JPH03123613A - フィルター及びその製造方法 - Google Patents

フィルター及びその製造方法

Info

Publication number
JPH03123613A
JPH03123613A JP1231922A JP23192289A JPH03123613A JP H03123613 A JPH03123613 A JP H03123613A JP 1231922 A JP1231922 A JP 1231922A JP 23192289 A JP23192289 A JP 23192289A JP H03123613 A JPH03123613 A JP H03123613A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particles
base material
silicon carbide
intermediate layer
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1231922A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Ito
淳 伊藤
Fumishige Miyata
文茂 宮田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Publication of JPH03123613A publication Critical patent/JPH03123613A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Filtering Materials (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は発電所の系統水等に含まれるクラッドを除去
するためのフィルターに関する。
(従来の技術〕 従来、この種のフィルターでは、炭化珪素焼結体によっ
て基材をパイプ状に形成すると共に、その基材の外表面
に基材構成用の炭化珪素粒子よりも小さな粒径を有する
炭化珪素粒子によって濾過膜を形成し、クラッドを含有
する水が、基材の周壁部をその外周面側から内周面側へ
圧送されることにより、水のみが濾過膜を透過して、ク
ラッドが濾過されるようになっている。
[発明が解決しようとする課題] ところが、上記のフィルターでは、強度を確保するため
に、比較的大きな平均粒径0.7μ催を有する粒子によ
りて基材が焼成され、各基材形成粒子は隣接する粒子間
のネッキングによって結合されていて、ネッキング粒子
間には多(の気孔が存在する。それに対し、濾過膜形成
粒子の平均粒径は0.3μmであって、基材に形成され
る気孔径よりも小さなものが存在するため、特に基材の
表層部では濾過膜形成粒子が基材の気孔中に侵入して、
基材表面に残存する濾過膜形成粒子が減少し、濾過膜自
体の気孔径が増大することがあった。
この場合、所定の濾過性能を確保することができなくな
る。
これを防止するために、基材形成粒子の平均粒径を小さ
くすると、基材が緻密化するため、濾過処理に伴う圧損
が増加してフィルターに対する通水量が減少し、濾過効
率が低下するという問題が発生する。
この発明は上記の事情を考慮してなされたものであって
、その目的は濾過膜の気孔径の増大を未然に防止すると
共に、濾過処理時における通水量を適量に維持して、効
率的な濾過処理を行うことが可能なフィルターを提供す
ることにある。
[課題を解決するための手段及び作用〕上記の目的を達
成するため、この発明では、平均粒径が0.8〜2,0
71mの炭化珪素粒子から焼結された基材の表面に、平
均粒径が0.4〜0゜8μmの炭化珪素粒子を付着させ
て中間層を形成すると共に、その中間層の表面には、平
均粒径が0.1〜0.3μmの炭化珪素粒子を付着させ
て濾過膜を形成している。
基材用炭化珪素粒子の平均粒径を0.8〜2゜0μ鴨に
設定した理由は、0.8μm未満であると、焼結時に緻
密化して、通水量の低下を招き、2.0μmを超過する
と、強度低下を招くからである。又、粒子の60重量%
以上が0.6〜3゜5μ頂の粒度範囲にあることが望ま
しい。粒度分布が広いと、焼結時に粗大結晶ができやす
く、その粗大結晶には中間層形成用の粒子が付着しない
ためである。
中間層形成用の炭化珪素粒子の平均粒径を0゜4〜0.
8μ頂に設定した理由は、0.4μm未満であると、粒
子が基材の気孔径よりも小さくなって、その気孔中に侵
入し、所要の厚みを確保できなくなり、0.8μmを超
過すると、基材形成用粒子との差異がなくなって、濾過
膜形成粒子を保持できなくなるためである。中vI層形
成粒子も同様に粒度が揃っていた方がよく、0.3〜1
゜0μmの範囲の粒子が60重量%以上であることが好
ましい。又、中間層形成用の炭化珪素粒子はα型である
ことが望ましい。その理由は粒度調節がしやすいためで
ある。
濾過膜形成用の炭化珪素粒子の平均粒径を0゜1〜0.
