JPH03102285A - 半導体放射線検出器 - Google Patents
半導体放射線検出器Info
- Publication number
- JPH03102285A JPH03102285A JP24032989A JP24032989A JPH03102285A JP H03102285 A JPH03102285 A JP H03102285A JP 24032989 A JP24032989 A JP 24032989A JP 24032989 A JP24032989 A JP 24032989A JP H03102285 A JPH03102285 A JP H03102285A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- picture element
- array
- radiation
- detector
- row
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
本発明は、例えば医療用診断装置、工業用非破壊検査装
置等に用いられる半導体放射線検出器に関し、さらに詳
しくは、スキャン方向に数画素をもつマルチライン型放
射線検出器に関する．く従来の技術〉 従来のマルチ型半導体放射線検出器としては、例えば第
５図に示すにように、複数個の画素ｐ・・・ｐが行列状
に形成された二次元検出素子アレイＡを直線状に並べた
構造のものがある． 〈発明が解決しようとする課題〉 ところで、半導体放射線検出素子は、加工の際に周縁部
がダメージを受け、その周縁部の画素の放射線検出特性
が劣化すること、放射線入射角によって、第６図に示す
ように、検出素子の周縁部とそれ以外の部分の画素とで
は有感面積が異なること、さらに、放射線検出素子の加
工精度のバラツキ等により検出素子を配列したときに、
第５図に示すように、各素子間に隙間が開くことは避け
られないこと等から、マルチ型半導体放射線検出器を用
いた受像装置においては、従来、各放射線検出素子の周
縁に相当する部分の画素データを、何らかの方法で補正
または補間処理する必要があり、その処理が複雑、かつ
、困難であった。
置等に用いられる半導体放射線検出器に関し、さらに詳
しくは、スキャン方向に数画素をもつマルチライン型放
射線検出器に関する．く従来の技術〉 従来のマルチ型半導体放射線検出器としては、例えば第
５図に示すにように、複数個の画素ｐ・・・ｐが行列状
に形成された二次元検出素子アレイＡを直線状に並べた
構造のものがある． 〈発明が解決しようとする課題〉 ところで、半導体放射線検出素子は、加工の際に周縁部
がダメージを受け、その周縁部の画素の放射線検出特性
が劣化すること、放射線入射角によって、第６図に示す
ように、検出素子の周縁部とそれ以外の部分の画素とで
は有感面積が異なること、さらに、放射線検出素子の加
工精度のバラツキ等により検出素子を配列したときに、
第５図に示すように、各素子間に隙間が開くことは避け
られないこと等から、マルチ型半導体放射線検出器を用
いた受像装置においては、従来、各放射線検出素子の周
縁に相当する部分の画素データを、何らかの方法で補正
または補間処理する必要があり、その処理が複雑、かつ
、困難であった。
また、従来のマルチ型半導体放射線検出器においては、
検出素子配列方向に沿って斜めに進行する散乱線による
影響を除去できる構造とはなっていない。
検出素子配列方向に沿って斜めに進行する散乱線による
影響を除去できる構造とはなっていない。
本発明の目的は、撮像装置に使用した際に、各検出素子
周縁部に相当する部分の画素データの補正や補間処理等
を要することなく、鮮明な画像を得ることのできる半導
体放射線検出器を提供することにある。
周縁部に相当する部分の画素データの補正や補間処理等
を要することなく、鮮明な画像を得ることのできる半導
体放射線検出器を提供することにある。
〈課題を解決するための手段〉
上記の目的を達或するための構戒を、実施例に対応する
第１図を参照しつつ説明すると、本発明は、複数画素Ｐ
・・・ｐが行列状に形成されてなる、複数個の半導体放
射線検出素子Ａ・・・Ａを、その画素配列の行もしくは
列方向に沿う方向に交互に、かつ、少なくとも２列の画
素ｐを相互に重複させて配列したことによって特徴づけ
られる。
第１図を参照しつつ説明すると、本発明は、複数画素Ｐ
・・・ｐが行列状に形成されてなる、複数個の半導体放
射線検出素子Ａ・・・Ａを、その画素配列の行もしくは
列方向に沿う方向に交互に、かつ、少なくとも２列の画
素ｐを相互に重複させて配列したことによって特徴づけ
られる。
〈作用〉
基本的には、検出器全体を、検出素子Ａ・・・Ａの配列
方向と直交する方向にスキャンすることによって放射線
像を得るわけであるが、各検出素子Ａの２列の画素を相
互に重複させることで、各検出素子Ａの両端１列の画素
