JPS6037626B2 - レ−ザ管におけるレ−ザ光導入、導出用窓 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はしーザ装置においてレーザ管の端部に取付け
られるレーザ光導入、導出用の窓に関する。

レーザ管は内部にレーザ煤質を封入するために、また励
起用レーザ光をレーザ管内導入しもし〈はそこで発生し
たレーザ光を取出すために、その端部をレーザ光導入、
導出用の透過窓でふさいでいる。

この透過窓は内部銭形のように共振器を構成するミラー
自身で兼用したものもあるが、それ以外の形式のもので
は損失を最小限におさえるためＫＣＩなどの結晶板で作
られている。一方、レーザ管に封入するしーザ媒質は発
振を起こさせるために一定の低い温度に保たなければな
らない。

この温度はしーザ煤質によっては極低温となることもあ
る。例えば１０．６ｒｍの波長のＣ０２レーザ光を日２
に当てて譲導ラマン効果を生じさせて１６仏ｍのレーザ
光を取出すラマンレーザ装置においてはしーザ煤質であ
る日２の温度を−１７３℃もの極低温にしなければなら
ない。ところが、上述のＫＣＩなどの結晶板は低温に弱
く、このような−１７３００もの極低温にさらされると
割れてしまい使いものにならなくなってしまつ。

この発明はこのような点に鑑みてなされたもので、ＫＣ
Ｉなどの結晶板で作られた透過窓の手前にポリエチレン
などの薄膜でできたレーザ光の損失が少ない仕切りを設
けることにより、極低温のレーザ煤質が結晶板に直俵当
たらないようにして、その結晶板の割れを防止するよう
にしたレーザ管のレーザ光導入、導出用透過窓を提供す
るものである。

以下この発明の実施例を添付図面を参照して説明する。

ここではラマンレーザ装置にこの発明を適用した場合に
ついて説明する。ラマンレーザ装置はラマン効果を利用
したもので、Ｃ０２レーザなどの強いレーザ光をラマン
効果を起こす水素などの物質に照射することにより、も
とのＣ０２レーザ光とは異なった波長のし，ザ光を取出
す装置である。単一のレーザ装鷹では得られない波長の
し−ザ光を得るのに用いられ、例えばラウン分離に利用
することができる。ラマンレーザ装置では発振レベルに
達するパワー利得を得るために必要な相互作用長は数百
川となり大型化してまうので、以下の実施例では励起用
Ｃ０２レーザ光を２枚のミラー間に複数回往復させて総
合的に長い相互作用長を保護するマルチパス方式を採用
している。

第１図のラマンレーザ装置は全体が架台（図示せず）の
上に載せられて水平に支持されている。

第１図は、このレーザ装置の内部をその側面から見たも
のである。第１図のラマンレーザ装置は大きく分けて外
筒１と、外筒１内に収容された内筒２と、内筒２内に収
容された光学系（光共振器）３とで構成されている。

この発明は内筒２におけるレーザ光導入用窓４６としー
ザ光導出用窓４８をそれぞれ適用されている。外筒１と
内筒２の間は真空に保持され、内筒２を外部から断熱し
ている。内筒２内にはしーザ煤質として水素が低温度（
約一１７３つ○）で充填されている。励起用の１０．６
ムｍの波長を持つＣ０２レーザ光は外筒１のビーム入射
ボート２０から入射され、内筒２のビーム入射ボート４
６を通ってジンバルュニット１０１に保持されたミラー
１３４の孔から光学系３内に入射される。このレーザ光
は右側のジンバルュニツト１００に保持されたミラー１
１０との間で所定回数反射往復して誘導ラマン効果を生
じさせ、１６り肌の波長のレーザ光に変換されて右側の
ミラー１１０の関口部から内筒２のビーム出力ボート４
８および外筒１のビーム出力ボート２５を通って外部に
取出される。光学系３は全体がダクト１５０で囲まれて
おり、その内部のレーザ煤質（日２）はサーキュレーシ
ョンフアン１５２によって左側のジンバルュニット１０
１のすき間からダクト１５０の外側を通り更に右側のジ
ンバルュニット１００のすき間から光学系３内に戻る矢
印Ａの通路を通って循環される。ダクト１５０のまわり
の空間には冷却液（例えば、液体窒素）が流れているヘ
リカルコィル１６０が配設されており、循環されるしー
ザ媒質はここで冷却される。両方のミラー１１０，１３
４はし−ザ媒質の循環経路内に置かれているのでレーザ
煤費目身によって冷却される。ミラー１１０，１３４に
は放熱用フィン１１５が取付けられ冷却効果を高めてい
る。次に第１図装置の各部の詳細について説明する。

