JPH03105209A - ゼロ追求型位置センサ - Google Patents
ゼロ追求型位置センサInfo
- Publication number
- JPH03105209A JPH03105209A JP2213623A JP21362390A JPH03105209A JP H03105209 A JPH03105209 A JP H03105209A JP 2213623 A JP2213623 A JP 2213623A JP 21362390 A JP21362390 A JP 21362390A JP H03105209 A JPH03105209 A JP H03105209A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screen
- output
- windings
- circuit
- zero
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 40
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000003550 marker Substances 0.000 abstract description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
- G01D5/2053—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable non-ferromagnetic conductive element
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
- G01D5/2208—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the self-induction of the coils
- G01D5/2225—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the self-induction of the coils by a movable non-ferromagnetic conductive element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、センサ、そして特に位置センサに関するも
のである。位置センサはある固定位置に関する可動部材
の位置を指示する信号を発生する。
のである。位置センサはある固定位置に関する可動部材
の位置を指示する信号を発生する。
本発明はまた、特に、プラシレスｄ． ｃ．駆動及び同
期モータなどの電気機械とともに用いるに適したセンサ
に関するものである。これらの種類の電気機械及び駆動
機構は、機械工具の位置決め及びロボット装置において
用いられると共に、これらの応用に加えてさらに好まし
い利用分野の代表例として一般的な角庶検出及びモータ
整流にも用いられる。
期モータなどの電気機械とともに用いるに適したセンサ
に関するものである。これらの種類の電気機械及び駆動
機構は、機械工具の位置決め及びロボット装置において
用いられると共に、これらの応用に加えてさらに好まし
い利用分野の代表例として一般的な角庶検出及びモータ
整流にも用いられる。
発明の背景
現在入手可能な位置及び速度センサには、絶対的インク
リメントーディジタルエンコーダ、互いに相対移動する
巻線の相互インダクタンスの変化に基づくレゾルパ、永
久磁石磁界を検出するホール装置、及びインダクトシン
型トランスデューサなどが含まれる。
リメントーディジタルエンコーダ、互いに相対移動する
巻線の相互インダクタンスの変化に基づくレゾルパ、永
久磁石磁界を検出するホール装置、及びインダクトシン
型トランスデューサなどが含まれる。
しかしながら、幾つかの応用において、これらの位置検
出のための解法は極めて高価であり、厳密な環境におい
ては信頼性に乏しいものである。
出のための解法は極めて高価であり、厳密な環境におい
ては信頼性に乏しいものである。
特に、それはただ一つの特定の角度又は直線位置の検出
のみが必要なときに著しい。
のみが必要なときに著しい。
位置センサにおける最近の発明技術においては、スクリ
ーン型位置結合方式を採用している。
ーン型位置結合方式を採用している。
この技術によれば、正確な寸法精度を有する導電スクリ
ーンが回転又は直線移動体に取付けられ、これによって
そのスクリーンが少くとも２対の磁気結合されたコイル
間の空隙を通じて移動できるようになっている。スクリ
ーンが空隙中を移動すると、それはコイル間の磁気結合
を遮断し、これによって少くとも１個のコイル中の誘起
電圧を低下させ、この電圧変化により、スクリーンの位
置を判定することができる。
ーンが回転又は直線移動体に取付けられ、これによって
そのスクリーンが少くとも２対の磁気結合されたコイル
間の空隙を通じて移動できるようになっている。スクリ
ーンが空隙中を移動すると、それはコイル間の磁気結合
