JPH03102984A

JPH03102984A - 固体撮像装置

Info

Publication number: JPH03102984A
Application number: JP1239505A
Authority: JP
Inventors: Isao Hirota; 功廣田
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1989-09-14
Filing date: 1989-09-14
Publication date: 1991-04-30

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は複数の光電変換部がマトリクス状に配列される
エリア状の固体撮像装置に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、複数の光電変換部がマトリクス状に配列され
る固体撮像装置において、その水平列毎にテレビジョン
画面の水平方向に対応した水平方向に電荷を転送するた
めの電荷転送部を読み出し部を介しながら設け、所要の
動作を行って水平方向の転送と共に垂直方向の転送も行
う蓄積部と、読み出し用の読み出し手段を配設すること
により、水平解像度の高解像度化を図りながら、単位セ
ル中の光電変換部の面積の増大等を実現させ、さらにテ
レビジゴン信号に対応した出力を可能とするものである
。

〔従来の技術］ＣＯＤイメージ中等の固体撮像装置は、種々のカメラに
搭載され、被写体からの光に対応した画像信号を出力す
るように用いられている。この固体撮像装置から出力さ
れる画像｛３号としては、通常、テレビジョン信号に対
応した出力信号がなされている。

ところで、ＣＣＤ型の固体撮像装置の電荷転送の構造は
、大別して３つに分けられる．インターライン転送型、
フレームインターライン転送型，フレーム転送型の３つ
がある。

第６図は一般的なフレームインターライン転送型のＣＣ
Ｄの模式図である。マトリクス状に光電変換部１０１が
配列され、その垂直列毎に垂直レジスタ部１０２が設け
られる。複数の垂直レジスタ部１０２は、それぞれ次に
説明する構造の第２垂直レジスタ部１０３に接続し、垂
直レジスタ部＋０２からの信号電荷は第２垂直レジスタ
部１０３に一時的に蓄積される。各第２垂直レジスタ部
１０３は、１つの水平レジスタ部１０４に電気的に接続
し、この水平レジスタ部１０４でテレビジョン画面の水
平ライン毎に信号電荷が出力部ｌ０５を介して送り出さ
れる。

第７図は第２垂直レジスタ部１０３の構造を示す平面図
である．駆動信号ＳＴΦ１〜ＳＴΦ４の４相で駆動され
る転送電極１０６〜１０９が転送方向と直交する方向に
帯状に順番に並べられ、各垂直列はチャンネルストンバ
ー領域１１０によって区切られている。信号電荷は、チ
ャンネルストッパー領域１１０によって区切られた垂直
方向に転送されて行く．また、フレーム転送型のＣＣＤとしては、例えば、特開
昭６１−１２５０７７号公報や特開昭６１−１９８８９
１号公報に記載される撮像装置が知られている。これら
各公報記載の撮像装置では、フレーム転送型であるにも
拘わらずインターレース化を図る目的から、その撮像部
において、テレビジョン画面の水平方向に電荷が転送さ
れる機構が採用されている。

（発明が解決しようとする課題）フレーム転送型の固体撮像装置は、光電変換部が電荷転
送の機能を有するものであり、受光面積を広く採れると
いう点で優れるが、スメアを低減することが困難であり
、光吸収や感度等の面で十分ではない。

そこで、固体撮像装置の電荷転送の構造を、フレーム転
送型ではなく、フレームインターライン転送型やインタ
ーライン転送型とすることで、スメアを低減でき、感度
も優れることになり、特にフレームインターライン転送
型では、低ス完ア化を図ることができる．しかし、現在のＮＴＳＣ方式のテレビジョン信号は、６
０Ｈｚ．５２５ラインと言うように、垂直方向の解像度
が一義的に決められている。従って、解像度を向上させ
るためには、水平方向の光電変換部の数を増加させる必
要があり、矩形状の単位セルの水平方向の辺の長さは短
くなっていく。また、テレビジコン信号のアスベクト比
も４対３と決まっているために、水平解像度を上げて行
くと、フレームインターライン転送型等の固体撮像素子
の単位セルの形状は、縦長な形状になっていく。

