JPH03106586A - 多関節レーザロボット用アライメント装置及びその調整方法 - Google Patents
多関節レーザロボット用アライメント装置及びその調整方法Info
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- JPH03106586A JPH03106586A JP1243951A JP24395189A JPH03106586A JP H03106586 A JPH03106586 A JP H03106586A JP 1243951 A JP1243951 A JP 1243951A JP 24395189 A JP24395189 A JP 24395189A JP H03106586 A JPH03106586 A JP H03106586A
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- laser
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/042—Automatically aligning the laser beam
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- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は多関節ロボットとレーザ発振装置との結合から
なる多関節レーザロボットの光軸を調整する多関節レー
ザロボット用アライメント装置に関する。
なる多関節レーザロボットの光軸を調整する多関節レー
ザロボット用アライメント装置に関する。
このような門型機械は非常に高価である。
一方、多関節ロボットを用いたレーザ加工機は価格的に
は門型機械よりも安価であるが、門型機械に比べて一般
的に普及していないのが現状である。それは、多関節レ
ーザロボットはアーム内に設けられた多くのミラーによ
ってレーザビームを伝送しているため、位置精度が約１
ｍｍ程度と低いからである。
は門型機械よりも安価であるが、門型機械に比べて一般
的に普及していないのが現状である。それは、多関節レ
ーザロボットはアーム内に設けられた多くのミラーによ
ってレーザビームを伝送しているため、位置精度が約１
ｍｍ程度と低いからである。
従来の三次元加工用レーザ加工機は、門型機械とレーザ
発振装置とを結合した門型レーザ加工機と、多関節型ロ
ボットとレーザ発振装置とを結合した多関節レーザロボ
ットとの２種に大別される。
発振装置とを結合した門型レーザ加工機と、多関節型ロ
ボットとレーザ発振装置とを結合した多関節レーザロボ
ットとの２種に大別される。
門型機械ではレーザビームを加工点まで導く際に、Ｘ軸
、Ｙ軸及びＺ軸に合わせてレーザビームを伝送すればよ
いので、レーザビーム伝送装置を容易に構戒することが
できる。さらに、門型機械では位置精度が１０μｍと高
く、レーザビームの移動速度も速いという特徴を有して
いる。しかし、〔発明が解決しようとする課題〕 このような多関節レーザロボットでも、アーム内のミラ
ーを高精度で調整すれば、位置精度を門型機械程度に向
上させることは可能である。
、Ｙ軸及びＺ軸に合わせてレーザビームを伝送すればよ
いので、レーザビーム伝送装置を容易に構戒することが
できる。さらに、門型機械では位置精度が１０μｍと高
く、レーザビームの移動速度も速いという特徴を有して
いる。しかし、〔発明が解決しようとする課題〕 このような多関節レーザロボットでも、アーム内のミラ
ーを高精度で調整すれば、位置精度を門型機械程度に向
上させることは可能である。
しかし、ミラー調整は機械精度に頼った上での簡易型Ｈ
ｅ −Ｎ ｅレーザビーム通過法により行われており
、その精度は調整者の技能的な勘によるところが大であ
った。
ｅ −Ｎ ｅレーザビーム通過法により行われており
、その精度は調整者の技能的な勘によるところが大であ
った。
従って、一殻のユーザが簡易型Ｈｅ−Ｎｅレーザビーム
通過法により光軸の調整を行っても、Ｈｅ−Ｎｅレーザ
ビームの光束拡がりによる減衰のため、正確に調整する
ことは困難であった。
通過法により光軸の調整を行っても、Ｈｅ−Ｎｅレーザ
ビームの光束拡がりによる減衰のため、正確に調整する
ことは困難であった。
また、多関節レーザロボットの場合は各軸の回転、直線
運動によって、その先軸ずれの影響が顕著に表れるため
、門型機械に比べて著しく位置精度の性能が低下してい
る。
