JPH03245530A - ディスクのスピン乾燥方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、磁気ディスク等のディスクを高速ス関するも
のである。

［従来の技術１ 磁気ディスクの製造工程において、磁気記録膜を形成す
る前及び形成後に、その表面に付着している塵埃や汚れ
等をクリーニングするために洗浄される。ここて、ディ
スクの洗浄は、洗浄液を用いたブラシ洗浄、高周波洗浄
等により行われるが、このディスクの洗浄を行った後に
おいては、該ディスクを乾燥させなければならない。こ
のディスクの乾燥を、フロンガスを用いることなく効率
的に行うために、近年においては、高速スピン乾燥方式
が一般に採用されるようになってきている。

即ち、洗浄後のディスクにスピンドルに設けたチャック
部材な当接させて、該スピンドルを高速で回転させて、
その表面に付着する洗浄液を遠心力の作用によってその
外周エツジ部分から飛散させるようにする。そして、こ
のディスクのスピン乾燥を行うには、通常、その内径を
チャックするようにしている。

【発明が解決しようとする課題１ ところで、前述したように、ディスクの内径をチャック
させた状態でスピン乾燥を行った場合には、肉眼では殆
ど認識することが出来ない程度ではあるが、ディスクの
表面に僅かなじみが発生する。このじみの発生原因とし
ては、ディスクは、洗浄後においては、その表面だけで
なく、内縁部にも液滴が付着しており、従つて、この内
縁部にチャック部材な当接させてディスクの回転を行わ
せると、このチャック部材の当接部に液が滞留すること
になり、この液がディスクが高速回転状態から停止する
までの低速状態となったときに、既に乾燥したディスク
の表面に移行して、該ディスクが部分的に汚損されるこ
とに起因するものである。

本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、ディスクの高速スピン乾燥時にお
いて、その表面にじみが発生しないようにむらなく完全
に乾燥することがてきるようにしたディスクのスピン乾
燥方式を提供することにある。

［課題を解決するための手段１ 前述した目的を達成するために、本発明は、磁気ディス
ク等のディスクの内径をチャックして回転させる内径チ
ャック部材、及び外径をチャ・νりして回転させる外径
チャック部材とを有し、前記外径チャック部材によりデ
ィスクの外径をチャックして所定回数回転させて、該デ
ィスクの内縁部に付着する洗浄液を除去した後に、該外
径チャ・ツク部材をディスクから離間させると共に、前
記内径チャック部材によってディスクの内径をチャ・ツ
クさせて、該ディスクを高速回転させることによって、
スピン乾燥を行わせるようにしたことをその特徴とする
ものである。

【作用］ このような構成を採用することによって、まずディスク
の内縁部に滞留する洗浄液を除去した後に、内径チャッ
ク部材を該ディスクの内縁部に当接させるようにしたの
て、このチャ・ツク部材とディスクの内縁部との間に洗
浄液が滞留することがなくなる。而して、外径チャック
部材によってディスクを回転させる際においては、必ず
しも該ディスクの内縁部から完全に液を排除する必要は
なく、液滴状態のものを除去するようにすればよいので
あるから、該外径チャック部材によるディスクの回転速
度は比較的低速で、しかも短時間で行うことができる。

そして、ディスク全体の乾燥は、内径チャック部材によ
ってチャックさせた状態で該ディスクを高速回転させる
ことによって行われる。

【実施例１ 以下１本発明の実施例を図面に基づし１て詳細に説明す
る。

図面は、本発明の方式によってディスクＤの高速スピン
乾燥を行うための装置の概略構成が示されている。

同図において、１は内径チャック部材を示し、該内径チ
ャック部材１はスピンドル２の先端に半径方向に変位可
能な３個のチャ・ツク部片３を装着することにより構成
されている。また、５は外径チャ・ツク部材を示し、該
外径チャ・ツク部材５（ま回転軸６の先端にチャックロ
ーラ７を取り付けたちのて、この回転軸６及びチャ・ツ
クローラ７は３組設けられており、各回転軸６は回転駆
動手段（図示せず）に連結されると共に、図面に矢印で
示した方向、即ちディスクＤに近接・離間する方向に変
位可能となっている。

