JPH03120405A - 磁気デイスクの潤滑剤膜厚測定方法 - Google Patents
磁気デイスクの潤滑剤膜厚測定方法Info
- Publication number
- JPH03120405A JPH03120405A JP25929089A JP25929089A JPH03120405A JP H03120405 A JPH03120405 A JP H03120405A JP 25929089 A JP25929089 A JP 25929089A JP 25929089 A JP25929089 A JP 25929089A JP H03120405 A JPH03120405 A JP H03120405A
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- Japan
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- magnetic disk
- lubricant
- infrared light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
・この発明は、磁性媒体表面上、に塗布された固体ある
いは液体潤滑剤の膜厚を測定する磁気ディスクの潤滑剤
膜厚測定法に関するものである。
いは液体潤滑剤の膜厚を測定する磁気ディスクの潤滑剤
膜厚測定法に関するものである。
一般に、磁気ディスク表１ｉｌｉＫは、磁気ヘッドとの
接触による摩擦力増加や、ａｌ磁気ィスクの摩耗を緩和
するため、固体あるいは液体潤滑剤が、ａ性媒体保護の
ため設けられる炭化物薄膜表面、酸化膜等の表面上に塗
布されており、上記磁気ディスクの耐久性、耐摩耗性の
向上を図っている。上記固体あるいは液体潤滑−１１／
）塗布方法としては浸漬法（ディッピング法） スピ
ンコード法、スプレー塗布法等があり、様々な手段並び
に手法が駆使されて−るが、最適な調熱処理条件等によ
って、さまざまである。したがって上記固体あるいは液
体潤滑副動測定するに当えり、現在、Ｘ＠光電子分光法
（ＸＰｍ）、７一リエ変換赤外分光法（ＦＴ−４Ｒ）な
どの分析方法が、微緻表面化学分析として重要な役割を
果たしている。しかし、前者の場合、破壊試験で６９．
かつ磁気ディスク両面の潤滑剤膜厚を＃ｊ定することは
不可能で６つ九。又、後者の場合％ １ｏｆｌφ程度の
赤外光を用いており赤外光が上記磁気ディスク表面上を
覆う範囲、すなわち、測定領域（測定面積）が広く、上
記磁気ディスク面内数個所に於いて測定を行なっても、
特別な異常が無い限り、面内での祠滑腺厚差はほとんど
無く、均一に制御されていることになっていた。
接触による摩擦力増加や、ａｌ磁気ィスクの摩耗を緩和
するため、固体あるいは液体潤滑剤が、ａ性媒体保護の
ため設けられる炭化物薄膜表面、酸化膜等の表面上に塗
布されており、上記磁気ディスクの耐久性、耐摩耗性の
向上を図っている。上記固体あるいは液体潤滑−１１／
）塗布方法としては浸漬法（ディッピング法） スピ
ンコード法、スプレー塗布法等があり、様々な手段並び
に手法が駆使されて−るが、最適な調熱処理条件等によ
って、さまざまである。したがって上記固体あるいは液
体潤滑副動測定するに当えり、現在、Ｘ＠光電子分光法
（ＸＰｍ）、７一リエ変換赤外分光法（ＦＴ−４Ｒ）な
どの分析方法が、微緻表面化学分析として重要な役割を
果たしている。しかし、前者の場合、破壊試験で６９．
かつ磁気ディスク両面の潤滑剤膜厚を＃ｊ定することは
不可能で６つ九。又、後者の場合％ １ｏｆｌφ程度の
赤外光を用いており赤外光が上記磁気ディスク表面上を
覆う範囲、すなわち、測定領域（測定面積）が広く、上
記磁気ディスク面内数個所に於いて測定を行なっても、
特別な異常が無い限り、面内での祠滑腺厚差はほとんど
無く、均一に制御されていることになっていた。
しかし、実際、上記磁気ディスク表面に磁気ヘッドを接
触させ吸着評価を行なった場合１部分的に吸着力が増加
する箇所があシ、上記手段によって異常吸着箇所を測定
しても、上記磁気ディスク面内での膜厚差は求められず
、上記測定領域（測定面積）では面内の膜厚差ｆ：求め
