JPH0311726A - ウエハの周辺部露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、半導体ウェハやセラミックスウェハなとのウ
ェハの表面に塗布されたフォトレジストのうちウェハ周
辺部のフォトレジストを除去するためにウェハ周辺部を
露光するウェハの周辺部露光装置に関する。

〈従来の技術〉 フォトレジストが塗布されたウェハを取り扱う際、ウェ
ハ周辺部のフォトレジストが取り扱い装置に付着して飛
散することにより、ウェハ表面や取り扱い装置を汚染す
るおそれがあることが知られている。そこで、フォトレ
ジスト、特にポジ型のフォトレジストが塗布されたウェ
ハ表面にパターンを形成する前、あるいは形成した後に
ウェハ周辺部を露光して、その部分のフォトレジストを
除去している。

ウェハの周辺部は円弧部分とオリエンテーションフラッ
トと呼ばれる直線部分とからなっており、前述したウェ
ハ周辺部の露光は、このような円弧部分とオリエンテー
ションフラット部分とからなる全周囲にわたって行われ
る。

このようなウェハの周辺部露光装置として、例えば、特
開昭６０−８０２４１号公報に開示されているような位
置決め装置を用いて、テーブルに吸着保持されて回転駆
動されるウェハのオリエンテーションフラットの両端を
光センサで検知し、そのときのテーブルの回転角度ｐ、
、Ｐ、をそれぞれ求め、（Ｐ１＋Ｐ２　）／２の位置を
基準としてウェハを位置決めし、さらに、ウェハと相値
形でウェハと同期回転する仮カムに沿って、露光用光源
を倣い運動させることによって、前記位置決めされたウ
ェハの円弧部分とオリエンテーションフラット部分とを
ほぼ同じ幅で露光させるような装置がある。

また、特開昭６１−２７６２２９号公報に開示されてい
るような位置検出装置を用いて、テーブルに吸着保持さ
れたウェハの回転角度を検出し、この角度検出信号に同
期して１次元イメージセンサを走査することにより、ウ
ェハの外周の離散的な位置情報を得、さらに、この位置
情報に基づいて露光用光源を変位させることによって前
者の装置と同様にウェハ周辺を露光することも考えられ
る。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した従来装置には次のような問題点
がある。

前者の露光装置によれば、テーブルにウェハが偏心して
載置されたり、ウェハに２箇所以上のオリエンテーショ
ンフラットが形成されていたような場合に、ウェハを正
しく位置合わせすることができないために、ウェハ周辺
の露光幅が一定にならないという問題点がある。

一方、後者の露光装置によれば、ウェハの全周囲にわた
って位置情報を得られるから、上記のような問題点は解
決されると考えられるが、ウェハの回転角度を検出する
必要があるため、角度検出器としてロークリエンコーダ
やレゾルバなどを備える必要があり、装置が複雑化して
高価になるという別鐸の問題点が生じる。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、比較的に簡単な構成によってウェハ周辺の位置情報
を得て、ウェハ周辺を精度よく露光することができるウ
ェハの周辺部露光装置を提供することを目的としている
。

く課題を解決するための手段〉 本発明は、このような目的を達成するために、次のよう
な構成をとる。

即ち、本発明は、フォトレジストが塗布されたウェハを
回転させつつ、露光ビームで前記ウェハの周辺を露光す
るウェハの周辺部露光装置でありで、 ウェハを回転駆動するウェハ回転駆動手段と、前記ウェ
ハ回転駆動手段を所定の角度でステップ送りする回転駆
動制御手段と、 露光ビームを照射するための光源と、 前記光源とウェハとの位置間係を相対的に変位させる光
源変位手段と、 前記ウェハの周辺位置を検出する一次元イメージ′セン
サと、 前記ステップ送りの停止時に前記一次元イメージセンサ
からの周辺位置データを取り込むタイミングを与えるデ
ータ取り込みタイミング制ｊ１１手段と、 前記取り込まれた周辺位置データを記憶する記憶手段と
、 前記ウェハ回転駆動手段の露光時のステップ送りごとに
、前記記憶手段に記憶されたウェハの周辺位置データに
基づき光源変位手段の変位量を制御する光源変位制御手
段と、 を備えたものである。

