JPH03110513A - マルチビーム露光方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、例えばプリント配線基板製造用のレーザプロ
ッタや製版用カラースキャナ、あるいはレーザプリンタ
などの画像走査記録装置に通用される露光方法に係り、
特に、複数本の記録ビーム（マルチビーム）により画像
記録面を並列走査するマルチビーム露光方法およびその
装置に関する。

〈従来の技術〉 マルチビームによって同時記録を行う場合に、第２１図
に示したように、各ビームスポットＢＳを隣接した状態
になるように配列して走査すると、各ビームスポットの
隣接部分で露光量が不足して、その部分の濃度が低くな
るという、いわゆる走査線ワレが生じたり、また、第２
２図に示すように記録画像の副走査方向の境界線にガタ
ッキが生じて画像品質が低下することが知られている。

このような不都合を解消するために、第２３図に示すよ
うに直列状に配列されたビームスポンドＢＳの一部を相
互に重ね合わせて露光する方法が考えられるが、例えば
記録ビームにレーザ光を用いる場合、レーザ光はコヒー
レント光であるから、隣合うビームスポットを単に重ね
合わせると、その部分で光の干渉が生じ、正常に露光記
録されなくなる。そのため、このようなレーザ記録ビー
ムの干渉を回避して、マルチビームの重ね焼きを実現す
るための方法が本出願人によって種々提案されている。

第１には、隣合うレーザ記録ビームを互いに直交偏光の
対をなすようにしてビームスポットを重ね合わせる方法
（特開平１−１１０９５９号）、第２には、隣合うレー
ザ記録ビームに可干渉距離以上の光路長差を設けてビー
ムスポットを重ね合わせる方法（特開昭６４−２７３６
２号）、第３には、第２４図に示すように、複数個のビ
ームスポア）ＢＳをいわゆる千鳥状に配列して走査し、
焼き付は後の状態では、ビームスポットＢＳの一部が重
なり合うようにした方法（特開昭６４２７３６０号）、 などがある。

さらに、上述した方法と同様、ビームスポットＢＳの一
部を相互に重ね合わせて露光する場合において、光学系
に特別な変更を加えることなく露光ができる方法として
、本出願人によって次のような画像走査記録装置のレー
ザ露光方法が先に提案されている（特願昭６３−１５２
９０１号）。このレーザ露光方法は、並列走査されるマ
ルチビームの相前後する主走査において、後に主走査さ
れるビームスポット列の後半部分が、先に主走査された
ビームスポット列の前半部分のビームスポット間を埋め
るように、マルチビームを副走査することにより、第２
５図に示したような２重露光を行うものである。

上述したような重ね焼きの露光方法によれば、第２５図
に示すように、記録画像に走査線ワレが生じることがな
く、しかも、比較的に滑らかな境界線を得ることができ
る。

〈発明が解決しようとする課題〉 ところで、描画パターンの中には、境界線の滑らかさを
特に重視するものがあり、このようなパターンに対゛し
ては、先に提案した２重露光によっても十分でないこと
も考えられる。

また、記録ビーム発生用の光源として、前述したように
、コヒーレント光であるレーザ光を発生するレーザ光源
を使用せずに、例えばＬＥＤのようにインコヒーレント
光を発生する光源を使用した場合には、ビームスポット
を十分に絞り込むことができないため、二重露光によっ
ても境界線の滑らかさが不十分となる。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、光学系の複雑化や、データ出力タイミングの微妙な
調整を回避し、比較的に簡単な構成によって、マルチビ
ームによる３重以上の重ね焼きを行うことにより、パタ
ーンの境界線を極めて滑らかにすることができるマルチ
ビーム露光方法およびその装置を提供することを目的と
している。

〈Ｒ題を解決するための手段および作用〉第１図を参照
して第１の発明について説明する。

同図は各主走査における同一タイミング（同一位相）の
各マルチビームの副走査方向の位置関係を示しているが
、理解を容易にするためにそれぞれの位置は主走査方向
にずらして描かれている。この点で、後述するマルチビ
ームの位置関係を示した第２図、第３図、第８図〜第１
４図においても同様である。

いま、ｙ本の記録ビームＢ、〜Ｂ、で構成されているマ
ルチビームＭＢを、１主走査周期、例えば、回転走査型
の記録装置の場合には回転シリンダの１回転あたり、ピ
ッチｌ（ただし、ｌはスポットピッチを単位として、ビ
ームスポットの個数、即ち、ドツト個数で示されている
）で副走査送りした場合を考える。ここで、副走査送り
は、連続送り、あるいは間欠送りのいずれであってもよ
い。

そうすると、ｎ回の主走査により、マルチビームＭＢは
「ｎｘＩ！、」で表される距離だけ副走査送りされる。

１回目主走査のマルチビームＭＢ、の各ビーム間が、２
回目からｎ回目の各主走査のビームによって等間隔に、
その間が埋められるように均一なｎ重の重ね焼きが行わ
れるためには、ｒｎ＋１」回目主走査においてマルチビ
ームＭ　Ｂ　、、、の先頭のビームＢ１が、１回目主走
査のマルチビームＭＢ、の最後のビームＢ、に接してい
なければならない、つまり、ｒｎＸｌ」は、次式（１）
を満たす必要がある。

ｎＸｊ！−ｙ　　　　　　　　　　・・・・・・（１）
換言すると、ｎ重の重ね焼きを行う場合、（１）式を満
たすように、副走査送りピッチｌとビーム本数ｙとの関
係を設定しなければならない。

仮に、（１）式を満たさない条件、例えば第２図（ａ）
に示すように、３本（ｙ＝３）の記録ビームからなるマ
ルチビームを、ｒ　ｌ　＋　１　／　３　Ｊ　ドツトの
ピッチｌで副走査送りする場合（ｎ）ｌ！ｆ−ｙ　　ｎ
は整数）を考える。そうすると、１回目主走査のマルチ
ビームＭＢ、の最後のビームＢ、に接するような先頭ビ
ームＢ、ｔをもったマルチビームが、後の主走査におい
て存在しないので、各主走査のマルチビームの各ビーム
間が、他の主走査の各ビームによって等間隔に、その間
が埋められるように重ね焼きが行われないために、この
ような露光方法で描かれたパターンの境界線は第２図［
有］）に示すように不均一なガタッキをもち、多重の重
ね焼きの効果が充分に発揮されなくなる。

