JPH0311522A - 気体放電表示装置の隔壁形成方法 - Google Patents
気体放電表示装置の隔壁形成方法Info
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- JPH0311522A JPH0311522A JP1248431A JP24843189A JPH0311522A JP H0311522 A JPH0311522 A JP H0311522A JP 1248431 A JP1248431 A JP 1248431A JP 24843189 A JP24843189 A JP 24843189A JP H0311522 A JPH0311522 A JP H0311522A
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- photosensitive agent
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
- H01J11/36—Spacers, barriers, ribs, partitions or the like
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
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- C03C2217/40—Coatings comprising at least one inhomogeneous layer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明はガス放電を利用する気体放電表示装置の隔壁形
成方法に関するが、特にスクリーン印刷方法による７ト
リツクス型気体放電表示装置の製造時、感光剤をアノー
ド電極の上に残留させた状態で隔壁を形成させるように
した気体放電表示装置の隔壁形成方法に関する。
成方法に関するが、特にスクリーン印刷方法による７ト
リツクス型気体放電表示装置の製造時、感光剤をアノー
ド電極の上に残留させた状態で隔壁を形成させるように
した気体放電表示装置の隔壁形成方法に関する。
一般的に気体放電表示装置は、二枚のガラス基板に夫々
形成させた上下部の各々異なる電極間に不活性ガスを封
入し、前記電極に電圧を印加するとき発生するガス放電
を利用して、数字、文字等を出現させる表示素子であっ
て、第１図にての如き表示方向を基準にして背面にある
ガラス基板１ａの上にはＹ１〜Ｙｎ個の電極からなるカ
ソード電極群Ｙが一定間隔に形成されており、前面にあ
るガラス基板１ｂの上にはＸ、〜Ｘ、個の電極からなる
アノード電極Ｘを一定間隔に形成させ、前記板１ａ＋’
ｌｂを対向させた構造で、各Ｘ、〜Ｘ、ｌのアノード電
極の間にはガラスペーストの隔壁２が形成された構造に
てなる。 前記構造を有する気体放電表示装置は、通常カソード電
極群Ｙの各電極ＹＩ−Ｙｎには順次時分割的に動作電位
を印加し、反対側のアノード電極群Ｘの各電極Ｘ１〜Ｘ
、、には順次または同時的に表示信号に対応する動作電
位を印加することによって表示信号に対応する電位差の
大きさにより各電極（Ｘ、〜ｘｎ、ｙ、〜Ｙｎ）の間で
放電して線順次または点順次に発光画像を得る。 この時、カソード電極側で発生したプラスマグロ−（Ｐ
ｌａｓｍａ ｇｌｏｗ）の拡散を抑制する為に、通常ア
ノード電極が形成されているガラス基板、またはカソー
ド電極が形成されているガラス基板の」―に隔壁を印刷
して形成する。 このような電極構造を持つ気体放電表示装置の先行技術
である日本特開昭５８−１５０２４８号は、カソード電
極側で発生するプラズマグローの拡散（誤表示の要因に
なる）防止の為に所定の晶さの絶縁性隔壁をアノード電
極群Ｘが設けられた基板面でカソード電極群Ｙ側に向か
うようスクリーン印刷法により形成する。 上記した通常的なスクリーン印刷法による従来の隔壁形
成方法を第２図の工程順序図により説明すれば、次の如
くである。 ここで隔壁の形成は電極形成に続く工程であるが、先ず
アノード電極を形成するが為にガラス基板１の」二にＩ
Ｔ Ｏ（Ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ）膜５を
塗布し、前記ＩＴＯの膜の土にスピンコーテイング機（
ｓｐｉｎ ｃｏａｔｅｒ）等を利用して感光剤６を塗布