3μmに設定した理由は、0.1μ幅未満であると、そ
の粒子が中間層を形成する粒子間に侵入して中間層の表
面に残存する割合が減少し、濾過膜自体の気孔径が増大
するためであり、0゜3μmを超過すると、中間層形成
用粒子と大きさが近似することになって、微細なりラッ
ドの濾過ができなくなるためである。又、濾過膜形成用
粒子の60重量%以上が0.05μl11〜0.4μm
の粒度範囲にあって、その粒度が揃っていることが望ま
しい。この濾過膜形成用の炭化珪素粒子はβ型であるこ
とが望ましい。その理由は微細な粒子が容易に得られや
すいためである。
上記のフィルターを製造する場合、平均粒径が0.8〜
2.O,1JI11の炭化珪素粒子を主成分とする基材
形成材料を焼結することにより基材を形成し、平均粒径
が0.4〜0.8μmの炭化珪素粒子を分散させた中間
層形成用のスラリーによって前記基材の表面に中間層用
の膜を形成した後、その膜を加熱乾燥することにより、
中間層形成用の炭化珪素粒子を基材表面に焼付け、更に
、平均粒径が0.1〜0.3μmの炭化珪素粒子を分散
させた濾過膜形成用のスラリーによって前記中間層の表
面に膜を形成し、その膜を加熱乾燥することにより、濾
過膜形成用の炭化珪素粒子を前記中間層の表面に焼付け
るようにしている。
即ち、前記基材を形成するには、基材原料粉末とメチル
セルロース等のバインダーとを混合して、押出し成形に
よりパイプ状りこ成形し、その成形体を焼結することが
望ましい。この焼結に際しては、原料粉末中に残存する
5IOz及びCが反応してSiO及びCOを生じると、
そのSiOが粗大結晶を作る要因となるため、焼結雰囲
気中におけるco4度は1%以下であることが望ましい
前記中間層を基材の表面に形成したり、濾過膜を中間層
の表面に形成したりするには、原料粉末をアンモニア水
溶液等の分散媒に分散させてスラリーを調整し、そのス
ラリーに基材若しくは中間層を形成した基材を浸漬して
所定圧力でスラリーを吸引することにより、原料粉末を
基材若しくは中間層に薄膜状に付着させ、その後、炭化
珪素の焼成温度以下の温度で原料粒子を基材若しくは中
間層に焼付ることが望ましい。
原料粉末を基材若しくは中間層に付着させるには、上記
の分散吸引処理の他、原料粉末を分散させたスラリーを
吹きつけることによっても可能である。又、焼成温度以
下で原料粒子の焼付を行えば、原料粒子が焼結されるこ
とがなく、よって気孔径の増大が抑制される。
更に、中間層形成用粉末及び濾過膜形成用粉末の薄膜形
成前にそれぞれ基材の焼結及び中間層の焼付処理を行う
理由は、焼結又は焼付によって材料中の有機分が除去さ
れて基材や中間層の表面略全体に炭化珪素が露出し、そ
の後に形成される中間層や濾過膜の形成材料との親和性
が向上して、それらを保持し易くできるためである。
次に、この発明を具体化した実施例について説明する。
[実施例1] 平均粒径が1.2μmで、かつ80重量%が0゜7〜3
.2μmの粒度範囲にあるα−3iC粉末(不二見研碧
材株式会社製 #8000)、100重量部に対し、9
重量%のメチルセルロース水溶液30重量及びパラフィ
ンワックス2重量部を混合した後、押出し成形機によっ
てパイプ状の成形体を形成し、この成形体をカーボン製
治具に載置した状態で乾燥した。乾燥後、前記成形体を
所定長さに切断して黒鉛製ルツボに装入し、0.4To
rrの減圧下、5℃/winの速度で1700℃までゆ
っくり焼成した。1700℃で、−雰囲気中のCO濃度
を測定したところ、0.1%であり、SiOの発生が減
少していることを確認した。そして、10℃/ ts 
i nの速度で2100℃まで引き続き昇温し、1時間
保持した。
その結果、得られた焼結体は内径3Im、外形1011
及び長さ180mのサイズを有し、平均気孔径が1.9
6μ1.気孔率が49容量%であった。
続いて、この焼結体を酸化炉中に装入し、800℃で1
時間保持して脱炭を行い、第1図及び第2図に示すパイ
プ状基材1を製造した。
次に、0.6μmの平均粒径を有し、その80重量%が
0.4〜0.9μ鴎の粒度範囲にある中間層形成用のα
−5tC粉末(不二見研磨材株式会社製 #10000
)をアンモニア水溶液(?!度0.1重量%)に分散さ
せて、2重量%のスラリーを調整し、このスラリーに前
記基材1を浸漬した後、スラリーを30cmHHの圧力
で、45秒間吸引し、その直後に76cmHgの圧力で
10秒間吸引して基材表面に中間層用の膜を形成した。
そして、膜を形成した基材1を1日間自然乾燥させた後
、タンマン型焼成炉に装入し、1気圧のアルゴンガス雰
囲気中で、900℃までは5℃/min、900℃〜1