第８図はフレームインターライン転送型のＣＣＤの縦長
な単位セル中のレイアウトを示す図である．単位セルに
は、垂直方向である■方向を長手方向とした矩形状の垂
直レジスタ部１１１が形成され、この垂直レジスタ部１
１１に沿った形で読み出しゲート部１１２が形成される
。その読み出しゲート部１１２に隣接した光電変換部上
の遮光膜の開口部１１３がチャンネルストッパー領域１
ｌ４に囲まれて形成される。ここで、開口部１１３や垂
直レジスタ部１１１の各形状に着目すると、水平解像度
の高解像度化に伴って、水平方向（Ｈ方向）に短く、垂
直方向（Ｖ方向）に長い矩形状の形状にされる。

このようにフレームインターライン転送型のＣＯＤの水
平解像度の高解像度化を図った時では、第１に、垂直レ
ジスタ部１１１のＨ方向の幅が短くなり、その転送効率
が劣化する。第２に、読み出しゲート部１１２やチャン
ネルストッパー領域】１４も縦長な形状となって、単位
セル中の面積が増大する。その結果、開口部１１３の面
積が逆に小さくなり、十分な感度や取り扱い電荷量等が
得られなくなる。第３に、開口部１１３のパターニング
が、Ｈ方向だけ極端に微細なものとなるために、加工が
難しくなり、感度むら等が生ずることになる。

そこで、本発明は、上述の技術的な課題に鑑み、フレー
ムインターライン転送型の固体撮像装置において、単位
セル中の光電変換部の面積を増大させて、感度の向上を
図り、さらにレジスタの転送効率の向上や微細加工特性
の向上等を実現する固体撮像装置を提供することを目的
とする．〔課題を解決するための手段〕上述の目的を達戒するため、本発明の固体撮像装置は、
マトリクス状に配列され互いに電気的に分離される複数
の光電変換部を有し、それら光電変換部の水平列毎に上
記各光１ｉ変換部との間に読み出し部を介して配設され
テレビジョン画面の走査線方向に対応した水平方向に電
荷を転送する電荷転送部を有する撮像部と、上記電荷転
送部から上記水平方向に転送された電荷を蓄積し、その
蓄積された電荷を垂直水平方向と直交する方向に転送す
る蓄積部であって、多相のポテンシャル井戸を形戒し上
記垂直方向を長手方向して互いに並列する複数の転送電
極を有し、上記電荷転送部を延長した水平列間に上記水
平方向を長手方向として形成される垂直転送ゲートを有
し、上記垂直転送ゲートの下部に形成されて上記転送電
極の同じ位相のポテンシャル井戸間の電荷の移動を遮断
するチャンネルストッパー領域を有してなり、上記水平
方向の電荷の転送時には上記垂直転送ゲートが常時遮断
状態とされると共に上記転送電極が順次駆動され、上記
垂直方向の電荷の転送時には上記垂直転送ゲートを挟む
異なる位相のポテンシャル井戸が順次蓄積状態とされる
間に上記垂直転送ゲートが導通状態とされるＭ積部と、
その蓄積部からの電荷を読み出す読み出し手段を有する
ことを特徴とする。

〔作用］撮像部における電荷の転送方向をテレビジョン画面の走
査線方向に対応した水平方向とすることで、水平解像度
の高解像度化に応じて水平方向に短辺化した単位セルの
短辺方向に、電荷転送部が配列されることになる。従っ
て、電荷転送部の形状を、転送方向に垂直な幅が広く採
れる形状にすることができ、このため転送効率が向上す
る。また、電荷転送部に沿って設けられる読み出し部の
面積も小さいもので済むことになり、チャンネルストッ
パー領域の面積も小さくなることから、光電変換部の面
積を増大させることができ、感度の増大を図ることがで
きる。また、電荷転送部が短辺方向となることから、光
電変換部の形状は、従来のものに比べて正方形に近い形
状にされる。このために、微細加工を行う上で有利とな
る。

このような水平方向に電荷を転送する撮像部に対して、
水平方向へ転送する機能と垂直方向に転送する機能を併
せもつ蓄積部を設けることで、垂直方向に１ラインずつ
の転送が可能になり、最終的な出力はテレビジョン信号
に合った出力を取り出すことができる．ところで、このような２方向の転送を行うためには、チ
ャンネルストッパー領域を従来のように行或いは列に沿
って形或することはできない。従って、同位相間のポテ
ンシャル井戸を遮断するようなチャンネルストッパー領
域を形成し、且つそのチャンネルストンパー領域を水平
方向で区分するための垂直転送ゲート下に形戒する．こ
のような構造により、転送電極を駆動する水平転送時に
は垂直転送ゲートを常時遮断することで、信号電荷が垂
直方向で混ざることが防止される。また、垂直転送時に
は、垂直転送ゲートを挟んで異なる位相のポテンシャル
井戸が順次蓄積状態とされる間に当該垂直転送ゲートを
導通状態とすることで、垂直転送ゲートを介した垂直方
向の電荷の転送が行われ、その垂直転送ゲートが導通状
態となっている時でも同位相のポテンシャル井戸の間は
チャンネルストッパー領域が存在するために、電荷が混
ざり合うようなことは防止される。