これに対し、３重の重ね焼き（ｎ＝３）で、副走査送り
ピッチｌがｒｌ＋１／３」ドツトの場合に、ビーム本数
を４本（ｙ−４）とすると、上式（＋１が満たされ、こ
の場合は、第３図（ａ）に示すように、１回目主走査の
マルチビームＭＢ、の最後のビームＢ、に、４回目主走
査のマルチビームＭ　Ｂ　ａの先Ｑビ””４Ｂ、が接し
て、各主走査のマルチビームの各ビーム間が他の主走査
の各ビームによって均一に重ね焼きされるので、記録さ
れたパターンの境界線は第３図（ｂ）に示すように滑ら
かになる。

上式ＣＩ）において、「１−ｘ＋１／ｍ［ｘおよびｍは
整数）」と置くと、’　［ｘ＋１／ｍ）ＸｎＪは整数で
なければならないので、ｍ＝ｎとなる。

したがって、副走査送りピンチ！は、次式（２）％式％
（２） と置くことができ、上式（１）は次式（３）のように書
き換えられる。

ｙ　＝　［ｘ　＋　−）　　Ｘ　ｎ　　　　　　　　・
・・・・・（３）ただし、ｙは、マルチビームを構成す
る記録ビームの本数 ｎは、重ね数で３以上の整数 Ｘは、１以上の整数 したがって、例えば均一な３重の重ね焼き（ｎ−３）お
よび５重の重ね焼き（ｎ＝ε）を実行することができる
マルチビームのビーム本数ｙは、上式（３）のＸに、１
，２，３．４．・・・を順に代入することによって容易
に求めることができる０次表にその結果を示す。

表１ なお、ｘ−０のとき、マルチビームのビーム本数が１本
になり、本発明の趣旨から外れるので除外される。

第８図〜第１Ｏ図は、上記第１の発明に係るマルチビー
ム露光方法による描画例であり、第８図は重ね数が３重
、ビーム本数が４本、第９図は重ね数が３重、ビーム本
数が１０本、第１θ図は重ね数が５重、ビーム本数が１
１本の場合における、各主走査のマルチビームの位置関
係を示している。なお、各図中、ビームスポット内に示
した数字は、各々の記録ビームに対応した走査線の番号
を示している。また、図中に破線で示したスボシト部分
は、露光開始時においてビームが重なり合わないので、
予め非露光状態に設定されるビームを表している。

以下、第８図を参照して、第１の発明における画像デー
タの出力順序について説明する。

第８図（ｂ）は、同図（ａ）に示したマルチビームの位
置関係を、３重に重ね焼きされる連続した３回の主走査
（１〜３サイルの主走査）に並べ変えて示しである。同
図より明らかなように、１サイクル目の主走査（即ち、
■、■、■、・・・の主走査）のビーム間において、ｌ
の２サイル目の主走査（即ち、■、■、■、・・・の主
走査）および３サイクル目の主走査（即ち、■、■、■
、・・・の主走査）の各ビームは、「１→２−３」、「
４→５→６」、・・・のように走査線順次に並んでいる
。これは、第９図および第１０図に示したような、その
他の例においても同じである。

したがって、上述した第１の発明に係るマルチビーム露
光方法によってｎ重の重ね焼きを行う場合、１サイクル
目の主走査の記録ビーム間において、ｌサイクルの各々
の記録ビームを、走査線順次の画像データで変調すれば
、画像が正しく再現される。

次に、第２の発明について説明する。

上式（２）より理解されるように、第１の発明では、ｎ
重の重ね焼きを行う場合に、連続した各主走査のマルチ
ビームが１　／　ｎドツトずつ、ずれるように副走査送
りピッチｌを設定した。しかし、副走査送りピッチｌは
、必ずしも上記のように設定される必要はなく、例えば
２／ｎ、あるいは３　／　ｎずつ、ずれるように設定す
ることも可能である。

この場合、副走査送りピッチｌは、次式（４）で表すこ
とができる。

ただし、ｎは、重ね数で３以上の整数 ｎ′は、ｎよりも小さい２以上の整数 Ｘは、０以上の整数である。

このようなピッチｌでマルチビームを副走査送りした場
合、均一な重ね焼きを行うことができるマルチビームの
本数ｙは、次式（５）で表すことができる。

次表は、３重の重ね焼き（ｎ−３）および５重の重ね焼
き（ｎ＝５）を行うことができるマルチビームの本数を
示している。

（以下、余白） 表２ なお、上表２において、（）内は第１の発明によって得
られるマルチビームのビーム本数を示している。

第１１図〜第１４図は、上記第２の発明に係るマルチビ
ーム露先方法によるＷｊ画例であり、第１１図は重ね数
が３重、ビーム本数が５本、第１２図は重ね数が３重、
ビーム本数が２本、第１３図は重ね数が３重、ビーム本
−数が８本、第１４図は重ね数ｂ（５重。

ビーム本数が９本の場合における、各主走査のマルチビ
ームの位置関係を示している。

以下、第１１図を参照して、第２の発明における画像デ
ータの出力順序について説明する。

第１１　＠　（ｂ）は、第８図において説明したのと同
様に、第１１ｒｊ！Ｊ（ａ）に示したマルチビームの位
置関係を、３重に重ね焼きされる連続した３回の主走査
（１〜３サイルの主走査）に並べ変えて示している。

同図より明らかなように、１サイクル目の主走査（即ち
、■、■、■、・・・の主走査）のビーム間において、
ｌの２ザイル目の主走査（即ち、■、■。

■、・・・の主走査）および３サイクル目の主走査（即
ち、■、■、■、・・・の主走査）の各ビームは、「ｌ
→３→２」、「４→６→５」、・・・のように、走査線
順序とは異なる順番で並んでいる。これは、第１２図〜
第１４図に示したような、その他の例においても同しで
ある。

したがって、上述した第２の発明に係るマルチビーム露
光方法によってｎ重の重ね焼きを行う場合、１サイクル
目の主走査の記録ビーム間において、ｌサイクルの各々
の記録ビーム間を埋める後続サイクルの画像データで変
調すれば、画像が正しく再現される。

ところで、人力データをリアルタイム処理することによ
って露光記録する装置において、マルチビームのビーム
本数を何本にするかは、データ処理時間、即ち、描画パ
ターンの複雑さに依存している。比較的単純な描画パタ
ーンであれば、データ処理時間が短いので、ビーム本数
を増やして記録スピードを上げられ、逆に、複雑なパタ
ーンであればビーム本数を減らす必要がある。したがっ
て、この種の多重露光装置では、マルチビームの本数を
細かく切り換えられることが好ましい。