700℃までは10℃/1linの割合で昇温し、17
00℃に1時間保持して、前記中間層用の膜の焼付を行
った。これを冷却した後、酸化炉中で800℃まで昇温
し、その温度に1時間保持して脱炭処理を施した。その
結果、厚さ15μmの中間層2が形成された。
更に、平均粒径が0.15μmで、かつ80重量%が0
.1〜0.3μmの粒度範囲にある濾過膜形成用のβ−
3iC粉末(イビデン株式会社製ベータランダムUF)
をアンモニア水溶液(濃度0.1重量%)に分散させて
、0.1重量%のスラリーを調整し、このスラリーに前
記中間層2を有する基材1を浸漬して、前記中間層形成
時と同様の操作によって焼付及び脱炭を行った。その結
果、厚さ3μmの濾過膜3が得られた。
上記のように製造された3N構造のフィルターでは、表
1に示すように、濾過膜3の平均気孔径が0.2μmで
あった。又、純水を基材1側から濾過膜3側へ圧送した
ところ、その通水量は4r+?/rd・hr、圧力損失
はΔP=0. 2Kgf/aa  であって、優れた濾
過特性を示すものであった。第3図及び第4図にこの実
施例のフィルターの断面及び表面の拡大写真(1000
倍)を示す。
[実施例2] 次に、実施例2について説明すると、この実施例2では
基材lの原料粉末として、平均粒径が0゜9μmのβ−
3iC(イビデン株式会社製、ベータランダム)を用い
た点について前記実施例1と異なり、製造手順等につい
ては実施例1と同様である。得られたフィルターの特性
を表1に示す。尚、表1には比較例として従来構成のフ
ィルターの特性も合わせて記載した。
この表から明らかなように、各実施例1.2で得られた
フィルターでは、比較例のフィルターと比較して、気孔
径の大きな基材1を用いることができるため、圧力損失
を大幅に低減すると共に、通水量を大幅に増加させるこ
とができる。又、基材1と濾過膜3との間には中間1i
2が形成されているため、濾過膜形成粒子として微細な
ものを使用した場合でも、その粒子を基材l上に確実に
保持することができる。その結果、濾過膜3の気孔径を
小さく設定できて、微細なりラッドも確実に濾過するこ
とができる。
表1 フィルターの特性 [発明の効果] 以上詳述したように、この発明のフィルターでは基材の
表面に中間層及び濾過膜を順次形成したので、濾過膜の
形成粒子が基材の形成粒子間へ侵入することを未然に防
止して、濾過膜の気孔径を所要の設定値に確実に維持で
きると共に、濾過処理時における圧力損失を抑制して、
通水量を適量に維持でき、よって効率的な濾過処理を行
うことができるという優れた効果を発揮する。又、上記
のフィルターを製造するために、基材、中間層及び濾過
膜を炭化珪素によって形成し、基材に中間層を焼付けた
後、その中間層に濾過膜を焼付けるようにしたので、中
間層や濾過膜を基材や中間層に強固に付着させることが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明を具体化した実施例1におけるフィル
ターの一部を示す斜視図、第2図は同じく部分拡大断面
図、第3図は断面構造を示す顕微鏡写真(1000倍)
、第4図は表面構造を示す顕微鏡写真(1000倍)で
ある。 1・・・基材、2・・・中間層、3・・・濾過膜。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 平均粒径が0.8〜2.0μmの炭化珪素粒子から
    焼結された基材の表面に、平均粒径が0.4〜0.8μ
    mの炭化珪素粒子を付着させて中間層を形成すると共に
    、その中間層の表面には、平均粒径が0.1〜0.3μ
    mの炭化珪素粒子を付着させて濾過膜を形成したことを
    特徴とするフィルター。 2 平均粒径が0.8〜2.0μmの炭化珪素粒子を主
    成分とする基材形成材料を焼結することにより基材を形
    成し、平均粒径が0.4〜0.8μmの炭化珪素粒子を
    分散させた中間層形成用のスラリーによって前記基材の
    表面に中間層用の膜を形成した後、その膜を加熱乾燥す
    ることにより、中間層形成用の炭化珪素粒子を基材表面
    に焼付け、更に、平均粒径が0.1〜0.3μmの炭化
    珪素粒子を分散させた濾過膜形成用のスラリーによって
    前記中間層の表面に膜を形成し、その膜を加熱乾燥する
    ことにより、濾過膜形成用の炭化珪素粒子を前記中間層
    の表面に焼付けたことを特徴とするフィルターの製造方
    法。
