JPH0568641B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0568641B2 JPH0568641B2 JP58197836A JP19783683A JPH0568641B2 JP H0568641 B2 JPH0568641 B2 JP H0568641B2 JP 58197836 A JP58197836 A JP 58197836A JP 19783683 A JP19783683 A JP 19783683A JP H0568641 B2 JPH0568641 B2 JP H0568641B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- combination
- image
- beam splitter
- combination head
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/04—Measuring microscopes
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、VTRヘツドの取付け調整や、精度
検査用の顕微鏡筒に関するものである。
検査用の顕微鏡筒に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来の構成を第１図〜第１０図により説明す
る。VTR（ビデオテープレコーダ、以下VTRと
略す）ヘツドには第１図に示すシングルヘツド１
と他に第２図に示すコンビヘツド２とがあり、第
４図に示す上シリンダー３にコンビヘツド２を取
付ける際には、第４図〜第６図に示すように、角
度割出し量ａ（Ｒコンビヘツド４とＬコンビヘツ
ド５の回転方向の相対位置）、Ｒコンビヘツド４、
Ｌコンビヘツド５の上シリンダー３からの突出し
量ｂ、Ｒコンビヘツド４、Ｌコンビヘツド５の上
シリンダー３の回転面からの高さｃ、Ｒ合せｄ
（ヘツドチツプ２ａ，２ｂのヘツドギヤツプ２ｃ，
２ｄの中点とヘツド先端のＲの頂点との相対位
置）の４項目の調整を行なう必要があり、いずれ
もミクロンオーダの精度で調整されなければなら
ない。またコンビヘツド２では、ヘツドチツプ２
ａ，２ｂのヘツドギヤツプ２ｃ，２ｄが調整基準
となり、顕微鏡観察をする上でヘツドチツプ２
ａ，２ｂを同時に視野内で観察する必要がある。
る。VTR（ビデオテープレコーダ、以下VTRと
略す）ヘツドには第１図に示すシングルヘツド１
と他に第２図に示すコンビヘツド２とがあり、第
４図に示す上シリンダー３にコンビヘツド２を取
付ける際には、第４図〜第６図に示すように、角
度割出し量ａ（Ｒコンビヘツド４とＬコンビヘツ
ド５の回転方向の相対位置）、Ｒコンビヘツド４、
Ｌコンビヘツド５の上シリンダー３からの突出し
量ｂ、Ｒコンビヘツド４、Ｌコンビヘツド５の上
シリンダー３の回転面からの高さｃ、Ｒ合せｄ
（ヘツドチツプ２ａ，２ｂのヘツドギヤツプ２ｃ，
２ｄの中点とヘツド先端のＲの頂点との相対位
置）の４項目の調整を行なう必要があり、いずれ
もミクロンオーダの精度で調整されなければなら
ない。またコンビヘツド２では、ヘツドチツプ２
ａ，２ｂのヘツドギヤツプ２ｃ，２ｄが調整基準
となり、顕微鏡観察をする上でヘツドチツプ２
ａ，２ｂを同時に視野内で観察する必要がある。
従来VTRヘツドを上シリンダーに位置決めす
る調整は本発明者がすでに提案した通り、第７
図、第８図に示す調整機（特許願57−55027号明
細書）で行なつていた。このヘツド位置調整機に
ついて説明する。このヘツド位置調整機はシング
ルヘツド用に開発されたものであり、６は上シリ
ンダー３を固定する固定台である。７はVTRヘ
ツド先端のＲ頂点検出用の干渉対物レンズ８と撮
像管９とを備えた調整側顕微鏡鏡筒である。１０
は対物レンズ１１と撮像管９とを備えた位置決め
側顕微鏡鏡筒である。１２，１２ａは回転テーブ
ル上に配置されたヘツドを挾持するチヤツク爪で
ある。１３，１４，１５はそれぞれＹテーブル１
７、回転テーブル１８、Ｘテーブル２０を動かす
マイクロメータヘツドである。調整側顕微鏡鏡筒
７と位置決め側顕微鏡鏡筒１０とでＲヘツド１
６、Ｌヘツド１７を観察しながらヘツドをチヤツ
ク爪１２，１２ａにより挾持しマイクロメータヘ
ツド１３，１４，１５で、Ｙテーブル２０、回転
テーブル１８、Ｘテーブル１９を動かせ、ヘツド
