JPH03115571A - 付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、超硬合金やサーメットで代表される焼結合金
の表面層を改質してなる基材の表面にダイヤモンド及び
／又はダイヤモンド状カーボンの被膜を形成させてなる
付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金及びその製
造方法に関し、具体的には、例えば切削工具材料、耐摩
耗工具材料又は装飾用材料などを主体に、電気産業、電
子産業３精密機器産業、事務機器産業などに用いられる
各種の部品用材料として適する付着性にすぐれたダイヤ
モンド被覆焼結合金及びその製造方法に関するものであ
る。

（従来の技術） 従来から金属、超硬合金又はサーメットなどの焼結合金
でなる基材の表面にダイヤモンド及び／又はダイヤモン
ド状カーボンの被膜を形成してなるダイヤモンド被覆焼
結合金の実用化への検討が行われている。

このダイヤモンド被覆焼結合金は、ダイヤモンドが他の
物質との濡れ性に劣ることから、ダイヤモンド及び／又
はダイヤモンド状カーボンの被膜を基Ｈの表面に、いか
にすれば密着性及び付着性を高めた状態に被覆すること
ができるかという問題が最大の課題となっている。特に
、旋削工具。

フライス工具、ドリル、エンドミルなどの切削工具材料
の場合は、最も苛酷な条件で用いられるために被膜と基
材との密着性や付着性が一層重要な問題となる。

ダイヤモンドの被膜と基材との密着性を高めて、切削工
具材料として用いることが可能なダイヤモンド被膜焼結
合金として、多数提案されており、その内、基材の材質
の方向から検討した代表例として、特開昭６２−５７８
０２号公報、特開昭６３−５３２６９号公報がある。

（発明が解決しようとする問題点） 特開昭６３−５３２６９号公報には、Ｃｏｌ　〜４ｗＬ
％と残り炭化タングステンと不可避不純物からなる組成
、４シびに炭化タングステンの４Ｐ均粒径が２〜１０μ
ｍの粗粒組織を有する炭化タングステン基超硬合金基材
の表面に、エツチング層を介して低圧気相合成ダイヤモ
ンド被膜を形成してなるダイヤモンド被覆焼結合金の切
削工具チップが開示されている。この同公報によるダイ
ヤモンド被覆焼結合金は、焼結合金基材の表面を酸によ
りエツチングして、エツチング層を介在させた後、この
表面にダイヤモンド被膜を形成させたもので、この鉄族
金属の抜けたエツチング層の介在により、ダイヤモンド
被膜の形成時に基材表面にグラファイトが発生するのを
防止し、ダイヤモンド被膜の形成速度の低下及び被膜と
基材との付着強度の低下という問題を解消しようとした
ものである。しかしながら、このエツチング層は、厚さ
が０．１〜０．５μｍ程度であることからダイヤモンド
被膜形成時におけるグラファイトの発生を完全に防止す
ることができず、逆にエツチング層の厚さが厚くなると
、ダイヤモンド被覆焼結合金におけるエツチング層に鉄
族金属の抜けた空孔が生じて、緻密な層でなくなり、そ
の結果エツチング層の強度低下及びエツチング層とダイ
ヤモンド被膜との付着性の低下をもたらすという問題が
ある。

特開昭６２−６？８［１２号公報には、硬質炭素薄膜と
基材との間に厚さ０．１μｍ以」二のＷ２Ｃを主成分と
するＷとＣの化合物薄膜の中間層を（を在させてなる硬
質炭素被覆部品が開示されている。この同公報による発
明は、超硬合金やセラミックスでなる基材の表面に化学
蒸ｎ法（ＣＶＤ法）や物理蒸着法ｃ　ｐｖｏ法）でもっ
てＷ２Ｃを主成分とする化合物薄膜の中間層を被覆する
と、硬質炭素とｗ、Ｃの界面にはｗＣでなる拡散中間層
が形成され、その結果付着強度の向上を達成できたとい
うものであるが。

ＣＶＤ法やＰＶＤ法でもって中間層を形成した後、別の
反応容器で硬質炭素薄膜を被覆するという工程の煩雑さ
があること、中間層と硬質炭素薄膜との界面への不純物
の付着及びグラファイトの付着が生じやすいことから中
間層と硬質炭素被膜との密着性が劣るという問題がある
。

