JPS62271973A - ドライ真空ポンプのラビリンスシ−ル - Google Patents
ドライ真空ポンプのラビリンスシ−ルInfo
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- JPS62271973A JPS62271973A JP11375686A JP11375686A JPS62271973A JP S62271973 A JPS62271973 A JP S62271973A JP 11375686 A JP11375686 A JP 11375686A JP 11375686 A JP11375686 A JP 11375686A JP S62271973 A JPS62271973 A JP S62271973A
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- Japan
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- pump
- labyrinth seal
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- vacuum pump
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- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 7
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 241001128391 Taia Species 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
三、 発明の詳細な説明
（産業上の利用分野）
本発明は、非接触型トライ真空ポンプ（スクリュウポン
プ、ルーツポンプ、ターボポンプ等）と接触型ドライ真
空ポンプ（ベーンポンプ、カムポンプ等）との組合せに
おいて、非接触型ドライ真空ポンプの軸シールに間する
ものである。
プ、ルーツポンプ、ターボポンプ等）と接触型ドライ真
空ポンプ（ベーンポンプ、カムポンプ等）との組合せに
おいて、非接触型ドライ真空ポンプの軸シールに間する
ものである。
（従来技術）
従来大気圧より、１Ｏ−３Ｔｏｒｒまで真空排気する場
合、油回転真空ポンプが使用されていたが、油液を使用
していたため、真空容器内の油汚染、オイルミストによ
る室内汚染、水分等の凝縮性ガス排気の場合油劣化によ
る性能低下、腐蝕性ガス排気の場合油とけ込みによるポ
ンプ破損等が問題となった。
合、油回転真空ポンプが使用されていたが、油液を使用
していたため、真空容器内の油汚染、オイルミストによ
る室内汚染、水分等の凝縮性ガス排気の場合油劣化によ
る性能低下、腐蝕性ガス排気の場合油とけ込みによるポ
ンプ破損等が問題となった。
右問題点を解決するため、出願人は特願昭６０−２４１
３８９を提供した。右発明は、スクリュウポンプとその
後段に一段又は複数段のベーンポンプを配設し、該スク
リュウポンプと該ベーンポンプは、単一の駆動源により
駆動されることを特徴とする複合型ドライ真空ポンプて
あり、非接触型ドライ真空ポンプの−っであるスクリュ
ヮボンブを前段に接触型ドライ真空ポンプの一つである
ベーンポンプを後段に配したものであるが、以下にその
概略を説明する。
３８９を提供した。右発明は、スクリュウポンプとその
後段に一段又は複数段のベーンポンプを配設し、該スク
リュウポンプと該ベーンポンプは、単一の駆動源により
駆動されることを特徴とする複合型ドライ真空ポンプて
あり、非接触型ドライ真空ポンプの−っであるスクリュ
ヮボンブを前段に接触型ドライ真空ポンプの一つである
ベーンポンプを後段に配したものであるが、以下にその
概略を説明する。
第四図は、右発明の一実施例を示す概略図である。真空
容器内のガスは、真空吸入口９より吸入され、スクリュ
ウポンプ駆動軸５の駆動によりスクリュウポンプｌにて
圧縮され、スクリュウポンプＩｌ−スロｌＯ１第一段ベ
ーンボンブ吸入口１１を経て、ベーンポンプ駆動軸７の
駆動により第一段ベーンポンプ２、第二段ベーンポンプ
３、第三段ベーンポンプ４の順に圧縮されて、排出口１
４より大気中に放出される。右発明は、前段にスクリュ
ウポンプを配しているため、右スクリュウポンプは、非
接触型ドライ真空ポンプの一般的な特徴である高真空で
良い性能を示し、後段にベーンポンプを配しているため
、右ベーンポンプは、接触型ドライ真空ポンプの一般的
な特徴である低真空 。
容器内のガスは、真空吸入口９より吸入され、スクリュ
ウポンプ駆動軸５の駆動によりスクリュウポンプｌにて
圧縮され、スクリュウポンプＩｌ−スロｌＯ１第一段ベ
ーンボンブ吸入口１１を経て、ベーンポンプ駆動軸７の
駆動により第一段ベーンポンプ２、第二段ベーンポンプ
３、第三段ベーンポンプ４の順に圧縮されて、排出口１
