JPH0312676B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0312676B2 JPH0312676B2 JP61113756A JP11375686A JPH0312676B2 JP H0312676 B2 JPH0312676 B2 JP H0312676B2 JP 61113756 A JP61113756 A JP 61113756A JP 11375686 A JP11375686 A JP 11375686A JP H0312676 B2 JPH0312676 B2 JP H0312676B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- pump
- dry vacuum
- vacuum pump
- labyrinth seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、非接触型ドライ真空ポンプ（スクリ
ユウポンプ、ルーツポンプ、ターボポンプ等）と
接触型ドライ真空ポンプ（ベーンポンプ、カムポ
ンプ等）との組合せにおいて、非接触型ドライ真
空ポンプの軸シールに関するものである。
ユウポンプ、ルーツポンプ、ターボポンプ等）と
接触型ドライ真空ポンプ（ベーンポンプ、カムポ
ンプ等）との組合せにおいて、非接触型ドライ真
空ポンプの軸シールに関するものである。
（従来技術）
従来大気圧より、10-3Torrまで真空排気する
場合、油回転真空ポンプが使用されていたが、油
液を使用していたため、真空容器内の油汚染、オ
イルミストによる室内汚染、水分等の凝縮性ガス
排気の場合油劣化による性能低下、腐蝕性ガス排
気の場合油とけ込みによるポンプ破損等が問題と
なつた。
場合、油回転真空ポンプが使用されていたが、油
液を使用していたため、真空容器内の油汚染、オ
イルミストによる室内汚染、水分等の凝縮性ガス
排気の場合油劣化による性能低下、腐蝕性ガス排
気の場合油とけ込みによるポンプ破損等が問題と
なつた。
右問題点を解決するため、出願人は特願昭60−
241389を提供した。右発明は、スクリユウポンプ
とその後段に一段又は複数段のベーンポンプを配
設し、該スクリユウポンプと該ベーンポンプは、
単一の駆動源により駆動されることを特徴とする
複合型ドライ真空ポンプであり、非接触型ドライ
真空ポンプの一つであるスクリユウポンプを前段
に接触型ドライ真空ポンプの一つであるベーンポ
ンプを後段に配したものであるが、以下にその概
略を説明する。
241389を提供した。右発明は、スクリユウポンプ
とその後段に一段又は複数段のベーンポンプを配
設し、該スクリユウポンプと該ベーンポンプは、
単一の駆動源により駆動されることを特徴とする
複合型ドライ真空ポンプであり、非接触型ドライ
真空ポンプの一つであるスクリユウポンプを前段
に接触型ドライ真空ポンプの一つであるベーンポ
ンプを後段に配したものであるが、以下にその概
略を説明する。
第４図は、右発明の一実施例を示す概略図であ
る。真空容器内のガスは、真空吸入口９より吸入
され、スクリユウポンプ駆動軸５の駆動によりス
クリユウポンプ１にて圧縮され、スクリユウポン
プ排気口１０、第一段ベーンポンプ吸入口１１を
経て、ベーンポンプ駆動軸７の駆動により第一段
ベーンポンプ２、第二段ベーンポンプ３、第三段
ベーンポンプ４の順に圧縮されて、排出口１４よ
り大気中に放出される。右発明は、前段にスクリ
ユウポンプを配しているため、右スクリユウポン
プは、非接触型ドライ真空ポンプの一般的な特徴
である高真空で良い性能を示し、後段にベーンポ
ンプを配しているため、右ベーンポンプは、接触
型ドライ真空ポンプの一般的な特徴である低真空
で良い性能を示すので、両ポンプあいまつて、効
率的に真空状態が得られるのである。スクリユウ
ポンプ１の駆動軸である駆動軸５には、シール材
としてゴムパツキング６が使われている。
る。真空容器内のガスは、真空吸入口９より吸入
され、スクリユウポンプ駆動軸５の駆動によりス
クリユウポンプ１にて圧縮され、スクリユウポン
プ排気口１０、第一段ベーンポンプ吸入口１１を
経て、ベーンポンプ駆動軸７の駆動により第一段
ベーンポンプ２、第二段ベーンポンプ３、第三段
ベーンポンプ４の順に圧縮されて、排出口１４よ
り大気中に放出される。右発明は、前段にスクリ
ユウポンプを配しているため、右スクリユウポン
プは、非接触型ドライ真空ポンプの一般的な特徴
である高真空で良い性能を示し、後段にベーンポ