運動によって、その先軸ずれの影響が顕著に表れるため
、門型機械に比べて著しく位置精度の性能が低下してい
る。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、多
関節レーザロボットの光軸を簡易かつ高精度に調整でき
る多関節レーザロボット用アライメント装置を提供する
ことを目的とする。
関節レーザロボットの光軸を簡易かつ高精度に調整でき
る多関節レーザロボット用アライメント装置を提供する
ことを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、多関節ロボット
とレーザ発振装置との結合からなる多関節レーザロボッ
トの光軸を前記レーザ発振装置から出射される光軸調整
用レーザビームを用いて調整する多関節レーザロボット
用アライメント装置において、前記光軸調整用レーザビ
ームの拡がりを調整するレーザビーム補正手段と、前記
レーザビーム補正手段通過後の前記光軸調整用レーザビ
ームの光量を制限する濃度フィルタと、前記濃度フィル
タ通過後の前記光軸調整用レーザビームを受光するテレ
ビカメラとからなるアライメント装置を前記多関節レー
ザロボットのアーム先端に設け、前記光軸の調整を行う
ことを特徴とする多関節レーザロボット用アライメント
装置が提供される。
とレーザ発振装置との結合からなる多関節レーザロボッ
トの光軸を前記レーザ発振装置から出射される光軸調整
用レーザビームを用いて調整する多関節レーザロボット
用アライメント装置において、前記光軸調整用レーザビ
ームの拡がりを調整するレーザビーム補正手段と、前記
レーザビーム補正手段通過後の前記光軸調整用レーザビ
ームの光量を制限する濃度フィルタと、前記濃度フィル
タ通過後の前記光軸調整用レーザビームを受光するテレ
ビカメラとからなるアライメント装置を前記多関節レー
ザロボットのアーム先端に設け、前記光軸の調整を行う
ことを特徴とする多関節レーザロボット用アライメント
装置が提供される。
また、本発明では上記課題を解決するために、前記アラ
イメント装置を前記多関節レーザロボットのアーム先端
に設け、前記テレビカメラからのビデオ信号をモニタテ
レビで観察しながら前記多関節レーザロボットの一つの
回転軸のみを回転させ、前記回転軸と光軸の一致するミ
ラーを順次調整することを特徴とする多関節レーザロボ
ット用アライメント調整方法が提供される。
イメント装置を前記多関節レーザロボットのアーム先端
に設け、前記テレビカメラからのビデオ信号をモニタテ
レビで観察しながら前記多関節レーザロボットの一つの
回転軸のみを回転させ、前記回転軸と光軸の一致するミ
ラーを順次調整することを特徴とする多関節レーザロボ
ット用アライメント調整方法が提供される。
レーザビーム補正手段は光軸調整用のＨｅ−Ｎｅレーザ
ビームの光束が拡がって減衰するのを防止する。濃度フ
ィルタはレーザビーム補正手段で集光されたレーザビー
ムの光量を調整し、テレビカメラにハレーション又はブ
ルーミングが発生するのを防止する。テレビカメラは多
関節レーザロボットの光学系を通過してきた光軸調整用
レーザビームの軌跡を受像する。受像されたレーザピー
ム軌跡をモニタテレビ上で観察することによって光学ミ
ラーのずれを把握することができ、このモニタテレビを
観察しながらミラー光軸を容易に調整することができる
ようになる。
ビームの光束が拡がって減衰するのを防止する。濃度フ
ィルタはレーザビーム補正手段で集光されたレーザビー
ムの光量を調整し、テレビカメラにハレーション又はブ
ルーミングが発生するのを防止する。テレビカメラは多
関節レーザロボットの光学系を通過してきた光軸調整用
レーザビームの軌跡を受像する。受像されたレーザピー
ム軌跡をモニタテレビ上で観察することによって光学ミ
ラーのずれを把握することができ、このモニタテレビを
観察しながらミラー光軸を容易に調整することができる
ようになる。
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第４図は多関節レーザロボットの概略構成を示す図であ
る。レーザ発振装置ｌは、加工用のＣＯ２レープビーム
と、光軸調整用のＨ ｅ −Ｎ ｅレーザビームとの２
種類のレーザビーム２ａを出射する。レーザビーム２ａ
は多関節ロボッ｝１０の回転軸（θ軸）上に設けられた
ミラー３によって、回転軸（θ軸）方向のレーザビーム
２ｂに偏向される。レーザビーム２ｂは多関節ロボット
ｌＯ内に設けられた複数のミラーによって反射され、多
