JPH03101513U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03101513U JPH03101513U JP1101190U JP1101190U JPH03101513U JP H03101513 U JPH03101513 U JP H03101513U JP 1101190 U JP1101190 U JP 1101190U JP 1101190 U JP1101190 U JP 1101190U JP H03101513 U JPH03101513 U JP H03101513U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- well
- melt
- boat
- epitaxial growth
- liquid phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図ａ，ｂはこの考案の液相エピタキシヤル
成長用スライドボートの一実施例を示す断面図お
よび蓋を除いた上面図、第２図はこの考案の動作
を説明する断面図、第３図は従来の液相エピタキ
シヤル成長用スライドボートの断面図である。 図において、１……下部ボート、２……ウエル
、３……基板、５ａ……メルト用ウエル、５ｂ…
…材料用ウエル、６……メルト、７，１０……易
蒸発性元素を容易に放出する材料、８……蓋、９
……飛散防止用ウエルである。なお、各図中の同
一符号は同一または相当部分を示す。
成長用スライドボートの一実施例を示す断面図お
よび蓋を除いた上面図、第２図はこの考案の動作
を説明する断面図、第３図は従来の液相エピタキ
シヤル成長用スライドボートの断面図である。 図において、１……下部ボート、２……ウエル
、３……基板、５ａ……メルト用ウエル、５ｂ…
…材料用ウエル、６……メルト、７，１０……易
蒸発性元素を容易に放出する材料、８……蓋、９
……飛散防止用ウエルである。なお、各図中の同
一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 上部ボートにメルト用ウエルおよび易蒸発性元
素を容易に放出する材料を収容する材料用ウエル
を形成し、前記メルト用ウエルに収容されたエピ
タキシヤル成長用メルトを下部ボートのウエルに
セツトされた基板上に接触させてエピタキシヤル
膜を形成する易蒸発性元素を含む半導体の液相エ
ピタキシヤル成長用スライドボートにおいて、前
記メルト用ウエルおよび前記材料用ウエルを含む
外周に、隔壁を設けることによつて形成された易
蒸発性元素の飛散防止用ウエルに易蒸発性元素を
容易に放出する材料を収容したことを特徴とする
液相エピタキシヤル成長用スライドボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1101190U JPH03101513U (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1101190U JPH03101513U (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03101513U true JPH03101513U (ja) | 1991-10-23 |
Family
ID=31514555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1101190U Pending JPH03101513U (ja) | 1990-02-05 | 1990-02-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03101513U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101036611B1 (ko) * | 2008-11-20 | 2011-05-24 | (주)아이티시 | 발목관절 재활운동기구 |
-
1990
- 1990-02-05 JP JP1101190U patent/JPH03101513U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101036611B1 (ko) * | 2008-11-20 | 2011-05-24 | (주)아이티시 | 발목관절 재활운동기구 |
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