本発明は、上述のような従来の問題点を解決したもので
、具体的には、表面層に存在するＮｉ及び／又はＣｏを
主成分とする結合相を減少させた表面調質の超硬合金又
はサーメットの基材にダイヤモンド及び／又はダイヤモ
ンド状カーボンの被膜を被覆してなる付着性にすぐれた
ダイヤモンド被覆焼結合金及びその製造方法の提供を目
的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明者らは、超硬合金の基材の表面に気相合成法でも
ってダイヤモンドの被膜を形成する場合における、基材
の表面部の状態と被膜の形成条件とに注目して検討して
いた所。

第１に、表面に鉄族金属の存在した基材又は酸性溶液な
どの腐食により表面の鉄族金属を除去した基材に被膜を
形成すると、基材と被膜との付着性の劣下及び被膜の材
質の低下になるのに対して、焼結過程もしくは焼結後の
熱処理により基材の表面部の鉄族金属の濃度を基材の内
部の鉄族金属の濃度に比べて減少させ、特に表面の鉄族
金属を零に近づけた基材に被膜を形成すると基材と被膜
との付着性が顕著に向上するという知見を得たものであ
る。

第２に、焼結合金の表面部の鉄族金属の濃度を内部の鉄
族金属の濃度に比べて減少させる方法として１次のよう
な知見を得たものである。

先ず第１図に示した単純１１１Ｃ−Ｃｏ　−Ｃ三元状態
図の１６ｗＬ％Ｃｏにおける断面図で説明する。ＷＣ−
Ｃｏ焼結合金を第１図の斜線部に示す結合相の固液共存
温度域内の温度に加熱し１次いで例えばメタンガスなど
の炭化水素ガスで浸炭雰囲気にすると、焼結合金の表面
において浸炭が起こり２表面の炭素濃度は第１図の斜線
部を拡大して示した第２図における結合相の固相線ＣＤ
の方向から液相線ＡＢの方向へ、矢印Ｅで示すように増
加し、その結果焼結合金の表面に液相が生じ、この液相
が同相状態の焼結合金の内部の粒界内へ流動して、焼結
合金の表面部の結合相の濃度が減少する。

第３に、基材の表面に被膜を形成する場合、被膜形成前
に酸素ガスを微量流入させると、基材の表面部は脱炭及
び鉄族金属の除去が生じ、その後、引続いて被膜形成処
理を行うと基材と被膜との間に炭化物の中間層が形成さ
れて、付着性が顕著に向上するという知見を得たもので
ある。これら第１〜第３の知見に基づいて、本発明を完
成するに至ったものである。

すなわち、本発明の付着性にすぐれたダイヤモンド被覆
焼結合金は１周期律表４ａ、　５ａ、　６ａ族金属の炭
化物、窒化物、炭酸化物、窒酸化物及びこれらの相互固
溶体の中の少なくとも１種の硬質相と、Ｎｉ及び／又は
Ｇｏを主成分とする結合相とからなる焼結合金の基材の
表面にダイヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボン
の被膜を形成してなるダイヤモンド被覆焼結合金であっ
て、該焼結合金の表面から該焼結合金の内部に向って少
なくとも１μｍの表面層における該結合相の平均量が該
焼結合金の内部における該結合相の毛均ｔａよりも減少
していることを特徴とするものである。

本発明の付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金に
おける焼結合金の表面層は、焼結合金の表面から焼結合
金の内部に向っての深さを示し、この深さが少なくとも
１μｍ、好ましくは３〜１００μｍ、特に好ましくは１
０〜５０μｍからなるものである。この表面層は２表面
層中に存在する結合相の平均量が表面層を除いた焼結合
金の内部における結合相の平均量よりも減少していれば
よいが、焼結合金の表面に存在する結合相を２ｗＬ％以
下にすることが好ましく、特に焼結合金の表面の結合相
が１ｗｔ％以下、好ましくは第３図に示したように焼結
合金の表面で限りなく零に近づいた状態になり、その後
焼結合金の内部の結合相に向って漸増し、内部の結合相
の平均量に達することである。また、さらに好まし状態
は、例えば第４図に示したように、焼結合金の表面にお
ける限りなく零に近づいた状態の結合相の量が３〜１０
μｍまでの深さで続き、その後焼結合金の内部に向って
漸増し、内部の結合相の平均量に達する表面層である。

ここで述べている結合相の平均ｎｔとは、結合相の相対
的平均濃度とみなすことができ１例えば表面層における
結合相の平均量とは１表面層中の結合相の平均的濃度を
示すものである。

