JPH03116630A

JPH03116630A - ガス放電型表示パネルの製造方法

Info

Publication number: JPH03116630A
Application number: JP25383689A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Koiwa; 一郎小岩; Yoshitaka Terao; 芳孝寺尾; Hiromi Kobayashi; 広美小林
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1989-09-29
Filing date: 1989-09-29
Publication date: 1991-05-17
Anticipated expiration: 2011-06-26
Also published as: JP2511152B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、ガス放電型表示パネルに関し、詳細には、そ
のカソード電極に関するものである。

〔従来の技術〕

従来のこの種のガス放電型表示パネルとしては特公昭６
３−６２８５８号公報に記載のものがある。この表示パ
ネルは、２枚の基板間に放電空間を有し、この放電空間
内で対向する電極間にプラズマ放電を生じさせて表示す
るものである。そして、カソード電極の材料としては、
Ｎ１を主成分とした材料が用いられている。

また、カソード電極の材料として耐スパツタ性に優れた
六ホウ化ランタン（Ｌ　ａ　Ｂｅ　）を用いる研究がテ
レビジョン学会技術報告、昭和６３年１１月２４日発表
、デイクシ−株式会社、淡路則之他著、「印刷法Ｌ　ａ
　Ｂ　ｅ陰極を用いたＤＣプラズマデイスプレィ」、４
３〜４８頁に記載されている。第２図はこの報告による
カソード電極部分の構造を示す断面図である。同図に示
されるように、この従来例では、基板１１上にＮｉ電極
１２を有し、この上にＬ　ａ　Ｂ　ｅからなる材料粒子
と、ビークルと、バインダとしての低融点ガラスとを混
合して得られたペーストをスクリーン印刷し、これを乾
燥し、５００〜６００℃で焼結して被膜１３を形成して
いる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記いずれの従来例においても、放電に
際してのイオン衝撃によりカソード電極が劣化すること
を防ぐために、イオン衝撃に対して緩衝作用を持つ水銀
を放電空間内に封入することが不可欠であった。そして
、この水銀は電極面積に応じた一定以上の量が必要とな
るが、大型の表示パネルでは水銀拡散の均一化が困難で
あるため水銀量の少ない部分が生じ、このような部分の
電極劣化が製品寿命を短くしているという問題があった
。

また、第２図の従来例は被膜に低融点ガラスを含むので
、５００℃以上の焼成が必要であり、酸化されにくい材
料粒子を選択しなければならないという制約があるとい
う問題があった。また、下地電極であるＮｉ電極との導
通を保つため低融点ガラスの量やその焼成温度に制限が
あるため、製作が困難であるという問題があった。

そこで、本発明は上記したような従来技術の課題を解決
するためになされたものであり、その目的とするところ
は、製品寿命が長く、製作が容易なガス放電型表示パネ
ルを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明においては、絶縁基板と、上記絶縁基板上に形成
されたカソード電極とを有するガス放電型表示パネルに
おいて、上記カソード電極が、金属を含む下地電極と、
この下地電極上に形成されたＳ　Ｉ　Ｏ２を含む上地電
極とを有することを特徴としている。

〔作　用〕

本発明においては、カソード電極を金属（例えば、Ｎｉ
）を含む下地電極と、その上のＳ　ｌ　０２を含む上地
電極とから構成する。この上地Ｎ極のＳ　Ｉ　Ｏ２はバ
インダとして機能し、従来の低融点ガラス（焼成温度５
００℃以上）よりはるかに低い温度で焼成できる。また
、Ｓ　ｌ　０２は一端焼成した後には高温に耐える特性
を有するので、イオンの衝撃による電極表面の劣化が生
じにくい。

〔実施例〕

以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明する。

第３図は本発明に係るガス放電型表示パネルの一実施例
を示す斜視図である。同図に示されるように、本実施例
の表示パネルは、複数本のカソード電極２（例えば、膜
厚２８μｍ）と隔壁３とを有する背面ガラス１（例えば
、厚さ３ｍｍ）と、複数本のアノード電極５（例えば、
膜厚２７μｍ）を有する前面ガラス４とを対向配置させ
、隔壁３により区分される放電セルにおいてカソード電
極２とアノード電極５とを対向（例えば、１５０μｍ間
隔）させて構成されている。そして、放電セルには、Ｎ
ｅにＡｒ　（０，３％）を混合した放電ガスを３００Ｔ
ｏｒｒ封入する。尚、２ａはカソード電極２に接続され
る接ａ端子（例えば、膜厚１３μｍ）である。

