JPH03121328A - 除振台の水平位置の維持と水平振動の除振方法並びにその回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、主としてホログラフィ−セット、電子顕微鏡
、半導体製造機器など超精密測定装置などの製造装置を
載置する精密除振台の水平位置移動量並びに微小振動を
たちどころに正確に検出して機器の水平基準位置の維持
並びに微小振動の除去を行う事が出来る除振台の水平位
置と水平振動の除振方法とその回路に関する。

（従来の技術とその回路問題点） 除振台の水平位置の維持と水平振動の除振を行う場合、
従来は第６図のように機器載置用の除振台本体（２）の
両側に空気ばね（３ａＨａｂ）を配設し、両空気ばね（
３ａ）（３ｂ）をオリフィス（３２）にて接続し、更に
除振台本体（２）の水平方向の振動加速度間を検出する
水平方向アナログ加速度センサ（１３）を除振台本体（
２）に設置して水平方向の微振動を検出し、この微振動
をキャンセルするように制御側空気ばね（３ｂ）を制御
していた。

この場合、オリフィス（３２）を介して両空気ばね（３
ａ）　（３ｂ）を接続しているので、振動が高周波の場
合はこれに合わせて１ｔＩＩＩｆＲ弁（８）にて制御側
空気ばね（３ｂ）内の圧力を高周波にて制御しても制御
弁（８）にて制御していない方の基準空気ばね（３ａ）
側に前記制御側の空気ばね（３ｂ）の圧力変化が伝わら
ず、有効は水平位置の維持並びに振動制御が可能になる
が、振動が低周波の場合には制御側空気ばね（３ｂ）の
圧力変化が基準側空気ばね（３１Ｈこ伝わり、水平位置
の維持並びに振動制御が出来なくなると言う欠点があっ
た。

（発明の目的　） 本発明はかかる従来例の欠点に鑑みて為されたもので、
その目的とする処は振動周波数の高低に左右されず、水
平位置の維持並びに振動制御が可能な除振台の水平位置
と水平振動の除振方法並びにその回路を提供する事にあ
る。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、係る従来技術のｒｕｆｆ点を解決するために
請求項（１）の方法では； ■機器載置用の除振台本体（２）が防振支持装置（１７
）にて支持され、且つ、ほぼ一定の水平基準負荷（Ｉｌ
ｌ）がかけられており、水平方向に伸縮する空気ばね（
３）に接続された除振台において、 ■基準水平位［（０）に対する除振台本体（２）の水平
位置の移＠ＭＩＡをセンシングしてアナログ位置電圧と
して出力し、 ■続いてこのアナログ位置電圧と基準位置電圧とを比較
してその差分を出力し、 ■この差分を積分、又は積分と増幅の両方を行って位置
制御信号を出力し１、 ■同時に除振台本体（２）の水平方向の振動加速度間を
水平方向アナログ加速度電圧として出力し、■この水平
方向アナログ加速度電圧を積分、微分又は増幅のいずれ
か１つ乃至これらの内の２つ又は総てを組み合わせて水
平振動制御値として出力し、 ■前記位置制御値と水平振動制御値との和に対応するよ
うに制御側空気ばね（３ｂ）内の空気圧を加減する。

；と言う技術的手段を採用しており、 請求項（２）の方法では ■機器載置用の除振台本体（２）が防振支持装置（１７
）にて支持され、且つ、水平方向において互いに逆方向
に伸縮する一対の空気ばね（３）　（３’　）に接続さ
れた除振台において、 ■基準水平位置（０）に対する除振台本体（２）の水平
位置の移動量（ト）をセンシングしてアナログ位置電圧
として出力し、 ■続いてこのアナログ位置電圧と基準位置電圧とを比較
してその差分を出力し、 ■この差分を積分、又は積分と増幅の両方を行って位置
制御信号を出力し、 ■同時に除振台本体（２）の水平方向の振動加速度を水
平方向アナログ加速度電圧として出力し、■この水平方
向アナログ加速度電圧を積分、微分又は増幅のいずれか
１つ乃至これらの内の２つ又は総てを組み合わせて水平
振動制御値として出力し、 ■前記位置制御値と水平＠動制御値との和に対応するよ
うに一方の空気ばね（３）内の空気圧を加減すると同時
に前記位置制御値と水平振動制御値との和に対して１８
０°位相の反転した値に対応するように他方の空気ばね
（３°）内の空気圧を加減する。