・乾燥した後、所定パターンの露光マスクを利用して感
光剤６を露光、現像するのである。 次いて、これをＩＴＯエツチング溶液で処理すれば感光
剤θ中の硬化されない部分は、その該当するＩＴＯ膜が
除去されるので硬化された部分の感光剤６と、その部分
に該当するＩＴ○膜のみがガラス基板１の上に残るよう
になる。 この状態のガラス基板１を感光剤剥離溶液で処理すると
残留感光剤が除去されるのでガラス基板１の上にはアノ
ード電極４のみが残る。 上記工程は、第２図のＡからＥに示す工程の順序に従う
。 前記工程により感光剤が除去されたアノード電極４の間
にガラスペーストを７乃至１０回反復して印刷・乾燥さ
せると第２図Ｆのように隔壁２が形成される。
形成させた上下部の各々異なる電極間に不活性ガスを封
入し、前記電極に電圧を印加するとき発生するガス放電
を利用して、数字、文字等を出現させる表示素子であっ
て、第１図にての如き表示方向を基準にして背面にある
ガラス基板１ａの上にはＹ１〜Ｙｎ個の電極からなるカ
ソード電極群Ｙが一定間隔に形成されており、前面にあ
るガラス基板１ｂの上にはＸ、〜Ｘ、個の電極からなる
アノード電極Ｘを一定間隔に形成させ、前記板１ａ＋’
ｌｂを対向させた構造で、各Ｘ、〜Ｘ、ｌのアノード電
極の間にはガラスペーストの隔壁２が形成された構造に
てなる。 前記構造を有する気体放電表示装置は、通常カソード電
極群Ｙの各電極ＹＩ−Ｙｎには順次時分割的に動作電位
を印加し、反対側のアノード電極群Ｘの各電極Ｘ１〜Ｘ
、、には順次または同時的に表示信号に対応する動作電
位を印加することによって表示信号に対応する電位差の
大きさにより各電極（Ｘ、〜ｘｎ、ｙ、〜Ｙｎ）の間で
放電して線順次または点順次に発光画像を得る。 この時、カソード電極側で発生したプラスマグロ−（Ｐ
ｌａｓｍａ ｇｌｏｗ）の拡散を抑制する為に、通常ア
ノード電極が形成されているガラス基板、またはカソー
ド電極が形成されているガラス基板の」―に隔壁を印刷
して形成する。 このような電極構造を持つ気体放電表示装置の先行技術
である日本特開昭５８−１５０２４８号は、カソード電
極側で発生するプラズマグローの拡散（誤表示の要因に
なる）防止の為に所定の晶さの絶縁性隔壁をアノード電
極群Ｘが設けられた基板面でカソード電極群Ｙ側に向か
うようスクリーン印刷法により形成する。 上記した通常的なスクリーン印刷法による従来の隔壁形
成方法を第２図の工程順序図により説明すれば、次の如
くである。 ここで隔壁の形成は電極形成に続く工程であるが、先ず
アノード電極を形成するが為にガラス基板１の」二にＩ
Ｔ Ｏ（Ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ）膜５を
塗布し、前記ＩＴＯの膜の土にスピンコーテイング機（
ｓｐｉｎ ｃｏａｔｅｒ）等を利用して感光剤６を塗布
・乾燥した後、所定パターンの露光マスクを利用して感
光剤６を露光、現像するのである。 次いて、これをＩＴＯエツチング溶液で処理すれば感光
剤θ中の硬化されない部分は、その該当するＩＴＯ膜が
除去されるので硬化された部分の感光剤６と、その部分
に該当するＩＴ○膜のみがガラス基板１の上に残るよう
になる。 この状態のガラス基板１を感光剤剥離溶液で処理すると
残留感光剤が除去されるのでガラス基板１の上にはアノ
ード電極４のみが残る。 上記工程は、第２図のＡからＥに示す工程の順序に従う
。 前記工程により感光剤が除去されたアノード電極４の間
にガラスペーストを７乃至１０回反復して印刷・乾燥さ
せると第２図Ｆのように隔壁２が形成される。
しかしながら、上記の如く隔壁を形成させる従来のスク
リーン印刷法では、ガラス基板１の」二に所定のパター
ンを形成させた後、アノード電極４の間にガラスペース
トで印刷するのであるが、この時前記ア・ノード電極４
は感光剤を除去した後に印刷する為に第３図にての如く
マスクフレーム７に印刷マスク８の開口部９とガラス基
板の」二にあるアノード電極４の不一致により次の如き
問題が惹起される。 即ち、従来の隔壁製造方法を利用して隔壁を形成させる
時、ガラス基板１の」二に形成されたアノード電極４が
透明なＩＴＯ膜にてコーティングされているので前記の
印刷マスクの開口部９とアノード電極４間の隔壁形成位
置を一致させてガラスペーストを正確に印刷することが
非常に難しい問題があった。 従って、■ＴＯパターンが形成されたガラス基板１と印