を遮断し、これによって少くとも１個のコイル中の誘起
電圧を低下させ、この電圧変化により、スクリーンの位
置を判定することができる。
この技術を利用して連続的なアナログ信号の流れ又はデ
ィジタル信号による位置指示を提供するようにした位置
センサは、例えば、１９８８年４月１２日付の米国特許
第４， ７ ３ ７． ６ ８ ９号ｒＰｏｓｉｔｉｏ
ｎ ａｎｄ Ｓｐｅｅｄ ＳｅｎｓｏｒｓＪにおいて開
示されている。
ィジタル信号による位置指示を提供するようにした位置
センサは、例えば、１９８８年４月１２日付の米国特許
第４， ７ ３ ７． ６ ８ ９号ｒＰｏｓｉｔｉｏ
ｎ ａｎｄ Ｓｐｅｅｄ ＳｅｎｓｏｒｓＪにおいて開
示されている。
発明の概要
本発明による位置センサは、スクリーン部材が対応する
励磁及び検知巻線間における選択的な位置において磁界
を遮断するとき、これを指示するマーカー信号を発生す
る。
励磁及び検知巻線間における選択的な位置において磁界
を遮断するとき、これを指示するマーカー信号を発生す
る。
したがって、本発明の一つの目的は、回転体の特定の角
度位置を検出することができる位置センサを提供するこ
とである。
度位置を検出することができる位置センサを提供するこ
とである。
本発明の別の目的は、直線移動体の特定の直線位置を検
出し得る位置センサを提供することである。
出し得る位置センサを提供することである。
本発明のさらに別の目的は、実質的な温度ドリフト又は
ヒステリシスを伴うことなく極めて正確に動作する廉価
な位置センサを提供することである。
ヒステリシスを伴うことなく極めて正確に動作する廉価
な位置センサを提供することである。
本発明によれば、順方向磁界又は励振磁界を確立するた
めの２個の一次検知巻線と、励振磁界の存在下において
電圧を誘起する２個の二次検知巻線、及び励振磁界の存
在下においてその磁界に対向する磁界を確立するための
渦電流を発生するようにした少くとも１個の導電スクリ
ーンを含む検知装置が提供されるものである。スクリー
ン及び二次検知巻線は励振磁界内で互いに相対変位可能
であり、これによって二次検知巻線は可変の範囲内でス
クリーンに覆われ、したがって、二次検知巻線にはその
覆われ方に対応して変化する電圧が誘起される。
めの２個の一次検知巻線と、励振磁界の存在下において
電圧を誘起する２個の二次検知巻線、及び励振磁界の存
在下においてその磁界に対向する磁界を確立するための
渦電流を発生するようにした少くとも１個の導電スクリ
ーンを含む検知装置が提供されるものである。スクリー
ン及び二次検知巻線は励振磁界内で互いに相対変位可能
であり、これによって二次検知巻線は可変の範囲内でス
クリーンに覆われ、したがって、二次検知巻線にはその
覆われ方に対応して変化する電圧が誘起される。
スクリーンが一対の検知巻線間の磁気結合を他の一対の
検知巻線間における磁気結合と同じ範囲まで阻止すると
き、センサ回路はスクリーンの位置を指示するマーカー
信号を発生する。
検知巻線間における磁気結合と同じ範囲まで阻止すると
き、センサ回路はスクリーンの位置を指示するマーカー
信号を発生する。
実施例の説明
本発明については、まず、それに従って構成された位置
センサの物理的配置関係を説明し、次いで、その回路動
作を説明する。
センサの物理的配置関係を説明し、次いで、その回路動
作を説明する。
第１図は空隙により分離された２個の一次検知巻線（１
０）、（１２）及び２個の二次検知巻線（１４）、（１
６）を示すブロック線図である。回転体又は直線移動体
に連結されたスクリーン（１８）は、この空隙中を通過
することができる。
０）、（１２）及び２個の二次検知巻線（１４）、（１
６）を示すブロック線図である。回転体又は直線移動体
に連結されたスクリーン（１８）は、この空隙中を通過
することができる。
発振器（２０）は一次検知巻線（１０）及び（１２）の
両方を駆動するものである。さらに、二次検知巻線（１
４）及び（１６）において発生した信号は発振器（２０
）の信号と同じ周波数を有し、この発振器（２０）は二
次巻線（１６）からの信号と二次巻線（１４）からの信
号との差を表わす信号を同期整流するための整流回路を
制御するものである。この同期整流回路を制御するため
、発振器（２０）の出力は符号比較器（２２）に接続さ
れる。この符号比較器（２２）は同期整流器（４０）を
＃御するものである。
両方を駆動するものである。さらに、二次検知巻線（１
４）及び（１６）において発生した信号は発振器（２０
）の信号と同じ周波数を有し、この発振器（２０）は二
次巻線（１６）からの信号と二次巻線（１４）からの信
号との差を表わす信号を同期整流するための整流回路を
制御するものである。この同期整流回路を制御するため
、発振器（２０）の出力は符号比較器（２２）に接続さ
れる。この符号比較器（２２）は同期整流器（４０）を
＃御するものである。
各二次検知巻線（１４）及び（１６）は減算増幅器（２
８）及び加算増幅器（２４）の双方に接続される。減算
増幅器（２８）の出力は同期整流器（４０）に直接、及
び反転増幅器（２６）を介して間接的に供給される。同