；と言う技術的手段を採用しており、 請求項（３）の回路では、 ■機器載置用の除振台本体（２）が防振支持装置（１７
）にて支持されている除振台において、 ■除振台本体（２）から延出された接続部材（１９）乃
至除振台本体（２）にほぼ一定の水平負荷をかける水平
基準負荷（−）と、 ■水平基準負荷（Ｗ）に対して逆方向の制御負荷を接続
部材かける制御側空気ばね（３ｂ）と、■除振台本体く
２）の位置をセンシングしてアナログ位置電圧として出
力するアナログ位置センサ（１）と、 ■このアナログ位置センサ（１）からの出力であるアナ
ログ位置電圧と基準位置電圧とを比較してその差分を出
力する位置差動アンプ（６）と、■位置差動アンプ（６
）の出力を積分する位置積分アンプ（ア）、又は位置積
分アンプ（７）と位置差動アンプ（６）の出力を増幅す
る位置比例アンプ（９）の両方を備えており、 ■且つ、除振台本体（２）の水平方向の振動加速度を検
出する水平方向アナログ加速度センサ（１３）と、■こ
の水平方向アナログ加速度センサ（１３）の出力を積分
する水平方向振動積分アンプ（１４）、前記出力を微分
する水平方向振動微分アンプ（１５）並びに前記出力を
増幅する水平方向振動比例アンプ（１６）のいずれか１
つ乃至２つ以上を具備し、■これらアンプからの水平振
動制御値と前記位置制御値との和に対応するように制御
側空気ばね（３ｂ）内の空気圧を加減する制御弁（８）
とで構成する。

；と言う技術的手段を採用しており、 請求項（４）の回路では、 ■機器載置用の除振台本体く２）が防振支持袋″ａ、（
１７）にて支持されている除振台において、 ■除振台本体く２）から延出せる接続部材（１９）又は
除振台本体（２）（こ対して互いに逆方向の水平基準負
荷（圓）をかける一対の空気ばね（３）　（３’　）と
、■基準水平位置（０）に対する除振台本体（２）の水
平位置の移動量（ト）をセンシングしてアナログ位置電
圧として出力するアナログ位置センサ（１）と、■この
アナログ位置センサ（１）からの出力であるアナログ水
平位置電圧と基準水゛Ｙ位置（０）［圧とを比較してそ
の差分を出力する位置差動アンプ（６）と、 ■位置差動アンプ（６）の出力を積分する位置積分アン
プ（７）、又は位置積分アンプ（７）と位置差動アンプ
（６）の出力を増幅する位置比例アンプ（９）の両方を
備えており、 ■且つ、除振台本体（２）の水平方向の振動加速度間を
検出する水平方向アナログ加速度センサ（１３）と、■
この水平方向アナログ加速度センサ（１３）の出力を積
分する水平方向振動積分アンプ（１４）、前記出力を微
分する水平方向振動微分アンプ（１５）並びに前記出力
を増幅する水平方向振動比例アンプ（１６）のいずれか
１つ乃至２つ以上を具備し、■これらアンプからの水平
振動制置値と前記位：げ制御値との和に対応するように
一方の空気ばね（３）内の空気圧を加減する制御弁（８
）と、■前記水平振動制御値と前記位置制御値との相の
値を１８０゛位相反転するための位相反転回路（３１）
と、 ［株］位相反転回路（３１）からの反転出力に対応する
ように他方の空気ばね（３′）内の空気圧を加減するも
う１つの制御弁（８′）とで構成する。

；と言う技術的手段を採用している。

（作　　用　　） ■まず、除振台本体（２）上の精密機器とのワークが移
動したり、床から水平方向の大きな振動が除振台本体く
２）に伝わってきたり、水平外力が加わったりするとそ
の基準水平位置（０）に対して前後乃至左右又は回転方
向に除振台本体く２）が大きく移動し、この水平方向の
移動量〔循がアナログ位置センサ（１）にて検出される
。