く作用〉 本発明の作用は次のとおりである。

ウェハの周辺位置データのサンプリング時において、回
転駆動制御手段からの指令により、ウェハ回転駆動手段
はウェハを所定の角度でステップ送りする。データ取り
込みタイミング制御手段は、一次元イメージセンサから
連続的に出力されている周辺位置データのうち、ステッ
プ送りが停止したときの周辺位置データを取り込むよう
にデータ取り込みタイミングを制御する。取り込まれた
周辺位置データは、各々のステップ角度に対応付けて記
憶手段に記憶される。

露光時において、光源変位制御手段は、回転駆動制御手
段による露光時のステップ送りごとに、記憶手段から各
ステップ角度に対応した周辺位置データを記憶手段から
読み出し、その周辺位置データに基づいて露光用光源の
変位量を算出して光源変位手段を制御する。これにより
、露光用光源がウェハの周辺形状に応じて変位すること
により、ウェハ周辺に沿って露光ビームが照射される。

〈実施例〉 以下、本発明の実施例を凹面に基づいて詳細に説明する
。

第１図は本発明の一寞施例に係るウェハの周辺部露光装
置の概略構成を示したブロック図、第２図はウニ八周辺
露光部の概略構成を示しており、同図（ａ）はテーブル
に！！置されたウェハの平面図、四回（ｂ）は露光部の
側面図である。

第２図において、符号１はウェハＷを吸着保持するテー
ブルであり、このテーブルｌはウェハ回転駆動手段とし
てのパルスモータ２によって回転駆動される。３はウェ
ハの周辺を露光するための露光用光源である。光源３は
、螺軸４に螺合されており、この螺軸４に連結された光
源変位手段としてのパルスモータ５によって、光源３を
ウェハＷの半径方向に変位可能に構成されている。テー
ブルｌを挟んで光源３と対向する位置には、ウェハＷの
周辺位置を検出する一次元イメージセンサとしてのＣＣ
Ｄラインセンサ６が設けられており、ＣＣＤラインセン
サ６の上方には周辺位置検出用の光源７および光学系８
が設けられている。ＣＣＤラインセンサ６は、ウェハＷ
がテーブルｌにそれぞれの中心が一致するように！！２
置さ九た時に、ウェハＷの円弧部端縁がＣＣＤラインセ
ンサ６の有効画素領域の中央になるように配置されてい
る。

第１図を参照する。ＣＣＤラインセンサ６はＣＣＤ駆動
回路９によって、パルスモータ２の回転とは無関係（非
同期）に連続的にウェハＷの周辺位置を検出しており、
その検出信号は信号処理回路１０に逐次与えられる。Ｃ
ＣＤラインセンサ６からの検出信号に基づき、信号処理
回路１０は光［７からの照射光を受光したＣＣＤライン
センサ６の画素数に比例したアナログ信号を出力する。

このアナログ信号はＡ／Ｄ変換器１１に与えられる。デ
ータ取り込みタイミング制御手段としての機能を備えた
Ｃ　Ｐ　Ｕ１２は、Ａ／Ｄ変換器１１にデータ取り込み
タイミング信号を与え、このタイミング信号に基づいて
前記入力アナログ信号がデジタル信号に変換される。こ
のデジタル信号はウェハＷの周辺位置データとしてＣＰ
Ｕ１２を介してＲＡＭ１３に記憶される。

ＣＰＵ１２、パルス発生回路１４およびカウンタ１６は
、パルスモータ２のステップ送りを制御する回転駆動制
御手段に対応し、パルス発生回路１４はＣＰＬＪ１２か
ら与えられた回転数データに基づき、パルスモータ駆動
回路１５に所要個数のパルス信号を出力する。カウンタ
１６は、ＣＰＵ１２がら前記回転数データをプリセット
信号として与えられるプログラマブルカウンタで、パル
ス発生回路］４が回転数データに対応した個数のパルス
信号を出力したときに、カウントアツプ信号をＣＰ　Ｕ
１２に出力する。

ＣＰＵ１２およびパルス発生回路１７は、露光用光Ｓ３
の変位量を制御する光源変位制御手段に相当し、パルス
発生回路１７はＣＰＵ１２から与えられた露光時の回転
数データに基づき、パルスモータ駆動回路１８を介して
パルスモータ５を駆動制御する。