外筒１は円筒状の外壁４と、その左右雨開放端にそれぞ
れ装着された蓋５，６とで構成される。

外壁４には第１図では省略した中央部の下部に真空排気
ボート７，８が取付けられている（第３図参照）。また
、外壁４の左右両端部の底部付近には内筒２を外筒１内
の空間に持ち上げて外筒１と内筒２の軸を一致させるジ
ャッキアップスクリューがそれぞれ２本ずつ（ジャッキ
アップスクリュー９と１０および１１と１２）外筒１の
中心軸方向に向けてハの字型に設けられている（第２図
および第３図参照）。右側のジャッキアップスクリュー
９，１０はジャッキアップ操作するためのハンドル１３
と、ハンドル１３の先に取付けられてハンドル１３の回
転により伸縮して内筒２を支持するサポートロッド１４
が取付けられている。

左側のジャッキアップスクリュー１１，１２もハンドル
１５とサポートロッド１６とで構成されている。サポー
トロッド１４，１６はテフロン等の熱を伝えにくい材質
で作られている。外筒１の左端の蓋５はＶ型カップリン
グ１７（第２図）によって外壁４に着脱可能に取付けら
れている。

この蓋５には１０．６山肌の波長を持つ励起用Ｃ０２レ
ーザ光を入射するビーム入射ボート２０が取付けられて
いる。ビーム入射ボート２川ま第１図を左側から見た第
２図に示すように外筒１の中心軸からずれた位置に配設
されている。これはマルチパス法を利用するためである
。蓋５，６の中央部には外筒１と内筒２の中心軸を一致
させる調整操作に利用するＨｅ−Ｎｅビームの入射ボー
ト２１，２７が取付けられている。また、その下にはこ
の調整操作においてＨｅ−Ｎｅビームの照射位置をのぞ
くためのアジャストビューポート２２，２８が取付けら
れている。更にその下には内部の温度検出用に用いられ
る熱電対の端子を引出すためのハーメチツクシールポー
ト２３，２４が取付けられている。外筒１の右端の蓋６
はＶ型カップリング（図示せず）により外壁４に着脱可
能に取付けられている。

この蓋６には誘導ラマン効果により発生した１６仏のの
波長を持つレーザ光を検出するためのビーム出力ボート
２５が取付けられている。出力ボート２５はマルチパス
法による出力を取出すため、蓋６の中央部よりずれた位
置に取付けられている。更にその上には内筒２に取付け
られたアジャストマィクロメータ４９を操作するための
ドライブシャフト３０が取付けられている。蓋６の下部
には内筒２内に収容される冷却用のへりカルコィル３１
を外部に引出すためのィンシュレーションポート３２が
取付けられている。蓋６の内側には内筒２の右端部を外
筒１に固定するための固定ロッド３３が取付けられてい
る。この固定ロッド３３は第１図のレーザ装置を蓋６を
外して描いた第３図に示すように実際には左右に２本ず
つ設けられているが、第１図では説明の都合上上部位直
に示している。なお固定ロッド３３の詳細については後
述する。内筒２は円筒状の外壁４０とその左右開放端に
Ｖ−Ｓカップリング１８（第３図）によってそれぞれ着
脱可能に取付けられた蓋４１，４２とで構成されている
。

外壁４０の左右端付近の下部には前記サポートロッド１
４，１６を受ける支持台（受け台）４３，４４がそれぞ
れ形成されている。左側のサポートロッド受け台４４は
第４図の底面図に示すように長円形の凹状に形成されて
おり、そこにサポートロッド１６が単に当接した状態に
置かれている。

しかがって、内筒２を冷却した場合、サポートロッド１
６の先端はサポ−トロッド当後部４４の長円形の凹状を
長手方向にスライドする。内筒２の右端部を外筒１に固
定するための内筒固定ロッド３３は、取付部材５２を介
して外筒１の蓋６の内側において、外筒１の軸に平行に
取付けられている。