ることは困難であった。なお、この分野の技術について
は１例えば特関昭６０−１１８８０６号公報に記載され
ている・ 〔発明が解決しようとする課題〕 従来は、上記理由により適当な＋１４１’ｔ Ｍ膜厚測
定法が無く、固体あるいは液体潤滑剤がその令布条件に
より安定して膜厚制御ができているかどうか、非破壊、
微少測定領域にて評価を行なうことが出来ないという問
題点があった。
触させ吸着評価を行なった場合１部分的に吸着力が増加
する箇所があシ、上記手段によって異常吸着箇所を測定
しても、上記磁気ディスク面内での膜厚差は求められず
、上記測定領域（測定面積）では面内の膜厚差ｆ：求め
ることは困難であった。なお、この分野の技術について
は１例えば特関昭６０−１１８８０６号公報に記載され
ている・ 〔発明が解決しようとする課題〕 従来は、上記理由により適当な＋１４１’ｔ Ｍ膜厚測
定法が無く、固体あるいは液体潤滑剤がその令布条件に
より安定して膜厚制御ができているかどうか、非破壊、
微少測定領域にて評価を行なうことが出来ないという問
題点があった。
そのため、磁気ヘッド接触時に生じる吸着あるい＃′ｉ
磁気ディスク装置、回転、停止時の摩耗等ＶＣより、磁
気ディスク表面上に損傷、剥離が発生し、上記理由によ
り破壊（クラッシュ）が起き、磁気ディスクの機械的信
頼性を著しく損ねる原因となっていた。
磁気ディスク装置、回転、停止時の摩耗等ＶＣより、磁
気ディスク表面上に損傷、剥離が発生し、上記理由によ
り破壊（クラッシュ）が起き、磁気ディスクの機械的信
頼性を著しく損ねる原因となっていた。
本発明は、上記の様な問題点全解消するためになされた
ものであり、赤外光を１舖〜８ｔｍ程度まで絞り込むこ
とで磁気ディスク表面上の固体あるいは液体潤滑外〇の
膜厚を非破壊で微小な面積で測定できる磁気ディスクの
潤滑剤膜厚測定法を得ることを目的とする。
ものであり、赤外光を１舖〜８ｔｍ程度まで絞り込むこ
とで磁気ディスク表面上の固体あるいは液体潤滑外〇の
膜厚を非破壊で微小な面積で測定できる磁気ディスクの
潤滑剤膜厚測定法を得ることを目的とする。
その結果、非破壊で微小なｒｋＪ積の潤滑剤の膜厚を測
定でき、潤滑剤を均一に楢布し、安定して膜厚制御出来
るようにし、これにより、磁気ディスクの機械的信頼性
を向上しようとするものである。
定でき、潤滑剤を均一に楢布し、安定して膜厚制御出来
るようにし、これにより、磁気ディスクの機械的信頼性
を向上しようとするものである。
この発明の磁気ディスクの潤滑剤膜厚測定方法は、フー
リエ赤外分光法を用いるもので、ａ気ディスク表面Ｋｌ
〜ｌｌａｗφに絞り込んだ赤外光を照射し、上記磁気デ
ィスク表面より反射されてくる赤外光の強度倉観測し、
この赤外光強度と波数との関係を示すスペクトルより所
定の３点を結・ぶ直線をベースラインとし、上記スペク
トルの所定３点間についてピーク面積を攻め、予め求め
てある膜厚とピーク面積との相関関係を基に上記磁気デ
ィスク表面上のｌ１ｌｌ’ｌｌ剤の膜厚ｋ ６１Ｊ定す
るようにしたものである。
リエ赤外分光法を用いるもので、ａ気ディスク表面Ｋｌ
〜ｌｌａｗφに絞り込んだ赤外光を照射し、上記磁気デ
ィスク表面より反射されてくる赤外光の強度倉観測し、
この赤外光強度と波数との関係を示すスペクトルより所
定の３点を結・ぶ直線をベースラインとし、上記スペク
トルの所定３点間についてピーク面積を攻め、予め求め
てある膜厚とピーク面積との相関関係を基に上記磁気デ
ィスク表面上のｌ１ｌｌ’ｌｌ剤の膜厚ｋ ６１Ｊ定す
るようにしたものである。
この発明における磁気ディスクの潤滑剤測定法は赤外分
光法を用いているのでどの様な試料でも非破壊で精度よ
く、又、１〜８ｆｌφ程度まで赤外ｆｔ、を絞り込むこ
とで、微少な測定面積にて膜厚１に測定出来る。
光法を用いているのでどの様な試料でも非破壊で精度よ
く、又、１〜８ｆｌφ程度まで赤外ｆｔ、を絞り込むこ
とで、微少な測定面積にて膜厚１に測定出来る。
〔実施−１〕
以下、仁の発明の一実施例を図に基いて説明する。
第１図は、この発明の一実施例の磁気ディスクの＠滑剤
膜厚測定方法を示す模式断面図であり、非磁性基板中上
に形成された磁性媒体１４１並びに固体あるいは液体潤
