JPH03127429A - プラズマディスプレイのバリアリブ形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、コンビ具−夕端末や券売機、バーグラフ等
の表示装置として使用されるプラズマディスプレイのバ
リヤリブ形成方法に関するものである。

〔従来の技術〕

第５図は従来のプラズマディスプレイ装置を示す斜視図
であシ、図にしいて、１はパネルの表示面に当るガラス
板としての前面ガラスであシ、２はアノード電極である
透明電極、３は放電の広がυを一定領域に止めかつ一定
の放電空間を確保するスペーサであるバリヤリブ、４は
アノード電極とマトリクス電極を形成するカソード電極
、５はカソード電極が形成されるガラス板としての背面
ガラスである。

第６図は従来のバリヤリブ３の形成方法を示す工程図で
あシ、１は前面ガラス、２は透明電極、８はバリヤリブ
３を形成する際に用いるガラスペーストである。

次に動作について説明する。まず、前面ガラス１と背面
ガラス５にそれぞれ形成され、かつ対向マトリクス電極
を形成するアノード電極２とカソード電極４が同時に選
択されて電圧が印加されることによって、放電を行う放
電セルが決定される。

すなわち、選択された放電セルには高電圧が印加され、
各電極２．４間に封止されている放電発光ガスが、第７
図に示すようなプラズマ放電Ｐによって放電発光し、こ
の発光が透明電極（アノード電極）２シよび前面ガラス
１を通して表示面にでることによシ、文字や図形の表示
が行われる。しかし、この放電発光ガスによる放電発光
は非表示部分にも広がっていくので、これを防止し所定
の発光セル内で表示を行わせる必要がある。また、安定
な放電電圧や放電状態を得るためには、一定の放電発光
空間を確保する必要がある。これらのためバリヤリブ３
が設けられてシシ、このバリヤリブ３にて発光の広がシ
を押え、表示を規定のセル内で行わせると同時に、均一
な放電空間を保持している。

また、従来はこのバリヤリブ３を形成する方法として印
刷法が行われてかシ、第６図伝）に示すように、前面ガ
ラス１上にあらかじめ透明電極２をエツチング等で形成
し、次に、第６図Φ）に示すようにその透明電極２間に
ガラスペースト８を印刷して乾燥し、かかる印刷および
乾燥する工程を第６図（Ｃ）　、　（ｄ）に示すように
５〜１０回行うことによって、バリヤリブ３を形成して
いる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のプラズマディスプレイのバリヤリブ形成方法は以
上のようであるので、ガラスペースト８の印刷箇所と、
あらかじめ形成された透明電極２との位置合せが難しく
、また印刷を行うことによシバリヤリブ３の裾のにじみ
が避けられず表示品質が悪くなるという課題があるほか
、５〜１０回ものガラスペーストの印刷釦よび乾燥の工
程を繰返す必要があシ、バリヤリブ３の高さに対する精
度が得られないばかｂか、作業性が悪いなどの課題があ
った。

この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、ガラスペーストの印刷箇所と透明電極との位置
合せが不要であシ、バリヤリブの裾のにじみもなく、バ
リヤリブ形成のためのガラスペーストの印刷または塗布
が一度でできるとともに、バリヤリブの高さの精度ふ・
よび作業性を改善することができるプラズマディスプレ
イのバリヤリブ形成方法を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るプラズマディスプレイのバリヤリブ形成
方法は、バターニング工程にかいて感光性のレジストを
バターニングし、埋め込み工程でレジスト間の凹部にガ
ラスペーストを埋め込み、レジスト除去工程で焼成、洗
浄を行ってレジストを除去するようにしたものである。

〔作用〕

この発明に釦けるプラズマディスプレイのバリヤリブ形
成方法は、感光性のレジストを用いることによυバリヤ
リブ形成のための工程を少なく抑えるようにし、これに
より作業性を向上させ、かつ裾ににじみが発生しない均
−高さのバリヤリブを高精度に形成できるようにする。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図にかいて、１はパネルの表示面に当るガラス板として
の前面ガラス、２はアノード電極である透明電極、３は
放電の広がシを一定領域に止め、かつ一定の放電空間を
確保するスペーサであるバリヤリブ、６は前面ガラスに
一様な厚みをもって貼られた感光性のレジスト、７はレ
ジスト６を所望のパターンにバターニングするためのパ
ターンマスク、８は黒色ガラスペーストである。

次に動作について説明する。まず、第１図において、前
面ガラス１上に一様に付けられた透明電極２上に、感光
性のレジスト６を一様な厚みをもって、第１図（ａ）に
示すように塗布もしくはラミネートする。次に、この感
光性のレジスト６上に所望の電極パターンを形成したパ
ターンマスク７を第１図伽）に示すように合わせ、露光
および現像する。このことによシ透明電極２の必要な部
分のみに、第１図（ｃ）に示すようにレジスト６が残）
、さらに透明電極２をエツチングおよび洗浄することに
よう、透明電極２の所望のパターンが形成される。次に
バターニングされたレジスト６が残った状態で、バリヤ
リブ３形成用の黒色ガラスペースト８を一様にレジスト
６間の凹部に、第１図（ｄ）に示すように塗布し、これ
を乾燥シよび仮焼成することで黒色ガラスペースト８を
硬化させる。この状態で、上記凹部以外に付着したガラ
スを除去すれを洗浄し、レジスト６間の凹部のみにガラ
スペースト８が入ったものを焼成することで、第１図（
ｆ）に示すようにレジスト６を燃焼させて消去するとと
もに、ガラスペースト８の焼成を同時に行う。

この後、バリヤリブ３が形成された前面ガラス１を洗浄
することで、透明電極２間に付着した汚れを落とす。以
上の工程により、透明電極２間に位置ずれ、にじみのな
いバリヤリブ３が形成される。