〔実施例］本発明の好適な実施例を図面を参照しながら説明する．本実施例は、フレームインターライン転送型のＣＣＤで
あって、その撮像領域からの電荷の転送方向がテレビジ
ゴン画面の水平方向とされる例であり、その蓄積部にお
いて、電荷の転送方向が水平方向から垂直方向に変化す
る例である．まず、その全体の概略構造を第１図に示す
。このＣＣＤ　ｌの撮像部４は、マトリクス状に配列さ
れる複数の光電変換部２を有している。この光電変換部
２は、チャンネルストッパー領域によって互いに電気的
に分離されている。図中、テレビジョン画面の走査線方
向に対応した水平方向が図中Ｈ方向であり、これと直交
する方向がＶ方向であって、光電変換部２は、■方向に
垂直解像度に等しい数（例えばＮＴＳＣ方式であれば５
２５個）だけ配列され、Ｈ方向に水平解像度に応した数
だけ配列される．この光電変換部２の各水平列に沿って
、各水平列毎に水平電荷転送部３が形成される．これら
水平電荷転送部３には、４相の駆動信号ＩＭΦｌ〜Φ４
が供給され、その信号に従って電荷が転送される．この
水平電荷転送部３の電荷転送方向はテレビジョン画面の
走査線方向に対応したＨ方向であるゆ各水平電荷転送部
３は、各光電変換部２と間の領域に第１図中図示しない
読み出し部を有しており、その読み出し部を介して各充
電変換部２から水平電荷転送部３に信号電荷が読み出さ
れる。

各水平電荷転送部３の終端部には蓄積部５が形成され、
このＭ積部５は、水平電荷転送部３からの電荷をＨ方向
に転送して、電荷を一時的に蓄積し、その後、今度は蓄
積した電荷を垂直方向である■方向に転送することがで
きる。蓄積部５には、後述するように、４相の転送電極
と、垂直転送ゲートが形成されており、駆動信号ＳＴΦ
１〜Φ４，ＳＴΦＬが供給される。

この蓄積部５の垂直方向には、水平ＣＣＤ部６が配置さ
れる。水平ＣＣＤ部６は、蓄積部５から■方向に転送さ
れてきた電荷を１ライン毎順次Ｈ方向に転送するレジス
タである。この水平ＣＣＤ部６にも所要の駆動信号が与
えられる。この水平ＣＣＤ部６の端部には、出力部７が
設けられ、この出力部７から転送されてきた信号が順次
出力される。なお、本実施例では水平ＣＣＤ部６は１つ
とされるが、複数の水平ＣＣＤ部６により読み出すよう
にすることも可能である。

第１図中、破線で囲む領域は単位セルｌＯの形状であっ
て、対応する拡大図を第２図として示す．この第２図に
示すように、本実施例のＣＣＤは、単位セル１０がＨ方
向でｈ０のサイズを有し、■方向でＶ．のサイズを有し
、ｈ，は水平解像度を高くするためにｖ０よりも短くさ
れ、単位セル１０の形状は縦長の矩形状である。このよ
うな各単位セルエ０は、水平電荷転送部３．光電変換部
２に対応した開口部１２，チャンネルストンパー領域１
３，ｉｆｆみ出し部１ｌとからなっている。

水平電荷転送部３は、各単位セルＩＯ内で、各単位セル
１０で連続するためにＨ方向で単位セル１０の長さｈ０
に亘って形成されており、■方向では幅Ｗ，とされてい
る。この単位セル１０では、Ｈ方向が短辺方向であり、
電荷転送部を連続的に形成するためには短辺方向に亘っ
て形成すれば良いために、垂直方向に電荷を転送するＣ
ＣＤ　（第８図参照．）に比べて、同し面積で■方向の
幅Ｗ，を広くすることができ、従って、転送効率を向上
させることができる。