前述した構成を有する装置を用いて、ディスクｐのスピ
ン乾燥が行われるが、次にその乾燥な行う方法について
説明する。

ディスクＤが洗浄されて、その表面には洗浄液が付着し
た状態のまま、適宜のハンドリング機構、例えば該ディ
スクＤの外径をチャックするチャック機構を備えたロボ
ットによって乾燥部に搬送される。そこで、まず外径チ
ャック部材５を構成するチャックローラ７によってこの
ディスクＤをチャックさせて、ロボット側のチャック機
構をディスクＤから離間させることによって、該ディス
クＤの移載を行う。

そこで、この外径チャック部材５によってディスクＤを
回転させて、その内縁部に付着している洗浄液を除去す
る。ここで、該外径チャック５による回転は、ディスク
Ｄを完全に乾燥させるものではなく、あくまでも内縁部
に付着している洗浄液が液滴となって滞留するのを防止
する程度のもので良いので、該ディスクＤを比較的低速
で、しかも短時間回転させるたけてよい。

このようにしてディスクＤの内縁部に液滴状態となって
滞留するのを防止するための予備処理を行った後におい
ても、該ディスクＤの表面及び内外縁部には薄い液膜が
残存している。そこで、外径チャック部材５から内径チ
ャック部材ｌにディスクＤを持ち替える。即ち、まず内
径チャック部材ｌを作動させて、そのチャック部片３に
よって内径をチャックさせ、然る後に外径チャック部材
５のチャックローラ７を該ディスクＤから離間させる。

そして、スピンドル２を高速回転させることによって、
このディスクＤの表面に付着している洗浄液を遠心力の
作用によってその外周縁部から飛散させることによって
、その表裏両面及び内外縁部のスピン乾燥を行う。

而して、チャラフ部材３とディスクＤの内縁部との間に
洗浄液が液滴状態となったまま滞留することかないので
、前述したスピン乾燥か終了して、スピンドルを高速回
転状態から減速して停止させるまでの間に、内縁部から
液が流れ出して、既に乾燥させたディスクＤの表面が再
汚損されるおそれはなく、従って、該ディスクＤの表面
にしみ等を発生することなく完全に乾燥させることがて
きるようになる。

なお、前述した実施例においては、洗浄部から乾燥部に
ディスクＤを搬送するハンドリング機構とは別に外径チ
ャック部材５を設けるように構成したものとして説明し
たが、このディスクＤを搬送するためのハントリンク機
構を該ディスクＤを回転駆動することが出来るように構
成し５このディスクＤを乾燥部に送り込む間に、それを
回転させることによって、内縁部の洗浄液をあらかた除
去するようにしてもよい。

［発明の効果１ 以上説明したように、本発明には、洗浄後のディスクの
外径をチャックさせて回転させることによって、予めそ
の内縁部に洗浄液か液滴状態として滞留するのを防止し
た後に該ディスクの内径をチャックさせて高速て回転さ
せることにより、このディスクの高速スピン乾燥を行う
ようにしたので、該ディスクの表面にしみ等を生じさせ
ることなく、極めて円滑かつ効率的に乾燥させることが
てきる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すスピン乾燥装置の構成説
明図である。 １、内径チャック部材、２：チャック部片、３ニスビン
トル、５：外径チャック部材、６：回転軸、７：チャッ
クローラ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁気ディスク等のディスクの内径をチャックして回転さ
   せる内径チャック部材、及び外径をチャックして回転さ
   せる外径チャック部材とを有し、前記外径チャック部材
   によりディスクの外径をチャックして所定回数回転させ
   て、該ディスクの内縁部に付着する洗浄液を除去した後
   に、該外径チャック部材をディスクから離間させると共
   に、前記内径チャック部材によってディスクの内径をチ
   ャックさせて、該ディスクを高速回転させることによっ
   て、スピン乾燥を行わせるようにしたことを特徴とする
   ディスクのスピン乾燥方式。