JPH0311228Y2

JPH0311228Y2 -

Info

Publication number: JPH0311228Y2
Application number: JP20203186U
Authority: JP
Priority date: 1986-12-25
Filing date: 1986-12-25
Publication date: 1991-03-19
Also published as: JPS63106760U

Description

【考案の詳細な説明】［考案の目的］（産業上の利用分野）本考案は、真空蒸着装置の真空槽内に配設され
た蒸着金属を加熱して蒸気に変えるための加熱装
置に関するもので、特に加熱用の発熱線とそれを
接続する電極の構造に改良を施した真空蒸着装置
の加熱装置に係る。

（従来の技術）現在、情報記録媒体として録音用テープ、ビデ
オテープ、ビデオデイスク等が市販され普及して
いるが、近年、レーザー光を用いて記録再生が可
能な光デイスクが高密度情報記録媒体として注目
されている。画像、音声の情報以外にもコンピユ
ーターのデータメモリ媒体として利用が拡大され
ようとしており、記録、再生時にエラーのない高
品質な光デイスクが要求されており、中でもレー
ザーデイスク（LD）、コンパクトデイスク（CD）
等の光デイスクの表面に金属薄膜を均一に形成す
るための真空蒸着装置が注目されている。

第３図に従来から用いられている真空蒸着装置
の概略的な平面図を示した。

即ち、この真空蒸着装置は、架台１の中央部に
設けた真空槽４のレール２ａと架台１上に設けた
レール２ｂ上に、第１、第２のターンテーブル３
ａ，３ｂを走行自在に配設したものである。ま
た、真空槽４を挟んで両側の架台１に並行に、タ
ーンテーブル３ａ，３ｂに設けられた各デイスク
ホルダーに対して、デイスクを装着したり取り外
したりする着脱装置５ａ，５ｂがそれぞれ配置さ
れている。各ターンテーブル３ａ，３ｂ上には、
それぞれ複数本のデイスクホルダー６がその支軸
７を中心として回転自在（自転可能）に支持され
ている。各デイスクホルダー６は、側面に複数枚
のデイスクＤを装着できるように多面体（一例と
して三面）になつている。

ターンテーブル３ａ，３ｂは、第４図の縦断面
図に示す通り、レール２ａ上を走行する台車８上
に軸受９及びガイドローラ１０によつて支持され
たリング状の部材で、その外周に形成されたギヤ
１１の部分で、モータ１２によつて回転する駆動
ギヤ１３と噛合つている。ターンテーブル３ａ，
３ｂには、支軸７が貫通する軸孔１７が形成され
ている。支軸７には自転ギヤ１４が固定され、こ
の自転ギヤ１４がターンテーブル３ａ，３ｂに一
体に設けられたホルダー駆動ギヤ１５と噛合つて
いる。また、支軸７の自転ギヤ１４とデイスクホ
ルダー６との間には、支軸７とデイスクホルダー
６を接続する継手１６が設けられている。

このような構成の真空蒸着装置においては、一
方のターンテーブル３ａを脱着装置５ａが配置さ
れている方の架台より真空槽４内に搬入して蒸着
作業を行つている間に、もう一方のターンテーブ
ル３ｂに対してデイスクを着脱することで、作業
を連続して行うことができるようになつている。
即ち、真空槽４内においては、外部に設けられた
モータ１２によつて真空槽４内の駆動ギヤ１３が
回転すると、これに外周のギヤ１１の部分で噛合
つているターンテーブル３ａが回転する。ターン
テーブルａが回転すると、このターンテーブル３
ａに一体に形成したホルダー駆動ギヤ１５が支軸
７に固定された自転ギヤ１４を回転させるので、
デイスクホルダー６は自転しながら公転する。そ
の結果、どの位置のホルダーであつても、また各
ホルダーのどの面に装着したデイスクであつて
も、均等に真空槽内の蒸気と接触することにな
り、各デイスクに均等な蒸着層が形成されること
になる。

（考案が解決しようとする問題点）ところが、上記のようにしてターンテーブルに
よる公転・自転を行つて、各デイスクホルダーに
支持されたデイスクに均等な金属蒸着層を形成す
るために考慮された従来の真空蒸着装置において
も、各デイスクホルダーの上下方向ではデイスク
に形成される蒸着層にむらが生じる問題点があつ
た。

即ち、真空槽４内部に搬入されたターンテーブ
ル３ａ，３ｂの中央部には発熱線を有する加熱装
置が設けられ、この加熱装置によつて蒸着金属
（Al等）を加熱蒸発させるものであるが、従来の
加熱装置では、デイスクホルダー６の上下で蒸着
金属の蒸発量にむらが生じないように、第２図に
示すような縦方向に長い電極２１ａ，２１ｂを平
行に配置し、この電極２１ａ，２１ｂ間に同じ長
さの複数の発熱線２２を階段状に接続するように
していた。なお、電源２３は、電極２１ａ，２１
ｂの下部に接続していた。

しかしながら、上記の様な従来の真空蒸着装置
においては、縦方向に配設された両電極間に接続
された発熱線２２の内、上部に配設された発熱線
ほど電源側から見て接続される電極が長くなるの
で、その抵抗が大きくなり、従つて流れる電流が
小さくなるため、発熱線の発熱量も小さくなる。
特に、発熱量はＱ＝I²Rtで表される通り、電流の
二乗に比例するので、電極の下部では抵抗でが少
なく流れる電流が大となり、発熱量も大となる。
その結果、電極の下部においては蒸着金属である
Al等が早く蒸発し、一方、電極の上部において
はAl等の蒸発が下部に比べて遅くなる。