以上、述べてきた焼結合金の内部に比べて結合相の減少
してなる表面層に従来の気相合成法で被膜を形成させる
と、被膜の形成時の初期にダイヤモンドの核生成が促進
されて、被膜の材質が向上される。この被膜の材質の向
上及び気相合成時の制御や被膜の形成の容易性から、表
面層と被膜との間に１周期律表４ａ、　５ａ、　６ａ族
金属又はこれらの化合物からなる中間層を介在させるこ
とも好ましいことである。この中間層がタングステン及
び／又は炭化タングステンでなる場合は、特に上述の効
果が高くなるので好ましく、さらに、炭化タングステン
を主成分とする焼結合金の基材の表面に後述するような
脱炭性熱処理とダイヤモンド気相合成法との併合でもっ
て、炭化タングステンを主体とする中間層を形成し、こ
の中間層の表面に被膜を形成するとより一層好ましくな
る。この中間層の厚さは、気相合成による被膜の形成初
期に基材の内部の結合相が気散又は表面に浸透するのを
阻止できる厚さであればよく、逆に厚くなりすぎると、
中間層からの剥離が生じるので（１，１〜２０μｍの厚
さ、好ましくは０．１〜１０μｍの厚さである。

本発明の付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金に
おける被膜は、電気抵抗、光透過率、硬度などがダイヤ
モンドの性質又はダイヤモンドに近い性質を示すもので
、具体的にはラマン分光分析した場合にダイヤモンドの
ラマン線であるといわれている１３３３ｃｍ−’にピー
クを示すものである。

さらに、詳述すると、この被膜はダイヤモンドのみから
なる場合、もしくはダイヤモンドと他に非晶質カーボン
やガラス状カーボンなどを含有している場合、あるいは
ダイヤモンドが含有してなくても従来からダイヤモンド
に近い性質を示すものであるといわれているダイヤモン
ド状カーボンからなる場合がある。これらの内、炭化タ
ングステン基焼結合金の基材にＷ、Ｃ及び／又はｗＣの
中間層、特に１μｍ以下の微細粒のＷＣを主体にした中
間層を介在させて、その表面に形成した被膜の場合は、
ラマン分光分析におけるダイヤモンドのラマン線である
１３３３ｃｍ−’にピークが明確に表われる膜質のすぐ
れたものになる。この被膜の厚さは。

用途及び形状により異なり、特に耐衝撃性よりも耐すき
とり摩耗性を重要視するような用途には、例えば３〜１
０μｍ厚さが好ましく、切削工具材料の中でもフライス
用切削工具のように耐衝撃性を重要視する用途及びドリ
ルやエンドミル又は耐摩耗工具材料の中のスリッター、
切断刃、裁断刃などのように鋭角な切刃を有する用途に
は、例えば０．５〜３μｍ厚さと被膜を薄くする構成に
することが好ましいことである。

本発明の付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金は
、従来の粉末冶金及び粉末の塗布方法を組合わせて基材
を作製した後、その基材の表面に従来のダイヤモンドの
気相合成法でもって被膜を形成させることにより得るこ
とができ、又中間層を介在させるときには、　ＰＶＤ法
やＣＶＤ法で形成させることができるけれども１次の方
法で行うと基材と被膜との付着性がよりすぐれることか
ら好ましい方法である。

本発明の付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金の
製造方法は１周期律表４ａ、　５ａ、　６ａ族金属の炭
化物、窒化物、炭酸化物、窒酸化物及びこれらの相互固
溶体の中の少なくとも１種の硬質相と、Ｎｉ及び／又は
Ｃｏを主成分とする結合相とからなる焼結合金の基Ｈの
表面にダイヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボン
の被膜を形成させる方法であって、該焼結合金は焼結後
又は焼結の過程中に該結合相の固液共存温度域内の温度
で該焼結合金の表面層を浸炭処理して、該焼、結合金の
表面から該焼結合金の内部に向って少なくとも１μｍの
表面層における該結合相の平均量が該焼結合金の内部に
おける該結合相の平均量よりも減少させたものであるこ
とを特徴とする方法である。