■アナログ位置センサ（１）によって出力されたアナロ
グ位ｆｆ’！圧は位置差動アンプ（６）に入力し、基準
位置１！圧と比較される。

■この時、基準位ｉ電圧がアナログ位′ｅ１！圧より高
く又は低くなり、位置差動アンプ（６）の出力はプラス
又はマイナスになる。

■そして前記差分が位置積分アンプ（））で積分された
り、位置比例アンプ（９）で増幅されたりする。

この差分の処理は位置積分アンプ（７）だけでもよいが
、更にこれに位置比例アンプ（９）を組み合わせてらよ
い。

０何記アンプによって処理された値は、制御弁（８）に
入力し、制御弁（８）ではこの入力を受けて一方の制御
側空気ばね（３ｂ）に圧縮空気を供給し、基準側空気ば
ね（３ａ）やコイルばね（３ｃ）などの基準負荷（Ｗ）
に抗して除振台本体（２）を水平基準位置まで戻そうと
する。

■除振台本体（２）が戻とり始めるとアナログ位置セン
サ（１）の出力電圧が徐々に基準位置電圧に近付き、つ
いには等しくなって位置差動アンプ（６）の出力は零に
なる。

■前記アンプの積分又は／及び増幅した出力値はこの時
点で安定的に保持され、除振台本体（２）が基準位置に
一致する位置で保持される。

０以上のような動作を経て、短時間で除振台本体（２）
が基準位置に到達し固定される。

又、除振方法に付いて説明すると、精密機器の稼動やワ
ークの移動による振動の発生や、床から水平方向の振動
が除振台本体（２）に伝わってくるとその基準水平位１
ｆＦ（０）に対して前後乃至左右又は回転方向に除振台
本体（２）が揺れる。

■この除振台本体（２）の水平方向の振動加速度閉を水
平方向アナログ加速度電圧として出力し、■この水平方
向アナログ加速度電圧を積分、微分又は増幅のいずれか
１つ乃至これらの内の２つ又は総てを組み合わせて行い
、 ■その水平振動制御値を前記位置制御値に加算し、駆動
回路（１１）にて制御弁（８）を制御して両者の和に対
応するように制御側空気ばね（３ｂ）内の空気圧を加減
する。

これにより、水平基準位置の維持と水平方向の振動制御
を行う事が出来るものである。

又、第３図のように、水平＠動（！！Ｉ御値を前記位置
制御値に加算し、駆動回路（１１）にて一方の制御弁（
８）を制御して両者の和に対応するように一方の空気ば
ね（３）内の空気圧を加減すると同時に前記位置制御値
と水平振動＠御値との和に対して１８０゛位相の反転し
た値に対応するように他方の空気ばね（３゛）内の空気
圧を加減しする事により、除振台の水平位置と水平振動
の除振を行うようにしてもよい。

（実施例） 以下、本発明回路を図面と共に説明する。

除振台はホログラフィ−セット、電子顕微鏡、半導体製
造機器など超精密測定装置などの製造装置を載置するた
めの定盤部分である除振台本体く２）と、除振台本体（
２）を支持するための３乃至４個の例えば空気ばねや圧
縮ばねのような防振支持装置（１７）並びに水平防振装
置（＾）とで構成されている。水平防振装置く＾）の第
１実施例は第１図に示す通りで、メカニカル部分に付い
て説明すると、除振台本体（２）には接続部材（１９）
が接続されており、本実施例では接続部材（１９）の先
端部分は逆Ｕ字状となっており（勿論、このような形状
に限られず水平防振装置（＾）と除振台本体（２）とが
適宜接続されるものであればよい、）、この接続部材（
１９）内に基準負荷（−）となるコイルバネ（１８）と
制御側空気ばね（３）とが配置されており、空気ばね（
３）はゴム製ばね部（５）とこれに連通ずるエアタンク
（４）とで構成されている。コイルバネ（１８）の一端
は接続部材（１９）の−側壁に押圧し、他端が制６１側
空気ばね（３ｂ）のエアタンクに接して制御側空気ばね
（３ｂ）にほぼ一定の水平負荷をかけて基準負荷（Ｗ）
となるようになっている、制御側空気ばね（３ｂ）のゴ
ム製ばね部（５）は接続部材（１９）の他側壁に押圧し
てコイルバネ（１８）の押圧力に抗するようになってい
る。

