JPH03104548A - 保持具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光学素子研磨装置にて用いる研磨用保持具に
関する． 〔従来の技術〕 従来、光学素子研磨装置の研磨用保持具に関する技術と
しては、特開昭６１−１２１８６２号公報に開示された
技術がある． この特開昭６１−１２１８６２号公報に開示された技術
は、第５図にて示すごとく、研磨皿１０１を回転かつ揺
動させ、一方研磨ホルダー１０２を研磨皿１０１の球心
方向に対して垂直に固定し、かつ加圧ならしめてレンズ
１０３を研磨する装置において、前記研磨ホルダー１０
２の先端部に弾材１０４を取付け、さらにホルダースピ
ンドル１０５を介してホルダーシャフ｝　１０６に内装
せしめて、研磨皿１０１と研磨ホルダー１０２間の被研
磨レンズ１０３を弾圧ならしめるように構戒したもので
ある．１０７で示すのはホルダースピンドル１０５を回
転自在に支承するための軸受、１０８で示すのは研磨皿
１０１のスピンドルである。

しかるに、上記ｔ！戒の研磨用保持具は、研磨力により
光学素子が径方向に移動しようとする力に対して拘束力
がないため、光学素子の被研磨面と研磨用保持具との均
一な当接が妨げられる結果、良好な加工面精度が得にく
い欠点を有していた。

因って前記従来技術の欠点を解決すべく、第６図に示す
ごとく、ハウジング１２０に回転自在に支承されたホル
ダー１２１と、ホルダー本体１２１に固定され、被研磨
体であるレンズ１２２の径方向の動きを規制するための
固定リング１２３と、レンズｌ２２裏面を支持し、レン
ズ１２２の動きを吸収しうるように措威したレンズ受け
部材１２４とより構威し、光学素子へのスラスト方向の
力を受けるレンズ受け部材１２４と研磨力による光学素
子からのラジアル方向の力を受ける固定リング１２３と
の間に自由度を与える考案が提案されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、前記従来技術には、ホルダー本体１２１
とレンズ受け部材１２４におけるそれぞれの球面形状が
適切に当接するように加工しなければならず、その加工
コストが高くつき、調整が煩わしく、球面形状が摺動ず
ることで部分的に摩耗して信頼性を得ることが難しい等
の欠点があった．因って、本発明は前記従来技術におけ
る欠点に鑑みて開発されたもので、簡単な構造でありロ
ーコストおよび高信頼性が得られるとともに、光学素子
の被研磨面と研磨皿とが均一に当接できる保持具の提供
を目的とする． 〔課題を解決するための手段〕 本発明は、光学素子の外周を規制する枠部と、基底部と
、軸部とから戒る保持具に、光学素子の傾きを吸収する
中空な部材に流体を充填した変形可能部材を該基底部に
設けて構成したものであるる． 尚、本発明で用いる流体とは気体および液体である． 〔作用〕 本発明の保持具は、変形可能部材により研磨皿の曲率中
心が保持具の回転軸中心線上からずれても、そのずれを
吸収することができる。

〔実施例〕

以下、本発明による保持具の実施例について図面を参照
しながら詳細に説明する． （第１実施例） 第１図ａおよびｂは、本発明による保持具の第１実施例
を示す一部を縦断した正面図である．ｌは保持枠、この
保持枠１はレンズ外周のラジアル方向の位置を規制する
枠部１ａと、基底部１ｂと、軸受（図示省略）により回
転可能に軸支される軸部１ｃとから構成されている．該
基底部ｌｂには中空な合威ゴムからなる部材に空気（流
体〕を充填しレンズの傾きを吸収する変形可能部材２が
設置されている．この変形可能部材２の下面にはレンズ
からのスラスト方向の力を受けとめる弾性Ｎ（例えば、
ポリウレタンシ一ト）４を具備した金属（例えば、真鍮
、アルミ等）製のベース３が接着されている。

以上の構威から成る保持具にレンズ５を装着し、保持具
と対向配置された研磨皿６を加工のためレンズ５に当接
させ、この研磨皿６の回転により保持具がレンズ５と共
に回転している状態を第ｌ図ａに示す。この状態におい
ては、研磨皿６の曲率中心○が保持具の回転軸中心線上
に位置しているために、レンズ５は保持具内で傾くこと
なく支持されている． 第１図ｂは、研磨皿６の曲率中心Ｏが保持臭の回転軸中
心線上からずれた状態を示したものである．この状態で
研磨皿６をレンズ５に当接し回転させると、レンズ５は
研磨皿６に全面で当接しようとしベース３と共に傾きを
生しる。このとき変形可能部材２が変形することで保持
枠１とベース３との間の位置ずれを吸収する。