４より大気中に放出される。右発明は、前段にスクリュ
ウポンプを配しているため、右スクリュウポンプは、非
接触型ドライ真空ポンプの一般的な特徴である高真空で
良い性能を示し、後段にベーンポンプを配しているため
、右ベーンポンプは、接触型ドライ真空ポンプの一般的
な特徴である低真空 。
で良い性能を示すので、両ポンプあいまって、効率的に
真空状態が得られるのである。スクリュウポンプ１の駆
動軸である駆動軸５には、シール材としてゴムバッキン
グ６が使われている。
真空状態が得られるのである。スクリュウポンプ１の駆
動軸である駆動軸５には、シール材としてゴムバッキン
グ６が使われている。
（発明が解決しようとする問題点）
このように複合型ドライ真空ポンプは、効率的性能を示
すが、よりポンプ性能をあげるためには、前段のスクリ
ュウポンプの性能により、大きく左右され、前段のスク
リュウポンプの回転数のアップが、ポンプ性能の改善に
役立つのである。しかしながら、スクリュウポンプの回
転数を、３０００ｒ、ｐ、ｍ以上に回転数をアップさせ
ると、ゴムバッキング６に用いられるゴムに発熱や摩耗
の可能性があり、したがって、３０００ｒ、ｐ、ｍ以上
に回転数を上げるのは困難であった。
すが、よりポンプ性能をあげるためには、前段のスクリ
ュウポンプの性能により、大きく左右され、前段のスク
リュウポンプの回転数のアップが、ポンプ性能の改善に
役立つのである。しかしながら、スクリュウポンプの回
転数を、３０００ｒ、ｐ、ｍ以上に回転数をアップさせ
ると、ゴムバッキング６に用いられるゴムに発熱や摩耗
の可能性があり、したがって、３０００ｒ、ｐ、ｍ以上
に回転数を上げるのは困難であった。
（問題点を解決する手段）
本発明は、従来の気密シール材に換えて、ラビリンスシ
ール溝を、非接触型ドライ真空ポンプの駆動軸５上に設
け、右溝にリークした大′ｙｃを、後段の接触型ドライ
真空ポンプで、排気することにより、前段の非接触型ド
ライ真空ポンプの回転数を、アップ出来るようにしたこ
とを特徴とする軸シール構造に間するものである。
ール溝を、非接触型ドライ真空ポンプの駆動軸５上に設
け、右溝にリークした大′ｙｃを、後段の接触型ドライ
真空ポンプで、排気することにより、前段の非接触型ド
ライ真空ポンプの回転数を、アップ出来るようにしたこ
とを特徴とする軸シール構造に間するものである。
すなわち、非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真
空ポンプとを連結した複合型ドライ真空ポンプにおいて
、非接触型ドライ真空ポンプの駆動軸上にラビリンスシ
ール溝を設け、線溝に排気路を介して、接触型ドライ真
空ポンプを連結したことを、特徴とする非接触型ドライ
真空ポンプのラビリンスシールに関するもの（本件第一
発明）、及び非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ
真空ポンプとを連結した複合型ドライ真空ポンプにおい
て、非接触型ドライ式空ポンプの駆動軸上にラビリンス
シール溝を設け、線溝に排気路を介して、接触型ドライ
真空ポンプを連結し、線溝にネジ又は回転翼機構を付加
したことを、特徴とする非接触型ドライ真空ポンプの軸
シールに関するもの（本件第二発明）である。
空ポンプとを連結した複合型ドライ真空ポンプにおいて
、非接触型ドライ真空ポンプの駆動軸上にラビリンスシ
ール溝を設け、線溝に排気路を介して、接触型ドライ真
空ポンプを連結したことを、特徴とする非接触型ドライ
真空ポンプのラビリンスシールに関するもの（本件第一
発明）、及び非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ
真空ポンプとを連結した複合型ドライ真空ポンプにおい
て、非接触型ドライ式空ポンプの駆動軸上にラビリンス
シール溝を設け、線溝に排気路を介して、接触型ドライ
真空ポンプを連結し、線溝にネジ又は回転翼機構を付加
したことを、特徴とする非接触型ドライ真空ポンプの軸
シールに関するもの（本件第二発明）である。
（作用）
本発明の作用をその実施例について説明すると第二図は
、右実施例の全体の′ａ観図であるが、大気からリーク
した空気が、ラビリンスシール溝２３．２２．２１の順
で徐々に真空側に、リークしていく。まず右２３にリー
クした空気は第三段ベーンポンプ４の吸引により第三段
排気口２６から排気路２９を経て、第三段ベーンポンプ
４の吸入口である管１３に入り第三段ベーンポンプ４を
経て、排気口１４から大気に排出される。同様に、右２
３から２２にリークした空気は第二段ベーンポンプ３の
吸引により第二段排気口２５から、排気路２８を経て、
第二段ベーンポンプ３の吸入口である管１２に入り第二
段ベーンポンプ３、第三段ベーンポンプ４を経て、排気
口１４から大気に排出される。同様に、右２３から２２
モして２１にリークした空気は第一段ベーンポンプ２の
吸引により第一段排気口２４から、排気路２７を経て、