電気部分に付いて説明すると、除振台本体（２）には、
前後・左右・回転移動する除振台本体（２）と共に移動
するアナログ位置センサ（１）が取付られており、その
出力が位置差動アンプ（６）の一端に入力するようにな
っている。アナログ位置センサ（１）は例えば、非接触
アナログ出力型の近接センサを用いる。前記位置差動ア
ンプ（６）の他端入力には除振台本体（２）の基準水平
位置に対応する基準位置電圧が入力するようになってい
る。この位置差動アンプ（６）の出力端に位置積分アン
プ（７）、又は前記位置積分アンプ（７）と位置比例ア
ンプ（９）の両方が並列に接続されている。この組み合
わせを述べれば、 ■位置積分アンプ（７）のみ、 ■位置積分アンプ（７）と位置比例アンプ（９）を並列
接続したものがある。いずれかのアンプ又は両アンプの
出力が制御弁（８）に入力するようになっており、制御
弁（８）は前記エアタンク（４）と、レギュレータ（１
２）を介して空圧源（１０）に接続されている。

制御弁（８）は例えばサーボ弁のように入力した電流に
より、弁開度が正確に制御されてエアタンク（４）内の
圧力を正確に維持する性能を有するものである。

このアナログ位置センサ（１）、位置差動アンプ（６）
、位置積分アンプ（７）、位置比例アンプ〈９）並びに
制御弁（８）は除振台本体（２）の中央に１個配置して
もよいし、４隅に対称に設置してもよい。

次に、位ｆｆ１Ｍ分アンプ（ア）並びに位置比例アンプ
（９）の働きに付いて説明する。

位置積分アンプ（ア）は、差分をに１倍して積分して出
力（Ｋ、・青）するものであり、除振台本体（２）の基
準位置へ復帰させるように駆動回路（１１）にて制御弁
り８）を制御する働き（即ち、アナログ位置センサ（１
）の出力電位が基準位置の電位に一致するように駆動回
路（１１）仁よって制御弁（８）を作動して位置差動ア
ンプ（６）の出力が零になるようにすると共にこの状態
を保持する。）を示す。

位置比例アンプ（９）は、位置差動アンプ（６）の出力
をに８倍に増幅して基準位置への復帰の立ち上がりを迅
速にすると共に正確に基準位置の電位に一致するように
駆動回路（１１）にて制御弁（８）を制御するものであ
る。

しかして、除振台本体（２）上で機器が作動したり大き
な外力が加わって除振台本体（２）が基準水平位置（０
）からずれるとこの移動量（３）がアナログ位置センサ
（１）にて検出され、アナログ位Ｗ電圧として出力され
て位置差動アンプ（６）に入力し、基準位置電圧と比較
されてずれ量が電圧差として出力される。この差分が位
置積分アンプ（７）又は位置比例アンプ（９）に入力す
る０位置積分アンプ（７）では前記入力値を積分し、そ
の積分値を制御弁（８）に入力する。また、位置比例ア
ンプ（９）では前記差分を比例増幅し、制御弁（８）に
入力する０位置積分アンプ（））のみの場合では積分値
に従って、位置比例アンプ（９）と位置差動アンプ（）
）の両者を具備している場合には、両者の出力値の和に
従って制御弁（８）が駆動回路（１１）によって制御さ
れ、制御側空気ばね（３ｂ）のエアタンク（４）に圧縮
空気を供給し、コイルバネ（１８）の弾発力に抗して除
振台本体（２）を基準水平位置（０）に押し戻そうとす
る。