本実施例によれば、空気を充填した変形可能部材２を保
持枠１の基底部１ｂとベース３との間に設置することに
より、研磨皿６と保持具間に位置ずれが生じてもレンズ
５を研磨皿に常に均等に当接させることができる。また
、保持具の構造が単純なのでメンテナンス性や機能の信
頼性の向上が図れる． （第２実施例） 第２図ａ−ｄは、本発明による保持只の第２実施例を示
す一部を縦断した正面図である。

第２図ａは本実施例における保持具の構威を示すもので
ある． ２１は保持枠で、この保持枠２１はレンズ外周のラジア
ル方向の位置を規制する枠部２１ａと、基底部２ｌｂと
、軸受（図示省略）により回転可能に軸支〆され空気圧
調整のための管路２１ｄが貫通した軸部２１ｃとから構
威されている．該基底部２ｌｂには両面の中心に空気の
流入のための穴を穿設した変形可能部材２２が設置され
ている．この変形可能部材２２の下面にはレンズからの
スラスト方向の力を受けとめる弾性Ｆｉ２４と一体に形
成されたベース２３が接着されている．そして、ベース
２３の中心には、ボールタイプのストップ弁２５が内設
されるとともに、上端にストップ弁２５の受けを設けた
ベース２３と弾性Ｎ２４とを貫通する穴２３ａが穿設さ
れている．ストップ弁２５は吸引（負圧）の際は開き、
正圧の際は閉じるように構成されている． 以上の構威から戒る保持具を用いて、図示を省略した真
空装置を負圧にセントし管路２１ｄと穴２３ａとを介し
て弾性層２４下面にレンズ２６を吸着する（第２図ｂ，
ｃ参照）． この後、保持具を移動し吸着したレンズ２６の被研磨面
と研磨皿２７とを対向配置する。

次に、真空装置を負圧から正圧に切り換えてレンズ２６
を研磨皿２７に当接させるとともに加圧し前記第１実施
例と同様に加工を行う（第２図ｄ参照）． 本実施例によれば、ストップ弁２５を吸引（負圧）の際
に開き、正圧の際には閉じるように構威したことにより
、保持具に吸引によるレンズ２６の保持機能と、加工時
に加工圧を付加する機能を併せもたせることができる．
また、レンズ２６は変形可能部材２２の圧力調整により
任意の高さを選択できるので、加工条件の調整が容易と
なる．さらに、レンズ２６の着脱において、ベース２３
を保持軸２１ｃの軸線方向に移動させることができるの
で、確実な着脱が行なえる。

尚、本発明は本実施例に用いたポールタイプのストップ
弁に限定するものではなく、様々なストップ弁が使用で
きる． （第３実施例） 第３図ａ　−　ｄは、本発明による保持具の第３実施例
を示す一部を縦断した正面図である．第３図ａは本実施
例における保持具の構威を示すものである。

３１は保持枠で、この保持枠３ｌはレンズ外周のラジア
ル方向の位置を規制する枠部３１ａと、基底部３ｌｂと
、軸受（図示省略）により回転可能に軸支され空気圧調
整のための管路３１ｄが貫通した軸部３１ｃとから構威
されている．該基底部３ｌｂに設置された変形可能部材
３２ぱ、中空な環形状をしたゴム製で、中空には空気が
充填されている。変形可能部材３２の下面にはレンズか
らのスラスト方向の力を受け止める弾性層３４と一体に
形成されたべ−ス３３が接着されている．そして、ベー
ス３３と弾性［３４とにはレンズを吸引により着脱する
ための穴３５が貫通している． 以上の構威から或る保持具を用いて、図示を省略した真
空装置を負圧にセットし、管路３１ｄと環形状をした変
形可能部材３２の内側空間と穴３５とを介して弾性層３
４下面にレンズ３６を吸着する（第３図ｂ，ｃ参照）． この後、保持具を移動し吸着したレンズ３６の被研磨面
と研磨皿３７とを対向配置する．次に、真空装置からの
負圧を切ってレンズ３６を研磨皿３７に当接させ加工荷
重を加える。このとき、変形可能部材３２は加工荷重に
応して弾性変形する．その後、前記第１実施例と同様に
加工を行う（第３図ｄ参照）．加工後は上記と逆の工程
を行い、研磨加工されたレンズが得られる。

