JPH0312777B2

JPH0312777B2 -

Info

Publication number: JPH0312777B2
Application number: JP1303587A
Authority: JP
Inventors: Hideo Kuroda
Original assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Current assignee: Bando Chemical Industries Ltd
Priority date: 1987-01-21
Filing date: 1987-01-21
Publication date: 1991-02-21
Also published as: JPS63181347A

Description

【発明の詳細な説明】

産業上の利用分野本発明は、感圧接着性シート及びこれを用いる
半導体ウエハーのダイシング方法に関し、詳しく
は、電磁波、好ましくは紫外線の照射によつて接
着力を低減させることができる感圧接着性シー
ト、及びかかるシートをダイシングフイルムとし
て用いると共に、フイルムの伸長工程を含む半導
体ウエハーのダイシング方法に関する。従来の技術一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布して
なる感圧接着性シート又は粘着シートは、一般家
庭及び産業において種々の用途に使用されている
が、近年、感圧接着性シートの要求特性が多様且
つ多岐にわたり、用途に応じて種々の機能性が要
求されるに至つている。例えば、集積回路の製作に際して、シリコンウ
エハーを所定の寸法に裁断する、即ち、ダイシン
グを行なつてダイスを得るためには、所謂ダイシ
ングフイルムと呼ばれる感圧接着性シート上にシ
リコンウエハーを載置し、ダイシングフイルム上
に感圧接着固定し、裁断した後、これをダイシン
グフイルムからピツクアツプ、即ち、剥離して取
り上げる。従つて、シリコンウエハーを正確にダ
イシングするためには、ダイシング時にはダイシ
ングフイルムがシリコンウエハーに対して強い接
着力を有し、一方、得られたダイスをダイシング
フイルムからピツクアツプするに際しては、ダイ
シングフイルムはその接着力が弱いことが必要で
ある。何ら制限されるものではないが、例えば、
シリコンウエハーのダイシングに際しては、ダイ
シングフイルムは100〜1000ｇ／25mm程度又はそ
れ以上の接着力を有し、一方、ダイスのピツクア
ツプに際しては、ダイシングフイルムは数十ｇ／
25mm程度又はこれ以下の接着力を有することが望
ましいといわれている。他方、例えば、一般に接着剤の分野において、
光重合性オリゴマー、光重合性モノマー、光重合
開始剤及びその他の添加剤からなる電磁波架橋性
接着剤、代表的には、紫外線架橋性接着剤が既に
知られており、これは無溶剤型、一液型の接着剤
であり、速硬化性であつて、加熱を要しない等の
点ですぐれているが、この接着剤においては、電
磁波照射は、本来、接着剤に所要の接着力を発現
させるために行なわれる。発明が解決しようとする問題点本発明者らは、当初は強い接着力を有し、必要
に応じてその接着力を低減し得る感圧接着剤を得
るために鋭意研究した結果、予期しないことに、
弾性重合体と電磁波架橋性アクリル酸エステルと
を主成分として含有する混合物からなる感圧接着
剤組成物が、これに電磁波を照射するとき、その
接着力が著しく低減することを見出した。しかしながら、基材樹脂シートとして、可塑剤
を含有し、伸長性を有する柔軟な透明樹脂フイル
ム、例えば、可塑化塩化ビニル樹脂フイルム上に
上記した感圧接着剤組成物の層を形成し、これを
ダイシングフイルムとして用いるとき、感圧接着
剤組成物に含まれる電磁波架橋性アクリル酸エス
テルが基材樹脂シート中に移行すると共に、塩化
ビニル樹脂フイルムに含まれる可塑剤が感圧接着
剤組成物の層中に移行し、かくして、電磁波照射
による接着力の低減効果が経時的に速やかに失わ
れる。また、基材樹脂シートが可塑剤を含有しな