しかし、上表２から理解できるように、例えば、３重露
光の場合、第１の発明に係る方法によれば、ビーム本数
は「４」→「７」→「１０」・・・であり、第２の発明
によれば「２」→「５」→「８」・・・のように、いず
れも飛び飛びの値になる。

因みに、両方を使用すれば、ビーム本数は連続的に切り
換えることができ、実用的な装置が実現できる。第３の
発明に係るマルチビーム露光装置はこのような点を考慮
し、ビーム重ね数ｎ、ビーム本数ｙを指定することによ
り、これに適合した第１または第２のマルチビーム露光
方法を自動的に選択して、露光記録できるようにしたも
のである。具体的な構成は、後述する実施例において詳
しく説明する。

〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第４図（ａ）は、本発明の一実施例であるレーザプロッ
タの概略構成を示したブロック図である。

このレーザプロッタは、描画パターンのＣＡＤデータか
ら輪郭辺ベクトルデータを作成する画像データ作成部１
０、前記ベクトルデータをマルチビーム制御用のドツト
データに変換するデータ変換部２０、前記ドツトデータ
に基づきマルチビームを０Ｎ／ＯＦＦ制御して露光記録
する画像記録部３０などから構成されている。

画像データ作成部１０は、次のように構成されている。

キーボード１１から所望の描画パターンが指定されると
、そのパターンのＣＡＤデータが磁気テープ１２や磁気
ディスク１３などの記憶媒体から、画像データ作成手段
としてのミニコンピユータ１４に取り込まれて、輪郭線
ベクトルデータが作成される。

キーボード１１は、描画条件設定手段としての機能も備
え、ビーム重ね数ｎやビーム本数ｙを含む任意の描画条
件が、ここから入力設定される。ミニコンピユータ１４
は、副走査送りピッチ算出手段としての機能も備え、設
定されたビーム重ね数ｎやビーム本数ｙに基づいて副走
査送りピッチ２を算出する。なお、ＣＲＴ１５は、入力
された描画条件などを表示するためのものである。

データ変換部２０は、次のように構成されている。

画像データ作成部１０で作成されたベクトルデータは、
交点算出手段としての交点算出部２１に与えられる。交
点算出部２１は、ベクトルデータで表された描画パター
ンと、各走査線との交点位置を算出し、その交点情報を
、後述するバッファメモリ２４のアドレスに対応した形
式のデータ（交点アドレスデータ）に変換して出力する
。この交点アドレスデータは、出力順序切り換え手段と
してのデータ出力順序切り換え部２２に与えられる。

データ出力順序切り換え部２２は、予め設定された重ね
焼き数ｎやビーム本数ｙに応じて、交点アドレスデータ
の出力順序を切り換えるためのもので、具体的には第５
図に示すように、レーザ記録ビームによる最大重ね焼き
数ｎに等しい個数の先入れ先出し型のメモリ（ＦＩＦＯ
）１〜ｎと、これらのＦＩＦＯＩ〜ｎへの書き込み、読
み出しをそれぞれ個別に制御するデータ書き込み制御部
２２Ａおよびデータ読み出し制御部２２Ｂで構成されて
いる。

制御データ記憶手段としての出力順序制御データ記憶部
２３は、第６図（ａ）に示すように、描画条件に応じて
交点アドレスデータの出力順序を制御するための複数種
類の制御データを記憶したＲＯＭ２３Ａと、読み出され
た制御データをラッチするラッチ回路２３Ｂとから構成
されている。読み出された制御データはデータ読み出し
制御部２２Ｂに与えられる。

第５図に示すように、ＦＩＦＯＩ〜ｎから読み出された
交点アドレスデータは、セレクタ２８Ａおよび２８Ｂに
書き込みアドレスとして与えられる。

セレクタ２８Ａ、２８Ｂは、バッファメモリ制御部２５
からの切り換え制御信号ＳＷに基づきどちらか一方が選
択され、前記交点アドレスデータ、あるいはリードカウ
ンタ２９から与えられる読み出しアドレスをバッファメ
モリ２４に出力するものである。

交点情報記憶手段としてのバッファメモリ２４は、バッ
ファメモリ制御部２５によって制御される二つのバッフ
ァメモリ２４Ａ、　２４Ｂから構成され、各バッファメ
モリ２４Ａ、２４Ｂは設定可能な最大ビーム本数ｍに等
しい数のラインメモリ（１）〜（ｍ）を備えている。各
ラインメモリ〔１〕〜（ｍ）は、−走査線に含まれる画
素数と同じ数のビット領域があり、セレクタ２８Ａ、２
８Ｂを介して与えられたアドレスに、入力データ切り換
え回路４３Ａ、　４３Ｂから入力された「１」または「
０」のデータ（交点データ）が書き込まれるようになっ
ている。

ドツトデータ作成手段としてのドツトデータ作成部２６
は、バッファメモリ２４から読み出された交点データを
ドツトデータに変換するための回路で、ラインメモリ（
１）〜（ｍ）に対応したＡＮＤゲ−）　Ｇ　１〜Ｇ　ｍ
と、各ＡＮＤゲート０１〜Ｇｍに接続されるフリップ・
フロップＦＦ１＝ＦＦｍから構成されている。

変調器制御部２７は、ドツトデータ作成部２６から与え
られた所要ラインのドツトデータに基づいて、後述する
画像記録部３０に備えられたマルチチャンネルの例えば
音響光学変調器をそれぞれ個別に０Ｎ／ＯＦＦ＠ｉｌす
るための信号を出力する。

画像記録手段としての画像記録部３０は、次のように構
成されている。

第４図（ａ）に示すように、感光材料（記録媒体）Ｆが
装着された回転シリンダ３１は、図示しない駆動機構に
よって、一定速度で回転駆動され、その回転数がロータ
リエンコーダ３２で検出される。ロータリエンコーダ３
２の検出信号はタイミング発生回路４２に与えられる。

タイミング発生回路４２は、この検出信号に基づいて出
力タイミング信号を作成して、これをバッファメモリ制
御部２５に出力する。

露光ヘッド３３は、第４図（ロ）に示したように、レー
ザ光を照射する光源１３２、前記光源から照射されたレ
ーザ光を複数本のレーザ記録ビームに分割する光学手段
１３３、前記各レーザ記録ビームを変調器制御部２７か
ら与えられた信号に基づいて個別にＯＮｌｏＦＦｉｌｌ
ｌｍする音響光学変調器などの光変調器１３４、光変調
器１３４によにＯＮ１０　Ｆ　Ｆ制御されたレーザ記録
ビームを感光材料Ｆ上に縮小して集光する光学系１３６
を含む。