第１図（ａ）、（ｂ）は第３図のカソード電極部分を示
すものであり、同図（ａ）は第３図のニーＩ線断面図、
同図（ｂ）は第３図の■−■線断面図である。

第１図に基づき本実施例のカソード電＠２について説明
すると、このカソード電極２はＮｉ　（ＢＳＬ　（Ｅｔ
ｅｃｔｒｏ−ｓｃｉｅｎｃｅ　Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅ
ｓ　Ｉｎｃ、）社製、商品番号：＃２５５４）を含む下
地電極６と、この下地電極６を覆うように形成されたＳ
　ｉＯ２を含む上地電極７とを有している。そして、こ
の上地電極７は下地電極６上に５１０２を含有するペー
ストを塗布し、これを乾燥し、３４０℃で焼成（この温
度はペーストに含まれるオイル成分を焼結して除去する
温度であり、５ｌＯ７の焼成温度は２００℃程度である
）して形成される。ここで、塗布されるペーストとして
は、例えば、次の組成（ペースト■とペースト■）のも
のがある。

ベニ各土■ コバルト粉末（フルウチ化学社製、製品番号：Ｃ０Ｍ−
２３０１０Ａ）１００ｇと、ビークル（ＥＳＬ社製、製
品番号：＃４０５）１００ｇと、Ｓ　Ｉ　Ｏ２系被膜形
成用塗布液（東京応化工業社製、ヒドロキシシラン化合
物のアルコール溶液、商品番号：０ＣＤｔｙｐｅ−７−
２００００）５〜２０ｇを混合したもの。

笠二困五望Ｌ　ａ　Ｂ　ｅ粉末（日本新金属株式会社製、粒径１゜
８μｍ＞１２５ｇと、ビークル（ＥＳＬ社製、製品番号
：＃４０５）１００ｇと、Ｓ　ｉ０２系被膜形成用塗布
液（東京応化工業社製、ヒドロキシシラン化合物のアル
コール溶液、商品番号：０ＣＤｔｙｐｅ−７−２０００
０）５〜２０ｇを混合したもの。

ここで、Ｓ１０□系被膜形成用塗布液（以下、ＯＣＤと
略す）の量を増加させると、粒子の下地に対する密着性
や粒子間の結合力は強くなり、印刷性が低下しくビーク
ルの割合が低くなるため）、放電電圧が高くなる。また
、ＯＣＤの量を減少させると放電電圧は低くなるが、粒
子間の結合が弱くなり、放電の広がりも低下する。従っ
て、用いる粒子及びビークルの粘度などによりＯＣＤの
量を適宜調節する。また、Ｓ　ｚ　０２系被膜形成用塗
布液としては、上記しドロキシシラン化合物のアルコー
ル溶液の他に、ＳＬの有機酸金属塩（例えば、オクチル
酸けい素）の有機溶媒（エタノール。

イソプロパツール、トルエン、キシレン等など）溶液や
Ｓ１アルコキシド（例えば、シリコンエトキシド）の有
機溶媒（エタノール、イソプロパツール、トルエン、キ
シレン等など）溶液がある。

尚、第１図（ｂ）において、８は接続端子２ａとカソー
ド電［２との接続部を覆うカソードオーバコートである
。

また、第４図は本実施例の表示パネルの製造工程を示す
フローチャートである０本実施例の表示パネルの製造は
以下のようになされる。

先ず、同図に示されるステップ１０．１１により、背面
ガラス上にＮ１ペーストを塗布し、これを乾燥、焼成し
て下地電極を形成し、次に銀ペースト（ＢＳＬ社製、商
品番号：＃５９０）を塗布し、これを乾燥、焼成して端
子＠極２ａを形成する０次のステップ１２により放電に
寄与する部分のみを露出させ、且つ、シール部を封着す
るためのオーバコート０　（Ｄｕｐｏｎｔ社製、商品番
号：９７４１）を形成する０次のステップ１３により放
電セルに封入ガスを導入するためのガラス製の排気管を
設置し鉛ガラスに４６０°Ｃの熱処理を加えて固定する
。その後、ステップ１４により下地電極上にＳｉＯ□を
含有するペーストを塗布し、これを乾燥し、３４０℃で
焼成して上地電極を形成する。

一方、ステップ２０乃至２３により、前面ガラス上にＮ
ｉペーストよりアノード電極を形成し、銀ペーストより
アノード端子を形成し、遮光膜（奥野製薬社製、商品名
ニオクツ５０３）を備え付け、封止用のオーバコートを
備えたスペーサリブを形成する。

そして、ステップ３０乃至３３により、上記背面ガラス
と前面ガラスを重ね、周囲を封着し、放電ガスを封入し
て、表示パネルを完成させる。

次に、本実施例の性能を確認するための実験例について
説明する。

火成１上地電極をコバルト粉末を含むペースト■の組成とした
場合（実施例）と、上地電極をＬ　ａ　Ｂ　ｅ粉末を含
むペースト■の組成とした場合（実施例）と、カソード
電極をＮｉ厚膜のみで形成した場合（従来例）について
、放電セル内にＨｇを拡散させて、印加電圧対放電電流
特性を測定した。第５図はこの測定結果を示すグラフで
ある。

