JPH03103251U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03103251U JPH03103251U JP1243090U JP1243090U JPH03103251U JP H03103251 U JPH03103251 U JP H03103251U JP 1243090 U JP1243090 U JP 1243090U JP 1243090 U JP1243090 U JP 1243090U JP H03103251 U JPH03103251 U JP H03103251U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sample chamber
- reaction vessel
- reaction
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Glanulating (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図及び第２図は、本考案の装置における反
応容器の垂直断面図、第３図〜第１０図は、本考
案の装置における反応容器内に備わるガス方向変
更板の断面図である。 第１図及び第２図中の、１……反応容器、２…
…ガス導入口、３……ガス方向変更板、４……試
料室、５……第１ガスガス流出口、６……第２ガ
ス流出口、７……ガス排出口、８……ガス反応室
、９……防止板、１０……振動機構。
応容器の垂直断面図、第３図〜第１０図は、本考
案の装置における反応容器内に備わるガス方向変
更板の断面図である。 第１図及び第２図中の、１……反応容器、２…
…ガス導入口、３……ガス方向変更板、４……試
料室、５……第１ガスガス流出口、６……第２ガ
ス流出口、７……ガス排出口、８……ガス反応室
、９……防止板、１０……振動機構。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ガス導入手段と加熱手段と減圧手段とガス
導入口及び排出口付の反応容器とを少なくとも備
えた気相反応装置において、該反応容器は、試料
が設置される試料室と、該試料室へガスを流入さ
せ、かつ該ガス導入口から流入したガスの流れ方
向を変更させるガス方向変更板とを具備している
ことを特徴とする高効率気相反応装置。 (2) ガス導入手段と加熱手段と減圧手段とガス
導入口及び排出口付の反応容器とを少なくとも備
えた気相反応装置において、該反応容器は、試料
が設置される試料室と、該試料室へガスを流入さ
せ、かつ該ガス導入口から流入したガスの流れ方
向を変更させるガス方向変更板と、該ガス方向変
更板で変更される前にガスを相互反応させる反応
室とを具備していることを特徴とする高効率気相
反応装置。 (3) 上記反応容器は、上記ガス反応室と上記試
料室とが一体物となつていることを特徴とする実
用新案登録請求の範囲第２項記載の高効率気相反
応装置。 (4) 上記反応容器は、上記ガス反応室と上記試
料室とが一体物となり、かつ該一体物を振動及び
／又は回転させて振動機構が設けられていること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第２項記載
の高効率気相反応装置。 (5) 上記試料室は、該試料室を覆つてなる防止
板が設けられていることを特徴とする実用新案登
録請求の範囲第１項、第２項又は第３項記載の高
効率気相反応装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1243090U JPH03103251U (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1243090U JPH03103251U (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03103251U true JPH03103251U (ja) | 1991-10-28 |
Family
ID=31515908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1243090U Pending JPH03103251U (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03103251U (ja) |
-
1990
- 1990-02-09 JP JP1243090U patent/JPH03103251U/ja active Pending
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