関節ロボット１０のアーム８の先端に設けられたノズル
９から出射される。
る。レーザ発振装置ｌは、加工用のＣＯ２レープビーム
と、光軸調整用のＨ ｅ −Ｎ ｅレーザビームとの２
種類のレーザビーム２ａを出射する。レーザビーム２ａ
は多関節ロボッ｝１０の回転軸（θ軸）上に設けられた
ミラー３によって、回転軸（θ軸）方向のレーザビーム
２ｂに偏向される。レーザビーム２ｂは多関節ロボット
ｌＯ内に設けられた複数のミラーによって反射され、多
関節ロボット１０のアーム８の先端に設けられたノズル
９から出射される。
第５図は多関節ロボット内を伝送するレーザビームの伝
送経路の詳細を示す図である。
送経路の詳細を示す図である。
ミラー３及び４は多関節ロボット１０の回転軸（θ軸）
上に設けられる。ミラー５、６及び７は多関節ロボット
ｌＯのアーム８内に設けられる。
上に設けられる。ミラー５、６及び７は多関節ロボット
ｌＯのアーム８内に設けられる。
ミラー３はレーザ発振装置１からのレーザビーム２ａを
回転軸方向のレーヂビーム２ｂに偏向する。ミラー３は
回転軸（θ軸）上に設けられている限り、多関節ロボッ
ト１０のアーム８の動きとは無関係である。
回転軸方向のレーヂビーム２ｂに偏向する。ミラー３は
回転軸（θ軸）上に設けられている限り、多関節ロボッ
ト１０のアーム８の動きとは無関係である。
ミラー４はレーザビーム２ｂをミラー５に向かうレーザ
ビーム２Ｃに偏向する。ミラー４の入射側の光軸は多関
節ロボット１０のθ軸と一致するように設けられている
。従って、反射側の光軸はθ軸を中心に回転する。アー
ム８内のミラー５、６及び７も同様にθ軸の回転に応じ
て回転するがこの回転によってこれらの光軸の位置関係
にずれが生じることはない。
ビーム２Ｃに偏向する。ミラー４の入射側の光軸は多関
節ロボット１０のθ軸と一致するように設けられている
。従って、反射側の光軸はθ軸を中心に回転する。アー
ム８内のミラー５、６及び７も同様にθ軸の回転に応じ
て回転するがこの回転によってこれらの光軸の位置関係
にずれが生じることはない。
ミラー５はレーザビーム２ｃをアーム８の長手方向のレ
ーザビーム２ｄに偏向する。ミラー５０入射側の光軸は
アーム８のＷ軸と一致するように設けられている。従っ
て、反射側の光軸はＷ軸を中心に回転する。アーム８内
のミラー６及び７も同様にＷ軸の回転に応じて回転する
が、光軸のずれは生じない。
ーザビーム２ｄに偏向する。ミラー５０入射側の光軸は
アーム８のＷ軸と一致するように設けられている。従っ
て、反射側の光軸はＷ軸を中心に回転する。アーム８内
のミラー６及び７も同様にＷ軸の回転に応じて回転する
が、光軸のずれは生じない。
ミラー６はレーザビーム２ｄをミラー（パラボラミラー
）７に向かうレーザビーム２ｅに偏向する。ミラー６０
入射側の光軸はアーム８の先端のＴ軸と一致するように
設けられている。従って、反射側の光軸はＴ軸を中心に
回転する。パラボラミラー７も同様にＴ軸の回転に応じ
て回転するが、光軸のずれは生じない。
）７に向かうレーザビーム２ｅに偏向する。ミラー６０
入射側の光軸はアーム８の先端のＴ軸と一致するように
設けられている。従って、反射側の光軸はＴ軸を中心に
回転する。パラボラミラー７も同様にＴ軸の回転に応じ
て回転するが、光軸のずれは生じない。
パラボラミラー７はレーザビーム２ｅをノズル９の先端
から出射するレーザビーム２ｆに偏向する。パラボラミ
ラー７の入射側の光軸はβ軸と一致するように設けられ
ている。従って、反射側の光軸、即ち出射レーザビーム
２ｆはβ軸を中心に回転する。
から出射するレーザビーム２ｆに偏向する。パラボラミ
ラー７の入射側の光軸はβ軸と一致するように設けられ
ている。従って、反射側の光軸、即ち出射レーザビーム
２ｆはβ軸を中心に回転する。
第６図は多関節レーザロボット１０のアーム８に設けら
れたパラボラミラー７の近傍の詳細を示す図である。導
光路１１と導光路１２とは軸受１３によって回転自在に
結合されている。導光路１２はβ軸方向に回転する。導
光路１２の先端にはパラボラミラー７を有するミラー支
持部材ｌ４が取り付けられている。導光路１２とミラー
支持部材ｌ４とは図示していないネジによって接続され
る。パラボラミラー７はレーずビーム２ｅをノズル９の
出射レーザビーム２ｆに偏向する。
れたパラボラミラー７の近傍の詳細を示す図である。導
光路１１と導光路１２とは軸受１３によって回転自在に
結合されている。導光路１２はβ軸方向に回転する。導
光路１２の先端にはパラボラミラー７を有するミラー支