本発明の付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金の
製造方法において用いる焼結合金は。

度焼結した後、又は焼結の工程中、温度が一旦結合相の
固液共存温度以下に下がった後円び結合相の域内の固液
共存温度まで上Ｗさせた状態で浸炭させる方法、もしく
は焼結の工程中、結合相の固液共存温度の状態で浸炭さ
せる方法により得ることができる。このとき、該焼結合
金の表面層の深さ及び表面層中の結合相の濃度変化は、
浸炭時間、浸炭の強弱の度合及び浸炭後の冷却速度を制
御することにより行うことができ、例えば表面層を深く
する場合又は表面層中の結合相を急激に減少させる場合
には、浸炭時間を長く、浸炭の度合を強く、浸炭後の冷
却速度を速くする方法で制御することにより得ることが
できる。

本発明の付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金の
製造方法における結合相の固液共存温度とは、例えば単
純１ＩＣ−Ｃｏ　−Ｃ三元状態図の断面図として示した
第１図の斜線部に相当する温度であり、具体的には、基
材の硬質相の組成成分、結合相の組成成分及び含何炭素
ｍにより主として影響を受けるが、大体１２００℃を超
えた温度から１４００℃未満の温度範囲内である。また
、この結合相の固液共存温度域内の温度で浸炭処理する
方法としては、例えばメタンガス、エタンガスなどの炭
化水素ガスの含有した雰囲気中で処理することにより行
うことができる。

以上のような方法で基材を作製した後、この基材をダイ
ヤモンド気相合成用の反応容器内に設置して、従来の方
法でもって基材の表面に被膜を形成することができる。

また、上述のような方法で作製した基材の内、特に炭化
タングステンを主成分とする焼結合金の基材の場合には
、基材をダイヤモンド気相合成用の反応容器内に設置し
、この反応容器内を脱炭性雰囲気でもって昇温して基材
の表面部を脱炭した後、気相合成法によるダイヤモンド
被覆処理を行って、１度説炭した表面部を炭化タングス
テン又は炭化タングステンを主成分とする中間層とし、
引続いてダイヤモンド被覆処理を行って、中間層の表面
に被膜を形成するという方法は、被膜の材質がすぐれる
こと及び被膜と中間層との付着性もすぐれることから、
好ましい方法である。

（作用） 本発明の付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金は
、表面調質により形成した結合相濃度の減少した表面層
を有する基材にダイヤモンド及び／又はダイヤモンド状
カーボンの被膜が形成されていることから１表面層が被
膜の付着性を高める作用をしている。また、表面層を有
する基材と被膜との間に中間層が介在されている場合、
特に炭化タングステンを主成分とする基材に微細粒の炭
化タングステンの中間層が介在されている場合は、表面
層と中間層との両方が被膜形成時における結合相の気散
なとを」１止する作用となり、その結果、被膜の材質の
向−ヒ、及び被膜と中間層との付着性を一層向上すると
いう作用をしているものである。

さらに、本発明の付着性にずぐれたダイヤモンド被覆焼
結合金の製造方法は、基材の表面部の浸次処理が結合相
濃度の減少した緻密な表面層を形成する作用をし、表面
層中の結合相の濃度勾配の制御を容易にする作用をして
いるものである。

（実施例） 実施例１ ４ｗｔ、％Ｃｏ粉末と、残り平均粒径１．５μｍのＷＣ
粉末の混合粉末を従来の粉末冶金法でもって圧粉成形体
とした後、真空中、　１４０Ｑ”ｃ、　１１０分保持に
て焼結し、次いで冷却時に、１３５０℃〜１２５０℃ま
でをＣ１１４：　ｔｌｚ＝　ｌ　：　２０ｖｏｊｌ＋％
比のガス組成、ガス圧１０Ｌｏｒｒ中でＩ’Ｃ／ｍｉｎ
で徐冷しながら浸炭処理し、その後真空中で３０℃／ｍ
ｉｎの速度で急冷して、本発明品ｌに用いるための基材
を得た。同じＷＣ−４ｗｔ％Ｃｏ組成の圧粉成形体を、
真空中、　１４００℃、６０分保持にて焼結し、次いで
冷却時に、１３１０℃〜１２５０℃までをＣＩ＋４：　
ｌｌ１＝　］　：　ｌ０ｖｏｊ！％比のガス組成、ガス
圧２０ｔｏｒｒ中で５℃／ｍｉｎで徐冷しながら浸炭処
理し、その後真空中で冷却して１本発明品２に用いるた
めの基材を得た。