チャンネルストンパー領域１３や読み出し部１■は、光
電変換部を平面上囲んで配置されるものである。本実施
例の単位セル１０内では、上記水平電荷転送部３が単位
セルＩＯの下部を占有するために、これらチャンネルス
トソパー領域１３や読み出し部１１を単位セル１０の長
辺ｖ０に亘って形成する必要はなく、その長辺の方向で
あるＶ方向においては、Ｖ．−Ｗ，の寸法に亘って設け
られれば良い。従って、従来のＣＣＤ　（第８図参照。

）に比べて、チャン不ルストンパー領域１３や読み出し
部ＩＩの占有面積を十分に小さくすることができる。

光電変換部２上の開口部１２は、遮光膜に形成されるパ
ターンであるが、上述のように、チャンネルストッパー
領域ｌ３や読み出し部１１の面積が小さくなるために、
その面積を拡げることができる。また、その開口部ｌ２
の開口形状もＨ方向でｈ，，ｖ方向でｖ１であって、サ
イズｈ１とサイズＶ，は極端に違わない寸法になること
から、略正方形化し、開口部１２の周囲長さに比べて割
合大きな面積となる。従って、光電変換部２では、発生
させる電荷量を増大させることができ、高感度化を図る
ことがなされる。また、開口部１２の形状が細長いもの
とならないことから、開口部１２のリソグラフィーを製
造工程上、容易に進めることができ、さらに単位セルｌ
ｏ自体を微細化する場合に有利である．次に、水平方向に転送された電荷を垂直方向に転送する
蓄積部５の構造について第３図を参照しながら説明する
。

蓄積部５は、半導体基板上に２層目の電極層（例えばポ
リシリコン層）と３層目の電極層を用いて、各転送電極
２１〜２４が形成されている。

それぞれ転送電極２１〜２４は、図中■方向を長手方向
とした帯状のパターンとされており、Ｈ方向の端部が重
なるように連続的に形成されている。

転送電極２ｌには駆動信号ＳＴΦｌが供給され、転送電
極２２には駆動信号ＳＴΦ２が供給され、転送電極２３
には駆動信号ＳＴΦ３が供給され、転送電極２４には駆
動信号ＳＴΦ４が供給される。

このような各転送電極２１〜２４と直交するように、垂
直転送ゲート２５がそれぞれ帯状に図中Ｈ方向を長手方
向として設けられる。この垂直転送ゲート２５は、撮像
部４の水平列を区切る位置に対応して設けられ、従って
、垂直転送ゲート２５，２５の間の領域が上記水平電荷
転送部３に対応したレジスタ部として機能する。この垂
直転送ゲート２５は、第１層目の電極層を用いて形成さ
れ、そのゲート電圧として駆動信号ＳＴΦＬが与えられ
る。この垂直転送ゲート２５の下部には、断続的なパタ
ーンでチャンネルストッパー％［２６が形成される。こ
のチャンネルス｝７パー領域２６のパターンは、略平行
四辺形状のパターンが縦横に点在して並ぶパターンとさ
れ、垂直転送ゲー１・２５を挟んで図中上側の転送電極
２１．２２の領域と、垂直転送ゲート２５を挟んで図中
下側の転送電極２３．２４の領域の間で転送路２７が形
成される形状にされる。チャンネルストソバー領域２の
前記パターンによって、垂直転送ゲート２５の下部の領
域を介して、同し位相のポテンシャル井戸の領域となる
各転送電極２１〜２４の下部領域間での導通が阻止され
る。このチャンネルストッパー領域２６は、半導体基板
に対してｐ型の不純物を高濃度に打ち込むことで形成さ
れるが、同時に酸化膜等の形或を行っても良い．なお、
本実施例のＣＣＤの蓄積部５は、４相で駆動される構造
としたが、２相，３相等であっても良く、各転送電極の
形状も必ずしも帯状のパターンに限定されない。

次に、本実施例のＣＣＤの動作の一例について説明する
。

まず、テレビジョン信号の垂直プランキング期間以外の
映像期間においては、被写体からの光が単位セル１０の
開口部１２よりそれぞれ人射し、それが光電変喚部２で
信号電荷に変換される。次に、垂直プランキング期間に
各光電変換部２から読み出し部（ＲＯＧ）１　１を介し
て一斉に水平電荷転送部３に信号電荷が読み出される。

