JPH032949B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、レーザーデイスク（LD）、コンパク
トデイスク（CD）等の光デイスクの表面に金属
薄膜を形成するための真空蒸着装置に関するもの
で、特に、ターンテーブル上に複数個取付けられ
る多面状のデイスクホルダー上から、蒸着処理の
完了したデイスクを迅速に取出すことができるよ
うにした真空蒸着装置に係る。

（従来の技術） 現在、情報記録媒体として録音用テープ、ビデ
オテープ、ビデオデイスク等が市販されて普及し
ているが、近年、レーザー光を用いて記録再生が
可能な光デイスクが高密度情報記録媒体として注
目されている。この光デイスクは、画像、音声の
情報以外にもコンピユーターのデータメモリ媒体
としての利用が拡大されていることから、記録、
再生時にエラーのない高品質な光デイスクが要求
されている。そのため、光デイスク表面にレーザ
ー光の反射膜となる金属薄膜を均一に形成するた
めの真空蒸着装置が注目されている。

第３図に従来から用いられている真空蒸着装置
の概略的な平面図を示した。

即ち、この真空蒸着装置は、架台１の中央部に
設けた真空槽４のレール２ａと架台１上に設けた
レール２ｂ上に、第１、第２のターンテーブル３
ａ，３ｂを走行自在に配設したものである。ま
た、真空槽４を挟んで架台１と平行に、ターンテ
ーブル３ａ，３ｂに設けられた各デイスクホルダ
ーに対して、デイスクを装着したり取り外したり
する脱着装置５ａ，５ｂが配置されている。各タ
ーンテーブル３ａ，３ｂ上には、それぞれ複数本
のデイスクホルダー６がその支軸７を中心として
回転自在（自転可能）に支持されている。各デイ
スクホルダー６は、側面に複数枚のデイスクＤを
装着できるように多面体（一例として三面）にな
つている。

ターンテーブル３ａ，３ｂは、第４図の縦断面
図に示す通り、レール２ａ上を走行する台車８上
に軸受９及びガイドローラ１０によつて支持され
たリング状の部材で、その外周に形成されたギヤ
１１の部分で、モータ１２によつて回転する駆動
ギヤ１３と噛合つている。ターンテーブル３ａ，
３ｂには、支軸７が貫通する軸孔１７が形成され
ている。支軸７には自転ギヤ１４が固定され、こ
の自転ギヤ１４がターンテーブル３ａ，３ｂに一
体に設けられたホルダー駆動ギヤ１５と噛合つて
いる。また、支軸７の自転ギヤ１４とデイスクホ
ルダー６との間には、支軸７とデイスクホルダー
６とを接続する継手１６が設けられている。

このような構成の真空蒸着装置においては、一
方のターンテーブル３ａを脱着装置５ａが配置さ
れている方の架台より真空槽４内に搬入して蒸着
作業を行つている間に、もう一方のターンテーブ
ル３ｂに対してデイスクを着脱することで、作業
を連続して行うことができるようになつている。
即ち、真空槽４内においては、外部に設けられた
モータ１２によつて真空槽４内の駆動ギヤ１３が
回転すると、これに外周のギヤ１１の部分で噛合
つているターンテーブル３ａが回転する。ターン
テーブル３ａが回転すると、このターンテーブル
３ａに一体に形成したホルダー駆動ギヤ１５が、
支軸７に固定された自転ギヤ１４を回転させるの
で、デイスクホルダー６は自転しながら公転す
る。その結果、どの位置のホルダーであつても、
また各ホルダーのどの面に装着したデイスクであ
つても、均等に真空槽内の蒸気と接触することに
なり、各デイスクに均等な蒸着層が形成されるこ
とになる。

今、ターンテーブル３ａ上のデイスクの蒸着作
業がターンテーブル３ａのデイスクより早く終わ
つたとすれば、台車８をレールに沿つて走行させ
ることにより、ターンテーブル３ｂごと真空槽４
より取出し、各デイスクホルダー６に装着された
デイスクＤを、架台１の側方に平行に配置された
デイスク脱着装置５ｂによつて、デイスクホルダ
ー６より順次取外す。即ち、まず予め設定された
基準デイスクホルダー６ａ上の例えば第１面（ポ
ールポジシヨン）に装着されたデイスクＤ−１ａ
を脱着装置５ｂを使用して取り外し、次いで、タ
ーンテーブル３ｂを公転させながら、隣接するデ
イスクホルダー６ｂの第１面上に装着されている
架台Ｄ−１ｂを取出す。この様にしてターンテー
ブル３ｂを回転させながら、順次隣接するデイス
クホルダー６ａ〜６ｎ（図ではｎ＝８）上の第１
面のデイスクＤ−１ａ〜Ｄ−１ｎを外して行く
と、ターンテーブル３ｂが１回転すると、各デイ
スクホルダー６ａ〜６ｎの第１面上に装着されて
いたデイスクＤ−１ａ〜Ｄ−１ｎがすべて取外さ
れ、基準デイスクホルダー６ａの第２面がデイス
ク脱着装置５ｂに対向する位置にくる。以下、同
様にしてターンテーブル３ｂを回転させることに
より、各デイスクホルダーの第２面に装着されて
いるデイスクＤ−２ａ〜Ｄ−２ｎ、第３面に装着
されているデイスクＤ−3a〜Ｄ−３ｎを順次取
外していた。