除振台本体（２）が戻り始めるとアナログ位置センサ（
１）の出力電圧が徐々に基準位置電圧に近付き、ついに
は等しくなって位置差動アンプ（６）の出力は零になる
。積分値又は／及び増幅値はこの時点で安定的に保持さ
れ、除振台本体（２）が基準位置に一致する位置で保持
される。ここで、基準負荷（縛）にコイルバネ（１８）
を使用しているので、制御側空気ばね（３ｂ）に対して
素早く反応し、制御速度が速い。

次に、除振台の微小振動の除振に付いて述べる。

この除振台は前述の水平位置制御が行なわれており、こ
れに付加して微小振動の除振が行われる事になる。即ち
、精密機器の稼動やワークの移動による振動の発生や、
床などから水平振動が伝わりてくると除振台本体（２）
が揺れるが、この水平方向の振動加速度間を検出する水
平方向アナログ加速度センサ（１３）が除振台本体（２
）の中央乃至４隅に対称に配設されており、この水平方
向アナログ加速度センサク１３）の出力を積分する水平
方向振動積分アンプ（１４）、前記出力を微分する水平
方向振動微分アンプ（１５）並びに前記出力を増幅する
水平方向振動比例アンプ（１６）のいずれか１つ乃至２
つ以上が装備されている。

ここで、これらアンプの組み合わせを説明すれば、以下
の通りである。

■水平方向振動積分アンプ（１４）のみ、■水平方向振
動微分アンプ（１５）のみ、■水平方向振動比例アンプ
（１６）のみ、■水平方向振動積分アンプ（１４）と水
平方向振動微分アンプ（１５）の組み合わせ、 ■水平方向振動積分アンプ（１４）と水平方向振動比例
アンプ（１６）の組み合わせ、 ■水平方向振動微分アンプ（１５）と水平方向振動比例
アンプ（１６）の組み合わせ、 ■水平方向振動積分アンプ（１４）と水平方向振動微分
アンプ（１５）並びに水平方向振動比例アンプ（１６）
の組み合わせがある。

これらアンプからの出力は、前述の位置制御信号と共に
駆動回路（１１）に入力し、制御弁（８）に入力されて
弁開度を調節し、制御側空気ばね（３ｂ）のエアタンク
（４）の圧力をｙ４ｖｉする。

ここで、各アンプの機能説明を行うと、水平方向振動積
分アンプ（１４）は、水平方向の加速度間をに３倍して
積分して出力（Ｋ３・古）するもので、除振台本体（２
）の位置に関係なくその位置で除振台本体（２）の絶対
変位を制御する、換言すれば微小振動を吸収して除振台
の振動を無くする働きをなすもので、ばね特性ではｒば
ねを固くする」作用と同等の働きをなす。

水平方向振動比例アンプ（１６）は、加速度（？）をに
４倍に増幅するもので、制御側空気ばね（３ｂ）の減衰
効率を増大させる働きをなすものである。

水平方向振動微分アンプ（１５〉は、加々速度をに。

倍した微分して出力（に、・Ｓ）たちので、除振台本体
（２）の質量を増大した場合に相当する働きをする。

上記アンプを使用する事により、アンプの特性に従って
微小振動が制御される事になる。

尚、制御弁（８）で弁開度を制御して流巣制御を行い、
制御側空気ばね（３ｂ）の圧力を制御する事は流血を積
分した事に相当する。

これにより、低周波から高周波までいかなる周波数の振
動が除振台本体に伝わってきたとしても立ち所に振動を
相殺すると共に基準水平位置（０）に除振台本体を復帰
させる事が出来るものである。

又、本発明方法の第２実施例はコイルバネ（１８）の代
わりにレギュレータ（１２）を介して圧縮空気源（１０
）に接続された基準側制御側空気ばね（３）を使用する
ものである。

本発明方法の第３実施例は第３図に示すように一対の空
気ばね（３）　（３’　）を用い、それぞれに位相の１
８０°反転した制御信号を入力し、両空気ばね（３）（
３’）を互いに同方向に制御して制御力を倍増するもの
である。