内筒固定ロッド３３の先端には内筒２にクランプするク
ランプ機構５３がロッド３３に対し回転自在に取付けら
れている。クランプ機構５３の外周にはそれを軸方向か
ら見た第５図に示すように、一部が切欠かれた形状の円
板５４が形成されている。一方、第１図に示すように内
筒２の右端部にはこのクランプ機構５３の円板５４がク
ランプして内筒２の右端部を外筒１に固定するための部
村５５が取付けられている。この部村５５は第６図に示
すように円板５４が係合する溝５６を有している。ここ
では固定ロッド３３は第３図に示すように２本ずつ組に
して用いるため、溝５６は縦に２本形成されている。円
板５３を溝５６にクランプする場合は第７図ａのように
、円板５４の切欠き５４ａを部材５５の側に向．けた姿
勢で円板５４の位置を溝５６位置まで進ませ、続いて第
７図ｂに示すように円板５３を半回転させればよい。第
３図には左右に２個づつ設けられた円板５４を部材５５
にそれぞれクランプすることによって、内筒２の左右を
固定ロッド３３で固定した状態が示されている。なお、
部材５５の溝５６を円板５４よりもやや大きな半径を設
定することにより、これらの間に遊びを設けている。こ
れはクランプした状態でも内節１が上下に若干動けるよ
うにして、ジャッキアップスクリュー９〜１２による軸
合わせ操作を可能にするためである。ところで第３図に
おいて内筒２の外壁面左右にそれぞれ取付けられたｏー
ラ３５，３６は内筒２全体を外筒１内から引出し、ある
いは収容する際に利用するものである。

外筒１の内壁面にはこのローラ３５，３６が走行するた
めのレール１７，１８が外筒１の髄と平行に取付けられ
ている。ジャッキアップスクリュー９〜１２により内筒
２を外筒１内の所定の高さに位置決めした状態ではロー
ラ３５，３６はしール１７，１８から浮いている。第１
図において内筒２の左側の蓋４１はその中央部に軸合わ
せのためのＨｅ−Ｎｅビームボート４５が取付けられて
いる。

下部にはハーメチックシールポート３６，３７が取付け
られている。また、外筒１の蓋５に取付けられたビーム
入射ボート２川こ対応する位置にこの発明を適用したビ
ーム入射ボート４６が取付けられている。ビーム入射ポ
−ト４６には第８図に示すようにレーザ議過窓としてＫ
ＣＩなどの結晶板３８が気密に装着されている。

ＫＣＩ結晶板３８は内筒２内に収容されているレーザ煤
質によって極低温（例えば一１７３０Ｃ）にさらされる
と割れてしまう。そこで、ビーム入射ボート４６におけ
る内筒２内につながる閥口端にポリエチレンなどの薄膜
３９を装着することにより、ＫＣＩ結晶板３８と内筒２
との間を仕切り、更にＫＣＩ結晶板３８の周囲をヒータ
５７で加熱することにより、ＫＣＩ結晶板３８と薄膜３
９とに囲まれた空間が例えば一３０ｑｏ程度になるよう
にしている。なお、ＫＣＩ結晶板３８と薄膜３９とで囲
まれた空間と内筒２の内部との圧力のつり合いを取るた
め、薄膜３９はビーム入射ボート４６のわくに軽く保持
され、矢印で示すようにそれらのすき間を通ってし−ザ
媒質が出入りできるようになっている。第１図において
、内筒２の右側の蓋４２はその中央部に軸合わせのため
のＨｅ−ＮＮｅビームボート４７が取付けられている。

また、外筒１の蓋６に取付けられたビーム出力ボート２
５に対応する位置にビーム出力ボート４８が取付けられ
ている。ビーム出力ボート４８はビーム入力ポ−ト４６
と同様に第８図のように構成されている。また釜の上部
には光学系３における右側のミラー１ １０（ジンバル
ュニット１００内に装着されている）の前後方向の角度
を調節するァジャストマィクロメータ４９が取付けられ
、蓋の中心から右側の位置には、第１図では省略したが
、そのミラー１１０の左右方向の角度を調節するアジャ
ストマィクロメータ５０が取付けられている（第３図参
照〉。アジストマィクロメー夕５０の詳細については後
述する。第１図において内筒２内の底部には光学系３を
載暦するための光学系支持台６０が設置されている。