（発明が解決しようとする問題点） ところで、上記のような各デイスクホルダーか
らのデイスクの取り出し作業は、ある一定の順序
で行う必要がある。即ち、蒸着を行う各デイスク
には予め製造ロツト等を示す番号を付してあるた
め、その番号順にデイスクを取り出して包装した
り次工程に送る場合や、一度の真空蒸着作業で複
数種類のデイスクの蒸着を行う場合に、ホルダー
に装着した順序で取り外さないと、番号が乱れた
り種類の異なつたデイスクが入り混じつてしまう
問題が生じる。

そのため、この種の真空蒸着装置においては、
前記のように予め決められた基準デイスクホルダ
ー６ａの第１面から必ずデイスクを取り外すよう
にしていた。

しかしながら、従来の真空蒸着装置において
は、一定時間蒸着作業を行なつた後、適当にター
ンテーブル３ａ，３ｂを停止させていたので、蒸
着作業完了時に、基準デイスクホルダー６ａの第
１面が、デイスク脱着装置５ａ，５ｂの近傍にあ
るとは限らなかつた。そのため、従来では、蒸着
作業完了後に基準デイスクホルダー６ａの第１面
をデイスク脱着位置に配置するために、ターンテ
ーブル３ａ，３ｂを公転させると共に基準デイス
クホルダー６ａを自転させて、その第１面をデイ
スク脱着装置５ａ，５ｂの位置にまで移動させる
必要があつた。

しかし、この場合、多面状のデイスクホルダー
を用いているので、前記の様にデイスクホルダー
の次の面を脱着装置に対向させるにはターンテー
ブルを１回転させる必要があるため、基準デイス
クホルダー６ａの第１面がデイスク脱着装置５
ａ，５ｂとの対向位置を通過していると、次に基
準デイスクホルダー６ａの第１面が５ａ，５ｂに
対向するには、最高、デイスクホルダーの面の数
だけターンテーブル３ａ，３ｂを回転させる必要
があつた。そのため、デイスク脱着作業に多大な
時間がかかり、蒸着作業のサイクルタイムの短縮
化がはかれず作業効率が非常に悪いものとなつて
いた。

軸受は上記のような従来技術の問題点を解決す
るために提案されたもので、その目的は、蒸着作
業完了時に最初にデイスクの脱着を行なう基準デ
イスクホルダーの第１面を、デイスク脱着装置と
対向する位置のターンテーブル回転方向手前側に
必ず停止させることで、デイスク脱着作業を迅速
に行なうことができるようにして、蒸着作業の効
率化を可能にした真空蒸着装置を提供することに
ある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 上記の目的を達成するために、本発明の真空蒸
着装置は、蒸着作業完了時に最初にデイスクの脱
着を行なう基準デイスクホルダーの第１面を、デ
イスク脱着装置と対向する位置のターンテーブル
回転方向手前側に停止させるターンテーブルの回
転制御装置を設けたことを構成上の特徴とするも
のである。

（作用） 上記の様な構成を有する本発明の真空蒸着装置
は、ターンテーブルの回転制御装置により、蒸着
作業完了時に基準デイスクホルダーの第１面が、
デイスク脱着装置の直ぐ手前側に停止されること
になるので、基準デイスクホルダーの第１面を脱
着装置に対向させるまでにターンテーブルを何回
も回転させる必要がなくなり、ターンテーブルの
停止後短時間でデイスクの脱着を行うことが可能
となる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を第１図及び第２図によ
り具体的に説明する。なお、第３図及び第４図に
示した従来型と同一の部材については同一の符号
を付し、説明は省略する。

第１実施例 ＊ 実施例の構成 第１図Ａにおいて、架台１には、蒸着作業完了
時のターンテーブル３ａ又は３ｂの回転（公転）
数を検出する手段と、この検出手段で検出された
回転数が予め設定された下記の所定回転数Ｐに達
した場合にターンテーブルの回転数を停止させる
ための回転制御装置２０が配設されている。