期インバータ（４０）の出力はゼロ比較器（６２）に供
給される。
８）及び加算増幅器（２４）の双方に接続される。減算
増幅器（２８）の出力は同期整流器（４０）に直接、及
び反転増幅器（２６）を介して間接的に供給される。同
期インバータ（４０）の出力はゼロ比較器（６２）に供
給される。
整流器（３０）の回路は加算増幅器（２４）の出力を整
流する。この整流信号は最少値比較器（６０）に供給さ
れる。基準電圧を最少値比較器（６ｏ）に印加するため
、それは基準電源（５０）に接続される。基準電源（５
０）はスクリーン（１８）が磁界遮断位置を占めるとき
、最少値比較器（６０）がｖ（１）となり、スクリーン
（１８）が磁界遮断位置の外側にあるとき、最少値比較
器（６０）の出力が■（０）となるように選定されなけ
ればならない。
流する。この整流信号は最少値比較器（６０）に供給さ
れる。基準電圧を最少値比較器（６ｏ）に印加するため
、それは基準電源（５０）に接続される。基準電源（５
０）はスクリーン（１８）が磁界遮断位置を占めるとき
、最少値比較器（６０）がｖ（１）となり、スクリーン
（１８）が磁界遮断位置の外側にあるとき、最少値比較
器（６０）の出力が■（０）となるように選定されなけ
ればならない。
ゼロ比較器（６２）及び最少値比較器（６０）の両出力
はＡＮＤ回路（７０）に供給され、その回路の出力は回
転体又は直線移動体の位置を指示するものである。
はＡＮＤ回路（７０）に供給され、その回路の出力は回
転体又は直線移動体の位置を指示するものである。
まず、第１図に示した位置センサの物理的配置に関する
このような背景に対し、その動作をまず説明する。この
回路は検知コイル（１０）、（１２）、（１４）及び（
１６）に関するスクリーン（１８）の位置に応じた差出
力信号を発生する。したがって、この回路の挙動はスク
リーン（１８）の三つの異なった位置を図式的に説明す
るものである。これら三つのスクリーン位置は第２Ａ，
２Ｂ及び２Ｃ図において示されている。
このような背景に対し、その動作をまず説明する。この
回路は検知コイル（１０）、（１２）、（１４）及び（
１６）に関するスクリーン（１８）の位置に応じた差出
力信号を発生する。したがって、この回路の挙動はスク
リーン（１８）の三つの異なった位置を図式的に説明す
るものである。これら三つのスクリーン位置は第２Ａ，
２Ｂ及び２Ｃ図において示されている。
発振器（２０）はスクリーン位置に関係なく一次検知巻
線（１０）及び（１２）を励振させる。スクリーン（１
８）が第２Ａ図に示した位置を占めるとき、一次検知巻
線（１０）は二次検知巻線（１４）における電圧と実質
的に同じ大きさの電圧を誘起する。すなわち、一次検知
巻線（１２）は二次検知巻線（１６）内において電圧を
誘起させる。略述すれば、点（２１）において電圧は点
（２３）における値と実質上等しいものである。
線（１０）及び（１２）を励振させる。スクリーン（１
８）が第２Ａ図に示した位置を占めるとき、一次検知巻
線（１０）は二次検知巻線（１４）における電圧と実質
的に同じ大きさの電圧を誘起する。すなわち、一次検知
巻線（１２）は二次検知巻線（１６）内において電圧を
誘起させる。略述すれば、点（２１）において電圧は点
（２３）における値と実質上等しいものである。
減算増幅器（２８）の出力はそれらの電圧が実質上等し
いため、基本的にはゼロに等しい。同じく同期整流器（
４０）の出力は基本的にゼロであり、ゼロ比較器（６２
）の出力をＶ（１）にするものである。
いため、基本的にはゼロに等しい。同じく同期整流器（
４０）の出力は基本的にゼロであり、ゼロ比較器（６２
）の出力をＶ（１）にするものである。
加算増幅器（２４）は点（２１）の電圧を点（２３）の
電圧に加えるものである。この結果、得られた信号は整
流器を通過してコンデンサ（５２）を充電する。スクリ
ーンが第２Ａ図に示した位置にあれば、コンデンサ（５
２）に印加された電圧は基準電圧（５０）を上回り、そ
の結果、最少値比較器（６０）はＶ（０）に移行する。
電圧に加えるものである。この結果、得られた信号は整
流器を通過してコンデンサ（５２）を充電する。スクリ
ーンが第２Ａ図に示した位置にあれば、コンデンサ（５
２）に印加された電圧は基準電圧（５０）を上回り、そ
の結果、最少値比較器（６０）はＶ（０）に移行する。
最少値比較器（６０）がＶ（０）であり、ゼロ比較器（
６２）がｖ（１）であれば、ＡＮＤ回路（７０）ノ出力
、したがって、位置センサの出力はＶ（０）にとどまる
。
６２）がｖ（１）であれば、ＡＮＤ回路（７０）ノ出力
、したがって、位置センサの出力はＶ（０）にとどまる
。
スクリーン（１８）が検知巻線（１０）、（１２）、（
ｌ４）及び（１６）に向かって移動すると、それはやが
て第２Ｂ図に示した位置に達する。このとき、スクリー
ン（１８）は二次検知巻線（１４）に電圧信号が誘起さ
れることを実質的に阻止する。したがって、点（２１）
における電圧信号は点（２３）におけるものと等しくは
ならない。
ｌ４）及び（１６）に向かって移動すると、それはやが
て第２Ｂ図に示した位置に達する。このとき、スクリー