ンプを配しているため、右ベーンポンプは、接触
型ドライ真空ポンプの一般的な特徴である低真空
で良い性能を示すので、両ポンプあいまつて、効
率的に真空状態が得られるのである。スクリユウ
ポンプ１の駆動軸である駆動軸５には、シール材
としてゴムパツキング６が使われている。
（発明が解決しようとする問題点）
このように複合型ドライ真空ポンプは、効率的
性能を示すが、よりポンプ性能をあげるために
は、前段のスクリユウポンプの性能により、大き
く左右され、前段のスクリユウポンプの回転数の
アツプが、ポンプ性能の改善が役立つのである。
しかしながら、スクリユウポンプの回転数を、
3000r.p.m以上に回転数をアツプさせると、ゴム
パツキング６に用いられるゴムに発熱や摩耗の可
能性があり、したがつて、3000r.p.m以上に回転
数を上げるのは困難であつた。
性能を示すが、よりポンプ性能をあげるために
は、前段のスクリユウポンプの性能により、大き
く左右され、前段のスクリユウポンプの回転数の
アツプが、ポンプ性能の改善が役立つのである。
しかしながら、スクリユウポンプの回転数を、
3000r.p.m以上に回転数をアツプさせると、ゴム
パツキング６に用いられるゴムに発熱や摩耗の可
能性があり、したがつて、3000r.p.m以上に回転
数を上げるのは困難であつた。
（問題点を解決する手段）
本発明は、従来の気密シール材に換えて、ラビ
リンスシール溝を、非接触型ドライ真空ポンプの
駆動軸５上に設け、右溝にリークした大気を、後
段の接触型ドライ真空ポンプで、排気することに
より、前段の非接触型ドライ真空ポンプの回転数
を、アツプ出来るようにしたことを特徴とする軸
シール構造に関するものである。
リンスシール溝を、非接触型ドライ真空ポンプの
駆動軸５上に設け、右溝にリークした大気を、後
段の接触型ドライ真空ポンプで、排気することに
より、前段の非接触型ドライ真空ポンプの回転数
を、アツプ出来るようにしたことを特徴とする軸
シール構造に関するものである。
すなわち、非接触型ドライ真空ポンプと接触型
ドライ真空ポンプとを連結した複合型ドライ真空
ポンプにおいて、非接触型ドライ真空ポンプの駆
動軸上にラビリンスシール溝を設け、該溝に排気
路を介して、接触型ドライ真空ポンプを連結した
ことを、特徴とする非接触型ドライ真空ポンプの
ラビリンスシールに関するもの（本件第一発明）、
及び非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真
空ポンプとを連結した複合型ドライ真空ポンプに
おいて、非接触型ドライ真空ポンプの駆動軸上に
ラビリンスシール溝を設け、該溝に排気路を介し
て、接触型ドライ真空ポンプを連結し、該溝にネ
ジ又は回転翼機構を付加したことを、特徴とする
非接触型ドライ真空ポンプの軸シールに関するも
の（本件第二発明）である。
ドライ真空ポンプとを連結した複合型ドライ真空
ポンプにおいて、非接触型ドライ真空ポンプの駆
動軸上にラビリンスシール溝を設け、該溝に排気
路を介して、接触型ドライ真空ポンプを連結した
ことを、特徴とする非接触型ドライ真空ポンプの
ラビリンスシールに関するもの（本件第一発明）、
及び非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真
空ポンプとを連結した複合型ドライ真空ポンプに
おいて、非接触型ドライ真空ポンプの駆動軸上に
ラビリンスシール溝を設け、該溝に排気路を介し
て、接触型ドライ真空ポンプを連結し、該溝にネ
ジ又は回転翼機構を付加したことを、特徴とする
非接触型ドライ真空ポンプの軸シールに関するも
の（本件第二発明）である。
（作用）
本発明の作用をその実施例について説明すると
第２図は、右実施例の全体の概観図であるが、大
気からリークした空気が、ラビリンスシール溝２
３，２２，２１の順で徐々に真空側に、リークし
ていく。まず右２３にリークした空気は第三段ベ
ーンポンプ４の吸引により第三段排気口２６から
排気路２９を経て、第三段ベーンポンプ４の吸入
口である管１３に入り第三段ベーンポンプ４を経
て、排気口１４から大気に排出される。同様に、
右２３から２２にリークした空気は第二段ベーン
ポンプ３の吸引により第二段排気口２５から、排
気路２８を経て、第二段ベーンポンプ３の吸入口
である管１２に入り第二段ベーンポンプ３、第三
段ベーンポンプ４を経て、排気口１４から大気に
排出される。同様に、右２３から２２そして２１
にリークした空気は第一段ベーンポンプ２の吸引