続いて、水平電荷転送部３に駆動信号ＩＭΦｌ〜Φ４が
高速のクロツク信号として供給され、同時に蓄積部５の
転送電極２１〜２４にも高速のクロック信号として駆動
信号ＳＴΦ１〜Φ４が供給される。これら駆動信号ＩＭ
Φ１〜Φ４，ＳＴΦ１〜Φ４によって、水平電荷転送部
３では、Ｈ方向の電荷の転送が高速に行われ、その電荷
は蓄積部５の各転送電極２ｌ〜２４の下部の領域まで連
続的に高速に転送される。

この蓄積部５における水平方向の電荷の転送時には、垂
直転送ゲート２５に供給される信号ＳＴΦＬは゛Ｌ゜“
レヘル（低レヘル）とされる。第４図は、この水平転送
時の蓄積部の信号のタイミングチャートである。第４図
に示すように、垂直プランキング期間中はＶ　ＢＬＫが
゛Ｌ”レベルであり、その間で、各転送電極２１〜２４
に供給される駆動信号ＳＴΦ１〜Φ４は、順次オン・オ
フを繰り返している。詳しくは、駆動信号ＳＴΦ１が“
Ｈ″レベル（高レベル）となる期間に少し遅れて駆動信
号ＳＴΦ２が“Ｌ”レベルから“Ｈ”レベルに立ち上が
り、その駆動信号ＳＴΦ２が゛′Ｈ″レベルの内に、駆
動信号ＳＴΦ３が″Ｌ”レベルから“Ｈ′′レベルに立
ち上がると共に駆動信号ＳＴΦ１が゜゜Ｌ゛レベルに立
ち下がる。これで、ポテンシャル井戸は初めに転送電極
２１が深くされ、次に転送電極２２，その次に転送電極
２３の順番に深くなって行く。従って、その転送電極の
ポテンシャルの変化に従って、信号電荷が第３図中実線
方向に転送されて行く。以下、駆動信号ＳＴΦ４が同様
に立ち上がると共に駆動信号ＳＴΦ２が立ち下がり、次
に、駆動信号ＳＴΦ１が立ち上がって、駆動信号Ｓ／Ｔ
Φ４が立ち下がり、１サイクル期間となる。以下、この
サイクルが繰り返されて、水平方向の電荷転送が行われ
る。この間、垂直転送ゲート２５に供給される信号ＳＴ
ΦＬは”Ｌ”レベルとされ、■方向には電荷の転送が遮
断されるために、水平方向のみの電荷の転送が行われる
。このような転送が行われた後、蓄積部５においては、
転送電極２１〜２４の一組で一単位セル１０に対応した
信号電荷を蓄積する。

垂直プランキング期間の経過後、次のフィールド期間で
は、蓄積部５に蓄積された電荷が１ライン毎にＶ方向に
転送される。第５図はそのラインシフト転送を説明する
図であり、ラインシフトの転送は水平プランキング期間
中に行われる。第５図において、Ｈ　ＥＬＫ信号が“Ｌ
”レヘルの時に、水平プランキング期間である。初めに
、駆動信号ＳＴΦ１，Φ２が゛Ｈ”レベルとされ、駆動
信号ＳＴΦ３　Φ４が゛′Ｌ゛レヘルとされて、信号電
荷が転送電極２１．２２の下部のポテンシャル井戸に蓄
積されているものとする。次に時刻１．で信号Ｓ　ＴΦ
Ｌが゛Ｌ″レベルから“Ｈ　”レヘルに立ち上がり、垂
直転送ゲート２５が導通状態になる。すると、転送電極
２１．２２の下部から垂直転送ゲート２５の下部の転送
路２７まで信号電荷が転送される。次に、時刻ｔ２で、
駆動信号ＳＴΦ１　Φ２が“Ｌ”レヘルとされて、信号
電荷は転送路２７に集中される。次に．時刻ｔ，で駆動
信号Ｓ　ＴΦ３，Φ４が゜゛Ｈ゛レベルとなり、信号電
荷が転送路２７から転送電極２３．２４に一部転送され
、さらに時刻ｔ４で信号ＳＴΦＬが゛′Ｈ”レベルから
“Ｌ”レヘルに変化して垂直転送ゲート２５が遮断状態
となり、信号電荷が転送電極２３．２４のポテンシャル
井戸に完全に転送される。そして、時刻ｔ，以下のクロ
ンクで、信号電荷が転送電極２３、２４のポテンシャル
井戸から転送電極２１．２２のポテンシャル井戸に転送
され、これで１ライン分のシフトが行われたことになる
。第３図中、破線で示す矢印はＶ方向の転送経路を示し
ており、転送路２７を介した転送が行われる。