ン（１８）は二次検知巻線（１４）に電圧信号が誘起さ
れることを実質的に阻止する。したがって、点（２１）
における電圧信号は点（２３）におけるものと等しくは
ならない。
それらの電圧が等しくないため、減算増幅器（２８）は
非ゼロ出力を発生する。この出力信号はそれが同期整流
された後において、ゼロ比較器（６２）ノ出力をＶ（０
）に移行させる。
非ゼロ出力を発生する。この出力信号はそれが同期整流
された後において、ゼロ比較器（６２）ノ出力をＶ（０
）に移行させる。
しかしながら、最少値比較器（６０）はＶ（１）に移行
する。これは二次検知コイル■１４中にほとんど電圧が
誘起されないからであり、加算増幅器（２４）の整流出
力はコンデンサ（５２）を基準電圧（５ｏ）より低い電
圧に充電するものである。これが生ずると、ＡＮＤ回路
（７０）の出力はＶ（０）に移行する。
する。これは二次検知コイル■１４中にほとんど電圧が
誘起されないからであり、加算増幅器（２４）の整流出
力はコンデンサ（５２）を基準電圧（５ｏ）より低い電
圧に充電するものである。これが生ずると、ＡＮＤ回路
（７０）の出力はＶ（０）に移行する。
スクリーンが第２Ｂ図に示す位置を占めると、最少値比
較器はｖ（１）となり、ゼロ比較器はＶ（０）となる。
較器はｖ（１）となり、ゼロ比較器はＶ（０）となる。
したがって、ＡＮＤ回路（７０）の出力はｖ（０）に移
行する。
行する。
スクリーン（１８）はやがてそれが一次検知巻線（１０
）及び二次検知巻線（１４）間の磁気結合を阻止する点
に到達する。その移動は一次巻線（１２）及び二次巻線
（１６）間においても同様の範囲にわたって生ずる。第
２Ｃ図に示されたこの点において、個所（２１）に現れ
た電圧信号は個所（２３）に現れた電圧と実質上等しく
なる。
）及び二次検知巻線（１４）間の磁気結合を阻止する点
に到達する。その移動は一次巻線（１２）及び二次巻線
（１６）間においても同様の範囲にわたって生ずる。第
２Ｃ図に示されたこの点において、個所（２１）に現れ
た電圧信号は個所（２３）に現れた電圧と実質上等しく
なる。
２信号が実質的に等しくなると、減算増幅器（２８）の
出力はほぼゼロとなる。これはゼロ比較器（６２）をｖ
（１）に移行させる。
出力はほぼゼロとなる。これはゼロ比較器（６２）をｖ
（１）に移行させる。
コンデンサ（５２）の両端間電圧は基準電圧（５０）よ
り低い値にとどまる。したがって、最少値比較器（６０
）はｖ（１）に維持される。
り低い値にとどまる。したがって、最少値比較器（６０
）はｖ（１）に維持される。
ゼロ比較器（６２）及び最少値比較器がいずれもＶ（１
）であれば、ＡＮＤ回路、したがって、位置センサ及び
その出力は■（１）に移行する。これはスクリーンが第
２Ｃ図に示された位置を占めていることを指示している
。
）であれば、ＡＮＤ回路、したがって、位置センサ及び
その出力は■（１）に移行する。これはスクリーンが第
２Ｃ図に示された位置を占めていることを指示している
。
以上により、スクリーン部材が対応する励振巻線及び検
知巻線間の選択された位置において磁界を遮断するとき
、信号を発生する位置センサが説明された。当業者が種
々の変更を加えることは、本発明の範囲内において勿論
可能である。
知巻線間の選択された位置において磁界を遮断するとき
、信号を発生する位置センサが説明された。当業者が種
々の変更を加えることは、本発明の範囲内において勿論
可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に従って構成された位置センサのブロッ
ク線図 第２Ａ図はスクリーンがある一つの位置を占めた状態を
示す図、 第２Ｂ図はスクリーンが別の一つの位置を占めた状態を
示す図、 第２Ｃ図はスクリーンが第３の位置を占めた状態を示す
図である。
ク線図 第２Ａ図はスクリーンがある一つの位置を占めた状態を
示す図、 第２Ｂ図はスクリーンが別の一つの位置を占めた状態を
示す図、 第２Ｃ図はスクリーンが第３の位置を占めた状態を示す
図である。
Claims (3)
- （１）空隙により分離された互いに対応する励磁巻線及
び検知巻線と、 励振磁界を遮断することができる材質からなり、検知さ
れた可動部材の位置との相間関係において前記空隙内で
位置決めされるようにした少くとも一つのスクリーン部
材と、 前記一対の巻線に並列的に電流を供給するための発振器
駆動手段、及び 前記空隙中の磁界がある位置を占めた前記スクリーンに
より遮断されたとき、前記検知巻線中の電流条件を指示
する出力信号を発生するための回路手段 を備えたことを特徴とする位置センサ。 - （２）空隙により分離された少くとも各２個の対応する
励磁巻線及び検知巻線を装備し、前記回路手段が前記少
くとも２個の検知巻線からの信号の加算及び減算を行う
ものであることを特徴とする請求項１記載の位置センサ
。 - （３）前記回路手段が和信号の最少信号テスト及び差信
号のゼロ信号テストを含むと共に、ＡＮＤ回路において
結合されたものであることを特徴とする請求項２記載の