持部材ｌ４が取り付けられている。導光路１２とミラー
支持部材ｌ４とは図示していないネジによって接続され
る。パラボラミラー７はレーずビーム２ｅをノズル９の
出射レーザビーム２ｆに偏向する。
第１図は本発明の一実施例である多関節レーザロボット
用アライメント装置を示す図である。本図では多関節レ
ーザロポット用アライメント装置を第６図のミラー支持
部材ｌ４に代えてアーム先端に取り付けた状態を示して
いる。
用アライメント装置を示す図である。本図では多関節レ
ーザロポット用アライメント装置を第６図のミラー支持
部材ｌ４に代えてアーム先端に取り付けた状態を示して
いる。
アライメント装置はレーずビーム補正手役１５とＣＣＴ
Ｖカメラ１８を内蔵した受像手段１７とからなる。
Ｖカメラ１８を内蔵した受像手段１７とからなる。
レーザビーム補正手段１５にはＨ ｅ −Ｎ ｅレーザ
ビームの拡がりを抑え、レーザビームの光路を正確にす
るためにレーザビーム２ｅを小さく絞るコリメータレン
ズ又は集光レンズが取り付けられている。
ビームの拡がりを抑え、レーザビームの光路を正確にす
るためにレーザビーム２ｅを小さく絞るコリメータレン
ズ又は集光レンズが取り付けられている。
レーザビーム補正手段１５を通過したレーザビームが直
接ＣＣＴＶカメラ１８に入射すると、輝度が高すぎるた
めに、ハレーション又はブルーミングを起こす。そこで
、受像手段ｌ７にはＣＣＴＶカメラ１８の前面に濃度フ
ィルタ１９を設け、ＣＣＴＶカメラ１８に入射するレー
ザビームの光量を調節している。濃度フィルタｌ９は回
転板からなり、その回転方向に濃度差が設けられており
、回転によって所望の濃度フィルタとして使用できる。
接ＣＣＴＶカメラ１８に入射すると、輝度が高すぎるた
めに、ハレーション又はブルーミングを起こす。そこで
、受像手段ｌ７にはＣＣＴＶカメラ１８の前面に濃度フ
ィルタ１９を設け、ＣＣＴＶカメラ１８に入射するレー
ザビームの光量を調節している。濃度フィルタｌ９は回
転板からなり、その回転方向に濃度差が設けられており
、回転によって所望の濃度フィルタとして使用できる。
濃度フィルタｌ９には回転式フィルタに代えて、濃度の
異なるフィルタを交換する差し込み方式の濃度フィルタ
にしてもよい。
異なるフィルタを交換する差し込み方式の濃度フィルタ
にしてもよい。
ＣＣＴＶカメラｌ８のビデオ信号は図示していない同軸
ケーブル等を介してモニタテレビ等に伝送される。そし
て、調整者はこのモニタテレビを観察しながら光軸の調
整を行う。
ケーブル等を介してモニタテレビ等に伝送される。そし
て、調整者はこのモニタテレビを観察しながら光軸の調
整を行う。
次に、多関節レーザロボットの光軸調整について説明す
る。多関節レーザロボットの各ミラーは、ロボットの回
転軸に対して、基本的には一対一の関係にある。故に、
一つのミラーを調整している時に、残りのミラーは動か
さずに固定しておけば、残りのミラーは光学的には直列
となるので、残りのミラーは単なるレーザビームのバス
地点となる。
る。多関節レーザロボットの各ミラーは、ロボットの回
転軸に対して、基本的には一対一の関係にある。故に、
一つのミラーを調整している時に、残りのミラーは動か
さずに固定しておけば、残りのミラーは光学的には直列
となるので、残りのミラーは単なるレーザビームのバス
地点となる。
そこで、一つの回転軸だけを回転し、モニタテレビでＨ
ｅ−Ｎｅレーザビームの軌跡を観察する。
ｅ−Ｎｅレーザビームの軌跡を観察する。
レーザビームの軌跡はその回転に応じて円弧状の軌跡を
描く。
描く。
第２図は多関節レーザロボット１０のθ軸のみを回転し
た場合のモニタテレビ上のレーザビーム軌跡を示す図で
ある。第３図は多関節レーザロボット１０のＷ軸のみを
回転した場合のモニタテレビ上のレーザビーム軌跡を示
す図である。
た場合のモニタテレビ上のレーザビーム軌跡を示す図で
ある。第３図は多関節レーザロボット１０のＷ軸のみを
回転した場合のモニタテレビ上のレーザビーム軌跡を示
す図である。
多関節レーザロボッ｝１０のθ軸のみを回転させ、第５
図のミラー４の光軸調整を行う。ミラー４の光軸がθ軸
に一致していないと、θ軸の回転によって、レーザビー
ム軌跡は第２図のような円弧軌跡Ｃ１を描く。そこで、
円弧軌跡Ｃ１の移動距離が小さくなるようにミラー４を
微調整する。
図のミラー４の光軸調整を行う。ミラー４の光軸がθ軸
に一致していないと、θ軸の回転によって、レーザビー
ム軌跡は第２図のような円弧軌跡Ｃ１を描く。そこで、