滑剤・６１ ｔ−横布した磁気ディスク表面上金フーリ
エ変換赤外分光法を用い、高感度反射法にて１〜Ｓ騙一
種度のアパーチャー１８１ Ｋより絞り込まれた赤外光
（Ｘｌ）を法線方向より例えば４５°以上の角度にて照
射し、この時非磁性基板Ｉｌ＋並びに磁性媒体１４１．
固体あるいは液体情滑剤１１１１より反射されてくる赤
外光ＣＸｏ） Ｊ）強度について観測し、仁の時の赤外
光強度と波数との関係を示すスペクトルより所定の８点
を結ぶ直線をベースラインとし、上記スペクトルの所定
２点間についてピーク面積を求め、予め求めてある膜厚
とピーク面積の相関を基に上記磁気ディスク表面上の固
体あるいは液体潤滑剤の膜厚を測定することを特徴とし
たものである。
膜厚測定方法を示す模式断面図であり、非磁性基板中上
に形成された磁性媒体１４１並びに固体あるいは液体潤
滑剤・６１ ｔ−横布した磁気ディスク表面上金フーリ
エ変換赤外分光法を用い、高感度反射法にて１〜Ｓ騙一
種度のアパーチャー１８１ Ｋより絞り込まれた赤外光
（Ｘｌ）を法線方向より例えば４５°以上の角度にて照
射し、この時非磁性基板Ｉｌ＋並びに磁性媒体１４１．
固体あるいは液体情滑剤１１１１より反射されてくる赤
外光ＣＸｏ） Ｊ）強度について観測し、仁の時の赤外
光強度と波数との関係を示すスペクトルより所定の８点
を結ぶ直線をベースラインとし、上記スペクトルの所定
２点間についてピーク面積を求め、予め求めてある膜厚
とピーク面積の相関を基に上記磁気ディスク表面上の固
体あるいは液体潤滑剤の膜厚を測定することを特徴とし
たものである。
なお、ＴｆＦ外光は絞り込む程測定領域を狭くし、測定
精度を上げることができる。磁気ダイスり面内の膜厚の
バラツキをより良く測定できる。
精度を上げることができる。磁気ダイスり面内の膜厚の
バラツキをより良く測定できる。
現在実用上は１ ｒｉｍ−程度までしか絞り込めず、ま
た膜厚分布を測定するのには赤外光は８ｔｐｕｓφ以下
が適当であり、照射する赤外光＃−ｉ１〜８ｔｍ−が望
ましい。
た膜厚分布を測定するのには赤外光は８ｔｐｕｓφ以下
が適当であり、照射する赤外光＃−ｉ１〜８ｔｍ−が望
ましい。
以下、この発明について具体的に説明する。
ｍ８図はこの発明の潤滑剤膜厚の測定に用−た−膜内な
磁気ディスクを示す断面図である。図に於いて…ｔｉｔ
非磁性基板であり、Ａｔ−Ｍｌ！ 合金１２１と、ｈ
ｐ−Ｍｐ 合金１りｔ−被覆する下地硬化層ｔ３１か
ら形成され、下地硬化層１３１とはＮｉ−７’アモルフ
ァス合金、Ｎｉ−０ｖ−Ｐ三元合金、アルマイト等であ
る （４１は、下地硬化層１Ｂ＋ ’ｊ−被覆する磁性媒体
、＋５１Ｈ磁性媒体１４１上に塗布された固体あるいは
液体潤滑剤である。なお、今回使用した磁気ディスクは
、非磁性基板ｆｌｉ上に、ｒ−Ｗ（２０Ｈ薄ｉｌ！ １
４１ ｋ有し、潤滑剤ｆｉｌとしてパーフルオロポリエ
ーテル（商品名： ＫＲＹＴＯＸ１５テ）ｔ−塗布した
ものであり。
磁気ディスクを示す断面図である。図に於いて…ｔｉｔ
非磁性基板であり、Ａｔ−Ｍｌ！ 合金１２１と、ｈ
ｐ−Ｍｐ 合金１りｔ−被覆する下地硬化層ｔ３１か
ら形成され、下地硬化層１３１とはＮｉ−７’アモルフ
ァス合金、Ｎｉ−０ｖ−Ｐ三元合金、アルマイト等であ
る （４１は、下地硬化層１Ｂ＋ ’ｊ−被覆する磁性媒体
、＋５１Ｈ磁性媒体１４１上に塗布された固体あるいは
液体潤滑剤である。なお、今回使用した磁気ディスクは
、非磁性基板ｆｌｉ上に、ｒ−Ｗ（２０Ｈ薄ｉｌ！ １
４１ ｋ有し、潤滑剤ｆｉｌとしてパーフルオロポリエ
ーテル（商品名： ＫＲＹＴＯＸ１５テ）ｔ−塗布した
ものであり。
膜厚は例えばｒ−１’ｒｇｏｓ薄撲がＪＩＧＯＯＡ 以
下、潤滑剤は＋ｏｏＸ以下にて構成されている。
下、潤滑剤は＋ｏｏＸ以下にて構成されている。
以上、上記の様に構成された磁気ディスク表面に磁気ヘ
ッドを接触させ高速回転にて、浮上・停止運動（以下ａ
ＳＳと称す）ｋ１１図程度繰り返し行ない、使用したト
ラック表面をフーリエ変換赤外分光光度計で高感度ＭＣ
Ｔ検出ｒｔ−用い潤滑塗布されていない磁気ディスクを
り７１ アレンスとして積算回数５００回１分解能４（至）反射
法にて測定を行なった。又、試験用として用−た磁気ヘ