位置センサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US391430 | 1989-08-09 | ||
| US07/391,430 US5015998A (en) | 1989-08-09 | 1989-08-09 | Null seeking position sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03105209A true JPH03105209A (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=23546559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2213623A Pending JPH03105209A (ja) | 1989-08-09 | 1990-08-09 | ゼロ追求型位置センサ |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5015998A (ja) |
| EP (1) | EP0478813B1 (ja) |
| JP (1) | JPH03105209A (ja) |
| AU (1) | AU6009090A (ja) |
| CA (1) | CA2022943A1 (ja) |
| DE (1) | DE4103933C2 (ja) |
| GB (1) | GB2248503A (ja) |
| ZA (1) | ZA906177B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007244256A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Yanmar Co Ltd | 鎮圧機構及び播種装置 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6037875A (en) * | 1999-04-05 | 2000-03-14 | Moser; Donald A. | Method and apparatus for providing notification of the falling motion of a tree |
| JP2004504609A (ja) | 2000-07-13 | 2004-02-12 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 線形のλセンサの内部抵抗を突き止めるための回路装置 |
| RU2194242C2 (ru) * | 2000-12-21 | 2002-12-10 | Государственный научный центр Научно-исследовательский институт атомных реакторов | Устройство формирования выходного сигнала индуктивного дифференциального измерительного преобразователя |
| DE10124760A1 (de) * | 2001-05-21 | 2003-02-20 | Siemens Ag | Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung |
| RU2215985C2 (ru) * | 2001-05-23 | 2003-11-10 | Государственный научный центр Российской Федерации Научно-исследовательский институт атомных реакторов | Способ компенсации температурной погрешности индуктивного первичного преобразователя |
| RU2206875C2 (ru) * | 2001-07-13 | 2003-06-20 | Общество с Ограниченной Ответственностью Научно-производственное предприятие "ИНЖМЕТ" | Индуктивный датчик |
| DE102005007265A1 (de) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung der Position und der Geschwindigkeit eines Messobjekts |
| US8823294B2 (en) * | 2007-06-27 | 2014-09-02 | Brooks Automation, Inc. | Commutation of an electromagnetic propulsion and guidance system |
