JPH03103260U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図が本考案に関し、第１図は
本考案のバンプ電極の電解めつき用治具の実施例
をウエハ等とともに示す断面図、第２図は本考案
による治具を用いて成長されるバンプ電極の電解
めつき時と完成時の状態を示すウエハの周縁部の
拡大断面図である。第３図は従来技術による電解
めつき用治具を第１図と同じ要領で示す断面図で
ある。図において、 １０……ウエハ、１１……半導体基板、１２…
…高濃度不純物層、１３……酸化膜、１４……配
線膜、１５……保護膜、１６……めつき電極膜、
１７……下地膜、１８……フオトレジスト膜、２
０〜２２……バンプ電極、３０……治具本体、３
１……筒状部、３２……ウエハ受け、３３……陽
極受け、３４……筒状部の下端、４０……陽極板
、４１……小孔、４２……絶縁リード、５０……
めつき液、５１……導入口、５２……末広がり状
の流れ、５３……溢出孔、６０……めつき槽、６
１……底板、６２……導入管、６３……案内板、
７０……ばね板、８０……めつき用電源、９０…
…従来の電解めつき用治具、９１……本体、９２
……管状部、９３……陽極板、である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. おおむね円筒状に形成された治具本体と、この
   本体の上部開口下の周縁に分布して穿たれためつ
   き液の溢出孔と、本体の中間部に取り付けられ上
   方に凸な曲面に形成された多孔性の陽極板と、治
   具本体の下部に開口されためつき液の導入口とを
   備え、治具本体の上部開口内にウエハを置き、か
   つめつき液を導入口から陽極板を通して上方に向
   かう末広がり状の層流状態でウエハ面に接触させ
   た後に溢出孔から導出するように本体内に通流さ
   せた状態で、ウエハを陰極としてそのめつき液と
   接触する面にバンプ電極を成長させるようにした
   バンプ電極の電解めつき用治具。