以外の画素、すなわち有効画素によって、検出素子配列
方向における検出領域を隙間なくカバーできる。さらに
、スキャンピッチを、検出素子Ａのスキャン方向両端の
画素を除いた画素分Ｌとすることで、そのスキャン方向
における検出平面をも有効画素によって隙間なくカバー
できる． 〈実施例〉 第１図は、本発明実施例の構或を示す平面で、第２図は
その実施例の要部斜視図である。
方向と直交する方向にスキャンすることによって放射線
像を得るわけであるが、各検出素子Ａの２列の画素を相
互に重複させることで、各検出素子Ａの両端１列の画素
以外の画素、すなわち有効画素によって、検出素子配列
方向における検出領域を隙間なくカバーできる。さらに
、スキャンピッチを、検出素子Ａのスキャン方向両端の
画素を除いた画素分Ｌとすることで、そのスキャン方向
における検出平面をも有効画素によって隙間なくカバー
できる． 〈実施例〉 第１図は、本発明実施例の構或を示す平面で、第２図は
その実施例の要部斜視図である。
ＣｄＴｅやＨｇｌ，等の結晶からなる化合物半導体基板
１の一面側には、Ａｕ等を一様に蒸着してなる共通のバ
イアス電極２が形成されている。
１の一面側には、Ａｕ等を一様に蒸着してなる共通のバ
イアス電極２が形成されている。
基板１の反対側の面には、各画素ｐ・・・ｐに対応させ
るべく、複数個の信号取り出し電極３・・・３が行列状
に形成されており、バイアス電極２側を放射線入射側と
する放射線検出素子アレイＡを形成している． さて、本発明実施例では、複数個の放射線検出素子アレ
イＡ・・・Ａを、プリント基仮４上に、その画素配列の
行もしくは列方向に沿う方向に交互に、かつ、その各検
出素子Ａ・・・Ａの両端２列の画素ｐ・・・Ｐが、それ
ぞれ互いに重複するように配列して、マルチ型半導体放
射線検出器Ｓを構戒している。
るべく、複数個の信号取り出し電極３・・・３が行列状
に形成されており、バイアス電極２側を放射線入射側と
する放射線検出素子アレイＡを形成している． さて、本発明実施例では、複数個の放射線検出素子アレ
イＡ・・・Ａを、プリント基仮４上に、その画素配列の
行もしくは列方向に沿う方向に交互に、かつ、その各検
出素子Ａ・・・Ａの両端２列の画素ｐ・・・Ｐが、それ
ぞれ互いに重複するように配列して、マルチ型半導体放
射線検出器Ｓを構戒している。
なお、検出素子アレイ八のプリント基板への実装はフリ
ップチップ実装法等によって行う。
ップチップ実装法等によって行う。
また、このような半導体検出器Ｓ全体を、各検出素子ア
レイＡ配列方向と直交する方向に、検出素子アレイＡの
有効画素分Ｌづつスキャンさせる駆動機構５を設けてい
る。なお、この駆動機構５は従来のマルチ型半導体放射
線検出器をスキャンさせるものと同等のものでよい。
レイＡ配列方向と直交する方向に、検出素子アレイＡの
有効画素分Ｌづつスキャンさせる駆動機構５を設けてい
る。なお、この駆動機構５は従来のマルチ型半導体放射
線検出器をスキャンさせるものと同等のものでよい。
そして、各検出素子アレイＡ・・・Ａの周縁部における
１列分の画素に対応する信号取り出し電極３は信号処理
回路（図示せず）に接続せず、それ以外の画素に対応す
る信号取り出し電極３のみを信号処理回路に接続してい
る．すなわち、加工ダメージ等のない有効画素領域によ
る画素信号のみが信号処理回路に入力される．なお、各
検出素子アレイＡ・・・Ａの周縁部の画素については画
素データを採取しないが、その電位は有効画素と同電位
としておく。
１列分の画素に対応する信号取り出し電極３は信号処理
回路（図示せず）に接続せず、それ以外の画素に対応す
る信号取り出し電極３のみを信号処理回路に接続してい
る．すなわち、加工ダメージ等のない有効画素領域によ
る画素信号のみが信号処理回路に入力される．なお、各
検出素子アレイＡ・・・Ａの周縁部の画素については画
素データを採取しないが、その電位は有効画素と同電位
としておく。
第３図は、本発明実施例の作用説明図である。
なお、斜線部は各検出素子アレイＡの有効画素領域を表
している。
している。
この図から明らかなように、放射線検出器Ｓを有効画素
分Ｌだけ１頌次スキャンしてゆくと、所望の検出平面の
全ての領域を、各アレイＡ・・・Ａの有効画素領域によ
って隙間なくカバーできることになる。従って、放射線
検出器Ｓのスキャンごとに採取した画素データを信号処
理回路等において順次組み合わせてゆくことによって、
継ぎ目のない放射線像を得ることができる。
分Ｌだけ１頌次スキャンしてゆくと、所望の検出平面の
全ての領域を、各アレイＡ・・・Ａの有効画素領域によ
って隙間なくカバーできることになる。従って、放射線
検出器Ｓのスキャンごとに採取した画素データを信号処
理回路等において順次組み合わせてゆくことによって、
継ぎ目のない放射線像を得ることができる。
第４図は本発明実施例の変形例を示す斜視図である。