露光ヘッド３３は螺子環３４に螺合され、この螺子環３
４がモータ３５で回転駆動されることによって、露光へ
ラド３３が回転シリンダ３１の軸心に沿って副走査送り
される。露光ヘッド３３の副走査方向の位置は、図示し
ないリニアエンコーダにより検出される。

副走査送り制御手段としてのモータ制御回路４１は、画
像データ作成部ｌＯのミニコンピユータ１４から与えら
れた副走査送りピッチｌに基づいて、モータ３５を駆動
制御する。

次に、上述した装置の動作を説明する。

本装置による描画に際しては、まず、画像データ作成部
ｌＯのキーボードｌｌによりて、レーザ記録ビームの重
ね数ｎと、ビーム数ｙとが描画条件として設定される。

ミニコンピユータ１４は、設定されたビーム重ね数ｎと
ビーム数ｙとを、次式（６）に代入して、副走査送りピ
ッチｌを算出する。

ｊ！　＝　ｙ　／　ｎ　　　　　　　・・・・・・（６
）算出された副走査送りピッチｌが、副走査送り制御用
のモータ制御回路４１に出力されることにより、露光ヘ
ッド３３は回転シリンダ３１の１回転当たり、マルチビ
ームがｌドツトだけ進むように、−定速度で副走査送り
される。

一方、ミニコンピユータ１４で作成されたベクトルデー
タは交点算出部２１に与えられて、交点アドレスデータ
が算出される。以下、第７図を参照して説明する。

第７図（ａ）に示すように、交点算出部２１は、画像デ
ータ作成部１０から与えられた描画パターン（図中、斜
線領域で示す）のベクトルデータと、走査線（＋）、　
（２）、　・・・との交点アドレスデータを順に算出す
る。なお、説明を容易にするために、第７図（ａｌにお
いては描画パターンが重ならないものに限定した。まず
、ベクトルデータと走査線（１）との交点アドレスデー
タＤＩ　Ｉ　＋　　ＤＩ　！　＋　　Ｄ　Ｉ　３　＋　
　Ｄ　ｌ　ｇがデータ出力順序切り換え部２２に転送さ
れる。ここで、描画パターンが互いに重なる場合には、
１ライン分のソートおよび交点の重なり処理を行う、つ
ぎに、データ書き込みコントローラ２２Ａは交点算出部
２１からのリクエスト信号（Ｒｅｑ）に基づき、ＦＩＦ
ｏｌに対して書き込み制御信号Ｗｒｉｔｅを出力し、Ｆ
ＩＦＯＩに前記交点アドレスデータを順に書き込み、各
データの書き込み終了ごとにアクノリッジ信号（Ａｃｋ
　）を交点算出部２１に出力して、次の交点データの受
は入れが可能であることを知らせる。

走査線（１）の全ての交点アドレスデータが出力される
と、交点算出部２１は最後の交点アドレスデータＤ１４
に続いて、改行データを出力する。この改行データはＦ
ＩＦＯＩに書き込まれるとともに、データ書き込み制御
部２２Ａに与えられる。これにより、データ書き込み制
御部２２Ａは、書き込み対象をＦ　Ｉ　ＦＯ２に切り換
える。

その結果、交点算出部２１から次に転送されてくる走査
線（２）の交点アドレスデータＤ２＋＋　　Ｄ２２Ｄ、
、　　Ｄ、４と、その後の改行データがＦＩＦＯ２に書
き込まれた後、書き込み対象がＦＩＦＯ３に切り換えら
れる。以下、同様の書き込み処理によって、ｎ重重ね焼
きの場合に、走査線（１）〜（［すの各交点アドレスデ
ータがＦＩＦＯＩ〜ｎに順に書き込まれる。第７図■）
は、このようにしてＦＩＦＯｌ−ｎに書き込まれた交点
アドレスデータを示している。

なお、書き込み対象となっているＦＩＦＯからデータ書
き込み制でｎ部２２Ａにｆｕｌｌ信号が出ている場合に
は、そのＦＩＦＯに記憶された先のデータの読み出しが
終わっていないために、新しい交点アドレスデータの書
き込みエリアがないものと判断して、空領域ができるま
で交点アドレスデータの書き込みが待機される。

走査線（１）〜（ｎ）の各交点アドレスデータがＦＩＦ
ＯＩ〜ｎに書き込まれると、次の走査線（１＋ｎ）の交
点アドレスデータが、第７図（Ｃ）に示すようにＦＩＦ
ＯＩに書き込まれる。同様に走査線（２＋ｎ）以降の各
走査線の交点アドレスデータがＦＩＦＯ２〜ｎに順に書
き込まれる。その結果、ＦＴＦＯＩには走査線（１）、
　　（１＋　ｎ　）　。

（１＋２ｎ）、　・・・の交点アドレスデータが、ＦＩ
ＦＯ２には走査線（２）、（２＋ｎ）、（２＋２ｎ）。

・・・の交点アドレスデータが、・・・、ＰＩＦＯｎに
は走査線（ｎ）、（２ｎ）、・・・の交点アドレスデー
タがそれぞれ書き込まれる。

次に、ＰＩＦＯＩ〜ｎからの交点アドレスデータでの読
み出し動作について説明する。

上述したように、第１の発明に係る露光方法（第１描画
方式）をとる場合と、第２の発明に係る露光方法（第２
描画方式）をとる場合とでは、交点アドレスデータの読
み出し順序が異なるので、出力順序制御データ記憶部２
３のＲＯＭ２３Ａに、種々の描画条件に対応したデータ
出力順序制御データを予め記憶させておき、画像データ
作成部１０のミニコンピユータ１４から与えられた描画
条件にあった制御データを読み出して、交点アドレスデ
ータの出力順序を制御するようにしている。

第６図ら）に示すように、データ出力順序制御データは
、上位から順に、「スペース数Ｓ」、「出力ライン数Ｌ
」、ｒＦＩＦｏ番号Ｆ」番号衣アドレスＡ」から構成さ
れている。

「スペース数Ｓ」は、露光開始当初の所要の主走査にお
いて、非露光状態に維持しておくレーザ記録ビームの数
を設定するためのデータである。

「出力ライン数Ｌ」は、その主走査において露光記録に
使用されるレーザ記録ビームの本数を示している。

ｒＦＩＦｏ番号Ｆ」は、ＦＩＦＯＩ−ｎのうち、その主
走査において読み出すべきＦＩＦＯの番号を指定してい
る。

「次アドレスＡ」は、その次の主走査の制御データが格
納されているアドレスの下位ビットを指定するデータで
、ラッチ回路２３Ｂを介してＲＯＭ２３Ａに帰還される
。

以下、第１５図および第１６図を参照して、第１描画方
式のデータ出力動作を説明する。第１５図はデータ出力
処理のフローチャート１．第１６図は、ＲＯＭ２３Ａに
記憶されている制御データの一部を模式的に示している
。なお、ここでは、ビーム本数「４」、重ね数「３」の
描画条件（第８図示に係る描画条件）が設定された場合
を例にとる。