そのため、真空槽内におけるAl等の蒸気の分
布が不均一となり、真空槽内の下部に配設される
デイスク等の被蒸着基材に形成される蒸着層の方
が厚くなりやすく、上部に配設される被蒸着基材
に形成される蒸着層の方が薄くなつてしまい、均
一な製品を得られない等の問題点があつた。

本考案は上記のような従来技術の問題点を解決
するために提案されたもので、その目的は、電極
間に配設される各発熱線の発熱量を極力等しくし
て、真空槽内における蒸着物の蒸気の分布を均一
なものとし、精度の高い蒸着作業を行なうことが
できるようにした真空蒸着装置の加熱装置を提供
することにある。

［考案の構成］（問題点を解決するための手段）上記の目的を達成するために、本考案の真空蒸
着装置の加熱装置は、２つの電極間に接続される
複数本の発熱線の長さを、電極上部の発熱線ほど
短くすると共に、それに合わせて前記発熱線を接
続する２つの電極を、上端部の間隔が下端部の間
隔より狭くなるように配設したものである。

（作用）上記の様な構成を有する本考案の真空蒸着装置
の加熱装置においては、上部ほど発熱線の長さを
短くしたので、電源側から見て各段の発熱線を含
む抵抗値が等しくなる。その結果、各発熱線に流
れる電流がほぼ等しくなり、発熱線の発熱量もほ
ぼ等しくなるので、真空槽内における蒸着物の蒸
気の分布も等しくなり、被蒸着基材に形成される
蒸着膜の厚さを均一にできる。

（実施例）以下、本考案の一実施例を第１図により具体的
に説明する。なお、第２図乃至第３図に示した従
来型と同一の部材については同一の符号を付し、
説明は省略する。

＊実施例の構成第１図において、２つの電極３１ａ，３１ｂの
間に接続される発熱線N₁〜N₅の長さを、電極上
部の発熱線ほど短く設定する。この場合、電源か
ら各発熱線N₁〜N₅の接続部までの電極部分の抵
抗をr₁〜r₅、各発熱線N₁〜N₅の抵抗R₁〜R₅とす
れば、 r₁＋R₁＝r₂＋R₂＝r₃＋R₃ ＝r₄＋R₄＝r₅＋R₅ となるように、発熱線N₁〜N₅の長さを設定す
る。

また、これら長さの異なる発熱線N₁からN₅長
さに合わせて、発熱線を接続する２つの電極３１
ａ，３１ｂは、その上端部における間隔L₁が下
端部における間隔L₂より狭くなるように斜めに
配置する。

＊実施例の作用上記の様な構成を有する本実施例の真空蒸着装
置の加熱装置においては、２つの電極３１ａ，３
１ｂの間に接続される発熱線N₁〜N₅の長さを調
節して、電極上部に接続された発熱線N₅にも電
極下部の発熱線N₁と同様な電流が流れるように
構成したもので、各発熱線における発熱量もほぼ
等しくなる。

その結果、真空槽内における蒸着物であるAl
等の蒸発も均一に行われ、真空槽内におけるAl
等の蒸気の分布が均一になるので、蒸着作業時に
真空槽内に装着されるデイスク等の被蒸着基材に
均一な蒸着膜を形成することができる。

＊他の実施例＊なお、本考案は上述した実施例に限定されるも
のではなく、電源側から見て各段の発熱線の抵抗
が等しくなるのであれば、２つの電極の配置は、
一方の電極が垂直で他方の電極のみ斜めに配設し
ても良いし、また、階段状に配設しても良く、
種々の配置方法が考えられる。

［考案の効果］以上の通り、本考案によれば、２つの電極間に
接続される複数本の発熱線の長さを、電極上部の
ものほど短くするという簡単な手段によつて、各
発熱線の発熱量を極力等しくすることが可能とな
り、真空槽内における蒸着物の蒸気の分布を均一
なものとし、精度の高い蒸着作業を行うことを可
能にした真空蒸着装置の加熱装置を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による真空蒸着装置の加熱装置
の一実施例を示す側面図、第２図は従来の真空蒸
着装置の加熱装置の構成を示す側面図、第３図は
従来の真空蒸着装置の構成を示す平面図、第４図
は第３図の真空蒸着装置の左半分を示す縦断面図
である。Ｄ……デイスク、１……架台、２ａ，２ｂ……
レール、３ａ，３ｂ……ターンテーブル、４……
真空槽、５ａ，５ｂ……デイスク脱着装置、６…
…デイスクホルダー、７……支軸、８……台車、
９……軸受、１０……ガイドローラ、１１……ギ
ヤ、１２……モータ、１３……駆動ギヤ、１４…
…自転ギヤ、１５……ホルダー駆動ギヤ、１６…
…継手、２１ａ，２１ｂ……電極、２２……発熱
線、２３……電源、３１ａ，３１ｂ……電極、
N₁〜N₅……発熱線。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】真空槽内に２本の電極を所定の間隔で縦方向に
配設し、これら２本の電極間に複数本の蒸着金属
加熱用の発熱線を並列に接続して成る真空蒸着装
置の加熱装置において、２本の電極間に接続される複数本の発熱線の長
さを、電極上部に接続される発熱線ほどその長さ
を短く設定すると共に、それに合わせて２つの電
極の上端部間の間隔が下端部間の間隔より狭くな
るように配置したことを特徴とする真空蒸着装置
の加熱装置。