この例では、先の実施例の構威に加えて、各検出素子Ａ
によって挟まれる領域に、それぞれ放射線遮蔽体６・・
・６を設けており、この遮蔽体６によって、各検出素子
Ａの配列方向に沿って斜めに進行する散乱線の大部分を
除去するよう構成している。この遮蔽体６の材料として
は、例えば、Ｎｉ，ＣｕあるいはＰｂ−Ｓｎ等、放射線
吸収率が高い金属を用いる．なお、放射線遮蔽体６の高
さは、高ければ高い程、散乱線除去効果が大となること
ば言うまでもない。
によって挟まれる領域に、それぞれ放射線遮蔽体６・・
・６を設けており、この遮蔽体６によって、各検出素子
Ａの配列方向に沿って斜めに進行する散乱線の大部分を
除去するよう構成している。この遮蔽体６の材料として
は、例えば、Ｎｉ，ＣｕあるいはＰｂ−Ｓｎ等、放射線
吸収率が高い金属を用いる．なお、放射線遮蔽体６の高
さは、高ければ高い程、散乱線除去効果が大となること
ば言うまでもない。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明によれば、半導体放射線検
出素子を、その画素配列の行もしくは列方向に沿う方向
に交互に、かつ、少なくとも２列の画素を相互に重複さ
せて配列したので、放射線像を撮像するにあたり、各放
射線検出素子の周縁部の画素を使用することなく、それ
以外の有効画素領域によって、所望の検出平面の全ての
画素データを隙間なく採取できる。従って、従来行われ
ていた、各放射線検出素子周縁部に相当する画素データ
の補正や補間処理等が不要となり、最小限の画像処理に
より継ぎ目のない鮮明な画質の放射線像を得ることがで
きる。
出素子を、その画素配列の行もしくは列方向に沿う方向
に交互に、かつ、少なくとも２列の画素を相互に重複さ
せて配列したので、放射線像を撮像するにあたり、各放
射線検出素子の周縁部の画素を使用することなく、それ
以外の有効画素領域によって、所望の検出平面の全ての
画素データを隙間なく採取できる。従って、従来行われ
ていた、各放射線検出素子周縁部に相当する画素データ
の補正や補間処理等が不要となり、最小限の画像処理に
より継ぎ目のない鮮明な画質の放射線像を得ることがで
きる。
また、各放射線検出素子間にそれぞれ放射線遮蔽体を配
設することで、各検出素子への散乱線入射量を大幅に低
減でき、これによって、より鮮明な放射線像を得ること
もできる。
設することで、各検出素子への散乱線入射量を大幅に低
減でき、これによって、より鮮明な放射線像を得ること
もできる。
第１図は本発明実施例の構或を示す平面図で、第２図は
その実施例の要部斜視図である。 第３図は本発明実施例の作用説明図である。 第４図は本発明実施例の変形例の説明図である。 第５図は従来のマルチ型半導体放射線検出器の平面図、
第６図は半導体放射線検出素子の有感領域の説明図であ
る。 １・・・半導体基板 ２・・・バイアス電極 ３・・・３・・・信号取り出し電極 ４・・・駆動機構 Ａ・・・半導体放射線検出素子アレイ ｐ・・・画素
その実施例の要部斜視図である。 第３図は本発明実施例の作用説明図である。 第４図は本発明実施例の変形例の説明図である。 第５図は従来のマルチ型半導体放射線検出器の平面図、
第６図は半導体放射線検出素子の有感領域の説明図であ
る。 １・・・半導体基板 ２・・・バイアス電極 ３・・・３・・・信号取り出し電極 ４・・・駆動機構 Ａ・・・半導体放射線検出素子アレイ ｐ・・・画素
Claims (1)
- 複数画素が行列状に形成されてなる複数個の半導体放射
線検出素子を、その画素配列の行もしくは列方向に沿う
方向に交互に、かつ、少なくとも２列の画素を相互に重
複させて配列した、半導体放射線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24032989A JPH03102285A (ja) | 1989-09-16 | 1989-09-16 | 半導体放射線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24032989A JPH03102285A (ja) | 1989-09-16 | 1989-09-16 | 半導体放射線検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03102285A true JPH03102285A (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=17057859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24032989A Pending JPH03102285A (ja) | 1989-09-16 | 1989-09-16 | 半導体放射線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03102285A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USD939079S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-12-21 | Icu Medical, Inc. | Infusion pump |