により第一段排気口２４から、排気路２７を経
て、第一段ベーンポンプ吸入口１１より第一段ベ
ーンポンプ２に入り第二段ベーンポンプ３、第三
段ベーンポンプ４を経て、排気口１４から大気に
排出される。
第２図は、右実施例の全体の概観図であるが、大
気からリークした空気が、ラビリンスシール溝２
３，２２，２１の順で徐々に真空側に、リークし
ていく。まず右２３にリークした空気は第三段ベ
ーンポンプ４の吸引により第三段排気口２６から
排気路２９を経て、第三段ベーンポンプ４の吸入
口である管１３に入り第三段ベーンポンプ４を経
て、排気口１４から大気に排出される。同様に、
右２３から２２にリークした空気は第二段ベーン
ポンプ３の吸引により第二段排気口２５から、排
気路２８を経て、第二段ベーンポンプ３の吸入口
である管１２に入り第二段ベーンポンプ３、第三
段ベーンポンプ４を経て、排気口１４から大気に
排出される。同様に、右２３から２２そして２１
にリークした空気は第一段ベーンポンプ２の吸引
により第一段排気口２４から、排気路２７を経
て、第一段ベーンポンプ吸入口１１より第一段ベ
ーンポンプ２に入り第二段ベーンポンプ３、第三
段ベーンポンプ４を経て、排気口１４から大気に
排出される。
（実施例）
第１，２図は、本発明の一実施例である。ポン
プケース１５にスクリユウポンプ駆動軸５が挿入
されている。スクリユウポンプ駆動軸５に駆動軸
受１６が環設されており、駆動軸受１６にベアリ
ング押え１７が押設されている。駆動軸受１６の
内側には、ポンプケース１５に第一段ラビリンス
シール溝２１、第二段ラビリンスシール溝２２、
第三段ラビリンスシール溝２３が連接されてい
る。第一段ラビリンスシール溝２１には、第一段
排気口２４が連接されており、第一段排気口２４
は、排気路２７を介して第一段ベーンポンプ吸入
口１１に接続している。同じく第二段ラビリンス
シール溝２２は、第二段排気口２５に、第三段ラ
ビリンスシール溝２３は、第三段排気口２６にそ
れぞれ連接されており、第二段排気口２５は排気
路２８を介して第二段ベーンポンプ３の吸入口で
ある管１２に、第三段排気口２６は排気路２７を
介して第三段ベーンポンプ４の吸入口である管１
３にそれぞれ接続している。右のような構造を取
ることにより、大気から真空への圧力差を、段階
的に変えることができ、真空側へのリークの影響
を、少なくする事ができる。
プケース１５にスクリユウポンプ駆動軸５が挿入
されている。スクリユウポンプ駆動軸５に駆動軸
受１６が環設されており、駆動軸受１６にベアリ
ング押え１７が押設されている。駆動軸受１６の
内側には、ポンプケース１５に第一段ラビリンス
シール溝２１、第二段ラビリンスシール溝２２、
第三段ラビリンスシール溝２３が連接されてい
る。第一段ラビリンスシール溝２１には、第一段
排気口２４が連接されており、第一段排気口２４
は、排気路２７を介して第一段ベーンポンプ吸入
口１１に接続している。同じく第二段ラビリンス
シール溝２２は、第二段排気口２５に、第三段ラ
ビリンスシール溝２３は、第三段排気口２６にそ
れぞれ連接されており、第二段排気口２５は排気
路２８を介して第二段ベーンポンプ３の吸入口で
ある管１２に、第三段排気口２６は排気路２７を
介して第三段ベーンポンプ４の吸入口である管１
３にそれぞれ接続している。右のような構造を取
ることにより、大気から真空への圧力差を、段階
的に変えることができ、真空側へのリークの影響
を、少なくする事ができる。
第３図は、本発明の他の実施例を示すものであ
る。駆動軸受１６の内側には、ポンプケース１５
に第一段ラビリンスシール溝２１、第二段ラビリ
ンスシール溝２２が連接されている。第一段ラビ
リンスシール溝２１には、第一段排気口２４が連
接されており、第一段排気口２４は、排気路２８
を介して（但し図示されていず）、第二段ベーン
ポンプ吸入口１２に接続している。第二段ラビリ
ンスシール溝２２には、第二段排気口２５が連接
されており、第二段排気口２５は、排気路２９を
介して（但し図示されていず）、第三段ベーンポ
ンプ４の吸入口である管１３に接続している。そ
れぞれ駆動軸受１６と第二段ラビリンスシール溝
２２の間、第二段ラビリンスシール溝２２と第一
段ラビリンスシール溝２１の間、及び第一段ラビ
リンスシール溝２１より内側には、ネジ３０，３
０，３０が、スクリユウポンプ駆動軸５に環設さ
れており、ネジ３０，３０，３０は、スクリユウ
ポンプ駆動軸５とともに回転する。右回転により
大気側からもれてくる空気を、ネジの回転により