尚、第３図（ｂ）は接続部材（１９）の両側に空気ばね
（３ｍ）　（３ｂ）［（３）　（３’　）］を配設した
例であり、第３図（ｃ）は、除振台本体（２）の両側か
ら能動制振を行う場合である。

（効果） 本発明方法は、水平方向の移動をアナログ位置センサに
て直ちに検出し、各アンプにて移動量を処理して制御側
空気ばね又は逆方向に作動する一対の空気ばねによって
基準水平位置に除振台本体を押し戻して固定すると同時
に水平方向アナログ加速度センサにて水平振動の加速度
を直ちに検出し、各アンプにて振動加速度を処理して前
記制御側空気ばね又は逆方向に作動する一対の空気ばね
によって水平振動を相殺処理する事ができるので、これ
によって、除振台本体を基準水平位置に維持したままで
水平方向の振動を除去する事が出来、その結果非常に精
密な防振が可能となり、例えば種度に振動を嫌う半導体
製造装置に適用する事が出来るものである。

更に、請求項（３）又は（４）のアナログ回路を装備し
ているので、前記請求項（１）又は（２）の方法を達成
できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図・・・本発明の第１実施例のブロック回路図第２
図・・・本発明の第２実施例のブロック回路図第３図（
ａ）・・・本発明の第３実施例のブロック回路図 第３ｔ２？Ｉ（ｂ）・・・本発明の第４実施例のブロッ
ク回路図 第３図（ｅ）・・・本発明の第５実施例のブロック回路
図 第４図・・・第１〜３図を平面的に記載したブロック図 第５図・・・ばね特性とアンプの働きの関係を説明する
グラフ 第６図・・・従来例のブロック回路図 （＾）・・・水平防振装置　（０）・・・基準水平位置
（１１Ｉ）・・・基準負荷 （１）・・・アナログ位置センサ （２）・・・除振台本体　　（３ａ）・・・基準側空気
ばね（３ｂ）・・・制御側空気ばね（３）（３°）・・
・一対の空気ばね（４）・・・エアタンク　　　（５）
・・・ゴム製ばね部（６）・・・差動アンプ　　（））
・・・位置積分アンプ（８）・・・制御弁　　　　（９
）・・・位置比例アンプ（１０）・・・空圧源　　　　
（１１）・・・駆動回路（１２・・・レギュレータ （１３・・・水平方向アナログ加速度センサ（１４・・
・水平方向振動積分アンプ （１５・・・水平方向Ｗｔ動微分アンプ（１６・・・水
平方向振動比例アンプ （１７・・・防振支持装置　（１８）・・・コイルバネ
（１９・・・接続部材　　　（３１）・・・位相反転回
路１０ 撮劾数 手続補正書 】　事件の表示 平成１年特許願第１９２１０７号 ２、発明の名称 除振台の水平位置のＩｌｌ持と 水平振動の除振方法並びにその回路 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住所　兵庫県尼崎市南塚口町５丁目１．７−４３名称　
特許機器株式会社 代表者　開本　興三 ４、代理人　〒５３０ 住所大阪市北区梅田２丁目５番４号 千代田ビル西館１０階 補正命令の日付・・・自発 第４図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）機器載置用の除振台本体が防振支持装置にて支持
   され、且つ、ほぼ一定の水平基準負荷がかけられており
   、水平方向に伸縮する空気ばねに接続された除振台にお
   いて、基準水平位置に対する除振台本体の水平位置の移
   動量をセンシングしてアナログ位置電圧として出力し、
   続いてこのアナログ位置電圧と基準位置電圧とを比較し
   てその差分を出力し、この差分を積分、又は積分と増幅
   の両方を行って位置制御信号を出力し、同時に除振台本
   体の水平方向の振動加速度を水平方向アナログ加速度電
   圧として出力し、この水平方向アナログ加速度電圧を積
   分、微分又は増幅のいずれか１つ乃至これらの内の２つ
   又は総てを組み合わせて水平振動制御値として出力し、
   前記位置制御値と水平振動制御値との和に対応するよう
   に空気ばね内の空気圧を加減する事を特徴とする除振台
   の水平位置の維持と水平振動の除振方法。