| US11213619B2 (en) | 2013-11-11 | 2022-01-04 | Icu Medical, Inc. | Thermal management system and method for medical devices |
-
1989
- 1989-09-16 JP JP24032989A patent/JPH03102285A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11213619B2 (en) | 2013-11-11 | 2022-01-04 | Icu Medical, Inc. | Thermal management system and method for medical devices |
| USD939079S1 (en) | 2019-08-22 | 2021-12-21 | Icu Medical, Inc. | Infusion pump |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4681774B2 (ja) | 撮像素子、その撮像素子を用いた撮像装置、及びその撮像装置を用いた撮像システム | |
| US8098795B2 (en) | Device and method for time-delayed integration on an X-ray detector composed of a plurality of detector modules | |
| US7391845B2 (en) | Semiconductor radiation detector with guard ring, and imaging system with this detector | |
| US5834782A (en) | Large area image detector | |
| JP2001042042A (ja) | 撮像装置 | |
| JPH0284942A (ja) | 歯科用ｘ線診断装置 | |
| US20040161073A1 (en) | X-ray computed tomography apparatus | |
| JP2005322908A (ja) | 食違い配置の検出区域を有するモノリシックｘ線検出器 | |
| EP1120744B1 (en) | Correction of defective pixels in a detector | |
| EP0230155A1 (en) | Apparatus for radiography | |
| US5461233A (en) | Medical X-ray image detecting device and a medical X-ray tomographing apparatus comprising same | |
| JP2881856B2 (ja) | 放射線像受像装置 | |
| JP2008252691A (ja) | 画像信号取得方法および装置 | |
| JPH03102285A (ja) | 半導体放射線検出器 | |
| GB2278765A (en) | Imaging arrangements | |
| JP4505949B2 (ja) | 放射線画像撮影装置 | |
| US20060056593A1 (en) | X-ray examination apparatus | |
| JP3538999B2 (ja) | 半導体放射線検出素子 | |
| JPH03189585A (ja) | Ｘ線センサアレイ及びｘ線受像装置 | |
| JPH0868864A (ja) | 撮像装置 | |
| JP2604114Y2 (ja) | 放射線検出器 | |
| RU70106U1 (ru) | Сканирующий малодозовый рентгенографический аппарат | |
| RU2347531C1 (ru) | Сканирующий малодозовый рентгенографический аппарат | |
| US20230314637A1 (en) | Radiation imaging apparatus and radiation imaging system | |
| JPH03259569A (ja) | 放射線センサアレイおよび放射線受像装置 |