第一段ベーンポンプ吸入口１１より第一段ベーンポンプ
２に入り第二段ベーンポンプ３、第三段ベーンポンプ４
を経て、排気口１４から大気に排出される。
、右実施例の全体の′ａ観図であるが、大気からリーク
した空気が、ラビリンスシール溝２３．２２．２１の順
で徐々に真空側に、リークしていく。まず右２３にリー
クした空気は第三段ベーンポンプ４の吸引により第三段
排気口２６から排気路２９を経て、第三段ベーンポンプ
４の吸入口である管１３に入り第三段ベーンポンプ４を
経て、排気口１４から大気に排出される。同様に、右２
３から２２にリークした空気は第二段ベーンポンプ３の
吸引により第二段排気口２５から、排気路２８を経て、
第二段ベーンポンプ３の吸入口である管１２に入り第二
段ベーンポンプ３、第三段ベーンポンプ４を経て、排気
口１４から大気に排出される。同様に、右２３から２２
モして２１にリークした空気は第一段ベーンポンプ２の
吸引により第一段排気口２４から、排気路２７を経て、
第一段ベーンポンプ吸入口１１より第一段ベーンポンプ
２に入り第二段ベーンポンプ３、第三段ベーンポンプ４
を経て、排気口１４から大気に排出される。
（実施例）
第１．２図は、本発明の一実施例である。ポンプケース
１５にスクリュウポンプ駆動軸５が挿入されている。ス
クリュウポンプ駆動軸５に駆動軸受１６が環設されてお
り、駆動軸受１６にヘアリング押え１７が押設されてい
る。駆動軸受１６の内側には、ポンプケース１５に第一
段ラビリンスシール溝２１、第二段ラビリンスシール溝
２２、第三段ラビリンスシール溝２３が連接されている
。
１５にスクリュウポンプ駆動軸５が挿入されている。ス
クリュウポンプ駆動軸５に駆動軸受１６が環設されてお
り、駆動軸受１６にヘアリング押え１７が押設されてい
る。駆動軸受１６の内側には、ポンプケース１５に第一
段ラビリンスシール溝２１、第二段ラビリンスシール溝
２２、第三段ラビリンスシール溝２３が連接されている
。
第一段ラビリンスシール溝２１には、第一段排気口２４
が連接されており、第一段排気口２４は、排気路２７を
介して第一段ベーンポンプ吸入口１１に接続している。
が連接されており、第一段排気口２４は、排気路２７を
介して第一段ベーンポンプ吸入口１１に接続している。
同じく第二段ラビリンスシール溝２２は、第二段排気口
２５に、第三段ラビリンスシール溝２３は、第三段排気
口２６にそれぞれ連接されており、第二段排気口２５は
排気路２日を介して第二段ベーンポンプ３の吸入口であ
る管１２に、第三段排気口２６は排気路２７を介して第
三段ベーンポンプ４の吸入口である管１３にそれぞれ接
続している。右のような構造を取ることにより、大気か
ら真空への圧力差を、段階的に変えることができ、真空
側へのリークの影響を、少なくする事ができる。
２５に、第三段ラビリンスシール溝２３は、第三段排気
口２６にそれぞれ連接されており、第二段排気口２５は
排気路２日を介して第二段ベーンポンプ３の吸入口であ
る管１２に、第三段排気口２６は排気路２７を介して第
三段ベーンポンプ４の吸入口である管１３にそれぞれ接
続している。右のような構造を取ることにより、大気か
ら真空への圧力差を、段階的に変えることができ、真空
側へのリークの影響を、少なくする事ができる。
第３図は、本発明の他の実施例を示すものである。駆動
軸受１６の内側には、ポンプケース１５に第一段ラビリ
ンスシールＷ４２１、第二段ラビリンスシール溝２２が
連接されている。第一段ラビリンスシール溝２１には、
第一段排気口２４が連接されており、第一段排気口２４
は、排気路２８を介して（但し図示されていす）、第二
段ベーンポンプ吸入口１２に接続しでいる。第二段ラビ
リンスシール溝２２には、第二段排気口２５が連接され
ており、第二段排気口２５は、排気路２９を介して（但
し図示されていず）、第三段ベーンポンプ４の吸入口で
ある管１３に接続している。それぞれ駆動軸受１６と第
二段ラビリンスシール溝−２２の間、第二段ラビリンス
シール溝２２と第一段ラビリンスジ−ルアＲ２１の間、
及び第一段ラビリンスシール溝２１より内側には、ネジ
３０．３０．３０が、スクリュウポンプ駆動軸５に環設
されており、ネジ３０．３０．３０は、スクリュウポン
プ駆動軸５とともに回転する。右回転により大気側から
もれてくる空気を、ネジの回転により再び大気側に押し
やる事が出来、第一段ラビリンスシール溝２１、第二段
ラビリンスシール溝２２とあいまって、真空側へのリー
クの影響を、最小限に食い止めることができる。
軸受１６の内側には、ポンプケース１５に第一段ラビリ
ンスシールＷ４２１、第二段ラビリンスシール溝２２が
連接されている。第一段ラビリンスシール溝２１には、
第一段排気口２４が連接されており、第一段排気口２４
は、排気路２８を介して（但し図示されていす）、第二
段ベーンポンプ吸入口１２に接続しでいる。第二段ラビ
リンスシール溝２２には、第二段排気口２５が連接され