ッドは、Ａ／＃ ０１− ＴｉＣ焼結体スライダーを備
えた浮動面幅０．４５μｍ 程度の薄撲ヘッドである。
ッドを接触させ高速回転にて、浮上・停止運動（以下ａ
ＳＳと称す）ｋ１１図程度繰り返し行ない、使用したト
ラック表面をフーリエ変換赤外分光光度計で高感度ＭＣ
Ｔ検出ｒｔ−用い潤滑塗布されていない磁気ディスクを
り７１ アレンスとして積算回数５００回１分解能４（至）反射
法にて測定を行なった。又、試験用として用−た磁気ヘ
ッドは、Ａ／＃ ０１− ＴｉＣ焼結体スライダーを備
えた浮動面幅０．４５μｍ 程度の薄撲ヘッドである。
まず、上記測定方法により得ら１
れたスペクトルのうち、 １８８１ ｃａｌ
目■８−ト 情 の８点を結ぶ直線をベースラインとし。
目■８−ト 情 の８点を結ぶ直線をベースラインとし。
１８３１ （Ｊ から１ｇ８１１ｃｓｘ の軸回の
ビーフ１に積算して面積を求め、上記磁気ヘッド浮動面
が接触したトラックとその周辺にりいて半径方向に測定
した結果を第８図の特性図に示す、まず縦軸は上記方法
にて測定され、得られた赤外吸収強度であシ、横軸は、
半径方向に鳳ａｇピッチで測定したトラック位置であり
、使用した磁気ヘッドの浮動面幅は、Ｏ１番５βｍ程度
である。
ビーフ１に積算して面積を求め、上記磁気ヘッド浮動面
が接触したトラックとその周辺にりいて半径方向に測定
した結果を第８図の特性図に示す、まず縦軸は上記方法
にて測定され、得られた赤外吸収強度であシ、横軸は、
半径方向に鳳ａｇピッチで測定したトラック位置であり
、使用した磁気ヘッドの浮動面幅は、Ｏ１番５βｍ程度
である。
図より、ＩＩ気ヘッド浮動面と接触しているトラックの
赤外吸収強度は、未使用部に比べ、３側根度減少して−
ることが分かる。又、磁気ヘッド浮動面と接触している
トラックよりも内周側で未使用部と比べ、赤外吸収強度
が著しく増卯している。
赤外吸収強度は、未使用部に比べ、３側根度減少して−
ることが分かる。又、磁気ヘッド浮動面と接触している
トラックよりも内周側で未使用部と比べ、赤外吸収強度
が著しく増卯している。
これはＣ８日連動中に潤滑剤がかき寄せられて堆積して
いるものと考えられる。なお、実施例では１−ｙｔｔａ
Ｏ＋ ｆｌｉ 幌の列を示したが、 ０Ｏ−Ｎｉ、Ｃ
！０−Ｎｉ−０ｒ、０ｏ−Ｎｉ−７’ ｉｌｎ！媒体等
でも構わないし磁性媒体表面上に本発明の効果をさまた
げない保ａ暎を設ける０亡も構わな一０又、固体あるい
は液体潤滑剤としては実施例で示したＫＲＹＴＯＸ１１
Ｆ８／Ｍの他にパーフルオロポリエーテル（商品名、パ
イダシブスＡＲ）等でも測定可能である。
いるものと考えられる。なお、実施例では１−ｙｔｔａ
Ｏ＋ ｆｌｉ 幌の列を示したが、 ０Ｏ−Ｎｉ、Ｃ
！０−Ｎｉ−０ｒ、０ｏ−Ｎｉ−７’ ｉｌｎ！媒体等
でも構わないし磁性媒体表面上に本発明の効果をさまた
げない保ａ暎を設ける０亡も構わな一０又、固体あるい
は液体潤滑剤としては実施例で示したＫＲＹＴＯＸ１１
Ｆ８／Ｍの他にパーフルオロポリエーテル（商品名、パ
イダシブスＡＲ）等でも測定可能である。
以上のように、この発明によれば、−気デイスク表面に
１〜ｇａｓφに絞り込んだ赤外光を照射し、反射されて
くる赤外光の強度を観測し、この赤外光の強度と波数上
の関係を示すスペクトルより所定の８点を結ぶ直線をベ
ースラインとし、上記スペクトルの所定の２点について
ピーク面積を求め、予め求めてある膜厚とピーク面積と
の相関関係會基に上記磁気ディスク表面上の潤滑剤の膜
厚を得るようＫしたので、従来より測定領域を狭くシ、
測定精度を上けることができ、非破壊で微小な面積の潤
滑剤の膜厚を測定できる効果がある。その結果、面内の
＠滑剤の膜厚のバラツキも測定でき、潤滑剤を均一に塗
布できる・含有条件も知ることができ、潤滑剤の膜厚を
安定して制御でき、それにより磁気ディスクの機械的信
頼性も向上する。
１〜ｇａｓφに絞り込んだ赤外光を照射し、反射されて
くる赤外光の強度を観測し、この赤外光の強度と波数上
の関係を示すスペクトルより所定の８点を結ぶ直線をベ
ースラインとし、上記スペクトルの所定の２点について
ピーク面積を求め、予め求めてある膜厚とピーク面積と
の相関関係會基に上記磁気ディスク表面上の潤滑剤の膜