再び大気側に押しやる事が出来、第一段ラビリン
スシール溝２１、第二段ラビリンスシール溝２２
とあいまつて、真空側へのリークの影響を、最小
限に食い止めることができる。
る。駆動軸受１６の内側には、ポンプケース１５
に第一段ラビリンスシール溝２１、第二段ラビリ
ンスシール溝２２が連接されている。第一段ラビ
リンスシール溝２１には、第一段排気口２４が連
接されており、第一段排気口２４は、排気路２８
を介して（但し図示されていず）、第二段ベーン
ポンプ吸入口１２に接続している。第二段ラビリ
ンスシール溝２２には、第二段排気口２５が連接
されており、第二段排気口２５は、排気路２９を
介して（但し図示されていず）、第三段ベーンポ
ンプ４の吸入口である管１３に接続している。そ
れぞれ駆動軸受１６と第二段ラビリンスシール溝
２２の間、第二段ラビリンスシール溝２２と第一
段ラビリンスシール溝２１の間、及び第一段ラビ
リンスシール溝２１より内側には、ネジ３０，３
０，３０が、スクリユウポンプ駆動軸５に環設さ
れており、ネジ３０，３０，３０は、スクリユウ
ポンプ駆動軸５とともに回転する。右回転により
大気側からもれてくる空気を、ネジの回転により
再び大気側に押しやる事が出来、第一段ラビリン
スシール溝２１、第二段ラビリンスシール溝２２
とあいまつて、真空側へのリークの影響を、最小
限に食い止めることができる。
なお、右ネジに換えて、周辺部に翼を供えた回
転翼機構（但し、図示されていず）のものでもよ
い。
転翼機構（但し、図示されていず）のものでもよ
い。
又、本発明は、スクリユウポンプとベーンポン
プの組み合わせに限定される事なく、非接触型ド
ライ真空ポンプと接触型ドライ真空ポンプとを連
結した複合型ドライ真空ポンプであればよく、非
接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真空ポン
プとを並列に連結したものでも良い。
プの組み合わせに限定される事なく、非接触型ド
ライ真空ポンプと接触型ドライ真空ポンプとを連
結した複合型ドライ真空ポンプであればよく、非
接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真空ポン
プとを並列に連結したものでも良い。
（効果）
本発明による効果は、次のとおりである。すな
わち、非接触型ドライ真空ポンプの軸シールにラ
ビリンスシールを用いることにより、3000r.p.m
以上の回転を可能にすることができるので、より
高真空を得ることができ、リークの心配が少な
く、又、気密シール材の発熱や摩耗の心配がなく
なつた。
わち、非接触型ドライ真空ポンプの軸シールにラ
ビリンスシールを用いることにより、3000r.p.m
以上の回転を可能にすることができるので、より
高真空を得ることができ、リークの心配が少な
く、又、気密シール材の発熱や摩耗の心配がなく
なつた。
又、ラビリンスシール溝に、接触型ドライ真空
ポンプを接続する事により、リークした大気を排
気でき、しかも接触型ドライ真空ポンプを効率的
に運用できる。
ポンプを接続する事により、リークした大気を排
気でき、しかも接触型ドライ真空ポンプを効率的
に運用できる。
更に、ネジ３０又は回転翼をつかつたもので
は、気密性がより高くなる。
は、気密性がより高くなる。
第２図は、本発明の一実施例の全体の概観を示
す側面図であり、第１図は第２図のラビリンスシ
ール溝２１，２２，２３付近の拡大図であり、第
３図は本第二発明の一実施例を示す側面図であ
り、第４図は、従来の非接触型ドライ真空ポンプ
と接触型ドライ真空ポンプとを連結した複合型ド
ライ真空ポンプのうちの一実施例の側面図を示す
ものであり、第５図は、第４図のうちのゴムパツ
キング６の拡大図を、示すものである。 １……スクリユウポンプ、２……第一段ベーン
ポンプ、３……第二段ベーンポンプ、４……第三
段ベーンポンプ、５……スクリユウポンプ駆動
軸、７……ベーンポンプ駆動軸、６，８……ゴム
パツキング、９……真空吸入口、１０……スクリ
ユウポンプ排気口、１１……第一段ベーンポンプ
吸入口、１２，１３……管、１４……排出口、１
５……ポンプケース、１６……駆動軸受、１７…
…ベアリング押え、２１……第一段ラビリンスシ
ール溝、２２……第二段ラビリンスシール溝、２
３……第三段ラビリンスシール溝、２４……第一
段排気口、２５……第二段排気口、２６……第三
段排気口、２７，２８，２９……排気路、３０…
…ネジ。
す側面図であり、第１図は第２図のラビリンスシ