ており、第二段排気口２５は、排気路２９を介して（但
し図示されていず）、第三段ベーンポンプ４の吸入口で
ある管１３に接続している。それぞれ駆動軸受１６と第
二段ラビリンスシール溝−２２の間、第二段ラビリンス
シール溝２２と第一段ラビリンスジ−ルアＲ２１の間、
及び第一段ラビリンスシール溝２１より内側には、ネジ
３０．３０．３０が、スクリュウポンプ駆動軸５に環設
されており、ネジ３０．３０．３０は、スクリュウポン
プ駆動軸５とともに回転する。右回転により大気側から
もれてくる空気を、ネジの回転により再び大気側に押し
やる事が出来、第一段ラビリンスシール溝２１、第二段
ラビリンスシール溝２２とあいまって、真空側へのリー
クの影響を、最小限に食い止めることができる。
なお、右ネジに換えて、周辺部に翼を供えた回転Ｒ機構
（但し、図示されていず）のものでもよい。
（但し、図示されていず）のものでもよい。
又、本発明は、スクリュウポンプとベーンポンプの組み
合わせに限定される事なく、非接触型トライ真空ポンプ
と接触型ドライ真空ポンプとを連結した複合型ドライ真
空ポンプであればよく、非接触型ドライ真空ポンプと接
触型ドライ真空ポンプとを並列に連結したものでも良い
。
合わせに限定される事なく、非接触型トライ真空ポンプ
と接触型ドライ真空ポンプとを連結した複合型ドライ真
空ポンプであればよく、非接触型ドライ真空ポンプと接
触型ドライ真空ポンプとを並列に連結したものでも良い
。
（効果）
本発明による効果は、次のとおりである。すなわち、非
接触型ドライ真空ポンプの軸シールにラビリンスシール
を用いることにより、３０００ｒ。
接触型ドライ真空ポンプの軸シールにラビリンスシール
を用いることにより、３０００ｒ。
ｐ、ｍ以上の回転を可能にすることができるので、より
高真空を得ることができ、リークの心配が少なく、又、
気密シール材の発熱や摩耗の心配がなくなった。
高真空を得ることができ、リークの心配が少なく、又、
気密シール材の発熱や摩耗の心配がなくなった。
又、ラビリンスシール溝に、接触型ドライ真空ポンプを
接続する事により、リークした大気を排気でき、しかも
接触型ドライ真空ポンプを効率的に運用できる。
接続する事により、リークした大気を排気でき、しかも
接触型ドライ真空ポンプを効率的に運用できる。
更に、ネジ３０又は回転翼をつかったものでは、気密性
がより高くなる。
がより高くなる。
第２図は、本発明の一実施例の全体の概観を示す側面図
であり、第１図は第２図のラビリンスシール溝２１．２
２．２３付近の拡大図であり、第３図は本第二発明の一
実施例を示す側面図であり、第４図は、従来の非接触型
ドライ真空ポンプと接触型ドライ真空ポンプとを連結し
た複合型トライ真空ポンプのうちの一実施例の側面図を
示すものであり、第５図は、第４図のうちのゴムバッキ
ング６の拡大図を、示すものである。 ｌ：スクリュウポンプ、２：第一段ベーンポンプ、３：
第二段ベーンポンプ、４：第三段ヘーンボンブ、５：ス
クリュウポンプ駆動軸、７：ベーンポンプ駆動軸 ６
，８：ゴムパッキング、９：真空吸入口、１０：スクリ
ュウポンプ排気口、１１：第一段ベーンポンプ吸入口、
１２，１３：管、１４：排出口、１５：ポンプケース、
１６：Ｉ！動軸軸受１７：ベアリング押え、２１：第一
段ラビリンスシール溝、２２：第二段ラビリンスシール
満、２３：第三段ラビリンスシール溝、２４：第一段排
気口、２５：第二段排気口、２６：第三段排気口、２７
，２８，２９：排気路、３０：ネジ特許出願人 大亜
真空技研株式会社 代 理 人 小 川 景
上代 理 人 渡 辺 敏
第］６図 尋 第３図 番 第５図 手続補正書（自発） 昭和６１年６月１３日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 １、事件の表示 ドライ真空ポンプのラビリンスシール ３、補正する者 事件との間係 特許出願人 住 所 ａ ｇ ｓ シ １
つり９゛シンテ゛）大亜真空技研株式会社 住 所 東京都港区西新橋１丁目６番２１号７、補正
により増加する発明の数 なし９、補正の内容 ｌＯ１添付書類 （４）譲渡証書 １通
であり、第１図は第２図のラビリンスシール溝２１．２
２．２３付近の拡大図であり、第３図は本第二発明の一
実施例を示す側面図であり、第４図は、従来の非接触型
ドライ真空ポンプと接触型ドライ真空ポンプとを連結し
た複合型トライ真空ポンプのうちの一実施例の側面図を
示すものであり、第５図は、第４図のうちのゴムバッキ
ング６の拡大図を、示すものである。 ｌ：スクリュウポンプ、２：第一段ベーンポンプ、３：
第二段ベーンポンプ、４：第三段ヘーンボンブ、５：ス
クリュウポンプ駆動軸、７：ベーンポンプ駆動軸 ６
，８：ゴムパッキング、９：真空吸入口、１０：スクリ
ュウポンプ排気口、１１：第一段ベーンポンプ吸入口、
１２，１３：管、１４：排出口、１５：ポンプケース、
１６：Ｉ！動軸軸受１７：ベアリング押え、２１：第一
段ラビリンスシール溝、２２：第二段ラビリンスシール