円弧軌跡Ｃ１の移動距離が小さくなるようにミラー４を
微調整する。
最終的にはレーザビーム軌跡が円弧軌跡Ｃ１を描かなく
なり、θ軸を回転してもレーザビーム軌跡が中心点Ｐ１
に固定し、ビームスポットとなるように調整する。
なり、θ軸を回転してもレーザビーム軌跡が中心点Ｐ１
に固定し、ビームスポットとなるように調整する。
θ軸の調整が終了したら、次はアーム８のＷ軸のみを回
転させ、第５図のミラー５の光軸調整を行う。ミラー５
の光軸がＷ軸に一致していないと、Ｗ軸の回転によって
、レーザビーム軌跡は第３図のような円弧軌跡Ｃ２を描
く。そこで、円弧軌跡Ｃ２の移動距離が小さくなるよう
にミラー５を微調整する。最終的にはレーザビーム軌跡
が円弧軌跡Ｃ２を描かなくなり、Ｗ軸を回転してもレー
ザビーム軌跡が中心点Ｐ２に固定し、ビームスポットと
なるように調整する。以下、ミラー６に対してもγ軸を
回転させながら、光軸の調整を行う。
転させ、第５図のミラー５の光軸調整を行う。ミラー５
の光軸がＷ軸に一致していないと、Ｗ軸の回転によって
、レーザビーム軌跡は第３図のような円弧軌跡Ｃ２を描
く。そこで、円弧軌跡Ｃ２の移動距離が小さくなるよう
にミラー５を微調整する。最終的にはレーザビーム軌跡
が円弧軌跡Ｃ２を描かなくなり、Ｗ軸を回転してもレー
ザビーム軌跡が中心点Ｐ２に固定し、ビームスポットと
なるように調整する。以下、ミラー６に対してもγ軸を
回転させながら、光軸の調整を行う。
以上の調整はモニタテレビの画面上に透明のメッシュフ
ィルムを貼付し、レーザビーム軌跡をトレースすること
によって行う。
ィルムを貼付し、レーザビーム軌跡をトレースすること
によって行う。
ミラー６の調整が終了したら、再度ミラー４からミラー
６まで順番に同様の調整を繰り返す。これによって、さ
らに高精度に光軸を調整することができる。
６まで順番に同様の調整を繰り返す。これによって、さ
らに高精度に光軸を調整することができる。
光軸調整が終了したら、アライメント装置を外し、ミラ
ー支持部材ｌ４を取り付け、パラボラミラー７の光軸調
整を行う。この位置でパラボラミラー７に正確で変動の
少ないレーザビームが入射すれば、パラボラミラー７に
よる集光は正確に行われるようになる。
ー支持部材ｌ４を取り付け、パラボラミラー７の光軸調
整を行う。この位置でパラボラミラー７に正確で変動の
少ないレーザビームが入射すれば、パラボラミラー７に
よる集光は正確に行われるようになる。
以上の調整作業によって、多関節レーザロボットの光軸
調整は終了する。
調整は終了する。
このようにして光軸調整を行うことによって、従来、最
大１０ｍのレーザビーム伝送距離に対して、１．０ｍｍ
程度だった多関節レーザロボットの位置精度を約０．５
ｍｍの位置精度範囲におさえることができるようになる
。・ 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、多関節レ−ザロボ
ットの光軸調整を容易かつ高精度に行うことができる。
大１０ｍのレーザビーム伝送距離に対して、１．０ｍｍ
程度だった多関節レーザロボットの位置精度を約０．５
ｍｍの位置精度範囲におさえることができるようになる
。・ 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、多関節レ−ザロボ
ットの光軸調整を容易かつ高精度に行うことができる。
第１図は本発明の一実施例である多関節レーザロボット
用アライメント装置を示す図、第２図は多関節レーザロ
ボットのθ軸のみを回転した場合のモニタテレビ上のレ
ーザビーム軌跡を示す図、 第３図は多関節レーザロボットのＷ軸のみを回転した場
合のモニタテレビ上のレーザビーム軌跡を示す図、 第４図は多関節レーザロボットの概略構戒を示す図、 第５図は多関節ロボット内を伝送するレーザビームの伝
送経路の詳細を示す図、 第６図は多関節レーザロボットのアームに設けられたパ
ラボラミラーの近傍の詳細を示す図である。 １ ・・・・−一−レーザ発振装置 ２ａ，２ｂ，２Ｃ％ ２ｄｓ ２ｅ，２ｒ゛レーザビー
ム ３、４、５、６ ミラー ７〜− −パラボラミラー ８ ・・アーム １０−・ 多関節ロボット １５ レーザビーム補正手段 ｌ８ テレビカメラ １９ ・・・・・一 濃度フィルタ
用アライメント装置を示す図、第２図は多関節レーザロ
ボットのθ軸のみを回転した場合のモニタテレビ上のレ
ーザビーム軌跡を示す図、 第３図は多関節レーザロボットのＷ軸のみを回転した場