また、６ｗｔ％Ｃｏ粉末と１ｗｔ％ＴｉＣ粉末と２ｗｔ
％ＴａＣ粉末と平均粒径３μｍのＷＣ粉末の混合粉末を
１本発明品１用の基材と同様にして作製し１本発明品３
に用いるための基材を得た。同じＷＣ−ｔｗＬ％ＴｉＣ
−２ｗｔ％ＴａＣ−６ｗｔ％Ｃｏ組成の圧粉成形体を本
発明品２用の基材と同様にして作製し１本発明品４に用
いるための基材を得た。

比較として、ＷＣ−４ｗｔ％Ｃｏ組成の圧粉成形体を、
真空中、　１４００℃、６０分保持にて焼結後、真空中
で炉冷して、比較品１に用いる基材表面部を得た。この
比較品１に用いる基材を硫酸溶液によりエツチングして
、比較品２に用いる基材を得た。

さらに、冑Ｃ−１ｗｔ％ＴｉＣ−２ｗｔ％ＴａＣ−６ｗ
ｔ％Ｃｏ組成の圧粉成形体を比較品１用の基材と同様に
して、比較品３に用いる基材を得た。この比較品３用の
基材の表面部を比較品２用の基材と同様にエツチング処
理して、比較品４に用いる基材を得た。

こうして得た。それぞれの基材をダイヤモンド気相合成
装置に設置し％９８ｖｏｊ２％ｌｌ５−２ｖｏ１％Ｃ１
１４のガス組成、　９０Ｌｏｒｒのガス圧力、　１０５
０℃の基材温度、１２０分間の処理時間でもってプラズ
マ処理し、それぞれの基材の表面にダイヤモンドの被膜
を形成させて、本発明品１〜４及び比較品１〜４を得た
。

こうして得た本発明品１〜４及び比較品１〜４の基材の
表面から基材内部におけるＣｏ１１及び表面層深さを、
Ｘ線マイクロアナライザ（ＥＰＭ＾）及び走査型電子顕
微鏡で調べて、その結果を第１表に示した６また、ダイ
ヤモンド被膜の厚さも調べて、第２表に示した。さらに
、下記（イ）の条件で切削試験を行って、その結果を第
２表に併記した。

（イ）切削試験条件 被　削　材：硬質カーボン 切削速度：　３２６　ｍ／ｍｉｎ 切込み量：　１．Ｏｉｎ 送　　　　　リ　：　　０．０５８　　ｍｍＡｏｏＬｈ
チップ形状：　５ＰＧＮ　！２０３０８評　　　価：乎
均逃げ面摩耗量　（ｖＲ）実施例２ 実施例１で得た本発明品１川の基材をダイヤモンド気相
合成装置に設置し、マイクロ波出力０、８ｋｗのプラズ
マ中、　９８ｖｏ℃％ｔｌａ−２ＶＯ℃％０２のガス組
成、　６５Ｌｏｒｒのガス圧力、９５０℃の基材温度、
４５分間の脱炭処理した後、引続き実施例１で行ったと
同様のダイヤモンド被膜処理をして本発明品５を得た。

実施例１で得た本発明品２用の基材を上述の本発明品５
と同様にして、本発明品６を、本発明品３用の基材を用
いて、本発明品７を、本発明品４川の基材を用いて、本
発明品８を得た。

こうして得た本発明品５〜８の基材の表面から基材内部
におけるＣＯ量及び表面層深さを、実施例Ｉと同様に調
べて、その結果を第３表に示した。

この本発明品５〜８の基材表面には微細粒のＷＣの中間
層が形成されており、この中間層の厚さ７粒径及びダイ
ヤモンド被膜厚さも調べて、第４表に示した１次に、本
発明品５〜８と実施例１で得た比較品１，２．４を用い
て、下記（ロ）の条件で切削試験を行って、その結果を
第４表に併記した。