まず、画像データ作成部１０からＲＯＭ２３Ａに、ビー
ム本数「４」、重ね数「３」の各描画条件が上位のアド
レスデータとして与えられる。また、露光開始時に、デ
ータ読み出し制御部２２Ｂからラッチ回路２３Ｂにクリ
ア信号が与えられることにより（第１５図のステップＳ
　１”）　、ＲＯＭ２３Ａの下位アドレスＡとして「０
」が入力される。

その結果、ＲＯＭアドレスｒｙｎＡ」が「４３０」に設
定され、最初の出力順序制御データ「５ＬＦＡＪとして
ｒ２２１１」が読み出される（ステップＳ２、第１６図
参照）、この制御データは、データ読み出し制御部２２
Ｂからのラッチ信号に基づき、ラッチ回路２３Ｂにラッ
チされる（ステップＳ３）。

この制御データを読み取ったデータ読み出し制御部２２
Ｂは、制御データ中のスペース数ＳがｒＯ」であるかど
うかを判断する（ステップＳ４）。

この例では、スペース数Ｓ−２であるから、データ読み
出し制御部２２Ｂはバッファメモリ制御部２５に対して
改行要求信号ＮＲｅｑを出力する（ステップＳ５）。

１回目主走査の交点データの書き込み時、バッフアメモ
リ１ｌｉＩＪ御部２５は、バッファメモリ２４Ａと入力
データ切り換え回路４３Ａを選択しているので、改行要
求信号ＮＲｅｑを受けたバッファメモリ制御部２５は、
入力データ切り換え回路４３Ａに対して改行信号を出力
する。その結果、入力データ切り換え回路４３Ａのデー
タ書込み対象がバッファメモリ２４Ａのラインメモリ　
〔１〕からラインメモリ〔２〕に移る。初期状態におい
て、バッファメモリ２４の各ラインメモリの各ビットは
「０」になっているので、バッファメモリ２４Ａのライ
ンメモリ（１）の全ビットはｒＱ、のまま維持される。

ラインメモリ　〔１〕から〔２〕へ改行されると、バッ
ファメモリ制御部２５からデータ読み出し制御部２２Ｂ
に改行終了信号ＮＡｃｋが出される。これにより、デー
タ読み出し制御部２２Ｂは、制御データ中のスペース数
Ｓから１を減算しくステップＳ５）、その結果が「０」
であるかどうかを判断する（ステップＳ４）。

この例では、Ｓ−２−１−１であるから、再びステップ
Ｓ５に進み、最初と同様の改行処理が行われることによ
り、データ書込み対象がバッファメモリ２４Ａのライン
メモリ〔２〕からラインメモリ〔３〕に移る。

以上の２回の改行処理によって、ｓ−ｏになると、ステ
ップＳ４からステップｓ６に進み、データ読み出し制御
部２２Ｂは制御データ中の出力ライス数りがｒ□、であ
るかどうかを判断する。ここでは、出力ライン数りが「
２」であるから、ステップＳ７に進む。

ステップＳ７では、制御データ中のＦＩＦＯ番号で示さ
れるＦＩＦＯから交点アドレスデータを読み出す、ここ
では、ＦＩＦＯ番号Ｆは「１」であるから、ＦＩＦＯＩ
に対して読み出し制御信号Ｒｅａｄを出力することより
、ＦＩＦＯＩの交点アドレスデータが読み出される。そ
して、読み出されたデータが改行ビットであるかどうか
を判断する（ステップＳ８）、いま、ＦＩＦＯＩに、第
７図に示したような交点アドレスデータが書き込まれて
いたとすると、ＦＩＦＯＩから最初に読み出される交点
アドレスデータＤ、は改行ビットでないので、その交点
アドレスデータＤ＋＋をＦＩＦＯｌからセレクタ２８Ａ
を介してバッファメモリ２４Ａに転送する（ステップＳ
９）。

バッファメモリ２４Ａへ交点アドレスデータが転送され
ると、データ読み出し制御部２２Ｂはバッファメモリ制
御部２５にデータ書込み要求信号ＤＲｅｑを送る。これ
により、入力データ切り換え回路４３Ａに入力データ「
１」がセットされる。そして、バッファメモリ制御部２
５からのライト信号Ｗに基づき、上述の改行処理によっ
て書込み対象に指定されているラインメモリ　〔３〕上
の、前記セレクタ２８Ａから転送されたアドレスに、交
点データ「１」が書き込まれる。

交点データの書込みが終わると、バッファメモリ制御部
２５からデータ読み出し制御部２２Ｂに、データ書込み
終了信号ＤＡｃｋが出力される。これにより、データ読
み出し制御部２２Ｂは、ＦＩＦＯＩから次のデータを読
み出す（ステップＳ７）、そして、上述したと同様の動
作が行われて、走査線（＋）の２番目の交点アドレスデ
ータＤ１８が読み出され、この交点アドレスデータｔ）
＋ｚがセレクタ２８Ａを介してバッファメモリ２４Ａに
転送されることにより、ラインメモリ〔３〕の対応アド
レスに、交点データ「１」が書き込まれる。

以下、同様にＦＩＦＯＩから交点アドレスデータが順に
読み出されて、ラインメモリ〔３〕上の対応アドレスに
、走査線（１）の交点データｒｌ、が書き込まれる。

ＦＴＦＯＩから読み出されたデータが改行ビットである
場合、ステップＳ８からステップＳＩＯに進み、バッフ
ァメモリ制御部２５に対してラインメモリの改行を指令
する。これにより、交点データの１込み対象が、バッフ
ァメモリ２４Ａのラインメモリ〔３〕からラインメモリ
〔４〕に移る。そして、制御データ中の出力ライン数り
から１を減算しくステップ５ＩＯ）、ステップＳ６に戻
って、減算結果が「０」であるかどうかを判断する。こ
の例では、Ｌ−２−１−１であるから、ステップＳ７に
進み、ＦＩＦＯＩに書き込まれている後続のデータ、即
ち、４番目の走査線（４）の交点アドレスデータが読み
出され、上述と同様の動作によって、ラインメモリ〔４
〕上の対応アドレスに交点データ「１」が書き込まれる
。