厚を得るようＫしたので、従来より測定領域を狭くシ、
測定精度を上けることができ、非破壊で微小な面積の潤
滑剤の膜厚を測定できる効果がある。その結果、面内の
＠滑剤の膜厚のバラツキも測定でき、潤滑剤を均一に塗
布できる・含有条件も知ることができ、潤滑剤の膜厚を
安定して制御でき、それにより磁気ディスクの機械的信
頼性も向上する。
第１図はこの発明の一実施例の磁気ディスクの潤滑剤膜
厚測定方法を示す模式断面図、第２図はこの発明の測定
に用いた一般的な磁気ディスクを示す断面図、第８図は
この発明を適用して得られた潤滑剤面内分布を示す特性
図である。 図において、１６）は潤滑剤、Ｃｘ１＞は入射赤外光（
Ｉｏ）は反射されてくる赤外光である。 なお１図中、同一符号は同−又は相当する部分を示す。
厚測定方法を示す模式断面図、第２図はこの発明の測定
に用いた一般的な磁気ディスクを示す断面図、第８図は
この発明を適用して得られた潤滑剤面内分布を示す特性
図である。 図において、１６）は潤滑剤、Ｃｘ１＞は入射赤外光（
Ｉｏ）は反射されてくる赤外光である。 なお１図中、同一符号は同−又は相当する部分を示す。
Claims (1)
- 潤滑剤で被覆された磁気ディスク表面に１〜８ｍｍφに
絞り込んだ赤外光を照射し、反射されてくる赤外光の強
度を観測し、この赤外光の強度と波数との関係を示すス
ペクトルより所定の８点を結ぶ直線をベースラインとし
、上記スペクトルの所定の８点についてピーク面積を求
め、予め求めてある膜厚とピーク面積との相関関係を基
に上記磁気デイスク表面上の潤滑剤の膜厚を得るように
した磁気ディスクの潤滑剤膜厚測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25929089A JPH03120405A (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | 磁気デイスクの潤滑剤膜厚測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25929089A JPH03120405A (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | 磁気デイスクの潤滑剤膜厚測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120405A true JPH03120405A (ja) | 1991-05-22 |
Family
ID=17332030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25929089A Pending JPH03120405A (ja) | 1989-10-03 | 1989-10-03 | 磁気デイスクの潤滑剤膜厚測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03120405A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5543983A (en) * | 1992-12-30 | 1996-08-06 | International Business Machines Corporation | Servo controlled lubricant thickness for near magnetic recording |
-
1989
- 1989-10-03 JP JP25929089A patent/JPH03120405A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5543983A (en) * | 1992-12-30 | 1996-08-06 | International Business Machines Corporation | Servo controlled lubricant thickness for near magnetic recording |
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