（０）切削試験条件 被　削　材：　　Ａｎ−１８％Ｓｉ合金切削速度：　４
００　ｍ／ｍｉｎ 切込み量：　０．５　ｍｍ 送　　　　　リ　：　　０，１　　ｍｍ／ｒｅｖｍｍ時
間：　　２０１ｎ チップ形状：　５ＰＧＮ　１２０３０８評　　　価：平
均逃げ面摩耗量　（Ｖ＠）以下余白 （発明の効果） 本発明の付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金は
、焼結合金の表面に直接ダイヤモンド被膜を形成してな
る従来のダイヤモンド被覆焼結合金、又は焼結合金の表
面をエツチングした後にダイヤモンドの被膜を形成して
なる従来のダイヤモンド被覆焼結合金に比べて、被膜の
付着性が著しくすぐれており、被膜の剥離が生じ難く、
被膜の材質もすぐれていることから切削工具部材として
実用化できるという顕著な効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、ＷＣ−１６ｗｔ、％Ｃｏ組成のカーボン（Ｃ
）含有量と温度とにおける断面相図を示す。第２図は、
第１図における結合相の固液共存域内ＮＩＣ＋γ＋ｌ−
４）の拡大図で、ＡＢが結合相の液相線、ＣＤが結合相
の固相線を示す。 第３図、第４図は１本発明の付着性にすぐれたダイヤモ
ンド被覆焼結合金における基材の表面層及び基材の内部
の結合相の相対濃度分布の代表例を示す。 第３図、第４図中、ａｘｂは基材の表面層を表わし、ｂ
　−ｃは基Ｈの内部を表わす。 特許出馳人 東芝タンガロイ株式会社 第 図 第２ｖＡ ＩＣ中のＣ含ｆ量６つ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）周期律表４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，窒化
   物，炭酸化物，窒酸化物及びこれらの相互固溶体の中の
   少なくとも１種の硬質相と、Ｎｉ及び／又はＣｏを主成
   分とする結合相とからなる焼結合金の基材の表面にダイ
   ヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボンの被膜を形
   成してなるダイヤモンド被覆焼結合金において、該焼結
   合金の表面から該焼結合金の内部に向って少なくとも１
   μｍの表面層における該結合相の平均量が該焼結合金の
   内部における該結合相の平均量よりも減少していること
   を特徴とする付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合
   金。
2. （２）上記焼結合金の表面は、上記結合相が２ｗｔ％以
   下でなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金。
3. （３）上記表面層における上記結合相は、上記焼結合金
   の表面で最小となり、該焼結合金の内部に向って漸増し
   、内部の結合相の平均量に達していることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項又は第２項記載の付着性にすぐれ
   たダイヤモンド被覆焼結合金。
4. （４）周期律表４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，窒化
   物，炭酸化物，窒酸化物及びこれらの相互固溶体の中の
   少なくとも１種の硬質相と、Ｎｉ及び／又はＣｏを主成
   分とする結合相とからなる焼結合金の基材の表面にダイ
   ヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボンの被膜を形
   成してなるダイヤモンド被覆焼結合金において、該基材
   と該被膜との間に中間層を介在させ、かつ該焼結合金の
   表面から該焼結合金の内部に向って少なくとも１μｍの
   表面層における該結合相の平均量が該焼結合金の内部に
   おける該結合相の平均量よりも減少していることを特徴
   とする付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金。
5. （５）上記中間層は、厚さが０．１〜１０μｍのタング
   ステン及び／又は炭化タングステンでなることを特徴と
   する特許請求の範囲第４項記載の付着性にすぐれたダイ
   ヤモンド被覆焼結合金。
6. （６）上記焼結合金の表面は、上記結合相が２ｗｔ％以
   下でなることを特徴とする特許請求の範囲第４項又は第
   ５項記載の付着性にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金
   。
7. （７）上記表面層における上記結合相は、上記焼結合金
   の表面で最小となり、該焼結合金の内部に向って漸増し
   、内部の結合相の平均量に達していることを特徴とする
   特許請求の範囲第４項，第５項又は第６項記載の付着性
   にすぐれたダイヤモンド被覆焼結合金。
8. （８）周期律表４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物，窒化
   物，炭酸化物，窒酸化物及びこれらの相互固溶体の中の
   少なくとも１種の硬質相と、Ｎｉ及び／又はＣｏを主成
   分とする結合相とからなる焼結合金の基材の表面にダイ
   ヤモンド及び／又はダイヤモンド状カーボンの被膜を形
   成させるダイヤモンド被覆焼結合金の製造方法において
   、該焼結合金は、焼結後又は焼結の過程中に該結合相の
   固液共存温度域内の温度で該焼結合金の表面部を浸炭処
   理して、該焼結合金の表面から該焼結合金の内部に向っ
   て少なくとも１μｍの表面層における該結合相の平均量
   が該焼結合金の内部における該結合相の平均量よりも減
   少させることを特徴とする付着性にすぐれたダイヤモン
   ド被覆焼結合金の製造方法。