の位置調整を行なう。このヘツドの位置を決定す
る要因は、撮像管より写し出されたTV（テレビ、
以下TVと略す）モニター上での電子ラインとヘ
ツドギヤツプとの関係でありこの位置決め精度を
決定する要因はTVモニター上の拡大倍率であ
る。シングルヘツドの位置調整であれば、ヘツド
ギヤツプが１本であることから拡大倍率を大きく
とれ高精度の位置調整ができるものであるが、コ
ンビヘツドの調整では、第９図（調整側顕微鏡鏡
筒７により観察できるTVモニター上の画像）、
第１０図（位置決め側顕微鏡鏡筒１０により観察
できるTVモニター上の画像）に示す様にヘツド
ギヤツプ２２が２本あり、その間隔が大きい為、
拡大倍率が大きくとれず、角度割出し調整精度が
悪く分留りが悪いといつた問題がある。
る調整は本発明者がすでに提案した通り、第７
図、第８図に示す調整機（特許願57−55027号明
細書）で行なつていた。このヘツド位置調整機に
ついて説明する。このヘツド位置調整機はシング
ルヘツド用に開発されたものであり、６は上シリ
ンダー３を固定する固定台である。７はVTRヘ
ツド先端のＲ頂点検出用の干渉対物レンズ８と撮
像管９とを備えた調整側顕微鏡鏡筒である。１０
は対物レンズ１１と撮像管９とを備えた位置決め
側顕微鏡鏡筒である。１２，１２ａは回転テーブ
ル上に配置されたヘツドを挾持するチヤツク爪で
ある。１３，１４，１５はそれぞれＹテーブル１
７、回転テーブル１８、Ｘテーブル２０を動かす
マイクロメータヘツドである。調整側顕微鏡鏡筒
７と位置決め側顕微鏡鏡筒１０とでＲヘツド１
６、Ｌヘツド１７を観察しながらヘツドをチヤツ
ク爪１２，１２ａにより挾持しマイクロメータヘ
ツド１３，１４，１５で、Ｙテーブル２０、回転
テーブル１８、Ｘテーブル１９を動かせ、ヘツド
の位置調整を行なう。このヘツドの位置を決定す
る要因は、撮像管より写し出されたTV（テレビ、
以下TVと略す）モニター上での電子ラインとヘ
ツドギヤツプとの関係でありこの位置決め精度を
決定する要因はTVモニター上の拡大倍率であ
る。シングルヘツドの位置調整であれば、ヘツド
ギヤツプが１本であることから拡大倍率を大きく
とれ高精度の位置調整ができるものであるが、コ
ンビヘツドの調整では、第９図（調整側顕微鏡鏡
筒７により観察できるTVモニター上の画像）、
第１０図（位置決め側顕微鏡鏡筒１０により観察
できるTVモニター上の画像）に示す様にヘツド
ギヤツプ２２が２本あり、その間隔が大きい為、
拡大倍率が大きくとれず、角度割出し調整精度が
悪く分留りが悪いといつた問題がある。
発明の目的
本発明は、対物レンズを通過した像の光をビー
ムスプリツタで２分し、小倍率側と大倍率側とを
構成し、２個の撮像管を使用しＲと突出し調整は
小倍率側でコンビヘツド全体を観察しながら行な
い、割出し調整は大倍率側で基準側のヘツドギヤ
ツプを反射鏡の位置を調整することにより観察で
きるようにして行ない、角度割出し精度を向上さ
せることにある。
ムスプリツタで２分し、小倍率側と大倍率側とを
構成し、２個の撮像管を使用しＲと突出し調整は
小倍率側でコンビヘツド全体を観察しながら行な
い、割出し調整は大倍率側で基準側のヘツドギヤ
ツプを反射鏡の位置を調整することにより観察で
きるようにして行ない、角度割出し精度を向上さ
せることにある。
発明の構成
本発明のコンビヘツド取付け位置観察用鏡筒
は、一対のコンビヘツドのうち、第１の対物レン
ズを通過した一方のコンビヘツドの像を二分岐す
るビームスプリツタ、前記ビームスプリツタによ
り二分岐された像のうちの一方の像を縮小する縮
小用結像レンズ、前記縮小用結像レンズを通過し
た像を撮像する第１の撮像手段、および前記ビー
ムスプリツタにより二分岐された像のうちの他方
の像を撮像する第２の撮像手段を備えた第１の視
野鏡筒部と、前記一対のコンビヘツドのうち、第
２の対物レンズを通過した他方のコンビヘツドの
像を第３の撮像手段を備えた第２の視野鏡筒部と
からなる。
は、一対のコンビヘツドのうち、第１の対物レン
ズを通過した一方のコンビヘツドの像を二分岐す
るビームスプリツタ、前記ビームスプリツタによ
り二分岐された像のうちの一方の像を縮小する縮
小用結像レンズ、前記縮小用結像レンズを通過し
た像を撮像する第１の撮像手段、および前記ビー
ムスプリツタにより二分岐された像のうちの他方
の像を撮像する第２の撮像手段を備えた第１の視
野鏡筒部と、前記一対のコンビヘツドのうち、第
２の対物レンズを通過した他方のコンビヘツドの
