JPH03109294A - ダイヤモンドコーティング装置 - Google Patents
ダイヤモンドコーティング装置Info
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- JPH03109294A JPH03109294A JP1245198A JP24519889A JPH03109294A JP H03109294 A JPH03109294 A JP H03109294A JP 1245198 A JP1245198 A JP 1245198A JP 24519889 A JP24519889 A JP 24519889A JP H03109294 A JPH03109294 A JP H03109294A
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Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、アプリケータにマイクロ波を投入し、該アプ
リケータ内の石英管内に水素と炭化水素の混合ガスのプ
ラズマを発生させ、該プラズマの雰囲気中に基材例えば
、ドリル刃のような棒状の形を有するものやセラミック
スバイトのような板状の形を有する小片等を長時間さら
すことで該基材をダイヤモンドコーティングするダイヤ
モンドコーティング装置に関する。
リケータ内の石英管内に水素と炭化水素の混合ガスのプ
ラズマを発生させ、該プラズマの雰囲気中に基材例えば
、ドリル刃のような棒状の形を有するものやセラミック
スバイトのような板状の形を有する小片等を長時間さら
すことで該基材をダイヤモンドコーティングするダイヤ
モンドコーティング装置に関する。
［従来の技術］
第３図（ａ） 、 （ｂ）は従来のこの種のダイヤモン
ドコーティング装置の一例の構造を示す。
ドコーティング装置の一例の構造を示す。
図において１ａは空胴共振器からなるアプリケータ、２
ａは石英管、５ａはターンテーブル状基材支持台、１２
は基材である。以下、基材１２としてドリル刃を例にあ
げて説明する。
ａは石英管、５ａはターンテーブル状基材支持台、１２
は基材である。以下、基材１２としてドリル刃を例にあ
げて説明する。
アプリケータ１ａ内に挿入された石英管２ａ内にターン
テーブル状基材支持台５ａが配置されている。
テーブル状基材支持台５ａが配置されている。
石英管２ａ内を１０−５Ｔｏｒｒ程度に排気した後、石
英管２ａ内に水素と炭化水素の混合ガスを４０ＴＯ「「
程度の圧力に充填し、アプリケータ１ａにマイクロ波を
投入して、石英管２ａ内のガスをプラズマ化する。
英管２ａ内に水素と炭化水素の混合ガスを４０ＴＯ「「
程度の圧力に充填し、アプリケータ１ａにマイクロ波を
投入して、石英管２ａ内のガスをプラズマ化する。
このプラズマ雰囲気中に基材１２を数時間さらすことに
より、基材１２をダイヤモンドコーティングする。
より、基材１２をダイヤモンドコーティングする。
［発明が解決しようとする課題］
従来の上記構造の切削工具のダイヤモンドコーティング
装置では、基材１２を配置できるスペースが直径５０ｍ
ｍ程度で、１回の作業でコーティングできる量に限度が
あり、量産の場合は、上記構造の装置を多数設置して、
１回の作業量を増やす構成を採るが、大規模な設備にな
るとともに、各装置間で発生するプラズマ状態が異なり
、コーティングされるダイヤモンドの品質にばらつきが
生ずるという問題点があった。
装置では、基材１２を配置できるスペースが直径５０ｍ
ｍ程度で、１回の作業でコーティングできる量に限度が
あり、量産の場合は、上記構造の装置を多数設置して、
１回の作業量を増やす構成を採るが、大規模な設備にな
るとともに、各装置間で発生するプラズマ状態が異なり
、コーティングされるダイヤモンドの品質にばらつきが
生ずるという問題点があった。
本発明は上記問題点を解消するためになされたもので、
１台で１回に多量の切削工具をダイヤモンドコーティン
グすることのできる装置を提供することを目的とする。
１台で１回に多量の切削工具をダイヤモンドコーティン
グすることのできる装置を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
本発明のダイヤモンドコーティング装置は、アプリケー
タを複数方向からマイクロ波を投入できる構造とし、基
材支持台をドラム状で複数の基材を放射状の配列に支持
する構造とし、上記アプリケータ内の石英管内のマイク
ロ波の進行路の中央部両側にプラズマの放電方向に垂直
な軸の周りを回転させることができる構造に設置したも
のである。
タを複数方向からマイクロ波を投入できる構造とし、基
材支持台をドラム状で複数の基材を放射状の配列に支持
する構造とし、上記アプリケータ内の石英管内のマイク
ロ波の進行路の中央部両側にプラズマの放電方向に垂直
な軸の周りを回転させることができる構造に設置したも
のである。
［作用］
基材支持台をドラム状で基材を放射状の配列に支持する
構造にすることにより、１台の支持台が支持する基材の