JP1231922A 1989-07-29 1989-09-07 フィルター及びその製造方法 Pending JPH03123613A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19788889 1989-07-29
JP1-197888 1989-07-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03123613A true JPH03123613A (ja) 1991-05-27

Family

ID=16381966

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1231922A Pending JPH03123613A (ja) 1989-07-29 1989-09-07 フィルター及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03123613A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007025372A1 (en) * 2005-08-31 2007-03-08 Norgen Biotek Corporation Industrial silicon carbide filtration method
US9623493B2 (en) 2008-11-19 2017-04-18 Kennametal Inc. Double-sided ball end mill cutting insert and tool therefor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007025372A1 (en) * 2005-08-31 2007-03-08 Norgen Biotek Corporation Industrial silicon carbide filtration method
US9623493B2 (en) 2008-11-19 2017-04-18 Kennametal Inc. Double-sided ball end mill cutting insert and tool therefor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6892821B2 (ja) 無機メンブランフィルターおよびその方法
EP2045001A1 (en) Ceramic filter
EP2559470B1 (en) Exhaust gas purification filter, and method for manufacturing exhaust gas purification filter
WO2010062794A1 (en) Coated particulate filter and method
WO2009001970A1 (ja) 分離膜複合体及び分離膜複合体の製造方法
EP1063005B1 (en) Ceramic membrane
US4980062A (en) Inorganic membrane
WO2013042262A1 (ja) 炭素膜の製造方法
JP3698906B2 (ja) 複層構造ハニカムフィルタ及びその製造方法
CN107567353A (zh) 包括贫含氧的sic膜的过滤器
EP2832414B1 (en) Production method for honeycomb filter
JPH03123613A (ja) フィルター及びその製造方法
JP2004089838A (ja) 分離膜モジュール及びその製造方法
WO2005075051A1 (ja) フィルタ触媒の製造方法
JP3593535B2 (ja) 多孔質体及びその製造方法
JPH05146617A (ja) 炭化珪素質フイルタ及びその製造方法
JP2001072479A (ja) 炭化ケイ素質多孔体およびその製造方法
JP2003220319A (ja) 分離膜モジュール及びその製造方法
JP4155650B2 (ja) セラミックフィルタの製造方法
JP3784314B2 (ja) 集塵用セラミックスフィルタ及びその製造方法
JP2011201753A (ja) 炭素膜の製造方法
JPH11116352A (ja) セラミックス多孔体の製造方法
JP2001206785A (ja) 炭化ケイ素質多孔体の製造方法
JP3287019B2 (ja) セラミック多孔体の製造方法
JPH09234319A (ja) 多孔質セラミックス膜及びセラミックスフィルター並びにその製造方法