次に、第３図に示したフローチャートを参照して、ウェ
ハＷの周辺位置データのサンプリング処理手順を説明す
る。

テーブルｌにウェハＷがセットされると、ＣＰｔＪ１２
はＡ／Ｄ変換器１１に対して、周辺位置データの取り込
みタイミング信号を出力する。これによリ、θアドレス
が０°のサンプリング点、即ち、ＣＣＤラインセンサ６
に最初に対向していた点の周辺位置データがＣＰＵ１２
を介してＲＡＭ１３に記憶される（ステップＳｌ）。

最初の周辺位置データが取り込まれると、ＣＰＵ１２は
、データサンプリング用のステップ送り角度（例えば、
９°）に対応した回転数データをパルス発生回路１４に
与えるとともに、この回転数データをカウンタ１６にプ
リセットする。これによりパルス発生回路１４から回転
数データに対応した個数のパルス信号が出力されてパル
スモータ２が駆動される結果、ウェハＷが所定角度だけ
ステップ送りされる（ステップＳ２）。

設定された数のパルス信号が出力されると、カウンタ１
６はＣＰ　Ｕ１２に対してカウントアツプ信号を出力す
る。ＣＰＵ１２は、このカウントアツプ信号に基づいて
、パルスモータ２が停止したかどうかを判断する（ステ
ップＳ３）。

パルスモータ２が停止すると、ＣＰＵ１２はＡ／Ｄ変換
器１１にデータ取り込みタイミング信号を出力して、次
のサンプリング点の周辺位置データを取り込み、これを
ＲＡＭ１３に記憶する（ステップＳ４）。

周辺値１データが取り込まれると、ＣＰＵ１２はウェハ
の全周囲の周辺位置データの取り込みが完了したかどう
か、即ち、パルスモータ２が３６０゜回転駆動されたか
どうかを判断しくステップＳ５）、完了していなければ
、前記ステップＳ２ないしステップＳ４の動作を繰り返
す。

以上のようにして、ウェハＷの全周囲にわたる離散的な
周辺位置データが採取される。第５図は採取された周辺
位置データを示している。ウェハＷはテーブルｌの中心
に対して多少偏心して載置されるのが普通であるから、
周辺位置データは基準位置（ウェハ中心とテーブル中心
とが一致しているときのウェハ円弧部の周辺位置データ
）を中心に滑らかに変化している。また、第５図中のへ
領域はオリエンテーションフラット部分の周辺位置デー
タを示している。

ウェハＷの全周囲の周辺位置データの採取が完了すると
、本実施例では離散的な各周辺位置データ間の補間処理
を行っている（ステップＳ６）。

データサンプリング時のステップ送り角度を十分小さく
設定すれば、補間処理を特に行う必要はないが、データ
採取に要する時間を短縮するために、前記ステップ送り
角度を少し大きく設定した場合には、ウェハ周辺に沿っ
た露光ビームのトレースを滑らかに行うためにデータの
補間処理を行うのが好ましい。

補間処理の方法は特に限定されないが、本実施例ではウ
ェハＷの円弧部の周辺位置データについては、第６図に
拡大して示すように、隣接するサンプリング点間を例え
ば１０等分する補間点（図中、×印で示す）を設定し、
各補間点の周辺位置データを直線補間によって算出して
いる。

オリエンテーションフラットの端部近傍のサンプリング
点間も直線補間によって処理してもよいが、そうすると
オリエンテーションフラット端部の露光幅が他の部分に
比較して幅広になるため、本実施例では、これらのサン
プリング点間を次のように補間している。

第７図（ａ）は、第５図に示した周辺位置データをのう
ちオリエンテーションフラット部近傍の周辺位置データ
を拡大して示したものである６図中、破線は直線補間に
よって得られた周辺位置データのプロフィール、鎖線は
実際のウェハ周辺を示すプロフィールである。同図より
明らかなように、オリエンテーションフラット端部にお
いて、直線捕間のプロフィールと実際のウェハ周辺のプ
ロフィールとの誤差が相当大きくなっている。この誤差
のために、直線補間によるとオリエンテーションフラッ
ト端部の露光幅は、第７図（Ｃ）に示したＢ領域の分だ
け、他の部分の露光領域（斜線で示す）よりも太くなる
。