数が大幅に増えるとともに、アプリケータを複数方向か
らマイクロ波を投入できる構造とすることで、プラズマ
発生領域を大きくし、上記ドラム状基材支持台を石英管
内のマイクロ波の進行路の両側にそれぞれ設置したので
、１回の作業でコーティングできる基材の数が飛躍的に
増え、一方、各基材がプラズマ雰囲気中に均等な時間さ
らされるので、コーティングの品質にばらりきが生ずる
ことがない。
構造にすることにより、１台の支持台が支持する基材の
数が大幅に増えるとともに、アプリケータを複数方向か
らマイクロ波を投入できる構造とすることで、プラズマ
発生領域を大きくし、上記ドラム状基材支持台を石英管
内のマイクロ波の進行路の両側にそれぞれ設置したので
、１回の作業でコーティングできる基材の数が飛躍的に
増え、一方、各基材がプラズマ雰囲気中に均等な時間さ
らされるので、コーティングの品質にばらりきが生ずる
ことがない。
［実施例］
第１図（ａ） 、 （ｂ） ＝ （ｅ）は本発明の一実
施例の構造を示す。
施例の構造を示す。
図において１は双方向からマイクロ波を投入できる構造
の空胴共振器からなるアプリケータ、２は石英管、３は
真空用０リング、４は押え板、５はドラム状の基材支持
台、６は基材支持台取付部、７は冷却水、８は基材支持
台駆動部、９はガス導入部、１０は排気口、１１は駆動
ベルトである。
の空胴共振器からなるアプリケータ、２は石英管、３は
真空用０リング、４は押え板、５はドラム状の基材支持
台、６は基材支持台取付部、７は冷却水、８は基材支持
台駆動部、９はガス導入部、１０は排気口、１１は駆動
ベルトである。
双方向からマイクロ波を投入できる構造の空胴共振器か
らなるアプリケータ１内に石英管２が真空気密構造に納
められており、石英管２内のマイクロ波の進行路の両側
にそれぞれドラム状の基材支持台５の軸がプラズマの放
電方向に垂直になる姿勢に取付けられており、それぞれ
の基材支持台５は、基材支持台駆動部８によって駆動ベ
ルト１１を介して駆動されて回転する。
らなるアプリケータ１内に石英管２が真空気密構造に納
められており、石英管２内のマイクロ波の進行路の両側
にそれぞれドラム状の基材支持台５の軸がプラズマの放
電方向に垂直になる姿勢に取付けられており、それぞれ
の基材支持台５は、基材支持台駆動部８によって駆動ベ
ルト１１を介して駆動されて回転する。
石英管２内を１０−”Ｔｏｒｒ程度に排気した後、ガス
導入口９より水素と炭化水素の混合ガスを導入し、２０
〜３０Ｔｏｒｒの管内圧力に調整する。
導入口９より水素と炭化水素の混合ガスを導入し、２０
〜３０Ｔｏｒｒの管内圧力に調整する。
そして、アプリケータ１内に双方向からマイクロ波を投
入することにより、石英管２内の混合ガスをプラズマ化
する。この時、基材支持台取付部６は水冷され、ドラム
状の基材支持台５は基材温度が８００〜９００℃になる
ように回転数が調整される。
入することにより、石英管２内の混合ガスをプラズマ化
する。この時、基材支持台取付部６は水冷され、ドラム
状の基材支持台５は基材温度が８００〜９００℃になる
ように回転数が調整される。
この状態で数時間、基材１２がプラズマの雰囲気中に均
等にさらされることにより、基材１２に品質にばらつき
のないダイヤモンドコーティングがされる。
等にさらされることにより、基材１２に品質にばらつき
のないダイヤモンドコーティングがされる。
なお、上記構造で、ドラム状の基材支持台５に基材を多
数配置する代わりに、シート状の基材を配することによ
り、シート状の基材表面に均一にダイヤモンドコーティ
ングすることもできる□。
数配置する代わりに、シート状の基材を配することによ
り、シート状の基材表面に均一にダイヤモンドコーティ
ングすることもできる□。
また、ドラム状の基材支持台５の代りに、ダイヤモンド
と密着性の良い材料をドラム状または円筒状に加工して
配置することにより、該材料表面にダイヤモンドコーテ
ィングを形成し、その後材料を除去することにより、ダ
イヤモンドの円筒体をつくることができる。
と密着性の良い材料をドラム状または円筒状に加工して
配置することにより、該材料表面にダイヤモンドコーテ
ィングを形成し、その後材料を除去することにより、ダ
イヤモンドの円筒体をつくることができる。
第２図（ａ） 、 （ｂ）は第１図のドラム状の基材支
持台５の構造を示す。同図において基材１２は同図（ａ
）の横線と縦線の交わる各位置に挿入され、同図（ｂ）
に−例を示す配列に支持されるので一度に多数の基材１
２が均一な品質でダイヤモンドコーティングすることが
できる。
持台５の構造を示す。同図において基材１２は同図（ａ
）の横線と縦線の交わる各位置に挿入され、同図（ｂ）
に−例を示す配列に支持されるので一度に多数の基材１
２が均一な品質でダイヤモンドコーティングすることが
できる。
［発明の効果］
以上説明したように、本考案によれば、１台で１回の作
業によって多数の基材を均一な品質にダイヤモンドコー
ティングすることができ、量産効果を上げることができ
る。
業によって多数の基材を均一な品質にダイヤモンドコー