第９図はこの支持台６０の詳細を示すもので、ａは正面
図、ｂは底面図、ｃは左側面図、ｄは右側面図である。
光学系支持台６０は上板６１とその下面に固設された２
本の補強材６２とを具えている。上板６１の右端部には
光学系３の右端部を固定するためのネジ孔６１ａが開設
されている。また補強材６２の右端部にはこの部分を内
筒２の底面に固定するための平板６３が固着されている
。内筒２の右側の底部には第９図に二点鎖線６６で示す
ような固定台が取付けられている。固定台６６の底面は
内筒２の底面の形状に合わせて円弧状に形成されている
。また、上面には切欠き６６ａが形成され、そこに上記
平板６３が収容されている。平板６３はネジ６４によっ
て固定台６６に取付けられている。これにより光学系支
持台６１の右端部は内筒２に固定される。光学系支持台
６１の左端部にはこの部分を内筒２の底部に摺動可能に
支持するための摺動板６７が取付けられている。

また、内筒２の底部には第９図に二点鎖線６８で示すよ
うな形状の支持台が取付けられている。支持台６８の底
面は内筒２の底面の形状に合わせて円弧状に形成されて
おり、上面には上記沼動板６８を収容して内筒２の鞠方
向に摺動可能に支持する切欠き６８ａが形成されている
。このように内筒２は光学系支持台６１を右端部でのみ
支持するので、内筒２内を冷却した際に内筒２と光学系
支持台６１の収縮の長さが異なっても、光学系支持台６
１の左端部６１は支持台６８上を内筒２の軸方向を摺動
することになり、両端を固定した場合のように内筒２と
支持台６１の間に無理な力がかかることがなく、曲げな
どのくるし、が生じることがない。以上のように設置さ
れた光学系支持台６０上には光学系（光共振器）３が載
層される（第１図）。

光学系３は熱膨張率の小さい４本のィンバーロッド８０
〜８３の両端部を光学系ホルダ８４，８５で正方形に組
んで固定し（第１図では省略した中央部にもホルダが２
箇所程度はめ込まれている）、この光学系ホルダ８４，
８５の外側にミラー１１０，１３４を保持したジンバル
ュニツト１００，１０１をそれぞれ取付けたものである
。光学系ホルダ８４は第１０図に示すように正方形のわ
く８５に、マルチパスされる光線を通すための円形の閉
口部８５ａを開設したものである。

閉口部８５ａの周囲にはジンバルュニット１００（第１
１図）を取付けるためのネジ孔８５ｂが開設されている
。正方形のわく８５の四隅にはィンバーロッド８０〜８
３を固定するための固定部村８６がネジ８７によって取
付けられている。左端部側の光学系ホルダ８５もほぼ同
機に構成されている。ところで下側のィンバーロツド８
２，８３の右端部は第１図に示すように固定部材９０，
９１に通され、これら固定部材９０，９１をネジ９２に
よって前記光学系支持台６０の右端部に開設されたネジ
孔６０ａにしめっける。これにより光学系３の右端部は
光学系支持台６０‘こ固定され、更に内筒２自体に固定
される。なお、光学系ホルダ８４，８５は光学系支持台
６川こ一端固定で静置しているので、内筒全体が冷却さ
れても他端はスライドして、その熱収縮の影響を受けな
い。

第１図においてジンバルュニツト１００，１０１はミラ
ー１１０，１３４を保持してそれらの角度を調整するも
のである。

右側のジンバルュニツト１００は第１１図に示すように
構成されている。第１１図ａは第１図の右方向から見た
図、ｂおよびｃはそれぞれ断面図で示したその平面図お
よび左側面図である。これらの図に示されるように、ジ
ンバルュニツト１００は前記光学系ホルダ８４に取付け
られるアウターリング１０２とミラー１１０の角度を前
後方向に動かすィンナ−リング１０３とミラー１１０を
保持しその角度を左右方向に動かすミラーホールドリン
グ１０４とを具えている。ァウターリング１０２は外周
付近に開設されたネジ孔１０２ａと前記光学系ホルダ８
４に開設されたネジ孔８５ｂ（第１０図）とをネジによ
って留めることにより光学系ホルダ８４に固定される。