そこで、第７図（ｂ）に拡大して示すように、オリエン
テーションフラットの端部をその間に挟んだ、例えばサ
ンプリング点Ｐ、とＰ、。１間の補間にあたっては、周
辺位置データＰ、からオリエンテーションフラット端部
Ｆ１に対応する補間点ｒ１に至る各補間点のデータを、
サンプリング点Ｐ、の周辺位置データに等しく設定し、
補間点ｒ１からサンプリング点Ｐ１．．までは直線捕間
によって周辺位置データを算出している。他方のオリエ
ンテーションフラット端部Ｆ８についても同様の補間処
理を行っている。

このような処理において、補間点ｆｌ、ｆｘを決定する
ために、オリエンテーションフラットの端部位置Ｆ＋、
Ｆｚは次のようにして算出される。

以下、第８図を参照して説明する。第８図はテーブルｌ
に載置されたウェハＷのを示しており、図中、ＯＨはウ
ェハ中心、０はテーブル中心、Ｐ。

〜Ｐ□、はオリエンテーションフラット部周辺のサンプ
リング点、θ、〜θ１や、は各サンプリング点の回転角
度に対応するθアドレスを示している。

本実施例では、テーブル中心Ｏからオリエンテーション
フラットに下した垂線σ頁を基準線とし、この基準線か
らの開き角ｒ＋＋　　γ２によってオリエンテーション
フラットの端部Ｆ＋、Ｆｚの位１をそれぞれ表している
。そこで、まず前記基準線の位置が次のようにして算出
される。

〔１〕基準線の位置算出処理 ■　まず、採取した周辺位置データの中から、最大の周
辺位置データを持ったサンプリング点を探し出す０周辺
位置データは、ＣＣＤラインセンサ６が広範囲にわたっ
て受光するほど大きくなるので、最大の周辺位置データ
を持ったサンプリング点は、ウェハＷが極端に偏心して
テーブル１に＠置されていない限り、オリエンテーショ
ンフラット部に含まれる。ここではθアドレスがθ１．
４のサンプリング点Ｐ１．．が検出されたとする。

■　次に、前記サンプリングＰ１．．を挟むサンプリン
グ点でオリエンテーションフラ・ノドの中にあるサンプ
リング点を適当に選択する。これは、最大周辺位置デー
タをもつサンプリング点のθアドレスに対し予め定めら
れたステップ角だけ離れたサンプリング点を選択するこ
とによって決定される。ここでは、Ｐ、。４から２ステ
ツプ角だけ離れたθ１．およびθ１１４＆の各サンプリ
ング点Ｐ。・２およびＰ　１１６＆が選ばれたとする。

■　丁子、、２と「乙、、の開き角をαとすると、基準
線区の長さは次式で表される。

σて＝？Ｔ”Ｐ、、、　Ｃｏ５８　＝ｒＬ、＆ｃｏｓ　
　（ｃｘ　−８）・・・・・・（１） σ７ａ＋ｔ＋　σ下、１は、テーブル中心からＣＣＤラ
インセンサ６の中央位置までの距離り、から各サンプリ
ング点Ｐ、や２およびＰ、、、の周辺位置データＤ　＋
ｓ＋ｆ　＋　　Ｄ＠ｈｈ、をそれぞれ差し引くことによ
って容易に求まり、αはθ１．ｈ−〇、。８で与えられ
る。また、βは、サンプリングＰ□茸のθアドレス０．
１に対する基準線区の開き角を示している。

上式（１）より、基準線の位置βを算出するための次式
（２）が得られる。

・・・・・・（２） 〔２〕オリエンテーシツンフラツトの端部位置算出処理 上記［１］のようにして算出された基準線に対するオリ
エンテーションフラットの端部Ｆ、、Ｆｌの位置γ１．
γ２が次のようにして算出される。

■　前記（１）■において選び出された最大周辺位置デ
ータを示すサンプリング点Ｐ１．４の近傍において、周
辺位置データの変化率が最も大きな値を示すサンプリン
グ点を選択する０周辺位置データの変化率が最も大きく
なるのは、オリエンチーシランフラット端部Ｆ＋、Ｆｇ
を挟んだサンプリング点間であり、ここではθアドレス
がθ、のサンプリング点Ｐ、と、θアドレスがθ１．．
のサンプリング点Ｐ０．．が選択されたとする。

