JPH0311902Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はレーザ加工機のさらに詳しくはレーザ
ビームオシレート装置の改良に関するものであ
る。

〔従来技術〕

第３図は従来のレーザ加工機の加工ヘツドの要
部断面図、第４図はその一部拡大図である。１は
レーザ発振器、２はレーザビーム、３は集光レン
ズ、４はミラーＡ、５はミラーＢ、６はミラーＢ
５の振動機、７はケーシング、８はノズル、９は
被加工物、１０はミラーホルダー、１１はねじＡ
である。

従来のレーザ加工機の加工ヘツドは以上のよう
に構成され、加工に当つては振動機６によりミラ
ーＢ５を矢印方向に振動させることにより、レー
ザビームの先端を10mm位の巾で振動させ、レーザ
ビームによる加熱帯にある程度の巾を持たせてい
る。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ところで上述のレーザ加工機で熱処理など行な
う場合は、その出力も２〜5kwと比較的大出力の
レーザビームを使用するので、それを受けるミラ
ー４，５の熱吸収も大きく、したがつて加熱され
て温度上昇を招きそれによる障害を発生する。特
に高速度で振動するミラーＢ５は振動に備えて軽
量化を計る目的で材質にシリコンを選択している
ため、前記熱吸収によりミラーＢ５の破損を生じ
たり、あるいはミラーＢ５をミラーホルダ１０に
固着する接着剤が剥がれたりするトラブルが生
じ、問題となつていた。

又ミラーＢ５とミラーホルダ１０とよりなる振
動ミラーの固有振動機が150Hz付近にあるため、
振動数を150Hz近くまで上げると共振を生じ、ミ
ラー破損の恐れがあるため振動数を150Hz以上に
は上げられないという制約をもうけていた。

本考案は上述の従来のレーザビームオシレート
装置の耐熱上の弱点を改善するとともに、振動ミ
ラーの固有振動数を高めて利用振動数帯域を拡大
することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案に係るレーザビームオシレート装置
は、ミラーを固着した面の反対側に放熱フインを
備えると共に、端部を中空円筒状に形成してなる
ミラーホルダーと、ミラー振動機を装着した壁面
と対向する壁面に装着され、内部に凹部を形成す
ると共に、その凹部につながる導水孔及び排水口
を有するチヤンバーとを備えている。

そして、前記ミラーホルダーの中空円筒状に形
成した端部を、ゴム製ガスケツトを介して、前記
チヤンバーの凹部に回転自在に嵌挿して冷却水室
を形成したものである。

〔作用〕

この考案においては、ミラーホルダーに備えら
れた放熱フインが熱を放散させると同時に、ミラ
ーホルダーの端部とチヤンバーの凹部とで形成さ
れた冷却水室に冷却水を給水すると、その冷却水
は導水孔を経て冷却水室に流れ、レーザビームの
熱を吸収して排水口に排出される。

また、高速度で振動しているミラーホルダーの
端部は、弾力性を有したゴム製ガスケツトを介し
てチヤンバーに支持されているので、ミラーを含
む振動ミラーの固有振動数が高くなる。

〔考案の実施例〕

第１図および第２図は本考案の実施例を示すレ
ーザビームオシレート装置の断面図およびその一
部拡大図である。図において５はミラーＢ、６は
ミラー振動機、７はケーシング、１１はねじＡ、
１２はミラーホルダー、１３は抑え金、１４はね
じＢ、１５は放熱フイン、１６はチヤンバー、１
７は冷却水室、１８はゴム製ガスケツト、１９は
冷却水である。

図においてミラーＢ５は接着剤を使用せずに押
え金１３とねじＢ１４でミラーホルダー１２に固
着されている。ミラーホルダー１２の端部は、ケ
ーシング７の壁面に装着されたチヤンバー１６の
凹部に、ゴム製ガスケツト１８を介して回転自在
に嵌挿され、冷却水室１７を形成している。そし
て、この冷却水室１７に冷却水を循環せしめる
と、ミラーホルダー１２のミラーＢ５の反対側に
設けられた放熱フイン１５の放熱効果と相俟つて
ミラーホルダー１２およびミラーは冷却され、温
度上昇は防止される。又ミラーホルダーの端部は
ゴム製ガスケツト１８で弾力的に支持され、ミラ
ーＢ５とミラーホルダー１２よりなる振動ミラー
の固有振動数は高くなり、その結果レーザビーム
オシレート装置の利用振動数帯域は拡大されるこ
ととなる。

〔考案の効果〕

本考案はレーザビームオシレート装置におい
て、ミラーホルダーに放熱フインを備えるととも
に、内部に凹部を形成するチヤンバーをケーシン
グに装着し、ミラーホルダーの端部をゴム製ガス
ケツトを介して該チヤンバーに嵌挿して、冷却水
室を構成し冷却水を循環させるようにしたので、
ミラーホルダーおよびミラーの過熱を防ぎ、熱に
よる破損等を防止できるようになつた。又ミラー
ホルダーの端部はゴム製ガスケツトを介してチヤ
ンバーに支持されるので、ミラーおよびミラーホ
ルダーよりなる振動ミラーの固有振動数は従来の
150Hzから300Hzに上り、このためレーザビームオ
シレート装置の利用振動数帯域は大巾に拡大され
ることとなつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示すレーザビームオ
シレート装置の断面図、第２図はそのミラーホル
ダーの拡大図である。第３図は従来のレーザ加工
機の加工ヘツドの要部断面図、第４図はその一部
拡大図である。図中５はミラーＢ、６は振動機、
７はケーシング、１１はねじＡ、１２はミラーホ
ルダー、１３は押え金、１４はねじＢ、１５は放
熱フイン、１６はチヤンバー、１７は冷却水室、
１８はゴム製ガスケツト、１９は冷却水である。
なお図中同一符号は同一又は相当部分を示すもの
とする。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 レーザ加工機のレーザビームオシレート装置に
   おいて、 ミラーを固着した面の反対側に放熱フインを備
   えると共に、端部を中空円筒状に形成してなるミ
   ラーホルダーと、ミラー振動機を装着した壁面と
   対向する壁面に装着され、内部に凹部を形成する
   と共に、該凹部につながる導水孔及び排水口を有
   するチヤンバーとを備え、前記ミラーホルダーの
   中空円筒状に形成した端部をゴム製ガスケツトを
   介して、前記チヤンバーの凹部に回転自在に嵌挿
   して冷却水室を形成したことを特徴とするレーザ
   ビームオシレート装置。