ティングすることができ、量産効果を上げることができ
る。
第１図（ａ） −（ｂ） 、（ｃ）は本発明の一実施例
の構造を示す説明図、第２図（ａ） 、（ｂ）は第１図
のドラム状の基材支持台の構造を示す説明図、第３図（
ａ）。 （ｂ）は従来のこの種のダイヤモンドコーティング装置
の一例の構造を示す説明図である。 １・・・アプリケータ、２・・・石英管、３・・・真空
用Ｏリング、４・・−押え板、５・・・ドラム状の基材
支持台、６・・・基材支持台取付部、７・・・冷却水、
８・・・基材支持台駆動部、９・・・ガス導入部、１０
・・・排気口、１１・・・駆動ベルト、１２・・・基材
。 なお図中同一符号は同一または相当するものを示す。
の構造を示す説明図、第２図（ａ） 、（ｂ）は第１図
のドラム状の基材支持台の構造を示す説明図、第３図（
ａ）。 （ｂ）は従来のこの種のダイヤモンドコーティング装置
の一例の構造を示す説明図である。 １・・・アプリケータ、２・・・石英管、３・・・真空
用Ｏリング、４・・−押え板、５・・・ドラム状の基材
支持台、６・・・基材支持台取付部、７・・・冷却水、
８・・・基材支持台駆動部、９・・・ガス導入部、１０
・・・排気口、１１・・・駆動ベルト、１２・・・基材
。 なお図中同一符号は同一または相当するものを示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 アプリケータにマイクロ波を投入し、該アプリケータ内
の石英管内に水素と炭化水素の混合ガスのプラズマを発
生させ、該プラズマの雰囲気中に基材を長時間さらすこ
とで該基材をダイヤモンドコーティングするダイヤモン
ドコーティング装置において、 複数方向からマイクロ波を投入できる構造の空胴共振器
からなるアプリケータと、 該アプリケータ内の石英管内に設置され、複数の基材を
放射状の配列に支持し、プラズマの放電方向に垂直な軸
の周りを回転し、支持する各基材を均等にプラズマの雰
囲気中にさらすことができるドラム状の基材支持台とを
備えたことを特徴とするダイヤモンドコーティング装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24519889A JP2838414B2 (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | ダイヤモンドコーティング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24519889A JP2838414B2 (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | ダイヤモンドコーティング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109294A true JPH03109294A (ja) | 1991-05-09 |
| JP2838414B2 JP2838414B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=17130082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24519889A Expired - Fee Related JP2838414B2 (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | ダイヤモンドコーティング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2838414B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2320526A1 (en) | 2009-10-27 | 2011-05-11 | Hosiden Corporation | Shield case and connector having the same |
-
1989
- 1989-09-22 JP JP24519889A patent/JP2838414B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2320526A1 (en) | 2009-10-27 | 2011-05-11 | Hosiden Corporation | Shield case and connector having the same |
| US8182287B2 (en) | 2009-10-27 | 2012-05-22 | Hosiden Corporation | Shield case, and connector having the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2838414B2 (ja) | 1998-12-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |