JPH03113827A

JPH03113827A - ディスクのスピン乾燥装置

Info

Publication number: JPH03113827A
Application number: JP24930189A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Kenmori; 権守　和彦; Hisayoshi Ichikawa; 久賀市川
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1989-09-27
Filing date: 1989-09-27
Publication date: 1991-05-15
Anticipated expiration: 2013-08-06
Also published as: JP2782838B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［産業上の利用分野１本発明は、磁気ディスク、光ディスク等のように、円環
状板体からなるディスクを洗浄した後において、高速ス
ピン乾燥を行うためのディスクのスピン乾燥装置に関す
るものである。

【従来の技術１例えば磁気ディスクに対して研摩等の加工を行った後に
は、このディスクを洗浄しなければならないが、この洗
浄後におけるディスクの乾燥をフロンを用いることなく
行うためには、該ディスクを高速で回転させて、その表
面に付着する洗浄液を遠心力の作用によって外周エツジ
部分からスピンアウトさせる。所謂スピン乾燥を行うよ
うにする方式が一般に採用されている。このために、ス
ピンドルの先端に少なくとも３個のチャ・ンク部材から
なるチャック手段を用い、該各チャック部材によってデ
ィスクの内周縁部をチャックした状態で、スピンドルを
高速回転させるように構成したものが従来から用いられ
ている。［発明が解決しようとする課題Ｊところで、前述したように、ディスクの内周縁部をチャ
ックして回転させるようにした場合には、チャック手段
とディスクとの当接部は回転中においても常に一定で、
変化することがないので、このチャック手段とディスク
との出接部に僅かに付着する液が円滑に流出せずに滞留
することになる。そして、このように液か滞留している
と、スピン乾燥が終了して、ディスクの回転を停止させ
た後や、チャック手段を該ディスクから離間させた時等
において、当該部位に滞留する液がディスク面に沿って
流れ出して、ディスク表面におけるじみを発生させると
いう不都合がある。そこで、本発明者等はこのディスク表面における乾燥後
の液垂れの発生原因を研究したところ、次の知見を得て
、本発明を完成するに至った。即ち、ディスクを回転さ
せた時に、該ディスクの表面に付着する液は遠心力の作
用によって外周部側に向けて円滑に流出せしめられるが
、内周面部において、チャック部材と当接する位置にあ
る液には外周側に向けて流出させるに十分なだけの遠心
力を作用させるのは困難である。ただし、チャック部材
とディスクとの当接部において、ディスクの回転方向前
方の部分に付着しているものは、該ディスクの回転によ
る風圧の作用によって円滑に排出されることになる。と
ころが、チャック部材における後方の部分は負圧となる
ので、この部分の液を排出させるのは著しく困難である
。そして、この部分に滞留する液が、スピン乾燥が完了
してディスク表面が乾いた状態となった後に、回転を停
止させて、チャック部材を離脱させるまでの間にディス
クの表面に流出することになり、これが前述したディス
ク表面におけるじみの発生原因となる。本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、ディスクを高速回転する間に、こ
のディスクを完全に乾燥させることができ、乾燥後に該
ディスク表面に液垂れによるじみの発生等のおそれのな
いディスクのスピン乾燥装置を提供することにある。［課題を解決するための手段］前述した目的を達成するために、本発明は、円環状板体
からなるディスクを洗浄した後に、高速スピン乾燥する
ために、スピンドルの先端に複数のチャック部材を突設
し、該各チャック部材によって前記ディスクを立てた状
態でチャックさせて、該ディスクを高速回転させるよう
に構成したものにおいて、前記各チャック部材とディス
クとの当接部の回転方向における後方側に向けてエアを
供給するエア供給部を設ける構成としたことをその特徴
とするものである。［作用１このように、チャック部材とディスクとの当接部分にお
いて、液を排出することが最も困難な部分であるディス
クの回転方向に８ける後方の位置にエアを供給すること
によって、このエアの力により当該部位の液を滞留する
ことなく円滑に排出させることができる。この結果、デ
ィスクを乾燥させた後に該ディスクの表面が再び汚損さ
れることかなくなり、ディスクの表面におけるじみの発
生等の不都合を防止することかできる。［実施例１以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。まず、第１図にスピン乾燥装置の全体構成を示す。同図から明らかなように、ディスクＤは、洗浄及びすす
ぎを経た後に、適宜のハンドリング手段によって、乾燥
部に送り込まれ、この乾燥部に設置したスピンドル１０
に装架されて、該スピンドル１により高速回転すること
によって高速スピン乾燥されるようになっている。このように、ディスクＤを回転させるために、スピンド
ル１０は１回転部１１を有し、この回転部１１の先端に
ディスクＤの内周をチャックする３個のチャック部材１
２が装着されている。そして、これらチャック部材１２
をディスクＤの内周面に接離させるために、該各チャッ
ク部材１２を取り付けた軸１３の途中位置に球面部１４
を設け、該球面部を回転部１１の先端部に設けた端板１
５に設けた球面部は部１６に受承させている。また、軸
１３の他端には、カムフォロワ１７が取り付けられてお
り、該カムフォロワ１７は回転部１１のカムブロック１
８におけるカム部１９内に転勤自在に挿嵌されている。従って、カムフォロワ１７がカムフォロワ１８における
カム部１９の内奥部に位置するときには、軸１３はほぼ
水平状態を保って、ディスクＤをチャックするチャック
位置となり、またこの状態からカムブロック１８が同図
の矢印方向に変位したときには、カムフォロワ１８がカ
ム部１９に沿って転動して、チャック部材１２はディス
クＤの内周部から離間したチャック解除位置となる。そして、回転部１１を回転駆動するために、該回転部１
１は装置の隔壁部分を貫通して延びるブツシュ２０内に
挿通されている。そして、この回転部１１に設けたプー
リＨａには、伝達ベルト２１が巻回して設けられており
、該伝達ベルト２１はモータ２２に取り付けた駆動プー
リ２３に巻回されている。従って、このモータ２２を作動させることによって、ス
ピンドル１０の回転部１１を回転駆動することができる
ようになっている。また、チャック部材１２をチャック位置とチャフ解除位
置との間に変位させるために、回転部１１の端部には、
係合板２４が取り付けられており、該係合板２４はプル
部材２５が設けられている。このプル部材２５はシリン
ダ２６により第１図の矢印方向に引っ張ることができる
ようになっており、これによって回転部１１が図中の右
方に変位して、揺動軸１３が球面部１４を中心として揺
動し、ディスクＤの内周面から離間させることができる
ようになっている。次に、第２図及び第３図にチャック部材１２の構造を示
す。同図から明らかなように、チャック部材１２はディ
スクＤの内周エツジに当接する相対向するテーバ面１２
ａ　、　１２ａと、該テーバ部１２ａ。１２ａ間の底壁部１２ｂとを備え、このテーバ部１２ａ
　、　１２ａにディスクＤのエツジが当接するようにな
っている。そして、このディスクＤへの当接部の両側に
は切り欠き１２ｃ、１２ｃが形成されており、この切り
欠き１２ｃ、１２ｃによってチャック部材１２のディス
クＤへの当接部以外の部分は可及的にディスクＤの内面
から離間させて、ディスクＤとチャック部材１２との当
接部に液の滞留を防止することができるように構成され
ている。しかも、このチャック部材１２の底壁部１２ｂ
の位置には、その回転方向前方から後方に向くように斜
めに通気孔２７が穿設されており、該通気孔２７のディ
スク回転方向前方側は該ディスクＤの内周面から離間し
た位置に開口し、また回転方向後方側はディスクＤの内
面に近接した位置に開口している。本実施例は前述のように構成されるもので、洗浄及び洗
浄液のすすぎを行った後において、乾燥処理すべきディ
スクＤを、適宜のハンドリング手段によってスピンドル
１０に設けたチャック部材１２にチャックさせる。そし
て、前述したディスクハンドリング手段を離間させた後
に、モータ２２によって回転部１１を回転駆動する。こ
れによって、ディスクＤの表面に付着する液が遠心力の
作用によって外周側に向けて移動して外周エツジからス
ピンアウトせしめられて、高速スピン乾燥が行われる。而して、ディスクＤの表面に付着する液及び外周面に付
着する液は、該ディスクＤを高速で回転させることによ
って、円滑に除去することができる。また、このディス
クＤの内周面部に付着する液の大半も該内周面からディ
スク表面に流れ出して、遠心力の作用を受けて外周エツ
ジから除去される、ただし、チャック部材１２とディス
クＤの内周面との間に介在する液は、前述した遠心力の
作用によって除去することができない場合ことかある。ところで、チャック部材１２は、そのディスクＤへの当
接部の両側に切り欠き１２ｃが形成されているから、そ
の間に介在する液が滞留するのが可及的に防止される。また、チャック部材１２におけるディスクＤの回転方向
前方の位置は、該ディスクＤの回転時に風圧が直接作用
するので、この風圧により液が排出されることになる。然るに、チャック部材１２の回転方向後方に位置する部
分はその回転時に負圧となるために、この部分に滞留す
る液を排出するのは極めて困難である。ところが、本発
明においては、チャック部材１２にその回転方向前方側
から後方側に向けて通気孔２７を形成して空気を流通さ
せて、当該チャック部材１２の公報側に空気を導くよう
にしているので、当該部位に滞留する液がこの空気流に
搬送されて、円滑に排出させることができるようになる
。この結果、チャック部材】２との当接部を含めたディス
クＤの全体が確実に乾燥されることになり、乾燥終了後
に、ディスクＤの回転を停止させて、チャック部材１２
をディスクＤから離間させるまでの間に液がディスクＤ
の表面に流れ出して、−度乾いた後のディスクＤの表面
が再汚損されて、じみが発生するのを確実に防止するこ
とができるようになる。なお、前述した実施例においては、チャック部材におけ
るディスクの当接部のうちの回転方向後方位置にエアを
供給する手段として、該チャック部材に通気孔を設ける
構成としたものを示したが、この通気孔に代えて、当該
部位に向けてエアを噴出させるエア噴出ノズルを設ける
等の構成を採用してもよい。【発明の効果１以上説明したように、本発明は、ディスクを回転させる
ために、該ディスクに当接するチャック部材とディスク
との当接部の回転方向における後方側に向けてエアを供
給するエア供給部を設ける構成としたので、該ディスク
に付着する液を、その内周面におけるチャック部材と当
接する部位を含めて全体を完全に乾燥させることができ
、−度乾燥した後のディスク表面に再び液が付着してじ
みを発生させる等の不都合を確実に防止することができ
るようになる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すものであって、第１図は
スピン乾燥装置の全体構成図、第２図はチャック部材の
外観図、第３図は第２図の■−■断面図である。１０ニスビントル、１１：回転部、１２：チャック部材
、１２ａ：テーバ面、　１２ｂ　：底壁部、１２Ｃ：切
り欠き、２７：通気孔、Ｄ：ディスク。第図冒第図

Claims

【特許請求の範囲】

　円環状板体からなるディスクを洗浄した後に、高速ス
ピン乾燥するために、スピンドルの先端に複数のチャッ
ク部材を突設し、該各チャック部材によって前記ディス
クを立てた状態でチャックさせて、該ディスクを高速回
転させるように構成したものにおいて、前記各チャック
部材とディスクとの当接部の回転方向における後方側に
向けてエアを供給するエア供給部を設ける構成としたこ
とを特徴とするディスクのスピン乾燥装置。