合のモニタテレビ上のレーザビーム軌跡を示す図、 第４図は多関節レーザロボットの概略構戒を示す図、 第５図は多関節ロボット内を伝送するレーザビームの伝
送経路の詳細を示す図、 第６図は多関節レーザロボットのアームに設けられたパ
ラボラミラーの近傍の詳細を示す図である。 １ ・・・・−一−レーザ発振装置 ２ａ，２ｂ，２Ｃ％ ２ｄｓ ２ｅ，２ｒ゛レーザビー
ム ３、４、５、６ ミラー ７〜− −パラボラミラー ８ ・・アーム １０−・ 多関節ロボット １５ レーザビーム補正手段 ｌ８ テレビカメラ １９ ・・・・・一 濃度フィルタ
Claims (3)
- （１）多関節ロボットとレーザ発振装置との結合からな
る多関節レーザロボットの光軸を前記レーザ発振装置か
ら出射される光軸調整用レーザビームを用いて調整する
多関節レーザロボット用アライメント装置において、 前記光軸調整用レーザビームの光束拡がりを調整するレ
ーザビーム補正手段と、前記レーザビーム補正手段通過
後の前記光軸調整用レーザビームの光量を制限する濃度
フィルタと、前記濃度フィルタ通過後の前記光軸調整用
レーザビームを受光するテレビカメラとからなるアライ
メント装置を前記多関節レーザロボットのアーム先端に
設け、前記光軸の調整を行うことを特徴とする多関節レ
ーザロボット用アライメント装置。 - （２）光軸調整用レーザビームの光束拡がりを調整する
レーザビーム補正手段と、前記レーザビーム補正手段通
過後の前記光軸調整用レーザビームの光量を制限する濃
度フィルタと、前記濃度フィルタ通過後の前記光軸調整
用レーザビームを受光するテレビカメラとで構成される
多関節レーザロボット用アライメント装置。 - （３）多関節ロボットとレーザ発振装置との結合からな
る多関節レーザロボットの光軸を前記レーザ発振装置か
ら出射される光軸調整用レーザビームを用いて光軸を調
整する多関節レーザロボット用アライメント調整方法に
おいて、 特許請求の範囲第２項記載の多関節レーザロボット用ア
ライメント装置を前記多関節レーザロボットのアーム先
端に設け、前記テレビカメラからのビデオ信号をモニタ
テレビで観察しながら前記多関節レーザロボットの一つ
の回転軸のみを回転させ、前記回転軸と光軸の一致する
ミラーを順次調整することを特徴とする多関節レーザロ
ボット用アライメント調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1243951A JPH03106586A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 多関節レーザロボット用アライメント装置及びその調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1243951A JPH03106586A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 多関節レーザロボット用アライメント装置及びその調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03106586A true JPH03106586A (ja) | 1991-05-07 |
Family
ID=17111465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1243951A Pending JPH03106586A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 多関節レーザロボット用アライメント装置及びその調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03106586A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993014899A1 (fr) * | 1992-01-31 | 1993-08-05 | Fanuc Ltd | Procede de reglage de l'axe optique d'un robot laser |
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1989
- 1989-09-20 JP JP1243951A patent/JPH03106586A/ja active Pending
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