第１７図は、バッファメモリ２４への交点データの書き
込み状態を示した模式図であり、同図（ａ）は上述した
１回目主走査時にバッファメモリ２４Ａの書き込みが終
了した状態を示している。なお、第１７図中の（１）、
　（２）、・・・は、各ラインメモリに書き込まれた走
査線ごとの交点データ群を示している。

バッファメモリ２４Ａへ２ライン分の交点データが書込
まれると、出力ライン数はＬ＝Ｏになるから、ステップ
Ｓ６からステップＳ２に戻り、２回目主走査■に必要な
次の制御データの読み出しが行われる。そして、バッフ
ァメモリ制御部２５は、バッファメモリ２４Ｂと入力デ
ータ切り換え回路４３Ｂとを選択し、またセレクタ２８
Ｂに対して交点アドレスデータを出力するように切り換
える。

このとき、ＲＯＭ２３Ａのアドレスの下位ビットには、
ラッチ回路２３Ｂにラッチされている先の制御データ中
の次アドレス「ｌ」が入力されている。

したがって、ＲＯＭアドアドレス３１Ｊから制御ｎデー
タｒ１３２２Ｊが読み出される（第１６図参照）。

この制御データに基づき、上述と同様の書込み処理が行
われる。即ち、スペース数が「ｌＪであるので、バッフ
ァメモリ２４Ｂのラインメモリ〔１〕の全ビットは「０
」に維持される。また、出力ライン数がｒ３Ｊ、ＦＩＦ
Ｏ番号が「２」であるから、ＦＩＦＯ２に書き込まれて
いる交点アドレスデータが順に読み出されてバッファメ
モリ２４Ｂのラインメモリ（２）、　　（３）、　　（
４）の対応アドレスに走査Ｍ（２）、　（５）、　（８
）の各交点データがそれぞれ書き込まれる。第１７図（
ｂ）は、バッファメモリ２４Ｂへの書込みが終了した状
態を示している。

バッファメモリ２４Ｂへの書込みが行われている間に、
先に書込みが完了しているバッファメモリ２４Ａから交
点データが読み出される。以下、第１８図および第１９
図を参照して説明する。

なお、第１８図は、バッファメモリ２４Ａへの第１回目
主走査の交点データの書き込み状態を示した模式図、第
１９図はその交点データの読み出しタイミング図である
。

バッファメモリ制御部２５は、タイミング発生回路４２
から第１９図（ａ）に示すような出力タイミング信号を
入力している。この出力タイミング信号の１サイクルは
画素ピッチに対応する。バッファメモリ制御ｎ部２５は
、バッファメモリ２４Ａを選択し、また、セレクタ２８
Ａをリードカウンタ２９側に切り換えるとともに、前記
出力タイミング信号に同期したパルス信号をリードカウ
ンタ２９に出力する。リードカウンタ２９は、このパル
ス信号の計数値をセレクタ２８Ａに出力することにより
、セレクタ２８Ａから第１９図（ｂ）に示すような読み
出しアドレスが出力される。

バッファメモリ制御部２５は、バッファメモリ２４Ａに
対して、第１９図（Ｃ）に示すようなＲ／Ｗ信号を出力
する。この信号が「Ｈ」レベルのときに、セレクタ２８
Ａを介して与えられた読み出しアドレス内の交点データ
が順に読み出される（第１９図（ｄ）参照）、交点デー
タの読み出しは、バッファメモリ２４Ａの各ラインメモ
リについて並列的に行われる。

読み出された各交点データは、ドツトデータ作成部２６
のＡＮＤゲー）Ｇ（Ｇ１〜Ｇｎ）の一方入力として与え
られる。ＡＮＤゲートＧは、バッファメモリ制御部２５
から与えられたタイミングパルス（第１９図（ｅ）参照
）に従って開放する結果、次段のフリップ・フロップＦ
Ｆ　（ＦＦＩ〜ＦＦｎ）に、第１９図（ｆ）に示すよう
な交点データが入力される。

その結果、フリップ・フロップＦＦの出力Ｑは、第１９
図（櫛に示すように、交点データの変化点ごとに反転す
ることになる。

即ち、第１９図（ｄ）に示した最初の交点データ「ｌ」
が、描画パターンが白から黒へ変化する変化点であり、
次の交点データ「１」が、黒から白へ変化する変化点で
あるとすると、第１９図（ロ）に示したフリップ・フロ
ップＦＦのＱ出力の［ＨＪレベル研域は、レーザ記録ビ
ームのＯＮ状態（露光状Ｂ）に対応する。

このようにして得られた各フリップ・フロップＦＦの出
力Ｑがドツトデータとして、次段の変調器制御部２７を
介して画像記録部３０の露光へラド３３に与えられるこ
とにより、第８図に示したように、１回目主走査■にお
いて、レーザ記録ビームＢ１゜Ｂオは非露光状態に維持
され、ビームＢ、は走査線（１）のドツトデータで、ビ
ームＢ、は走査線（４）のドツトデータで、°それぞれ
０Ｎ／ＯＦＦ変調され、感光材料Ｆに走査線（１）、　
（４）に沿った画素が記録される。

なお、交点データがバッファメモリ２４Ａの各ラインメ
モリから読み出されている間、バッファメモリ制御部２
５からの制御により、入力データ切り換え回路４３Ａは
各ラインメモリに第１９図（ロ）に示すようなデータ「
０」を入力する。その結果、交点データが読み出された
のちで、第１９図（Ｃ）に示したＲ／Ｗ信号の「Ｌ」レ
ベルの期間に、交点データが読み出された各アドレスの
内容が「０」に書き換えられる。

１回目主走査■が完了すると、第１７Ｖ！Ｊ（Ｃ）に示
したように、バッファメモリ２４Ｂに書き込まれている
交点データが出力されることにより、２回目主走査■の
レーザ記録ビームＢ、は非露光状態に維持され、ビーム
Ｂ＊　、Ｂｓ　、Ｂ４は、それぞれ走査線（２）、　（
５）、　（８１４７）交点データ”ｉ？０Ｎ／ＯＦＦ変
調され、走査線（２）、　（５）、　（８）に沿った画
素が記録される。そして、バッファメモリ２４Ｂからの
交点データが読み出されている間に、ＲＯＭ２３Ａがら
与えられたアドレスｒ４３２．の制御データ「ｏ４３３
」に基づき、Ｐ　Ｉ　ＦＯ３から３回目主走査■の交点
アドレスデータが読み出されて、バッファメモリ２４Ａ
に走査線（３）、　（６）、　（９）、　０２）の各交
点データが書き込まれる。