刷マスク８を対向させ印刷開口部９を介してガラス基板
１を見ると、■ＴＯ膜が透明であるので開口部９とガラ
ス基板の上のＩＴＯパターンが互いに重なりあっている
のを判別するのに困難を感じた。よって、前記の開口部
９とＩＴ○パターンが重なりあった状態でガラスペース
トを印刷した場合にはガラスペーストがＩ ’Ｔ Ｏパ
ターンの上に一部に印刷されるのでアノード電極の面積
が小さくなり画素の放電特性が低下される。 また、平滑なガラス基板の上にガラスペーストを数μｍ
の厚さで印刷する場合にはガラスペーストが横方向に拡
がる現象が起きてアノード電極の面積が小さくなり、そ
の結果放電特性および輝度の低下が生ずる。
リーン印刷法では、ガラス基板１の」二に所定のパター
ンを形成させた後、アノード電極４の間にガラスペース
トで印刷するのであるが、この時前記ア・ノード電極４
は感光剤を除去した後に印刷する為に第３図にての如く
マスクフレーム７に印刷マスク８の開口部９とガラス基
板の」二にあるアノード電極４の不一致により次の如き
問題が惹起される。 即ち、従来の隔壁製造方法を利用して隔壁を形成させる
時、ガラス基板１の」二に形成されたアノード電極４が
透明なＩＴＯ膜にてコーティングされているので前記の
印刷マスクの開口部９とアノード電極４間の隔壁形成位
置を一致させてガラスペーストを正確に印刷することが
非常に難しい問題があった。 従って、■ＴＯパターンが形成されたガラス基板１と印
刷マスク８を対向させ印刷開口部９を介してガラス基板
１を見ると、■ＴＯ膜が透明であるので開口部９とガラ
ス基板の上のＩＴＯパターンが互いに重なりあっている
のを判別するのに困難を感じた。よって、前記の開口部
９とＩＴ○パターンが重なりあった状態でガラスペース
トを印刷した場合にはガラスペーストがＩ ’Ｔ Ｏパ
ターンの上に一部に印刷されるのでアノード電極の面積
が小さくなり画素の放電特性が低下される。 また、平滑なガラス基板の上にガラスペーストを数μｍ
の厚さで印刷する場合にはガラスペーストが横方向に拡
がる現象が起きてアノード電極の面積が小さくなり、そ
の結果放電特性および輝度の低下が生ずる。
本発明は気体放電表示装置の隔壁を形成するとき、ガラ
スペーストがＩＴＯパターンの上には印刷されないよう
にして画素の放電特性を改善した隔壁の形成方法を提供
するのにその目的がある。
スペーストがＩＴＯパターンの上には印刷されないよう
にして画素の放電特性を改善した隔壁の形成方法を提供
するのにその目的がある。
本発明の目的を達成するため、本発明は電極製造工程お
よび隔壁形成工程を含む気体放電表示装置の製造方法に
おいて、隔壁形成工程時に感光剤をエツチングした後Ｉ
ＴＯパターンの」二に残留した感光剤をそのまま残留さ
せた状態でガラスペーストを複数回繰返し印刷する隔壁
形成方法を提供する。
よび隔壁形成工程を含む気体放電表示装置の製造方法に
おいて、隔壁形成工程時に感光剤をエツチングした後Ｉ
ＴＯパターンの」二に残留した感光剤をそのまま残留さ
せた状態でガラスペーストを複数回繰返し印刷する隔壁
形成方法を提供する。
以下、第４図を参照して本発明の実施例を詳細に説明す
る。 第４図は本発明による気体放電表示装置の隔壁形成工程
図であるが、従来の工程図である第２図にての同一名称
に対しては同一符号を使う。 先ず、アノード電極をＩＴＯ膜にて形成させるための電
極製造工程は公知されている技術であって、ガラス基板
１の上にＩＴＯ膜５を全面コーティングし１次いで感光
剤６をＩＴＯ膜５の」二に塗布・乾燥した後、露光マス
クを利用して所定のパターンに露光・現象した後、これ
をＩＴＯエツチング溶液に入れて感光剤が除去された部
分の■Ｔｏ膜をエツチングして除去するようにする。 このような工程は、第４図ＡからＤにて示す工程順序に
従う。 前記工程中、感光剤６をＩＴＯ膜５の上に塗布させる工
程において通常的な感光剤の塗布厚さは１μｍ以」二、
望ましくは３μｍの厚さに形成させて隔壁形成工程にお
けるガラスペーストの拡散現象を防止させる。 このようにして、■ＴＯパターンの間と印刷マスクの開
口部９が一致するように配列させた後、第４図Ｅにての
如くガラスペーストを数回印刷φ乾燥工程を繰返して隔
壁を形成させる。 本発明にては、■ＴＯパターンの厚さと前記ＩＴｏのパ
ターンの」二に形成させた感光剤の厚さの合が隔壁形成
のためにガラスペーストで１回印刷した厚さと類似する