像を第３の撮像手段を備えた第２の視野鏡筒部と
からなる。
実施例の説明
以下に本発明の一実施例を第１１図〜第１５図
にもとづいて説明する。第１１図、第１２図はコ
ンビヘツド観察用２視野鏡筒をコンビヘツド用調
整側顕微鏡筒２４として設けたコンビヘツド位置
調整機である。第１３図は、コンビヘツド観察用
２視野鏡筒の光学系のブロツク図である。２５は
対物レンズからの像の光を２分するビームスプリ
ツタで、２６は、送り手段である調整ネジ２７で
Ｘ方向に動く反射鏡である。ビームスプリツタで
別れた像は、反射鏡２６に当り、大倍率像Ｄとな
つて撮像管に写る。２８は、大倍率像Ｄ側の光路
長より短い位置に設けられた縮小用の結像レンズ
であり、像は小倍率像Ｅとなつて撮像管に写る。
２９は前記ビームスプリツタ２５、反射鏡２６、
調整ネジ２７、結像レンズ２８を設けた鏡筒であ
る。第１４図は、撮像管９ａにより写し出された
小倍率像のコンビヘツドであり、Ｒと突出し調整
に使用される。第１５図は、撮像管９ｂと９ｃで
写し出されたＲヘツド４、Ｌヘツド５、の角度割
出し基準になるヘツドギヤツプ付近の大倍率像で
あり、角度割出し調整においては、ヘツドギヤツ
プしか必要としないので、１つのTVモニターを
分割し、９ｂ，９ｃの像を入れ観察しやすくした
ものである。
にもとづいて説明する。第１１図、第１２図はコ
ンビヘツド観察用２視野鏡筒をコンビヘツド用調
整側顕微鏡筒２４として設けたコンビヘツド位置
調整機である。第１３図は、コンビヘツド観察用
２視野鏡筒の光学系のブロツク図である。２５は
対物レンズからの像の光を２分するビームスプリ
ツタで、２６は、送り手段である調整ネジ２７で
Ｘ方向に動く反射鏡である。ビームスプリツタで
別れた像は、反射鏡２６に当り、大倍率像Ｄとな
つて撮像管に写る。２８は、大倍率像Ｄ側の光路
長より短い位置に設けられた縮小用の結像レンズ
であり、像は小倍率像Ｅとなつて撮像管に写る。
２９は前記ビームスプリツタ２５、反射鏡２６、
調整ネジ２７、結像レンズ２８を設けた鏡筒であ
る。第１４図は、撮像管９ａにより写し出された
小倍率像のコンビヘツドであり、Ｒと突出し調整
に使用される。第１５図は、撮像管９ｂと９ｃで
写し出されたＲヘツド４、Ｌヘツド５、の角度割
出し基準になるヘツドギヤツプ付近の大倍率像で
あり、角度割出し調整においては、ヘツドギヤツ
プしか必要としないので、１つのTVモニターを
分割し、９ｂ，９ｃの像を入れ観察しやすくした
ものである。
次にコンビヘツド観察用２視野鏡筒を設置した
コンビヘツド位置調整機によるコンビヘツド調整
方法を簡単に説明する。コンビヘツド用調整側顕
微鏡筒２４と位置決め側顕微鏡筒１０の光軸と固
定台６の中心とが同軸上にセツトされたヘツド位
置調整機において、上シリンダーを固定手段によ
り固定し、まずＲコンビヘツド４をコンビヘツド
用調整側顕微鏡筒２４で観察し、Ｒコンビヘツド
をチヤツク爪で挾持し、マイクロメータヘツド１
３，１４，１５を動かしTVモニター像が第１４
図、第１５図の右側像３０，２１は電子ライン、
２２，２２ａ，２２ｂはヘツドギヤツプ、２３は
干渉縞のごとく調整しネジ４ａにより固定する。
チヤツク爪１２，１２ａをはずし、固定手段をゆ
るめＲコンビヘツド４を位置決め側顕微鏡筒１０
に第１５図の左側像３１に示すように位置合せを
行ない、Ｌコンビヘツド５をＲコンビヘツドと同
じく調整すれば、Ｒ合せ、突出し量、割出し調整
が、Ｒコンビヘツド４、Ｌコンビヘツド５、共に
完了となる。このように前記コンビヘツド観察用
２視野鏡筒を配置したコンビヘツド位置調整機で
は、コンビヘツドを大きく拡大して精度良く角度
割出し調整できるものである。
コンビヘツド位置調整機によるコンビヘツド調整
方法を簡単に説明する。コンビヘツド用調整側顕
微鏡筒２４と位置決め側顕微鏡筒１０の光軸と固
定台６の中心とが同軸上にセツトされたヘツド位
置調整機において、上シリンダーを固定手段によ
り固定し、まずＲコンビヘツド４をコンビヘツド
用調整側顕微鏡筒２４で観察し、Ｒコンビヘツド
をチヤツク爪で挾持し、マイクロメータヘツド１
３，１４，１５を動かしTVモニター像が第１４
図、第１５図の右側像３０，２１は電子ライン、
２２，２２ａ，２２ｂはヘツドギヤツプ、２３は
干渉縞のごとく調整しネジ４ａにより固定する。
チヤツク爪１２，１２ａをはずし、固定手段をゆ
るめＲコンビヘツド４を位置決め側顕微鏡筒１０
に第１５図の左側像３１に示すように位置合せを