本実施例によれば、レンズ３６着脱用の管路３１ｄと穴
３５を設けることにより、前記第２実施例と同様な効果
が容易に得られ信頼性も高い。また、小さなレンズにも
対応しやすい利点を有する。

尚、ベース３３と弾性層３４とを用いず変形可能部材３
２でレンズ３６を直接受けとることもできる。

また、変形可能部材３２の中空には空気を充填したが空
気に変わり液体を充填し使用してもよい。

（第４実施例） 第４図ａ　−　ｄは、本発明による保持具の第４実施例
を示す一部を縦断した正面図である．第４図ａは本実施
例における保持具の構威を示すものである． ４ｌは保持枠で、この保持枠４ｌはレンズ外周のラジア
ル方向の位置を規制する枠部４１ａと、基底部４１．ｂ
と、軸受（図示省略）により回転可能に軸支され空気圧
調整のための管路４１ｄが貫通した軸部４１ｃとから構
或されている．該基底部４ｌｂに設置された変形可能部
材４２は中空な環形状をしたゴム製で、少なくとも一箇
所に中空内部の空気（流体）の圧力をｔＪＲ整するため
の出入口４２ａが設けられており、この出入口４２ａに
はバイブ４２ｂが接続されている。バイブ４２ｂは管路
４１ｃを挿通しエア源に回転可能な継手を用いて接続さ
れている（図示省略）． 以上の構戒から戒る保持具を用いて、図示を省略した真
空装置により管路４１ｄを介し変形可能部材４２の内側
空間に負圧を与えつつ、エア源により管路４２ｂを介し
て変形可能部材４２の中空に正圧を付加し変形可能部材
４２をふくらませてレンズ４３を吸着する（第４図ｂ参
照）．レンズ４３を吸着した後変形可能部材４２中空の
空気を抜く（第４図Ｃ参照）．この状態で保持具を移動
しレンズ４３の被研磨面と研磨皿４４とを対向配置する
。そして、変形可能部材４２の内側空間に与えていた負
圧を止め、変形可能部材４２の中空に正圧を付加してレ
ンズ４３を研磨皿４４に当接させて加圧する． この後、前記第１実施例と同様に加工を行う（第４図ｄ
参照）．加工後は上記と逆の工程を行い、研磨加工され
たレンズが得られる。

本実施例によれば、前記第２実施例と同様に、変形可能
部材４２の圧力調整により任意の高さが独立して選択で
きるので、レンズ４３の着脱や加工条件の調整が容易と
なる利点を有するとともに、信頼性が向上した。

尚、第１実施例から第４実施例において、光学素子とし
て凸レンズを用いて説明したが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、凸レンズ以外の形状をしたレンズや
ミラー素子にも適用できることは勿論である． また、保持枠や変形可能部材の形状も円に限定されるも
のではなく、光学素子の形状に合わせた保持枠や変形可
能部材を形成して適用することができる． 〔発明の効果］ 以上説明したように、本発明による保持具によれば、ロ
ーコストで信頼性に優れた保持具が得られる。さらに、
研磨装置における光学素子の自動着脱の精度も上げるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａおよびｂは本発明による保持具の第ｌ実施例を
示す正面図、第２図ａ　−　ｄは同第２実施例を示す正
面図、第３図ａ　−　ｄは同第３実施例を示す正面図、
第４図ａ　−　ｄは同第４実施例を示す正面図、第５図
および第６図は従来例を示す正面図である。 １　，２１．３１．４１・・・保持枠 ２　，２２，３２．４２・・・変形可能部材３，２３．
３３・・・ベース ４，２４．３４・・・弾性層 ５　，２６，３６．４３・・・光学素子６　．２７，３
７．４４・・・研磨皿

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）光学素子を保持する保持枠を、光学素子の外周を
   規制する筒状の枠部とこの枠部の一端面に設けられた基
   底部とこの基底部の中心に一体に設けられた軸部とから
   形成し、流体を充填した変形可能部材を前記保持枠の基
   底部に設けたことを特徴とする保持具。 （２）前記変形可能部材に充填した流体への圧力調整が
   可能であるとともに、光学素子の吸着離脱を可能とした
   圧力調整機能を具備したことを特徴とする請求項１記載
   の保持具。（３）前記変形可能部材を環状に形成し、そ
   の内側空間に光学素子吸着離脱用の圧力調整機能を具備
   したことを特徴とする請求項１記載の保持具。 （４）前記変形可能部材に充填する流体の圧力調整機能
   と、光学素子吸着離脱用の圧力調整機能を具備したこと
   を特徴とする請求項１記載の保持具。