円周方向に検出ヘ
ッド７を、軸方向に差動用ヘッド８をそれぞれ配した構
成を持つ。第３図（ロ）は第３図（イ）の検出ヘッド７
をＡ側から見た矢視図であも 第３図（イ）のような構成にすることて 非晶質磁性合
金の一部にヘッドを当てるだけでよいので、コイルに比
べさらに小型の圧力センサを得ることが可能となも また第３図（イ）のヘッド構成で円筒管の円周方向およ
び軸方向にそれぞれヘッドを配すると、軸方向のヘッド
８の出力は円周方向のヘッド７の出力に比べ非常に小さ
いた八 両者の差を取ることによって温度特性のよい出
力が高精度で得られる。
以上の構成 動作により従来に比べて場所を取らず任意
の場所に設置できる圧力センサを得ることができも 発明の効果 以上の説明から明らかなようへ 本発明は流体を伝える
円筒管の表面に非晶質磁性合金を固着することにより、
場所を取う哄 か２ 円筒管の任意の位置に設置でき
る圧力センサを構成するこ七が可能である。
の場所に設置できる圧力センサを得ることができも 発明の効果 以上の説明から明らかなようへ 本発明は流体を伝える
円筒管の表面に非晶質磁性合金を固着することにより、
場所を取う哄 か２ 円筒管の任意の位置に設置でき
る圧力センサを構成するこ七が可能である。
第１図は本発明の圧力センサの断面医 第２図は同セン
サの出力特性医 第３図は本発明のヘッドを用いた構成
の圧力センサの断面医 第４図は従来例の圧力センサの
断面医 第５図は従来構成の圧力センサを円筒管へ取り
付けた側面図であ４１、３１・・・円筒詠 ２、１７・
・・非晶質磁性合血３、１８・・・圧力検出コイＡｔ、
４、１９・・・ボビン、５、２１・・・ヨー久 ６
、２３・・・検出回路 ７・・・検出ヘッド、 ８・・
・差動用ヘッド、 １１・・・本化１２・・・圧力導入
μ １３・・・圧力塞 １４・・・変形部分、１５・・
・非変形部分、 １６・・・中空部分、 ２０・・・差
動用コイホ ２２・・・固定用ネジ、 ３２・・・圧力
センサ、３３・・・バイパスを
サの出力特性医 第３図は本発明のヘッドを用いた構成
の圧力センサの断面医 第４図は従来例の圧力センサの
断面医 第５図は従来構成の圧力センサを円筒管へ取り
付けた側面図であ４１、３１・・・円筒詠 ２、１７・
・・非晶質磁性合血３、１８・・・圧力検出コイＡｔ、
４、１９・・・ボビン、５、２１・・・ヨー久 ６
、２３・・・検出回路 ７・・・検出ヘッド、 ８・・
・差動用ヘッド、 １１・・・本化１２・・・圧力導入
μ １３・・・圧力塞 １４・・・変形部分、１５・・
・非変形部分、 １６・・・中空部分、 ２０・・・差
動用コイホ ２２・・・固定用ネジ、 ３２・・・圧力
センサ、３３・・・バイパスを
Claims (2)
- （１）円筒管の表面上の一部に磁歪を有する非晶質磁性
合金を固着し、前記非晶質磁性合金の外周に磁気回路を
なすよう透磁率検出素子を配置した構成を有することを
特徴とする圧力センサ。 - （２）透磁率検出素子として円筒管表面に検出ヘッドお
よび差動用ヘッドを配し、流体の圧力変化にともなう前
記２種のヘッドのインダクタンス差から圧力を検出する
ことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1145895A JPH0310137A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1145895A JPH0310137A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0310137A true JPH0310137A (ja) | 1991-01-17 |
Family
ID=15395536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1145895A Pending JPH0310137A (ja) | 1989-06-08 | 1989-06-08 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0310137A (ja) |
-
1989
- 1989-06-08 JP JP1145895A patent/JPH0310137A/ja active Pending
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