行ない、Ｌコンビヘツド５をＲコンビヘツドと同
じく調整すれば、Ｒ合せ、突出し量、割出し調整
が、Ｒコンビヘツド４、Ｌコンビヘツド５、共に
完了となる。このように前記コンビヘツド観察用
２視野鏡筒を配置したコンビヘツド位置調整機で
は、コンビヘツドを大きく拡大して精度良く角度
割出し調整できるものである。
発明の効果
以上、本発明は、対物レンズを通過した像の光
をビームスプリツタで２分し、小倍率側と大倍率
側を、縮小用結像レンズと光路長により構成し、
小倍率側で、Ｒと突出し量調整、大倍率側で角度
割出し調整を行なうもので、本発明によるコンビ
ヘツド観察用２視野鏡筒を配置したコンビヘツド
位置調整機によると、コンビヘツドの調整が精度
良く行なわれるばかりか、大倍率側を使用すると
シングルヘツド調整機としても使用でき汎用性が
高くなるという特徴も奏している。
をビームスプリツタで２分し、小倍率側と大倍率
側を、縮小用結像レンズと光路長により構成し、
小倍率側で、Ｒと突出し量調整、大倍率側で角度
割出し調整を行なうもので、本発明によるコンビ
ヘツド観察用２視野鏡筒を配置したコンビヘツド
位置調整機によると、コンビヘツドの調整が精度
良く行なわれるばかりか、大倍率側を使用すると
シングルヘツド調整機としても使用でき汎用性が
高くなるという特徴も奏している。
第１図はシングルヘツドの斜視図、第２図はコ
ンビヘツドの斜視図、第３図はコンビヘツドを第
２図のＡ方向から見たヘツドチツプの正面図、第
４図はコンビヘツドが上シリンダーに取り付いた
斜視図、第５図は第４図のＢ方向から見たコンビ
ヘツドの突出しの平面図、第６図はコンビヘツド
Ｒ合わせの図、第７図は従来のヘツド位置調整機
の平面図、第８図は同正面図、第９図は従来のヘ
ツド位置調整機の調整側顕微鏡鏡筒で観察できる
コンビヘツドのTVモニター像の図、第１０図は
同位置決め側顕微鏡鏡筒で観察できるコンビヘツ
ドのTVモニター像の図、第１１図は本発明の一
実施例におけるコンビヘツド観察用２視野鏡筒に
よるコンビヘツド用調整側顕微鏡筒を設置したヘ
ツド位置調整機の平面図、第１２図は同正面図、
第１３図はコンビヘツド観察用２視野鏡筒の光学
系ブロツク図、第１４図は、同光学系の小倍率側
で観察できるコンビヘツドのTVモニター像の
図、第１５図は、同光学系の大倍率側の像と、位
置決め側顕微鏡筒の像のTVモニター像の図であ
る。 １……シングルヘツド、２……コンビヘツド、
２ｃ，２ｄ……ヘツドキヤツプ、３……上シリン
ダー、４……Ｒコンビヘツド、５……Ｌコンビヘ
ツド、６……固定台、７……調整側顕微鏡鏡筒、
８……干渉対物レンズ、９……撮像管、１０……
位置決め側顕微鏡筒、１１……対物レンズ、１
２，１２ａ……チヤツク爪、１３，１４，１５…
…マイクロメータヘツド、１８……回転テーブ
ル、１９……Ｘテーブル、２０……Ｙテーブル、
２１……電子ライン、２２，２２ａ，２２ｂ……
ヘツドギヤツプ、２３……干渉縞、２４……コン
ビヘツド用調整側顕微鏡筒、２５……ビームスプ
リツタ、２６……反射鏡、２７……調整ネジ、２
８……結像レンズ、２９……鏡筒。
ンビヘツドの斜視図、第３図はコンビヘツドを第
２図のＡ方向から見たヘツドチツプの正面図、第
４図はコンビヘツドが上シリンダーに取り付いた
斜視図、第５図は第４図のＢ方向から見たコンビ
ヘツドの突出しの平面図、第６図はコンビヘツド
Ｒ合わせの図、第７図は従来のヘツド位置調整機
の平面図、第８図は同正面図、第９図は従来のヘ
ツド位置調整機の調整側顕微鏡鏡筒で観察できる
コンビヘツドのTVモニター像の図、第１０図は
同位置決め側顕微鏡鏡筒で観察できるコンビヘツ
ドのTVモニター像の図、第１１図は本発明の一
実施例におけるコンビヘツド観察用２視野鏡筒に
よるコンビヘツド用調整側顕微鏡筒を設置したヘ
ツド位置調整機の平面図、第１２図は同正面図、
第１３図はコンビヘツド観察用２視野鏡筒の光学
系ブロツク図、第１４図は、同光学系の小倍率側
で観察できるコンビヘツドのTVモニター像の
図、第１５図は、同光学系の大倍率側の像と、位
置決め側顕微鏡筒の像のTVモニター像の図であ
る。 １……シングルヘツド、２……コンビヘツド、
２ｃ，２ｄ……ヘツドキヤツプ、３……上シリン
ダー、４……Ｒコンビヘツド、５……Ｌコンビヘ
ツド、６……固定台、７……調整側顕微鏡鏡筒、
８……干渉対物レンズ、９……撮像管、１０……
位置決め側顕微鏡筒、１１……対物レンズ、１