即ち、この回転制御装置２０によつて制御され
るターンテーブル３ａ，３ｂの公転の所定回転数
Ｐは、Ｎ面体のデイスクホルダーを用いた場合、
次式によつて与えられる。

Ｐ＝（Ｎ×α）−β （但し、０＜β＜１） Ｐ：公転の回転数 Ｎ：面数 α：整数（蒸着時間より決定される） ＊ 実施例の作用 上記の様な構成を有する本実施例の真空蒸着装
置においては、真空槽４内に配設されたターンテ
ーブルの回転制御装置２０によつて、ターンテー
ブル３ａ，３ｂの公転の回転数が検出される。そ
して、蒸着作業完了時において、前記ターンテー
ブル３ａ，３ｂの回転数Ｐが、前記の式を満足す
る値になるようにターンテーブル３ａ，３ｂの回
転数を制御する。

即ち、Ｐ＝（Ｎ×α）−βにおいて、ターンテー
ブル３ａ，３ｂが（Ｎ×α）回回転した場合に、
基準デイスクホルダー６ａの第１面が、ちようど
デイスク脱着装置５ａ，５ｂと対向する位置に配
置されることになるはずであるが、現実には、タ
ーンテーブル３ａ，３ｂを（Ｎ×α）回回転した
としても、ターンテーブル３ａ，３ｂはその回転
力の慣性によつて、デイスク脱着装置５ａ，５ｂ
と対向する位置に正確に停止することができない
恐れがあり、基準デイスクホルダー６ａがデイス
ク脱着装置５ａ，５ｂと対向する位置を少しでも
過ぎると、再び、その第１面をデイスク脱着装置
５ａ，５ｂと対向する位置に配置するためには、
ターンテーブル３ａ，３ｂをＮ回回転させなけれ
ばならない。そのため、本発明のターンテーブル
の回転制御装置２０においては、ターンテーブル
３ａ，３ｂの回転数を（Ｎ×α）回より、最高で
１回転分少なくなるように制御して、ターンテー
ブル３ａ，３ｂを停止させる。

この様にして蒸着作業完了時にターンテーブル
３ａ，３ｂを停止させると、最初にデイスクの脱
着を行なう基準デイスクホルダー６ａの第１面
が、デイスク脱着装置５ａ，５ｂと対向する位置
のターンテーブル回転方向手前側に位置すること
になる。この状態で、ターンテーブル３ａ，３ｂ
を真空槽４よりガイドローラ５ａ，５ｂと対向す
る位置に移動させてモータ１２を回転させ、ター
ンテーブル３ａ，３ｂを１回転以内回転させれば
良い。この時、例えば第１図Ｂに示すフオトセン
サーのような位置補正装置２１を使用して、基準
デイスクホルダー６ａの第１面がデイスク脱着装
置５ａ，５ｂに正確に対向した状態でモータ１２
を停止させ、ターンテーブル３ａ，３ｂの回転を
停止させる。この位置補正装置２１は、ターンテ
ーブル３ａ，３ｂの周縁部に、各デイスクホルダ
ーの位置に合わせてその支軸７の数分明けられた
孔１８と、この孔１８の位置を検出する発光体２
２と受光体２３とから成るフオトセンサーより構
成され、発光体２２からの光が孔１８を通過して
受光体２３で検出された場合にモータの回転を停
止させ、ターンテーブル３ａ，３ｂの回転を停止
させるものである。

この様に、蒸着作業完了時に、基準デイスクホ
ルダーの第１面を、すぐデイスク脱着装置と対向
する位置のターンテーブル回転方向手前側に停止
させることができるので、ターンテーブルを真空
槽より取出した後、直ちにデイスクの脱着作業を
行なうことができるので、蒸着作業の効率化を可
能にすることができる。

第２実施例 ＊ 実施例の構成 第２図においては、ターンテーブル３ａ，３ｂ
に設けられた基準デイスクホルダー６ａの第１面
上に、センサー検出板３０が配設されている。一
方、デイスク脱着装置５ａ，５ｂ側部の架台１に
は、ターンテーブル３ａ，３ｂの回転方向手前側
に、前記センサー検出板３０を検出するために一
例として反射型のセンサー３１が配設されてい
る。このセンサー３１の信号は、ターンテーブル
３ａ，３ｂを回転させるモータの制御装置２０に
接続されており、センサー３１が検出板３０を検
出した際に、モータを停止させる制御信号を出す
ものである。

