JPH031142U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH031142U JPH031142U JP6149289U JP6149289U JPH031142U JP H031142 U JPH031142 U JP H031142U JP 6149289 U JP6149289 U JP 6149289U JP 6149289 U JP6149289 U JP 6149289U JP H031142 U JPH031142 U JP H031142U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mounting table
- tilting
- suction
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第1図は本考案の第1の実施例を示す給送装置
の斜視図、第2図はその給送方向上手側より見た
正面図、第3図は本考案の第2の実施例を示す第
2図相当図、第4図は従来例の側面図である。 1……基板、2……基板載置台、3……位置規
制板、10……基板搬送手段、20……リフト移
載装置、21……基板吸着用リフタ、22……吸
盤、25……傾動手段、30……移動ブロツク、
31……ブロツク移動手段(エアシリンダ)、A
……吸着姿勢、B……傾斜姿勢、Q……傾動支点
、S……基板載置面。
の斜視図、第2図はその給送方向上手側より見た
正面図、第3図は本考案の第2の実施例を示す第
2図相当図、第4図は従来例の側面図である。 1……基板、2……基板載置台、3……位置規
制板、10……基板搬送手段、20……リフト移
載装置、21……基板吸着用リフタ、22……吸
盤、25……傾動手段、30……移動ブロツク、
31……ブロツク移動手段(エアシリンダ)、A
……吸着姿勢、B……傾斜姿勢、Q……傾動支点
、S……基板載置面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板載置台に近接して基板の位置規制板を配置
固定するとともに、基板載置台を昇降位置決め可
能に設け、基板載置台の前方へ基板搬送手段を設
け、基板載置台と基板搬送手段とにわたつてリフ
ト移載装置を介在させ、基板載置台上に積層載置
した最上位の基板をリフト移載装置で基板搬送手
段へ移載するように構成した基板の給紙装置であ
つて、 リフト移載装置は、基板載置台と基板搬送手段
とにわたつて移動可能、かつ移動方向と交差する
ように設けられ、その位置規制板側の一端を傾動
支点とし、少なくとも1個の吸盤を備える杆状の
基板吸着用リフタと、 基板吸着用リフタを基板載置面と略平行をなす
吸着姿勢から基板載置面に対し傾斜をなす傾斜姿
勢へ傾動させる傾動手段と、 傾動手段を搭載し、その傾動手段を介して基板
吸着用リフタを支持する移動ブロツクと、 移動ブロツクを基板給送方向へ進退可能に移動
させるブロツク移動手段とを具備して成る基板の
給送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6149289U JPH031142U (ja) | 1989-05-25 | 1989-05-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6149289U JPH031142U (ja) | 1989-05-25 | 1989-05-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031142U true JPH031142U (ja) | 1991-01-08 |
Family
ID=31589786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6149289U Pending JPH031142U (ja) | 1989-05-25 | 1989-05-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH031142U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008087883A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板取出装置およびその方法 |
| CN109809217A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-05-28 | 深圳精智达技术股份有限公司 | 柔性面板分料装置及方法 |
-
1989
- 1989-05-25 JP JP6149289U patent/JPH031142U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008087883A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板取出装置およびその方法 |
| CN109809217A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-05-28 | 深圳精智达技术股份有限公司 | 柔性面板分料装置及方法 |