このようなラインシフト転送は、水平プランキング期間
に行われ、水平プランキング期間の間の一水平期間では
、水平ＣＣＤ部６及び出力部７が作動して、一水平ライ
ン毎の読み出しが行われ、それがＣＣＤの出力として他
の信号処理回路に人力される。

以上のように、本実施例のＣＣＤは、単位セル１０のレ
イアウトによって、高感度化を図ることかでき、微細加
工や転送効率の点でも有利となる。

また、蓄積部５における構造から確実な水平転送と垂直
転送が行われ、テレビジョン信号の信号処理に好適な出
力が可能である。

なお、上述の実施例では、撮像部４，蓄積部５，水平Ｃ
ＣＤ部６でそれぞれ水平方向の転送が行われ、さらに蓄
積部５では垂直方向の転送が行われるが、それぞれ同し
水平，垂直の転送でも逆の方向に転送するようにするこ
とも可能であり、種々の方向の組合せムこよる実施例と
しても良い。

〔発明の効果〕

本発明の固体撮像装置は、光電変換部から読み出し部を
介して読み出された電荷が電荷転送部で水平方向に転送
される。このため水平解像度を高くした場合でも、単位
セル内で水平方向に亘って電荷転送部を形或すれば良く
、その転送方向に対する幅を広く採れることから、転送
効率が向上する。また、本発明の固体撮像装置では、そ
の転送方向から光電変換部を分離するための領域の占有
面積を小さくすることができ、さらに光電変換部の形状
を改善できるために、光電変換部の面積を増大させるこ
とができる。また、その形状の改善によって細い幅で加
工する必要がないため、微細加工にも有利である。

また、本発明の固体撮像装置では、水平方向から垂直方
向に電荷を転送する蓄積部を設けることができ、テレビ
ジョン信号やその他の信号に対応した出力を行うことが
できる。

【図面の簡単な説明】

第ｌ図は本発明の固体撮像装置の一例の概略的な平面図
、第２図はその単位セルのレイアウトを示す図、第３図
は上記一例の蓄積部の構造を説明するための部分拡大平
面図、第４図は上記一例の蓄積部における水平転送動作
を説明するためのタイミングチャート、第５図は上記一
例の蓄積部における垂直転送動作を説明するためのタイ
ミングチャート、第６図は従来のフレームインターライ
ン転送型のＣＣＤの一例を示す概略的な平面図、第７図
はその従来の一例の蓄積部の構造を示す部分拡大平面図
、第８図は上記従来の一例の単位セルのレイアウトを示
す図である。・・・光電変換部・・・水平電荷転送部・・・撮像部・・・蓄積部・・・水平ＣＣＤ部・・・出力部０・・・単位セル１・・・読み出し部２・・・開口部３・・・チャンネルストノパー領域１〜２４・・・転送電極５・・・垂直転送ゲート６・・・チャンネルストソバー領域７・・・転送路

Claims

【特許請求の範囲】マトリクス状に配列され互いに電気的に分離される複数
の光電変換部を有し、それら光電変換部の水平列毎に上
記各光電変換部との間に読み出し部を介して配設されテ
レビジョン画面の走査線方向に対応した水平方向に電荷
を転送する電荷転送部を有する撮像部と、上記電荷転送部から上記水平方向に転送された電荷を蓄
積し、その蓄積された電荷を垂直方向に転送する蓄積部
であって、多相のポテンシャル井戸を形成し上記垂直方
向を長手方向として互いに並列する複数の転送電極を有
し、上記電荷転送部を延長した水平列間に上記水平方向
を長手方向として形成される垂直転送ゲートを有し、そ
の垂直転送ゲートの下部に形成されて上記転送電極の同
じ位相のポテンシャル井戸間の電荷の移動を遮断するチ
ャンネルストッパー領域を有してなり、上記水平方向の
電荷の転送時には上記垂直転送ゲートが常時遮断状態と
されると共に上記転送電極が順次駆動され、上記垂直方
向の電荷の転送時には上記垂直転送ゲートを挟む異なる
位相のポテンシャル井戸が順次蓄積状態とされる間に上
記垂直転送ゲートが導通状態とされる蓄積部と、その蓄積部からの電荷を読み出す読み出し手段を有する
ことを特徴とする固体撮像装置。