| US8283813B2 (en) * | 2007-06-27 | 2012-10-09 | Brooks Automation, Inc. | Robot drive with magnetic spindle bearings |
| JP5663304B2 (ja) | 2007-06-27 | 2015-02-04 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 多次元位置センサ |
| US8659205B2 (en) * | 2007-06-27 | 2014-02-25 | Brooks Automation, Inc. | Motor stator with lift capability and reduced cogging characteristics |
| WO2009003193A1 (en) | 2007-06-27 | 2008-12-31 | Brooks Automation, Inc. | Position feedback for self bearing motor |
| WO2009003187A1 (en) * | 2007-06-27 | 2008-12-31 | Brooks Automation, Inc. | Sensor for position and gap measurement |
| US9752615B2 (en) * | 2007-06-27 | 2017-09-05 | Brooks Automation, Inc. | Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor |
| KR101825595B1 (ko) | 2007-07-17 | 2018-02-05 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 챔버 벽들에 일체화된 모터들을 갖는 기판 처리 장치 |
| DE102010027017A1 (de) * | 2010-07-08 | 2012-01-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Induktive Sensoreinrichtung sowie induktiver Näherungssensor mit einer induktiven Sensoreinrichtung |
| DE102012206958A1 (de) * | 2012-04-26 | 2013-10-31 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung eines metallischen Elements |
| RU2502949C1 (ru) * | 2012-08-07 | 2013-12-27 | Владимир Кириллович Куролес | Дифференциальный индуктивный измеритель перемещения |
| US12399220B2 (en) * | 2022-12-30 | 2025-08-26 | Schneider Electric USA, Inc. | Circuit breaker mechanism position sensor systems |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63298118A (ja) * | 1987-05-01 | 1988-12-05 | コルモーゲン コーポレイション | 直線動作式遮蔽インダクタンス型センサ |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3205485A (en) * | 1960-10-21 | 1965-09-07 | Ti Group Services Ltd | Screening vane electro-mechanical transducer |
| GB1604824A (en) * | 1978-05-11 | 1981-12-16 | Ranco Inc | Displacement measuring transducers |
| IE55855B1 (en) * | 1984-10-19 | 1991-01-30 | Kollmorgen Ireland Ltd | Position and speed sensors |
| DE3602107C2 (de) * | 1986-01-24 | 1996-05-30 | Bosch Gmbh Robert | Schaltungsanordnung mit Differentialtransformator |
-
1989
- 1989-08-09 US US07/391,430 patent/US5015998A/en not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-08-01 AU AU60090/90A patent/AU6009090A/en not_active Abandoned