満、２３：第三段ラビリンスシール溝、２４：第一段排
気口、２５：第二段排気口、２６：第三段排気口、２７
，２８，２９：排気路、３０：ネジ特許出願人 大亜
真空技研株式会社 代 理 人 小 川 景
上代 理 人 渡 辺 敏
第］６図 尋 第３図 番 第５図 手続補正書（自発） 昭和６１年６月１３日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 １、事件の表示 ドライ真空ポンプのラビリンスシール ３、補正する者 事件との間係 特許出願人 住 所 ａ ｇ ｓ シ １
つり９゛シンテ゛）大亜真空技研株式会社 住 所 東京都港区西新橋１丁目６番２１号７、補正
により増加する発明の数 なし９、補正の内容 ｌＯ１添付書類 （４）譲渡証書 １通
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真空ポン
プとを連結した複合型ドライ真空ポンプにおいて、非接
触型ドライ真空ポンプの駆動軸上にラビリンスシール溝
を設け、該溝に排気路を介して、接触型ドライ真空ポン
プを連結したことを特徴とする非接触型ドライ真空ポン
プのラビリンスシール ２）非接触型ドライ真空ポンプと接触型ドライ真空ポン
プとを連結した複合型ドライ真空ポンプにおいて、非接
触型ドライ真空ポンプの駆動軸上にラビリンスシール溝
を設け、該溝に排気路を介して、接触型ドライ真空ポン
プを連結し、該溝にネジ又は回転翼機構を付加したこと
を、特徴とする非接触型ドライ真空ポンプの軸シール
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11375686A JPS62271973A (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | ドライ真空ポンプのラビリンスシ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11375686A JPS62271973A (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | ドライ真空ポンプのラビリンスシ−ル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62271973A true JPS62271973A (ja) | 1987-11-26 |
| JPH0312676B2 JPH0312676B2 (ja) | 1991-02-20 |
Family
ID=14620339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11375686A Granted JPS62271973A (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | ドライ真空ポンプのラビリンスシ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62271973A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH021193A (ja) * | 1988-03-03 | 1990-01-05 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JP2002257070A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52106110A (en) * | 1976-03-03 | 1977-09-06 | Hitachi Ltd | Rotating air tight seal mechanism |
-
1986
- 1986-05-20 JP JP11375686A patent/JPS62271973A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52106110A (en) * | 1976-03-03 | 1977-09-06 | Hitachi Ltd | Rotating air tight seal mechanism |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH021193A (ja) * | 1988-03-03 | 1990-01-05 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| JP2002257070A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0312676B2 (ja) | 1991-02-20 |
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