ィンナ−リング１０３は左右のピボツト１０５，１０６
によりァウタリング１０２に上下方向に回動可能に取付
けられている。ミラーホールドリング１０４は上下のピ
ポツト１０７，１０８によりィンナリング１０３に対し
左右方向に回動可能に取付けられている。ミラーホール
ドリング１０４の背面にはミラー押えリング１１１がは
め込まれ、そこにミラー１１０がネジ１１２によって取
付けられている。ミラー押えリング１１１にはしーザ光
を取出すための切欠き１１１ａが形成されている。アウ
ターリング１０２の上部には、このァウターリング１０
２を操作するためのェクステンションバー１１３が取付
けられている。ェクステンションバー１１３にはこの操
作をするアジャストマィクロメータ４９（第１図）の先
端が当接する突起１１３ａが形成されている。突起１１
３ａは磁石で作られており、これがアジャストマィクロ
メータ４９の先端に吸着することによりアジャストマィ
クロメータ４９による操作を可能にしている。また、イ
ンナーリング１０４の右の部分には、このインナーリン
グ１０４を操作するためのェクステンションバー１１４
が取付けられている。このエクステンシヨンバー１１４
にもアジャストマィクロメ‐夕５０（第３図）の先端に
吸着して操作される磁石の突起１１４ａが取付けられて
いる。ミラー１１０にはその中心に軸合せ用Ｎｅ一日ｅ
ビームを通すための貫通孔１１０ｅが開設されている。

また、中心から外れた部分にはしーザ光取出し用の孔１
１０ｃが開設されている。また、ミラー１１０の裏面に
は放熱用のフィン１１５が取付けれている。アジャスト
マィクロメータ４９は内筒２の蓋４２に取付けられ、そ
の先端が前記ジンジルュニット１００のェクステンショ
ンバー１１３の磁石１１３ａに当接している。

アジヤストマィクロメータ４９の後端には、外筒１の蓋
６に取付けられたドライブシャフト３０が連結されて、
回転駆動される。これにより、アジヤストマイクロメー
タ４９は伸縮してジンバルュニット１１０の角度を調節
する。なお、アジャストマイクロメータ４９にはべロー
ズ１３０が装着されて気密が保たれている。一方、左側
のジンバル機構１０１は右側のジンバル機構１００と同
様に構成され、アジャスタ１３８によって前後方向の角
度が調節される（第２図では示されていないが、左右方
向の角度を調節するアジャスタも設けられている）。

第１２図は以上のように構成した光学系３の全体は第１
図の右側から見たものである。

ところで光学系３は光学系ホルダ８４，８５に挟まれた
部分がダクト１５０によって取囲まれている。

ダクト１５０は光学系３の軸万向の両端部に関口が形成
されている。光学系ホルダ８５より左端の部分は内筒２
の蓋４１に取付けられダクト１５１で取囲まれている。
ダクト１５０，１５１はジンバルュニツト１０１のすき
間およびミラーに開設された励起用レーザ入射光を通し
てつながっている。ダクト１５１内の空間にその上部に
取付けられたサーキュレーションフアン１５２（第２図
に示すように筒の中心を遜る位置と、そこから左右にそ
れぞれ４５０ずれた位置の３箇所に取付けられている）
を介してダクト１５０，１５１と内筒２の外壁４０との
間に形成された空間１５３に通じている。空間１５３の
右端部はジンバルュニット１００のすき間およびミラー
１１０１こ開設されたレーザ光取出し用孔１１０ｃを通
して光学系３内につながっている。したがってサーキユ
レーションフアン１５２を駆動することによって、光学
系３の内部のレーザ煤質は第１図に矢印Ａで示すように
光学系３の内部からジンバルュニット１０１を通ってダ
クト１５１に導かれ、そこからサーキュレーションフア
ン１５２を介してダクト１５０と内筒２の外壁４０の間
の空間１５３を通って内筒２内の右端部に至り、更にジ
ンバルュニット１００を通って光学系３内に戻る経路に
よって強制循環される。これにより、光学系３内におけ
るレーザ煤質は全体にわたって均一な温度に保たれ、局
部的な密度の違いによる光線のゆらぎなどの現象が防止
される。前記ダクト１５０と内筒４０との間の空間１５
３にはダクト１５０の全体を取巻くように冷却用ヘリカ
ルコィル１６０が配設されている。この冷却用ヘリカル
コィル１６０内には液体、窒素などの冷煤が流されてい
る。したがって光学系３内で熱せられたレーザ煤質は上
記空間を通る間に冷却され、光学系３内に戻される。こ
れによりレーザ煤質は一定の温度（例えば一１７３ｑｏ
）に保たれる。また、左右のジンバルュニット１００，
１０１に保持されたミラー１１０，１３４自体も強制循
環の流れの中に置かれているので、レーザ煤質自身によ
って冷却される。特にミラー１１０，１３４に前述のよ
うに放熱用フィン１１５を取付ければ冷却効率が良くな
る。冷却用ヘリカルコィル１６０は第１３図に示すよう
に光学系３の全体にわたって配設されている。