以下、制御データの「次アドレス」に従って、ＲＯＭア
ドアドレス３３Ｊ→ｒ４３４Ｊ→「４３５」→ｒ４３３
」→・・・と、循環的にアドレス指定されて、バッファ
メモリ２４Ａ、２４Ｂに対して各交点データの書き込み
／読み出しが交互に行われることにより、４本のレーザ
記録ビームで構成されたマルチビームによって３重の重
ね焼き露光が、リアルタイムに行われる。

なお、読み出し対象となっているＦＩＦＯがらデータ読
み出し制御部２２Ｂに、空信号Ｅ＋ｗｐが出されている
場合は、そのＦＩＦＯへの交点アドレスデータの書き込
みが終了していないものと判断して、空信号Ｅｍｐが解
除されるまで、交点アドレスデータの読み出しは待機さ
れる。

次に、第２描画方式のデータ出力動作を、第１１図に示
したように、ビーム本数が「５」、重ね数がｒ３．の描
画条件が設定された場合を例にとって説明する０本例に
おいても、第１５図に説明した手順に従ってＦＩＦＯか
らのデータの読み出し、およびバッファメモリ２４への
書き込み／読み出しが行われる。

画像データ作成部１０からＲＯＭ２３Ａに、ビーム本数
「５」、重ね数ｒ３．の描画条件が上位のアドレスデー
タとして与えられ、また、露光開始時の下位アドレスＡ
は「０」であるから、ＲＯＭアドアドレス３０Ｊが指定
される。その結果、前記アドレスに記憶された出力順序
制御データ「３２１１」が読み出される（第１６図参照
）。この制御データ中のスペース数Ｓ「３」に基づき、
第２０図（ａ）に示すように、バッファメモリ２４Ａの
ラインメモリ（Ｎ、　　（２）、　　（３）の各ビット
が「０」に維持される。そして、ＦＩＦＯ番号Ｆ　ｒｌ
、に基づき、ＦＩＦＯＩに書き込まれている走査線（１
）。

（４）の交点アドレスデータが読み出されて、バッファ
メモリ２４Ａのラインメモリ（４）、　　（５）の対応
アドレスに交点データが書き込まれる。

必要な出力ライン分の交点データの書込みが終わると、
先の制御データの次アドレスで指定されたアドレスｒ５
３１Ｊから、２回目主走査■の制御データｒ２３３２Ｊ
が読み出される。この制御πデータのスペース数Ｓは「
２」であるから、第２０図（ｂｌに示すように、バッフ
ァメモリ２４Ｂのラインメモリ（１）、　　（２）の各
ビットが［ＯＪに維持される。また、ＦＩＦＯ番号Ｆは
「３」であるから、２回目主走査■では、ＦＩＦＯ３に
記憶されている走査線（３）、　（６１，（９１の交点
アドレスデータが読み出されて、ラインメモリ（３）、
　　（４］。

〔５〕の対応アドレスに交点データ「１」が書き込まれ
る。

ＦＩＦＯ２を飛び越えてＦＩＦＯ３の交点アドレスデー
タを先に読み出すのは、この描画条件では、第１１図に
示したように、２サイクル目の主走査と３回目の主走査
とでは、描画順序が逆になるので、交点アドレスデータ
の出力順序を入れ換えることが必要だからである。

上記のバッファメモリ２４Ｂへの書込みと並行して、バ
ッファメモリ２４Ａからの交点データの読み出しが行わ
れて、走査線（１）、　（４）に沿った各画素が記録さ
れる。

３回目主走査■では、ＲＯＭアドレス「５３２Ｊの制御
データｒ０５２３」が読み出される。

この制御ｎデータにより、ＦＩＦＯ２の交点アドレスデ
ータが読み出されて、第２０図（Ｃ）に示すように、バ
ッファメモリ２４Ａのラインメモリ（１）〜〔５〕の対
応アドレスに、走査線（２）、　（５）、　（８）、　
（１１）。

０４の各交点データが書き込まれる。

以下、制御データの「次アドレス」に従って、ＲＯＭ７
Ｆレスｒ５３３」−＋ｒ５３４」−＋ｒ５３５」→ｒ５
３３Ｊ→・・・と、循環的にアドレス指定されることに
より、バッファメモリ２４Ａ、、２４Ｂに対して交点デ
ータの書き込み／読み出しが交互に行われる結果、５本
のレーザ記録ビームからなるマルチビームによって３重
の重ね焼きがリアルタイムに行われる。

なお・本発明は次のように変形実施することもできる。

（＋）　　実施例では、４本あるいは５本のレーザ記録
ビームなるマルチビームによって、３重の重ネ焼きをす
る場合を例にとって、それぞれ説明したが、本発明は２
本以上のレーザ記録ビームからなるマルチビームによっ
て、３重以上の重ね焼きをする各々に適用できることは
言うまでもない。

（２）　　また、実施例では、回転走査型のレーザプロ
ッタを例にとって説明したが、本発明は平面走査型のレ
ーザプロッタ、あるいは製版用カラースキャナやレーザ
プリンタのようなその他の画像走査記録装置にも適用す
ることができる。

（３）実施例では、記録ビームがレーザ光である場合を
例にとって説明したが、その他の光源、例えばＬＥＤな
どにも適用することができる。

（４）また、上述した実施例においては、ビームを互い
に重ね合わせて記録する場合についてのみ述べたが、要
求される画像品質に応じ、従来の重ね合わせを行わない
記録と、本発明の重ね合ゎせを行う記録とを、選択的に
切り換えるようにしてもよい。

〈発明の効果〉 以上の説明から明らかなように、第１および第２の発明
に係るマルチビーム露光方法によれば、マルチビームを
構成する各記録ビームについて干渉を防止するための特
別の光学的手段を備える必要がな（、しかも、複数個の
ビームスポットを千鳥状に配置したマルチビームで重ね
焼きをするときのようなデータの出力タイミングの微妙
な調整も不要であり、マルチビームによる３重以上の重
ね焼きによって、境界線が極めて滑らかな描画パターン
を比較的に節単に記録することができ、ビーム径の大き
い場合に特に有効である。