2. （２）機器載置用の除振台本体が防振支持装置にて支持
   され、且つ、水平方向において互いに逆方向に伸縮する
   一対の空気ばねに接続された除振台において、基準水平
   位置に対する除振台本体の水平位置の移動量をセンシン
   グしてアナログ位置電圧として出力し、続いてこのアナ
   ログ位置電圧と基準位置電圧とを比較してその差分を出
   力し、この差分を積分、又は積分と増幅の両方を行って
   位置制御信号を出力し、同時に除振台本体の水平方向の
   振動加速度を水平方向アナログ加速度電圧として出力し
   、この水平方向アナログ加速度電圧を積分、微分又は増
   幅のいずれか１つ乃至これらの内の２つ又は総てを組み
   合わせて水平振動制御値として出力し、前記位置制御値
   と水平振動制御値との和に対応するように一方の空気ば
   ね内の空気圧を加減すると同時に前記位置制御値と水平
   振動制御値との和に対して１８０゜位相の反転した値に
   対応するように他方の空気ばね内の空気圧を加減した事
   を特徴とする除振台の水平位置の維持と水平振動の除振
   方法。
3. （３）機器載置用の除振台本体が防振支持装置にて支持
   されている除振台において、除振台本体から延出された
   接続部材乃至除振台本体にほぼ一定の水平負荷をかける
   水平基準負荷と、水平基準負荷に対して逆方向の制御負
   荷を接続部材乃至除振台本体かける空気ばねと、除振台
   本体の位置をセンシングしてアナログ位置電圧として出
   力するアナログ位置センサと、このアナログ位置センサ
   からの出力であるアナログ位置電圧と基準位置電圧とを
   比較してその差分を出力する位置差動アンプと、位置差
   動アンプの出力を積分する位置積分アンプ、又は位置積
   分アンプと位置差動アンプの出力を増幅する位置比例ア
   ンプの両方を備えており、且つ、除振台本体の水平方向
   の振動加速度を検出する水平方向アナログ加速度センサ
   と、この水平方向アナログ加速度センサの出力を積分す
   る水平方向振動積分アンプ、前記出力を微分する水平方
   向振動微分アンプ並びに前記出力を増幅する水平方向振
   動比例アンプのいずれか１つ乃至２つ以上を具備し、こ
   れらアンプからの水平振動制御値と前記位置制御値との
   和に対応するように空気ばね内の空気圧を加減する制御
   弁とで構成された事を特徴とする除振台の水平位置の維
   持と水平振動の除振回路。
4. （４）機器載置用の除振台本体が防振支持装置にて支持
   されている除振台において、除振台本体から延出せる接
   続部材乃至除振台本体に対して互いに逆方向の水平基準
   負荷をかける一対の空気ばねと、基準水平位置に対する
   除振台本体の水平位置の移動量をセンシングしてアナロ
   グ位置電圧として出力するアナログ位置センサと、この
   アナログ位置センサからの出力であるアナログ水平位置
   電圧と基準水平位置電圧とを比較してその差分を出力す
   る位置差動アンプと、位置差動アンプの出力を積分する
   位置積分アンプ、又は前記位置積分アンプと位置差動ア
   ンプの出力を増幅する位置比例アンプの両方を備えてお
   り、且つ、除振台本体の水平方向の振動加速度を検出す
   る水平方向アナログ加速度センサと、この水平方向アナ
   ログ加速度センサの出力を積分する水平方向振動積分ア
   ンプ、前記出力を微分する水平方向振動微分アンプ並び
   に前記出力を増幅する水平方向振動比例アンプのいずれ
   か１つ乃至２つ以上を具備し、これらアンプからの水平
   振動制御値と前記位置制御値との和に対応するように一
   方の空気ばね内の空気圧を加減する制御弁と、前記水平
   振動制御値と前記位置制御値との和の値を１８０゜位相
   反転するための位相反転回路と、位相反転回路からの反
   転出力に対応するように他方の空気ばね内の空気圧を加
   減するもう１つの制御弁とで構成された事を特徴とする
   除振台の水平位置の維持と水平振動の除振回路。