のでガラスパターンの領域を犯すことができない。 このように、前記第４図ＡからＥまでに示した工程順序
に従って隔壁２が形成されたガラス基板■を焼成炉で５
８０′Ｃ程度に約１０分間焼成すると感光剤は焼却され
て第４図Ｆのようになる。 この時、前記ガラスペーストを成していたガラス粒子は
ペーストの中のを機溶剤が発揮して残ったガラス粒子が
粒子相互間に焼結して固化する。 即ち、ガラス基板１の」二にＩＴＯパターンのアノード
電極４が形成され、各アノード電極の間に隔壁が所定の
高さにて形成される。 このように、ガラス基板１の上に所定のパターンに形成
されたＩＴＯ膜の上に塗布された感光剤は、そのまま残
留させた状態でマスクフレーム７に固定された印刷マス
ク８を利用してガラスペーストを印刷する工程が本発明
の特徴である。 即ち、ＩＴＯ膜の上に塗布された感光剤はやや赤い色を
呈している為、印刷マスク８の開口部９を介して前記ガ
ラス基板１を観察したとき、赤い色の感光剤と透明なＩ
ＴＯパターンとの区別が明確であるので、開口部９との
重ね合い如何を容易に判断することができる。
る。 第４図は本発明による気体放電表示装置の隔壁形成工程
図であるが、従来の工程図である第２図にての同一名称
に対しては同一符号を使う。 先ず、アノード電極をＩＴＯ膜にて形成させるための電
極製造工程は公知されている技術であって、ガラス基板
１の上にＩＴＯ膜５を全面コーティングし１次いで感光
剤６をＩＴＯ膜５の」二に塗布・乾燥した後、露光マス
クを利用して所定のパターンに露光・現象した後、これ
をＩＴＯエツチング溶液に入れて感光剤が除去された部
分の■Ｔｏ膜をエツチングして除去するようにする。 このような工程は、第４図ＡからＤにて示す工程順序に
従う。 前記工程中、感光剤６をＩＴＯ膜５の上に塗布させる工
程において通常的な感光剤の塗布厚さは１μｍ以」二、
望ましくは３μｍの厚さに形成させて隔壁形成工程にお
けるガラスペーストの拡散現象を防止させる。 このようにして、■ＴＯパターンの間と印刷マスクの開
口部９が一致するように配列させた後、第４図Ｅにての
如くガラスペーストを数回印刷φ乾燥工程を繰返して隔
壁を形成させる。 本発明にては、■ＴＯパターンの厚さと前記ＩＴｏのパ
ターンの」二に形成させた感光剤の厚さの合が隔壁形成
のためにガラスペーストで１回印刷した厚さと類似する
のでガラスパターンの領域を犯すことができない。 このように、前記第４図ＡからＥまでに示した工程順序
に従って隔壁２が形成されたガラス基板■を焼成炉で５
８０′Ｃ程度に約１０分間焼成すると感光剤は焼却され
て第４図Ｆのようになる。 この時、前記ガラスペーストを成していたガラス粒子は
ペーストの中のを機溶剤が発揮して残ったガラス粒子が
粒子相互間に焼結して固化する。 即ち、ガラス基板１の」二にＩＴＯパターンのアノード
電極４が形成され、各アノード電極の間に隔壁が所定の
高さにて形成される。 このように、ガラス基板１の上に所定のパターンに形成
されたＩＴＯ膜の上に塗布された感光剤は、そのまま残
留させた状態でマスクフレーム７に固定された印刷マス
ク８を利用してガラスペーストを印刷する工程が本発明
の特徴である。 即ち、ＩＴＯ膜の上に塗布された感光剤はやや赤い色を
呈している為、印刷マスク８の開口部９を介して前記ガ
ラス基板１を観察したとき、赤い色の感光剤と透明なＩ
ＴＯパターンとの区別が明確であるので、開口部９との
重ね合い如何を容易に判断することができる。
上述の如く、本発明による透明ＩＴＯパターンの間に隔
壁を形成させたとき、印刷用マスクとＩＴＯパターンと
の配列が容易であるのでガラスペーストをＩＴＯパター
ンの上に重なり合わないように塗布することができるば
かりでなく、アノード電極の面積が広くなるにつれて放
電空間が拡張されるので、このように製造された気体放
電表示装置にては高い輝度および安定された放電特性を
得ることができる。 また、ＩＴＯエッチング工程後のＩＴＯパターンの上に
残留する感光剤は焼成工程で除去されるので、感光剤剥
離溶液に浸して感光剤を除去する工程が不必要であり、
工程節減等の観点にても利点が大きい。
壁を形成させたとき、印刷用マスクとＩＴＯパターンと
の配列が容易であるのでガラスペーストをＩＴＯパター
ンの上に重なり合わないように塗布することができるば
かりでなく、アノード電極の面積が広くなるにつれて放
電空間が拡張されるので、このように製造された気体放
