JPH03103250U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03103250U JPH03103250U JP1252090U JP1252090U JPH03103250U JP H03103250 U JPH03103250 U JP H03103250U JP 1252090 U JP1252090 U JP 1252090U JP 1252090 U JP1252090 U JP 1252090U JP H03103250 U JPH03103250 U JP H03103250U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal filament
- substrate
- thermal
- diamond
- filament
- Prior art date
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- Pending
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- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
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- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例１のダイヤモンド膜
形成装置を示す縦断面図である。第２図は、第１
図における要部を示す斜視図である。第３図は、
本考案の実施例２のダイヤモンド膜形成装置を示
す断面図である。 １……反応室、２……網状熱フイラメント、３
……基板、３０……ダイヤモンド析出面。
形成装置を示す縦断面図である。第２図は、第１
図における要部を示す斜視図である。第３図は、
本考案の実施例２のダイヤモンド膜形成装置を示
す断面図である。 １……反応室、２……網状熱フイラメント、３
……基板、３０……ダイヤモンド析出面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 反応ガスが供給されるとともに減圧可能な反応
室と、該反応室に配置され、該反応ガスを加熱、
反応させる熱フイラメントと、該熱フイラメント
に対向して、配置され表面上にダイヤモンドを析
出させる基板と、該基板を加熱する加熱部と、よ
りなる熱フイラメントＣＶＤ装置において、 前記熱フイラメントは、網状あるいは多孔質状
であり、前記基板と平行で配置されていることを
特徴とするダイヤモンド膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1252090U JPH03103250U (ja) | 1990-02-10 | 1990-02-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1252090U JPH03103250U (ja) | 1990-02-10 | 1990-02-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03103250U true JPH03103250U (ja) | 1991-10-28 |
Family
ID=31515996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1252090U Pending JPH03103250U (ja) | 1990-02-10 | 1990-02-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03103250U (ja) |
-
1990
- 1990-02-10 JP JP1252090U patent/JPH03103250U/ja active Pending