＊ 実施例の作用 上記の様な構成を有する第２実施例の真空蒸着
装置においては、蒸着作業が完了した後ターンテ
ーブル３ａ，３ｂを真空槽４内から取り出し、こ
れを台車８を利用して脱着位置に移動させる。そ
して、センサー３１を作動させて、基準デイスク
ホルダー６ａの第１面に設けたセンサー検出板３
０を、このセンサー３１が検出した時点でターン
テーブル３ａ，３ｂの回転を停止させる。する
と、基準デイスクホルダー６ａの第１面はデイス
ク脱着装置５ａ，５ｂの僅かに手前の部分で停止
することになる。そこで、基準デイスクホルダー
６ａの第１面が脱着装置５ａ，５ｂに対向するよ
うにターンテーブル３ａ，３ｂを手動或いは位置
補正装置２１によりわずかに回動させ、デイスク
脱着装置５ａ，５ｂによつて基準デイスクホルダ
ー６ａの第１面に装着されているデイスクＤ−１
ａを脱着させる。

この様に、蒸着作業完了時に、基準デイスクホ
ルダー６ａの第１面を、すぐデイスク脱着装置５
ａ，５ｂと対向する位置のターンテーブル回転方
向手前側に停止させることができ、ターンテーブ
ルを真空槽より取出した後、直ちにデイスクの脱
着作業を行なうことができるので、蒸着作業の効
率化を可能にすることができる。

［発明の効果］ 以上の通り、本発明によれば、蒸着作業完了時
に最初にデイスクの脱着を行なう基準デイスクホ
ルダーの第１面の位置を、ターンテーブルの回転
制御またはセンサーにより検出し、その第１面を
デイスク脱着装置と対向する位置のターンテーブ
ル回転方向手前側に停止させる制御装置を設ける
という簡単な手段によつて、蒸着作業完了時にデ
イスクの脱着作業を迅速に行なうことができ、蒸
着作業の効率化を可能にした真空蒸着装置を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａは本発明による真空蒸着装置の第１実
施例を示す平面図、第１図Ｂは第１図の実施例に
使用した位置補正装置を示す要部断面図、第２図
は本発明による真空蒸着装置の第２実施例を示す
平面図、第３図は従来の真空蒸着装置の構成を示
す平面図、第４図は従来の真空蒸着装置の左半分
を示す縦断面図である。 Ｄ……デイスク、１……架台、２ａ，２ｂ……
レール、３ａ，３ｂ……ターンテーブル、４……
真空槽、５ａ，５ｂ……デイスク脱着装置、６…
…デイスクホルダー、７……支軸、８……台車、
９……軸受、１０……ガイドローラ、１１……ギ
ヤ、１２……モータ、１３……駆動ギヤ、１４…
…自転ギヤ、１５……ホルダー駆動ギヤ、１６…
…継手、２０……ターンテーブルの回転制御装
置、２１……位置補正装置、３０……センサー検
出板、３１……センサー。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 多面状のデイスクホルダーの側面に複数個の
   デイスクを装着し、前記デイスクホルダーを同一
   のターンテーブル上に回転自在に複数本取付け、
   前記ターンテーブルを真空槽内に搬送して蒸着作
   業を行ない、蒸着作業完了時に前記ターンテーブ
   ルを真空槽内より取出し、デイスク脱着装置によ
   つてデイスクホルダーよりデイスクを脱着する真
   空蒸着装置において、 蒸着作業完了時に最初にデイスクの脱着を行な
   う基準デイスクホルダーの第１面を、デイスク脱
   着装置と対向する位置のターンテーブル回転方向
   手前側に停止させるターンテーブルの回転制御装
   置を設けたことを特徴とする真空蒸着装置。 ２ 前記ターンテーブルの回転制御装置が、ター
   ンテーブルの回転数検出手段と、この回転数検出
   手段で検出されたターンテーブルの回転数をＰ、
   多面状のデイスクホルダーの面数をＮ、蒸着時間
   より決定される整数をαとした時、Ｐ＝（Ｎ×α）
   −β（但し０＜β＜１）となつた場合に、ターン
   テーブルの回転を停止させるものである特許請求
   の範囲第１項記載の真空蒸着装置。 ３ 前記ターンテーブルの回転制御装置が、基準
   デイスクホルダーの第１面にセンサー検出板を配
   設し、また、デイスク脱着装置のターンテーブル
   回転方向手前側に前記センサー検出板を検出する
   センサーを配設し、このセンサーが前記センサー
   検出板を検出した場合にターンテーブルの回転を
   停止させるものである特許請求の範囲第１項記載
   の真空蒸着装置。