また、第３の発明に係るマルチビーム露光装置によれば
、要求される境界線の滑らかさの程度に応じてビームの
重ね数を任意に指定することができ、しかも、マルチビ
ームを構成する記録ビームの本数を描画パターンの複雑
さに応じて細がく調整することができる実用的なマルチ
ビーム露光装置を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るマルチビーム露光方法の説明図、
第２図は好ましくない多重重ね焼きの例の説明図、第３
図は第１の発明に係るマルチビーム露光方法の説明図で
ある。 第４図〜第２０図は本発明装置の実施例に係り、第４図
（ａ）は装置の概略構成を示したブロック図、第４図（
ｂ）は露光ヘッドの概要を示した斜視図、第５図はデー
タ変換部の詳細を示したブロック図、第６図は出力順序
制御データ記憶部の詳細を示したブロンク図、第７図は
ＦＩＦＯへの交点アドレスデータの書き込み動作の説明
図、第８図〜第１０図は第１の発明に係るマルチビーム
露光方法による描画例の説明図、第１１図〜第１４図は
第２の発明に係るマルチビーム露光方法による描画例の
説明図、第１５図は交点アドレスデータの読み出し動作
の手順を示したフローチャート、第１６図は出力順序制
御データ記憶部に記憶された制御データの説明図、第１
７図は第８図示の描画例に係るバッファメモリの書き込
み／統み出し動作の説明図、第１８図ハハノファメモリ
に書き込まれた交点データの説明図、第１９図は交点デ
ータの読み出し動作のタイミング図、第２０図は第１１
図示の描画例に係るバッファメモリの書き込み／読み出
し動作の説明図である。 第２１図〜第２５回は従来例の説明図であり、第２１図
は一般的な重ね無しマルチビームの説明図、第２２図は
重ね無しマルチビームによって露光された記録画像の説
明図、第２３図は重ね有りマルチビームの説明図、第２
４図は千鳥状に配列されたマルチビームの説明図、第２
５図は２重の重ね焼きによって得られた記録画像の説明
図である。 １０・・・画像データ作成部 １１・・・キーボード（描画条件設定手段）１４・・・
ミニコンピユータ（画像データ作成手段、副走査送りピ
ッチ算出手段） ２０・・・データ変換部 ２１・・・交点算出部（交点算出手段）２２・・・デー
タ出力順序切り換え部（出力順序切り換え手段） ２３・・・出力順序制御データ記憶部（制御データ記憶
手段） ２４・・・バッファメモリ（交点情報記憶手段）２５・
・・バッファメモリ制御部 ２６・・・ドツトデータ作成部（ドツトデータ作成手段
）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）それぞれ独立して制御される複数本の記録ビーム
   からなるマルチビームを画像記録面に照射して直列状の
   ビームスポット列を形成し、画像記録面に対してマルチ
   ビームをスポット配列方向と交差する方向に相対走査（
   主走査）させるとともに、スポット配列方向に相対走査
   （副走査）させることにより、記録媒体に露光記録する
   ようにしたマルチビーム露光方法において、 前記マルチビームは、次式 ｙ＝［ｘ＋（１／ｎ）］×ｎ ただし、ｎは、ビームスポットの重ね数で ３以上の整数 ｘは、１以上の整数 で与えられるｙ本の記録ビームから構成されており、こ
   のマルチビームを、次式 ｌ＝ｙ／ｎ＝ｘ＋（１／ｎ） で与えられるピッチｌ〔単位：ドット個数）で副走査送
   りするとともに、 ｎ重の重ね焼きが行われるｎサイクルの主走査において
   、１サイクル目の主走査の記録ビーム間を埋める後続サ
   イクルの各々の記録ビームを、走査線順次の画像データ
   で変調することにより、３重以上の重ね焼きを行うこと
   を特徴とするマルチビーム露光方法。
2. （２）それぞれ独立して制御される複数本の記録ビーム
   からなるマルチビームを画像記録面に照射して直列状の
   ビームスポット列を形成し、画像記録面に対してマルチ
   ビームをスポット配列方向と交差する方向に相対走査（
   主走査）させるとともに、スポット配列方向に相対走査
   （副走査）させることにより、記録媒体に露光記録する
   ようにしたマルチビーム露光方法において、 前記マルチビームは、次式 ｙ＝［ｘ＋（ｎ′／ｎ）］×ｎ ただし、ｎは、ビームスポットの重ね数で３以上の整数 ｎ′は、ｎよりも小さい２以上の整数 ｘは、０以上の整数 で与えられるｙ本の記録ビームから構成さ れており、このマルチビームを、次式 ｌ＝ｙ／ｎ＝ｘ＋（ｎ′／ｎ） で与えられるピッチｌ〔単位：ドット個数〕で副走査送
   りするとともに、 ｎ重の重ね焼きが行われるｎサイクルの主走査において
   、ｌサイクル目の主走査の記録ビーム間を埋める後続サ
   イクルの各々の記録ビームを、順番を入れ換えた走査線
   の画像データで変調することにより、３重以上の重ね焼
   きを行うことを特徴とするマルチビーム露光方法。
3. （３）それぞれ独立して制御される複数本の記録ビーム
   からなるマルチビームを画像記録面に照射して直列状の
   ビームスポット列を形成し、画像記録面に対してマルチ
   ビームをスポット配列方向と交差する方向に相対走査（
   主走査）させるとともに、スポット配列方向に相対走査
   （副走査）させることにより、記録媒体に３重以上の重
   ね焼きを行うマルチビーム露光装置であって、 ビーム重ね数ｎ、ビーム本数ｙを含む任意の描画条件を
   設定する描画条件設定手段と、 前記設定された描画条件に基づき、次式 ｌ＝ｙ／ｎ で与えられる副走査送りピッチｌ〔単位：ドット個数〕
   を算出する副走査送りピツチ算出手段と、前記算出され
   たピッチｌで副走査送りをする副走査送り制御手段と、 前記設定された描画条件に応じて、画像データの交点情
   報の出力順序を走査線ごとに制御するための制御データ
   を格納した制御データ記憶手段と、前記制御データ記憶
   手段から与えられた制御データに基づいて、前記交点情
   報の出力順序を切り換える出力順序切り換え手段と、 前記出力順序切り換え手段から出力された交点情報を、
   マルチビームを構成する各記録ビームに対応付けて記憶
   する交点情報記憶手段と、 前記交点情報記憶手段に記憶された交点情報に基づいて
   、各記録ビームをＯＮ／ＯＦＦ変調するためのドットデ
   ータを作成するドットデータ作成手段と、 前記ドットデータに基づいてマルチビームを構成する各
   記録ビームをＯＮ／ＯＦＦ変調して露光記録を行う画像
   記録手段と、 を備えたことを特徴とするマルチビーム露光装置。