犬肢λ 上地電極をコバルト粉末を含むペースト■の組成とした
場合（実施例）と、上地電極をＬａＢ６粉末を含むペー
スト■の組成とした場合（実施例）と、カソード電極を
Ｎ１厚膜のみで形成した場合（従来例）について、放電
セル内にＨｇを封入しない状態で、印加電圧対放電電流
特性を測定した。

第６図はこの測定結果を示すグラフである。

第５図及び第６図よりペースト■とペースト■の場合に
は、Ｎｉ厚膜による場合よりも印加電圧に対しての放電
電流が大きくなることが確認された。ここで、放電電流
の増加は輝度と効率の向上を意味するので、Ｎｉ厚膜の
みの場合に比べて放電特性が向上したことが確認された
。

また、第５図と第６図の比較よりＨｇ封入の有無による
放電電流特性の違いが小さく、Ｈｇを封入しなくても良
好な放電電流特性が得られることが確認された。

さらに、本実施例の寿命試験（実験３．４）を実施しな
。

天職ユ上地電極をコバルト粉末を含むペースト■の組成とした
場合（実施例）と、上地電極をＬ　ａ　Ｂ　６粉末を含
むペースト■の組成とした場合（実施例）と、カソード
電極をＮｉ厚膜のみで形成した場合（従来例）について
、放電セル内にＨｇを拡散（２５０℃、２時間）させて
、放電広がりの経時変化を観測しな。

いづれの表示パネルについても放電の広がりは良好であ
り、１ケ月経過後であっても電極劣化は生じなかった。

天贋ユ上地電極をコバルト粉末を含むペースト■の組成とした
場合（実施例）と、上地電極をＬ　ａ　Ｂ　ｅ粉末を含
むペースト■の組成とした場合（実施例）と、カソード
電極をＮｉ厚膜のみで形成した場合（従来例）について
、放電セル内にＨｇを封入せず、放電広がりの経時変化
を観測した。

ペースト■とペースト■については、変化がみられず、
放電の広がりは良好であり、１ケ月経過後であっても電
極劣化は生じなかった。

これは本実施例の上地電極が鉛ガラスの代わりにＳ　ｉ
　０２を用いたことによるものであり、このＳ　ｉ　Ｏ
２は高温に強く、耐スパツタ性が高いからである。尚、
通常のペースト（金属粉、ビークル、鉛ガラスから成る
）に８１０２を加えても、長寿命化の効果が確認された
。

これに対し、Ｎｉ厚膜のみの場合はエージングの後、測
定を行い、２５０■で寿命試験を行った結果（８インチ
パネル６４０Ｘ６４０、線順次駆動Ｎｅ−Ａｒ混合ガス
を封入）１日で、輝度むらが生じ、寿命となった。

以上の結果より、Ｈｇが封入されていなければＮｉ厚膜
の寿命は大巾に縮まるが、コバルト又はＬａＢ　　粉末
とＳｉＯ□を含有するＭ％では劣化が生しにくいことが
確認された。よって、本実施例によれば、Ｈｇを含まな
くとも、優れた特性と、長寿命を得ることができる。ま
た、本実施例においては低温の焼成工程で済むＳ　ｉ　
Ｏ２をバインダとしているので、酸化されにくい金属で
なければならないという材料粒子選択上の制約がなく、
また、焼成温度が低いので製作が容易である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、水銀を含まなく
とも、良好な放電の広がりが得られ、また、長寿命にす
ることができる。また、材料粒子選択上の制約や焼成温
度の制限が小さいので製作が容易であり、酸化されやす
いコバルト粉末なども陰極として適用できるという効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）は本発明に係るガス放電型表示パ
ネルの一実施例のカソード電極部分を示す断面図、第２図は従来のカソード電極の構造を示す断面図、第３図は本実施例のガス放電型表示パネルの斜視図、第４図は本実施例の表示パネルを製造する工程を示すフ
ローチャート、第５図は本実施例の効果を確認するための実験結果（Ｈ
ｇを封入させた場合）を示すグラフ、第６図は本実施例
の効果を確認するための実験結果（Ｈｇを封入しない場
合）を示すグラフである。１・・・背面ガラス、２・・・カソード電極、３・・・隔壁、４・・・前面ガラス、５・・・アノード電極、６・・・下地電極、７・・・上地電極。

Claims

【特許請求の範囲】絶縁基板と、上記絶縁基板上に形成されたカソード電極とを有するガ
ス放電型表示パネルにおいて、上記カソード電極が、金属を含む下地電極と、この下地
電極上に形成されたＳｉＯ＿２を含む上地電極とを有す
ることを特徴とするガス放電型表示パネル。