ここでは内筒２の右端部から内筒２内に導かれ、内筒２
の左端部で折り返して再び右端部から取出されるように
なっている。内筒２の外に引き出された部分は第１図に
示すように連結金具１６２を介してインシュレーション
ポート３２に保持されたパイプ１６３につながれている
。このヘリカルコィル１６川ま左右各端部およびその間
の適宜の箇所において部材１６１に引掛けられて釣り下
げられて、内筒２およびダクト１５０，１５１に対して
は非接触の状態で空間１５３に保持されている。したが
って、内筒２やダクト１５０，１５１に接触してそれら
が局部的に冷却されることがなく、内筒２内全体を熱衝
撃ないこ均一に冷却することができる。また、ヘリカル
ユイル１６０は右端でのみ内部２に固定され、左端部は
単に部材１６１で釣り下げられた状態となっているので
、ヘリカルコィル１６０が伸縮してもその左端は都材１
６１上をスライドするため無理がかからないようになっ
ている。第１図のラマンレーザ装置は以上説明したよう
な構成である。

この装置を駆動できる状態にセットするにはまず、外筒
１および内筒２の蓋５，６，４１，４２をそれぞれ取り
外し、光学系３の位置を調整する。このとき左側のミラ
ー１３４の角度は調整ボルト１３川こより予め調整する
。この調整が終わったら内筒２に蓋４１，４２を装着し
てその内部にしーザ媒質を封入する。続いて外筒１に蓋
５，６を装着して、外筒１と内筒２との間の空気を真空
排気ボート７，８から吸引して、その部分を真空状態に
する。次に左側のＨｅ−Ｎｅビームボート２１からＨｅ
−Ｎｅレーザビームを外筒１の軸上に照射する。

このときアジヤストビユーポート２２からのぞいて、Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザビームが内筒２のＨｅ−Ｎｅビームボー
ト４５の位置を照射するように左側のジャッキアンプス
クリュー１１，１２を調節する。また、右側のＨｅ−Ｎ
ｅビームボート２７からもＨｅ−Ｎｅレーザピームを外
筒１の軸線上に照射し、アジャストビューポート２８か
らのぞいて、内筒２のＨｅ−Ｎｅビームボート４７の位
置を照射するようにジャッキアップスクリュー９，１０
を調整する。このようにして外筒１と内筒２の軸が一致
したら右側のミラー１１０の角度調節を行なう。上記の
藤の調整により外筒１と内筒２の軸が一致すればＨｅ一
ＮｅレーザビームはＨｅ−Ｎｅビームボート２１，４５
を通り、更にミラー１１０の中心に開設された孔１１０
ｅ（第１１図参照）を通って孔のあいていないミラーで
反射された光点が孔１１０ｅにフリンジ模様を写すよう
にアジャストマィクロメータ４９でミラー１１０の前後
方向および左右方向の角度を調整すればよい。ミラー１
１０の角度調整が終ったら冷却用ヘリカルコィル１６０
１こ冷煤を流し、サーキュレーションフアン１５２を駆
動することにより準備がすべて整い、ビーム入射ボート
２０から波長が１０．６Ａ仇のＣ０２レーザビームを入
射することにより、光学系３内で所定回数マルチパスさ
れて１６〃川の波長に変換されてビーム出力ボート２５
から取出される。