第２図はこの発明のバリヤリブ形成方法の他の実施例を
示す。この実施例の工程は、Ｍ１図伝）から第１図（ｃ
）　ｉでの、感光レジスト６の塗布もしくはラミネー）
、ＪＩｌ光、現像、エツチング、洗浄の一遍の工程と同
様であう、その洗浄が終った前筒ガラス１上に、第２図
（ａ）に示すようにレジスト６間の凹部と位置合わせさ
れた印刷用ｄクリーン１゜を介して、黒色ガラスペース
ト８を印刷する。このことによシ、印刷用Ｓクリーン１
０を除去すると、レジスト６の上面に黒色ガラスペース
ト８の付着なく、レジスト６間の凹部にのみに黒色ガラ
スペースト８を第２図（ｂ）に示すように注入でき、こ
れを焼成および洗浄することで、第１図（ｆ）に示すよ
うな所望のバリヤリブ３が形成される。

第３図はこの発明のバリヤリブ形成方法を示すさらに他
の実施例であシ、ここでは第１図（ｃ）と同様の現像、
エツチングを行った後、前面ガラス１上のレジスト６間
の凹部に位置合せを行ったその凹部の幅と同じもしくは
小さなノズル径をもったガラスペースト塗布用のノズル
１１によシ、黒色ガラスペースト８を塗布することで、
レジスト６の凹部間にガラスペースト８を充填する。こ
れをすべてのレジスト６間の凹部に行い、これを焼成。

洗浄することによって、所望のパターンをもった第１図
（ｆ）に示すようなバリヤリブ３を形成することができ
る。

第４図はこの発明のバリヤリブ形成方法を示すさらに別
の実施例を示し、ここでは、第１図（ｃ）と同様の現像
、エツチングを行ったものに、さらにパターニングされ
たレジスト６が残った状態で、バリアリプ３形成用の紫
外線硬化型のガラスペースト１２を第４図（ａ）に示す
ように一様にレジスト６間の凹部に塗布し、前面ガラス
１のレジスト６塗布面に一様な紫外線を照射することで
、紫外線硬化型のガラスペースト１２を硬化させ、同時
に感光性レジスト６の露光を行う。この状態でレジスト
６間の凹部以外に付着したガラスペースト１２を除去す
るために表面を研磨し、レジスト表面のガラスペースト
１２を取除く。さらに、レジスト６を第４図（ｂ）に示
すように現像し、取除いてガラスペースト１２を焼成す
ることで、バリヤリブ３を形成する。

このように、この発明では、前面ガラス１上に一様に設
けられた透明電極２上面に感光性のレジスト６を付着後
、所定のパターンマスク７を合わせ、露光および現像を
行って、所、定パターンの透明電極２を上記レジスト６
下部に形成するバターニング工程Ｐと、このパターニン
グ工程で残ったレジスト６間の凹部にガラスベース）８
′ｔ−埋め込む埋め込み工程Ｑと、この埋め込んだガラ
スペースト８間の上記レジスト６ｔ−除去するレジスト
除去工程Ｒを経て、所期のバリヤリブ３を形成するもの
である。

なか、上記実施例ではバリヤリブ３を透明電極２側（前
面ガラス１側）に形成することとしたが、透明電極２の
エツチングを除けば、背面ガラス５側に同様な方法で形
成してもよい。

また、上記実施例では直線的なバリヤリブ３の形成を行
ったが、格子状のバリヤリブやその他の形状のバリヤリ
ブを設けてもよい。

さらに、上記実施例ではバリヤリブ３の形成について説
明したが、前面ガラスと背面ガラスを封止する他の用途
に用いてもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によればパターニング工程にお
いて、感光性のレジストを用いて透明電極のパターニン
グを行い、続く埋め込み工程において、透明電極ととも
にこれの上にパターニングされたレジスト間の凹部に、
ガラスペーストｔ−埋め込み、さらにレジスト除去工程
において焼成。

洗浄などを行うことにようレジストを除去して、残った
ガラスペーストをバリヤリブとするように構成したので
、バリヤリブ形成作業が感光性のレジストの塗布と少数
回のガラスペーストの塗布で簡単、迅速に行え、しかも
ガラスペーストの裾のにじみを発生せずに、表示品質の
良好なバリヤリブを高精度かつ安価に形成できるものが
得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるプラズマデイバブ１
ノイのバリヤリブ形成方法を示す工程図、第２図、第３
図および第４図は第１図に示す工程の一部の他の実施例
を示す工程図、第５図はこの発明シよび従来のプラズマ
ディスプレイの分解斜視図、第６図は従来のバリヤリブ
形成方法を示す工程図、第７図はプラズマ放電を説明す
る説明図である。 １はガ／Ｆス板（前面ガラス）、２は透明電極、３はバ
リヤリブ、６はレジスト、７はパターンマスク、８はガ
ラスペースト、Ｐはバターニング工程、Ｑは埋め込み工
程、Ｒはレジスト除去工程。 なお、図中、同一符号は同一　または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ガラス板上に一様に設けられた透明電極上面に感光性の
   レジストを付着後、所定の電極パターンのパターンマス
   クを合わせ、露光および現像を行って所定パターンの透
   明電極を上記レジスト下部に形成するパターニング工程
   と、このパターニング工程で残ったレジスト間の凹部に
   ガラスペーストを埋め込む埋め込み工程と、この埋め込
   み工程で埋め込んだガラスペースト間の上記レジストを
   焼成、洗浄を行って除去し、残ったガラスペーストをバ
   リヤリブとするレジスト除去工程とを備えたプラズマデ
   ィスプレイのバリヤリブ形成方法。