- 1990-08-06 ZA ZA906177A patent/ZA906177B/xx unknown
- 1990-08-08 CA CA002022943A patent/CA2022943A1/en not_active Abandoned
- 1990-08-09 JP JP2213623A patent/JPH03105209A/ja active Pending
- 1990-10-02 EP EP90118831A patent/EP0478813B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-10-05 GB GB9021652A patent/GB2248503A/en not_active Withdrawn
-
1991
- 1991-02-08 DE DE4103933A patent/DE4103933C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63298118A (ja) * | 1987-05-01 | 1988-12-05 | コルモーゲン コーポレイション | 直線動作式遮蔽インダクタンス型センサ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007244256A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Yanmar Co Ltd | 鎮圧機構及び播種装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0478813A1 (en) | 1992-04-08 |
| AU6009090A (en) | 1991-02-14 |
| DE4103933A1 (de) | 1992-08-20 |
| EP0478813B1 (en) | 1994-12-28 |
| GB9021652D0 (en) | 1990-11-21 |
| CA2022943A1 (en) | 1991-02-10 |
| DE4103933C2 (de) | 1994-07-21 |
| ZA906177B (en) | 1991-10-30 |
| US5015998A (en) | 1991-05-14 |
| GB2248503A (en) | 1992-04-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH03105209A (ja) | ゼロ追求型位置センサ | |
| JP4288373B2 (ja) | 磁気式位置エンコーダを有する装置 | |
| KR850000327B1 (ko) | 수치제어방법 | |
| CN112114278B (zh) | 用于确定磁通量的杂散场免疫的磁场传感器布置、磁扭矩传感器布置和方法 | |
| JPH05113302A (ja) | 誘導式近接センサおよび直線または回転式測定トランスジユーサ | |
| JP2000512478A (ja) | モータ用制御装置および制御方法 | |
| JPH04229069A (ja) | 電磁駆動システム | |
| EP0435232B1 (en) | Inductance-type displacement sensor having resistance to external magnetic fields | |
| JP3413485B2 (ja) | リニアモータにおける推力リップル測定方法 | |
| JPH03107359A (ja) | 位置検出装置及び方法 | |
| US3956618A (en) | Mechanical-electrical transducer | |
| JP3664289B2 (ja) | 磁性金属センサ | |
| JP6576285B2 (ja) | 推力測定装置および推力測定方法 | |
| JPH07332912A (ja) | 非接触ポテンショメータ及び移動体の変位センサ | |
| JP3626341B2 (ja) | 磁性金属センサ及び磁性金属検出システム | |
| JPH06323803A (ja) | 移動体の位置検出装置 | |
| JP7083528B1 (ja) | 位置測定装置 | |
| JPS5873873A (ja) | 位置測定による運動体の瞬間速度または瞬間的速度変化の測定に差動トランス形電子センサを使用する方法 | |
| JPH045525A (ja) | 非接触式変位検出装置 | |
| JPH1082608A (ja) | 誘導型２次元位置検出装置 | |
| CN113260867B (zh) | 用于确定导电的对象的速度或加速度的设备和方法以及系统 | |
| JPH0458881B2 (ja) | ||
| JPH05223910A (ja) | 磁気計測法 | |
| RU2132534C1 (ru) | Датчик линейных перемещений | |
| JP2005233652A (ja) | 平面センサ装置 |