修理や点検のため内筒２を外筒１から引出す場合は、ま
ず外筒１と内筒２の間に外気を導入して外気と等しい圧
力に戻す。

続いてジャッキアンプスクリュー９〜１２を戻して内筒
２のローラ３５，３６のレール１７，１８に降ろす。こ
の状態から外筒１の右側の蓋６を外して手前に引けばロ
ックピン３３によって内筒２もいつしよに引出されてく
る。ところで、以上説明した実施例においてはこの発明
をラマンレーザ装置に適用した場合について示したが、
レーザ煤質を極低温にして使用するその他の気体レーザ
装置にも同様に適用することができる。

また、上記実施例では内筒２内の圧力の変化に対応する
ため薄膜３９を完全に固定せずに、その周辺からしーザ
煤質が出入りできるようにしたが、このかわりに薄膜３
９の光軸から外れた部分に小孔をあげるようにしてもよ
い。

また内筒２内の圧力の変化が特に問題とならない場合に
は完全に仕切ってしーザ媒質が出入りできるようにして
もよい。以上説明したようにこの発明によればＫＣＩな
どの結晶板で作られた透過窓の奥にポリエチレンなどの
薄膜でできた仕切りを設けるようにしたので、しーザ媒
質を極低温状態に保持する場合においてもそれが直援結
晶板に当たることがなく、その割れを防ぐことができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図にこの発明が適用されたラマンレーザ装置の全体
の構成図で、レーザ光鞠に直角な側面から一部を断面に
して示した図、第２図は第１図の左側面図、第３図は外
筒１の蓋６を取外して示した第１図の右側面図、第４図
は第１図の内筒２における左端下部のジャッキアップス
クリュー１１の当援用凹部の形状を示す図、第５図は第
１図における内筒固定ロッド３３をその軸方向から見た
図、第６図は第５図の固定ロッド３３を引掛けるために
内筒側に取付けられた部材の拡大図、第７図は第５図の
金具を第６図の部材に引掛ける状態を示す図、第８図は
この発明の一実施例を示す図で第１図におけるレーザビ
ーム入射ボート４６およびレーザビーム出力ボート４８
の内部構造を示す断面図、第９図は第１図における光学
系支持台６０の詳細を示す図で、ａは正面図、ｂは底面
図、ｃは左側面図、ｄは右側面図である。 第１０図は第１図における光学系ホルダ８４の正面図、
第１１図は第１図におけるジンバルュニツト１００の詳
細を示す図でａは正面図、ｂは平面図、ｃは左側面図で
ある。第１２図は第１図の光学系３の全体を右側から見
た図、第１３図は第１図の冷却用ヘリカルコィル１６０
の詳細を示す図である。１・・・・・・外筒、２…・・
・内筒、３・・…・光学系、７，８・・・・・・真空排
気ボート、９〜１２・…・・ジャッキアップスクリュー
、２０，３９・・・・・・レーザ光透過性薄膜、４０・
・・・・・レーザビーム入射ボート、２６，４８・・・
・・・レーザビーム出力ボート、２１，２７，４５，４
７．．・・・・Ｈｅ一Ｎｅビームボート、３３・・・・
・・内筒固定ロッド、４９・・・・・・アジャストマイ
クロメ−夕、６０…・・・光学系支持台、８０・・・・
・・ィンバ−ロッド、８４，８５・・…・光学系ホルダ
、１００，１０１……ジンバルユニツト、１１０，１３
４…．・・ミフー、１１５・・・・・・放熱用フィン、
１３ｏ，．．，．．…アジヤスタ、１５０……ダスト、
１５２”””サーキュレーションフアン、１６０・・…
・冷却用ヘリカルコイル。 第５図 第６図 第１図 第９図 第２図 第３図 第４図 第７図 第８図 第１０図 第１３図 第１１図 第１２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ レーザ媒質を極低温で封入したレーザ管の内部をそ
   の外部から遮断するとともに、当該レーザ管内に励起用
   レーザ光を導入しあるいは当該レーザ管内で発生したレ
   ーザ光を導出するレーザ光透過性結晶板と、前記レーザ
   管内における前記レーザ光透過性結晶板を通る光軸上に
   配置されて、当該レーザ光透過性結晶板を前記極低温状
   態のレーザ媒質から仕切るレーザ光透過性薄膜とを具え
   たレーザ管におけるレーザ光導入、導出用窓。