■　　１．　　！＝ｔｎ、　　、　？ｌｒ、　　’ｉｎ
、、、　　と近（以することができるから、基準線Ｑに
対するσＴ１の開き角Ｔ１は次式（３）により、基準線
σてに対するｒｌの開き角γ２は次式（４）により、そ
れぞれ算出することができる。

以上のようにして求められたオリエンテーシジンフラッ
トの端部Ｆ、、Ｆ、の位置から、Ｆｌ。

Ｆ８に最も近い補間点ｆ＋’、ｆｚが決定される。

次に、第４図に示したフローチャートを参照して、ウェ
ハＷの周辺露光処理について説明する。

周辺位置データのサンプリングのために、ウェハＷが１
回転することにより、ウェハＷは最初のセツティングに
戻っている。サンプリング点のθアドレスの基準である
ＣＣＤラインセンサ６の設置位置に対向して光源３が設
置されているので、露光処理のためにθアドレスが１８
０°のサンプリング点の周辺位置データが最初に読み出
される。

第２図（ａ）に示すように、露光用光ｆｉ３の基準位置
Ｃとテーブル１の中心０との距ｊ！ｌｌｔ、、は予め設
定されているので、光源３を、基準位置Ｃから距離り、
−Ｌ、と、予め設定された露光幅だけ駆動する。そして
、θアドレスが１８０＠のサンプリング点の周辺位置デ
ータに基づいて、露光位置を修正する。

ＣＰＵ１２は、上記のようにして求められた露光位置に
光源３を変位させるための回転数データをパルス発生回
路１７に出力する（ステップＮ１）。

光′ａ３の最初の位置設定が終わると、ＣＰＵ１２は、
θアドレスが１８０　”の露光開始点から、０．９″だ
けウェハＷを回転させるための回転数データをパルス発
生回路１４に出力するとともに、その回転数データをカ
ウンタ１６にプリッセトする。これにより、パルス発生
回路１４から回転数データに対応する個数のパルス信号
が出力されてウェハＷが０．９°だけ回転変位される（
ステップＮ２）。

ウェハＷが０．９６６回転て、カウンタ１６がカウント
アツプすると、ＣＰＵ１２は、θアドレスが１８０　＋
０．９°の捕間点の周辺位置データをＲＡＭ１３から読
み出し、このデータに対応する回転数データをパルス発
生回路１７に出力することにより、光源３の位置を新た
に設定する（ステップＮ３）。

そして、予め指定された領域の露光が完了したかどうか
を判断しくステップＮ４）、完了していなければ、前記
ステップＮ２〜Ｎ３の露光処理を繰り返し行う。

指定領域の周辺露光が完了すると光′ａ３をＯＦＦ状態
にして基準位置Ｃに戻す（ステップＮ５）。

以上の処理によってウェハＷの周辺露光は完了するが、
本実施例では、上記の処理中にウェハ回転駆動用のパル
スモータ２が脱調したり、ウエノ１Ｗのセツティング位
置がずれなかったかどうかを判断するために、ステップ
Ｎ６〜Ｎ８の処理を行っている。

即ち、周辺露光の終わったウェハＷを、周辺位置データ
のサンプリング開始点に設定し、その位置の周辺位置デ
ータを再びサンプリングする（ステップＮ６）、そして
、最初に一サンプリングした周辺位置データと今回の周
辺位置データとを比較し、その誤差が許容範囲内に入っ
ているかどうかを判断する（ステップＮ７）、許容範囲
に入っていなければ、ウェハＷは正しく周辺露光されな
かったものと判断して、エラー表示を行ってオペレータ
に注意を促す（ステップＮ８）。

なお、上述の実施例では、光源３とウェハＷとの位置関
係を相対的に変位させる光源変位手段として、光源３を
テーブル１の中心に向けて駆動させる機構を用いたが、
光源３を固定して、テーブル１を水平変位させるように
構成してもよい。

