JPH03107587U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の縦断正面図、第２図は同要部
の拡大断面図、第３図はエンドレスばねの要部を
示す断面図、第４図は公知の高真空圧バルブの縦
断正面図、第５図は同要部の拡大断面図である。 ２１……高真空圧バルブ、２２……弁本体、２
３，２４……ポート、２５……流路、２６……弁
座、２７……開口部、２８……ボンネツト、２９
……弁棒、３０……弁体、３５……エンドレスば
ね、３６……メタルベローズプレート、３７……
メタルベローズ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 複数のポート、これらのポートを連通させる流
   路中の弁座、及び該弁座の開口方向に形成した開
   口部を有する弁本体と、上記開口部に分離可能に
   取付けたボンネツトと、弁体を有し上記ボンネツ
   トに進退可能に設けた弁棒とを備え、該弁棒の進
   退によつて弁体が弁座を開閉する高真空圧バルブ
   において、 上記ボンネツトが、弁本体とボンネツト間の、
   金属線材を螺旋状に密に巻回してエンドレスにし
   たエンドレスばね及び環状のベローズプレートと
   、両端が該ベローズプレートと弁体とに固着され
   たベローズとによつて、上記流路に対して気密に
   シールされている、 ことを特徴とする高真空圧バルブにおけるボンネ
   ツトのシール機構。