電表示装置にては高い輝度および安定された放電特性を
得ることができる。 また、ＩＴＯエッチング工程後のＩＴＯパターンの上に
残留する感光剤は焼成工程で除去されるので、感光剤剥
離溶液に浸して感光剤を除去する工程が不必要であり、
工程節減等の観点にても利点が大きい。
第１図は一般的な直流型気体放電表示装置の構造を示す
概略的斜視図であり、第２図は従来の気体放電表示装置
の隔壁形成工程の順序図、第３図はマスクフレームを利
用した従来の隔壁形成を例示する断面図、そして第４図
は本発明に係る気体放電表示装置の隔壁形成順序図であ
る。 １・・・ガラス基板 ４・・・アノード電極 ６・・・感光剤 ８・・・印刷マスク ２・・・隔壁 ５・・・ＩＴＯ膜 ７・・・マスクフレーム ９・・・印刷マスクの開口部 １
概略的斜視図であり、第２図は従来の気体放電表示装置
の隔壁形成工程の順序図、第３図はマスクフレームを利
用した従来の隔壁形成を例示する断面図、そして第４図
は本発明に係る気体放電表示装置の隔壁形成順序図であ
る。 １・・・ガラス基板 ４・・・アノード電極 ６・・・感光剤 ８・・・印刷マスク ２・・・隔壁 ５・・・ＩＴＯ膜 ７・・・マスクフレーム ９・・・印刷マスクの開口部 １
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ガラス基板（１）の上にアノード電極およびカソード電
極を形成させる電極製造工程と、電極の間に隔壁を形成
させる隔壁形成工程等を含む気体放電装置の製造方法に
おいて、 ガラス基板（１）のＩＴＯパターンの上に形成した感光
剤を残留させた状態で、マスクフレーム（７）に固定さ
れた印刷マスク（８）を利用してガラスペーストを複数
回印刷および乾燥して隔壁（２）を形成し、前記隔壁（
２）が形成されたガラス基板（１）を焼成炉にて適切な
温度で焼成して固化させると共に、前記の感光剤を焼却
することを特徴とする気体放電表示装置の隔壁形成方法
。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR89-7635 | 1989-06-02 | ||
| KR8907635A KR910005090B1 (en) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | Method of making the spacer of display device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0311522A true JPH0311522A (ja) | 1991-01-18 |
Family
ID=19286775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1248431A Pending JPH0311522A (ja) | 1989-06-02 | 1989-09-25 | 気体放電表示装置の隔壁形成方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4975104A (ja) |
| JP (1) | JPH0311522A (ja) |
| KR (1) | KR910005090B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5668071A (en) * | 1995-02-22 | 1997-09-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric porcelain |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3356840B2 (ja) * | 1993-10-14 | 2002-12-16 | 富士通株式会社 | 電気的接続装置及びその形成方法 |
| US5720640A (en) * | 1996-02-15 | 1998-02-24 | Industrial Technology Research Institute | Invisible spacers for field emission displays |
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