また、前記光源変位手段は、光Ｂ３を上述の実施例のよ
うに１軸方向にのみ変位させるものに限らず、直交２軸
に独立して水平変位させるように構成してもよい、この
ような光源変位手段によれば、ウェハ周辺の円弧部を露
光する場合には、実施・例で説明したように光／ＩＲ３
をテーブル１の中心に向けて変位させる駆動機構を使用
し、ウエノ１のオリエンテーションフラ・ット部を直線
状に露光する場合には、前記駆動機構に対して直交する
方向に光源を変位させるもう一つの駆動機構を使用する
ことによって、オリエンチーシロンフラットの端部を一
層精度よく露光することができる。

さらに、実施例ではウェハＷの周辺を一定幅で露光する
場合を例に採って説明したが、例えば、ウェハ周辺の所
定個所の露光幅を他の部分に比較して幅広に露光するよ
うな場合にも適用することができる。

〈発明の効果〉 本発明によれば、一次元イメージセンサによってウェハ
の周辺位置データを採取し、この周辺位置データに基づ
いて露光用光源の変位量を決定しているから、ウェハが
テーブルに偏心してｉｔされたり、ウェハに２箇所以上
のオリエンテーションフラットあっても、ウェハ周辺を
正確に露光することができる。

また、本発明に係ろウェハの周辺部露光装置は、一次元
イメージセンサを連続的に自走させ、ウェハのステップ
送りが停止したときに、前記一次元イメージセンサから
周辺位置データを採取するようにしてい６ので、ウェハ
の回転角度に同期して一次元イメージセンサを走査する
従来装置において必要とされたテーブルの回転角度を検
出するためのロータリエンコーダやレゾルバなどの角度
検出器が不要になり、装置を簡単かつ安価に構成するこ
とができる。

さらに、本発明によれば、ウェハが停止しているときに
一次元イメージセンサからの信号を取り込むようにして
いるから、例えば、ＭＯＳイメージセンサのように各画
素を走査することによって順に光検出を行うようなセン
サ、つまり全画素の光検出に相当の時間を要するような
センサを使用しても、ウェハの周辺位置データを正確に
読み取ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第８図は本発明の一実施例の説明図であり
、第１図はウェハの周辺部露光装置の概略構成を示した
ブロック図、第２図は露光部の構成図、第３図は周辺位
置データのサンプリング処理の手順を示したフローチャ
ート、第４図は露光処理の手順を示したフローチャート
、第５図はサンプリングされた周辺位置データの説明図
、第６図は直線補間処理の説明図、第７図はオリエンテ
ーションフラット部の補間処理の説明図、第８図はオリ
エンテーションフラット端部の検出処理の説明図である
。 １・・・テーブル ２・・・ウェハ回転駆動用のパルスモータ３・・・光源 ５・・・光源変位用のパルスモータ ６・・・ＣＣＤラインセンサ ９・・・ＣＣＤ駆動回路 ｌＯ・・・信号処理回路 １１・・・Ａ／Ｄ変換器 １２・・・ＣＰＵ １３・・・ＲＡＭ １４、１７・・・パルス発生回路 １５・・・パルスモータ駆動回路 １６・・・カウンタ １８・・・パルスモータ駆動回路 Ｗ・・・ウェハ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）フォトレジストが塗布されたウェハを回転させつ
   つ、露光ビームで前記ウェハの周辺を露光するウェハの
   周辺部露光装置であって、 ウェハを回転駆動するウェハ回転駆動手段と、前記ウェ
   ハ回転駆動手段を所定の角度でステップ送りする回転駆
   動制御手段と、 露光ビームを照射するための光源と、 前記光源とウェハとの位置関係を相対的に変位させる光
   源変位手段と、 前記ウェハの周辺位置を検出する一次元イメージセンサ
   と、 前記ステップ送りの停止時に前記一次元イメージセンサ
   からの周辺位置データを取り込むタイミングを与えるデ
   ータ取り込みタイミング制御手段と、 前記取り込まれた周辺位置データを記憶する記憶手段と
   、 前記ウェハ回転駆動手段の露光時のステップ送りにごと
   に、前記記憶手段に記憶されたウェハの周辺位置データ
   に基づき光源変位手段の変位量を制御する光源変位制御
   手段と、 を備えたことを特徴とするウェハの周辺部露光装置。