ール溝２１，２２，２３付近の拡大図であり、第
３図は本第二発明の一実施例を示す側面図であ
り、第４図は、従来の非接触型ドライ真空ポンプ
と接触型ドライ真空ポンプとを連結した複合型ド
ライ真空ポンプのうちの一実施例の側面図を示す
ものであり、第５図は、第４図のうちのゴムパツ
キング６の拡大図を、示すものである。 １……スクリユウポンプ、２……第一段ベーン
ポンプ、３……第二段ベーンポンプ、４……第三
段ベーンポンプ、５……スクリユウポンプ駆動
軸、７……ベーンポンプ駆動軸、６，８……ゴム
パツキング、９……真空吸入口、１０……スクリ
ユウポンプ排気口、１１……第一段ベーンポンプ
吸入口、１２，１３……管、１４……排出口、１
５……ポンプケース、１６……駆動軸受、１７…
…ベアリング押え、２１……第一段ラビリンスシ
ール溝、２２……第二段ラビリンスシール溝、２
３……第三段ラビリンスシール溝、２４……第一
段排気口、２５……第二段排気口、２６……第三
段排気口、２７，２８，２９……排気路、３０…
…ネジ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真
空ポンプとを連結した複合型ドライ真空ポンプに
おいて、非接触型ドライ真空ポンプの駆動軸上に
ラビリンスシール溝を設け、該溝に排気路を介し
て、接触型ドライ真空ポンプを連結したことを特
徴とする非接触型ドライ真空ポンプのラビリンス
シール。 ２ 非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真
空ポンプとを連結した複合型ドライ真空ポンプに
おいて、非接触型ドライ真空ポンプの駆動軸上に
ラビリンスシール溝を設け、該溝に排気路を介し
て、接触型ドライ真空ポンプを連結し、該溝にネ
ジ又は回転翼機構を付加したことを、特徴とする
非接触型ドライ真空ポンプの軸シール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11375686A JPS62271973A (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | ドライ真空ポンプのラビリンスシ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11375686A JPS62271973A (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | ドライ真空ポンプのラビリンスシ−ル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62271973A JPS62271973A (ja) | 1987-11-26 |
| JPH0312676B2 true JPH0312676B2 (ja) | 1991-02-20 |
Family
ID=14620339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11375686A Granted JPS62271973A (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | ドライ真空ポンプのラビリンスシ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62271973A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2690098B2 (ja) * | 1988-03-03 | 1997-12-10 | ファナック株式会社 | レーザ発振装置 |
| JP2002257070A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52106110A (en) * | 1976-03-03 | 1977-09-06 | Hitachi Ltd | Rotating air tight seal mechanism |
-
1986
- 1986-05-20 JP JP11375686A patent/JPS62271973A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62271973A (ja) | 1987-11-26 |
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