２，１２ａ……チヤツク爪、１３，１４，１５…
…マイクロメータヘツド、１８……回転テーブ
ル、１９……Ｘテーブル、２０……Ｙテーブル、
２１……電子ライン、２２，２２ａ，２２ｂ……
ヘツドギヤツプ、２３……干渉縞、２４……コン
ビヘツド用調整側顕微鏡筒、２５……ビームスプ
リツタ、２６……反射鏡、２７……調整ネジ、２
８……結像レンズ、２９……鏡筒。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ VTR回転シリンダの回転中心を中心とする
円周上に、互いに対向するように配された一対の
コンビヘツドの取り付け位置を調整するために用
いるコンビヘツド取付け位置観察用鏡筒であつ
て、 前記一対のコンビヘツドのうち、第１の対物レ
ンズを通過した一方のコンビヘツドの像を二分岐
するビームスプリツタ、前記ビームスプリツタに
より二分岐された像のうちの一方の像を縮小する
縮小用結像レンズ、前記縮小用結像レンズを通過
した像を撮像する第１の撮像手段、および前記ビ
ームスプリツタにより二分岐された像のうちの他
方の像を撮像する第２の撮像手段を備えた第２の
視野鏡筒部と、 前記一対のコンビヘツドのうち、第２の対物レ
ンズを通過した他方のコンビヘツドの像を撮像す
る第３の撮像手段を備えた第２の視野鏡筒部 とからなることを特徴とするコンビヘツド取付け
位置観察用鏡筒。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58197836A JPS6089702A (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | コンビヘッド取付け位置観察用鏡筒 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58197836A JPS6089702A (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | コンビヘッド取付け位置観察用鏡筒 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6089702A JPS6089702A (ja) | 1985-05-20 |
| JPH0568641B2 true JPH0568641B2 (ja) | 1993-09-29 |
Family
ID=16381146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58197836A Granted JPS6089702A (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | コンビヘッド取付け位置観察用鏡筒 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6089702A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3107612A1 (de) * | 1981-02-27 | 1982-09-16 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Laserspiegel, insbesondere laser-polygonspiegel |
| US4475794A (en) * | 1982-02-03 | 1984-10-09 | Martin Marietta Corporation | Aluminum, aluminum oxide, cromium, gold mirror |
| JPH01116908U (ja) * | 1988-02-01 | 1989-08-07 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5655806U (ja) * | 1979-10-02 | 1981-05-15 |
-
1983
- 1983-10-21 JP JP58197836A patent/JPS6089702A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6089702A (ja) | 1985-05-20 |
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