JPH03108629A - ガス配管リーク検知方法 - Google Patents
ガス配管リーク検知方法Info
- Publication number
- JPH03108629A JPH03108629A JP1246706A JP24670689A JPH03108629A JP H03108629 A JPH03108629 A JP H03108629A JP 1246706 A JP1246706 A JP 1246706A JP 24670689 A JP24670689 A JP 24670689A JP H03108629 A JPH03108629 A JP H03108629A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capsule
- test paper
- gas
- detection
- color test
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体材料ガス或いは危険有害ガス等の配管系
接続継手部のリーク検知方法に関するものである。
接続継手部のリーク検知方法に関するものである。
第３図は、このような工場配管系のガスリーク検知方法
の一例を示すフロア−断面図である。第３図において、
ボンベボックスｌからパイプ２により製造装置４まで配
管を行う際途中配管継手３により接続を行う方法は従来
技術としては公知の通りである。
の一例を示すフロア−断面図である。第３図において、
ボンベボックスｌからパイプ２により製造装置４まで配
管を行う際途中配管継手３により接続を行う方法は従来
技術としては公知の通りである。
ところが配管パイプ２に接続継手３などを使用した場合
拡散型ガス検知器６を天上部に取つけリークが発生した
場合の対処方法では有害ガスは大気で空気と反応または
希釈され高感度の検知器５が必要となる。また検知した
場合もその作業フロア−７が空調ダクト８により全体的
に充満して危険性があるという欠点があった。
拡散型ガス検知器６を天上部に取つけリークが発生した
場合の対処方法では有害ガスは大気で空気と反応または
希釈され高感度の検知器５が必要となる。また検知した
場合もその作業フロア−７が空調ダクト８により全体的
に充満して危険性があるという欠点があった。
本発明は配管パイプ及び継手は従来のそのままで既存の
配管系である。近年配管施行は溶接技術も進歩している
ので問題はないが、特に古い配％？（既存）の継手部に
外部よりカプセルを取付け、その内部の継手部に巻き付
けるように色試験紙を入れ、カプセル内にリークして溜
まったガスで着色度合により日常点検等で即座にガス配
管リーク検知する方法を提供するものである。
配管系である。近年配管施行は溶接技術も進歩している
ので問題はないが、特に古い配％？（既存）の継手部に
外部よりカプセルを取付け、その内部の継手部に巻き付
けるように色試験紙を入れ、カプセル内にリークして溜
まったガスで着色度合により日常点検等で即座にガス配
管リーク検知する方法を提供するものである。
以下、本発明の実施例を第１図により説明する。
配管系そのものは第３図に示す従来と変りはない。配管
パイプ２の接続継手３に検知カプセル６を設けその内部
に着色試験紙を入れである。
パイプ２の接続継手３に検知カプセル６を設けその内部
に着色試験紙を入れである。
第２図は第１図の検知カプセル６の丸で囲んだ部分の拡
大図である。第２−１図は成型加工された検知カプセル
６を２つ割りにしたものを合せた側面図であり、第２−
２図は同型のものを片面のみ取りつけた状態で継手部に
巻きつけるように着色試験紙６−３を巻き付はゴムバッ
キング６−１を乗せ、もう片面も同様にして継手に挟む
ようにしてネジ６−２で複数個所固定する。またカプセ
ルは耐腐食性で内部が観察出来るように透明加工を施し
である。
大図である。第２−１図は成型加工された検知カプセル
６を２つ割りにしたものを合せた側面図であり、第２−
２図は同型のものを片面のみ取りつけた状態で継手部に
巻きつけるように着色試験紙６−３を巻き付はゴムバッ
キング６−１を乗せ、もう片面も同様にして継手に挟む
ようにしてネジ６−２で複数個所固定する。またカプセ
ルは耐腐食性で内部が観察出来るように透明加工を施し
である。
このような配管系にリーク検知用カプセルを取付けるこ
とにより大気にリークさせることなく敏速に検知するこ
とで安全な処置が出来、作業に支障なく生産効率を上げ
ることが出来る。また、従来の方法では高感度検知器が
必要であったが、本発明の方法で高価な検知器は装置内
の検知或いはボンベ保管場所のリーク検知に廻すことが
出来る。
とにより大気にリークさせることなく敏速に検知するこ
とで安全な処置が出来、作業に支障なく生産効率を上げ
ることが出来る。また、従来の方法では高感度検知器が
必要であったが、本発明の方法で高価な検知器は装置内
の検知或いはボンベ保管場所のリーク検知に廻すことが
出来る。
第１図は本発明の一実施例を示すフロア−断面図、第２
図は本発明の実施した検知カプセルの組立て分解図、第
３図は従来の一例を示すフロア−断面図のガス検知器設
置図である。 ｌ・・・・・・ボンベボックス、２・・・・・・配管パ
イプ、３・・・・・配管継手、４・・・・・・製造装置
、５・・・・・・検知器、６・・・・・検知カプセル、
６−１・・・・・・ゴムバッキング、６−２・・・・・
・止めネジ、６−３・・・・・・着色試験紙、７・・・
・・・作業フロア−８・・・・・・空調ダクト。
図は本発明の実施した検知カプセルの組立て分解図、第
３図は従来の一例を示すフロア−断面図のガス検知器設
置図である。 ｌ・・・・・・ボンベボックス、２・・・・・・配管パ
イプ、３・・・・・配管継手、４・・・・・・製造装置
、５・・・・・・検知器、６・・・・・検知カプセル、
６−１・・・・・・ゴムバッキング、６−２・・・・・
・止めネジ、６−３・・・・・・着色試験紙、７・・・
・・・作業フロア−８・・・・・・空調ダクト。
Claims (1)
- 半導体材料ガス或いは危険有害ガスを取扱う配管ライ
ンの配管接続部分にカプセル（密閉容器）を取付けカプ
セル内に色試紙を入れ、その反応着色でリーク状態を検
知することを特徴とする配管系リーク検知方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1246706A JPH03108629A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | ガス配管リーク検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1246706A JPH03108629A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | ガス配管リーク検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03108629A true JPH03108629A (ja) | 1991-05-08 |
Family
ID=17152427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1246706A Pending JPH03108629A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | ガス配管リーク検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03108629A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108731880A (zh) * | 2018-05-03 | 2018-11-02 | 北京华电中试电力工程有限责任公司 | 一种高压绝缘设备中sf6气体检测方法及系统 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5482283A (en) * | 1977-12-13 | 1979-06-30 | Sumitomo Metal Ind | Method and tape for detecting fluid leakage |
| JPS60100027A (ja) * | 1983-11-05 | 1985-06-03 | Toshiba Corp | 漏洩検出装置 |
| JPH0283441U (ja) * | 1988-12-16 | 1990-06-28 |
-
1989
- 1989-09-22 JP JP1246706A patent/JPH03108629A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5482283A (en) * | 1977-12-13 | 1979-06-30 | Sumitomo Metal Ind | Method and tape for detecting fluid leakage |
| JPS60100027A (ja) * | 1983-11-05 | 1985-06-03 | Toshiba Corp | 漏洩検出装置 |
| JPH0283441U (ja) * | 1988-12-16 | 1990-06-28 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108731880A (zh) * | 2018-05-03 | 2018-11-02 | 北京华电中试电力工程有限责任公司 | 一种高压绝缘设备中sf6气体检测方法及系统 |
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