い場合でも、樹脂シートによつては、同様に、電
磁波照射による接着力の低減効果が経時的に速や
かに失われることがある。そこで、本発明者らは、かかる問題を解決する
ために鋭意研究した結果、基材樹脂シートと感圧
接着剤組成物の層との間にアミノアルキルアクリ
レート又はアミノアルキルメタクリレートとエチ
レン性不飽和単量体との共重合体からなるバリヤ
ー層として設けるとき、このバリヤー層が可塑剤
のみならず、電磁波架橋性アクリル酸エステルの
移行を特異的に防止し、従つて、電磁波照射によ
る接着力の低減効果を長期間にわたつて保持する
ことができることを見出して、本発明に至つたも
のである。更に、本発明者らは、上記感圧接着剤組成物の
電磁波照射による接着力の低減幅を一層大きくす
るために鋭意研究した結果、感圧接着剤組成物に
更にポリイソシアネート及び／又は無水シリカ粉
末を成分として含有させることによつて、これに
電磁波を照射するとき、接着力が大幅に低減し、
又は実質的に消減することを見出して、本発明に
至つたものである。従つて、本発明は、一般には、電磁波、好まし
くは、紫外線を照射しないときは強い接着力を有
し、これを紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができ、且つ、かかる効
果を長期間にわたつて安定に保持し得る感圧接着
性シート、及びかかる感圧接着性シートを用いる
半導体ウエハーのダイシング方法を提供すること
を目的とする。問題点を解決するための手段本発明の電磁波照射によつて接着力を低減し得
る感圧接着性シートの第１は、電磁波を透過させ
得る基材樹脂シート上に、アミノアルキルアクリ
レート又はアミノアルキルメタクリレートとエチ
レン性不飽和単量体との共重合体からなるバリヤ
ー層を形成し、この上に弾性重合体と電磁波架橋
性アクリル酸エステルと重合開始剤とを含有する
感圧接着剤の層を形成してなることを特徴とす
る。本発明による電磁波照射によつて接着力を低減
し得る感圧接着性シートの第２は、電磁波を透過
させ得る基材樹脂シート上に、アミノアルキルア
クリレート又はアミノアルキルメタクリレートと
エチレン性不飽和単量体との共重合体からなるバ
リヤー層を形成し、この上に弾性重合体と電磁波
架橋性アクリル酸エステルと重合開始剤と共に、
ポリイソシアネート及び／又は無水シリカ粉末を
含有する感圧接着剤の層を形成してなることを特
徴とする。また、本発明による半導体ウエハーのダイシン
グ方法は、電磁波を透過させ得る基材樹脂シート
上に、アミノアルキルアクリレート又はアミノア
ルキルメタクリレートとエチレン性不飽和単量体
との共重合体からなるバリヤー層を形成し、この
上に弾性重合体と電磁波架橋性アクリル酸エステ
ルと重合開始剤とを含有する感圧接着剤の層を形
成してなるダイシングフイルム上に半導体ウエハ
ーを載置し、接着固定して、ダイシングした後、
上記ダイシングフイルムの裏面から電磁波を照射
し、上記接着剤の接着力を低減させ、ダイシング
フイルムを伸長させ、次いで、ダイスを取り上げ
ることを特徴とする。従来、種々の感圧接着剤組成物が、例えば「接
着ハンドブツク（第２版）」（日本接着協会編集、
日刊工業新聞社発行、1980年）第398〜414頁に記
載されているように知られているが、代表的な感
圧接着剤組成物は弾性重合体を主成分とし、これ
に相溶性の良好な粘着付与剤や可塑剤、更には、
必要に応じて充填剤、老化防止剤、着色剤等を均
一に混合してなる混合物である。本発明において
は、かかる弾性重合体として、特に、飽和共重合
ポリエステル樹脂、ポリアクリル酸エステルの共
重合体を好ましく用いることができる。先ず、飽和共重合ポリエステル樹脂は、例え
ば、「工業材料」第25巻第11号第101〜106頁に記
載されているように、通常、異なる２種以上の飽
和２価アルコールとを重縮合させて得られるガラ
ス転移点の比較的低い飽和共重合樹脂であり、通
常、飽和２価カルボン酸として、芳香族２価カル
ボン酸と脂肪族２価カルボン酸とが併用され、飽
和２価アルコールとして脂肪族又は脂環式２価ア
ルコール、即ち、グリコールが用いられる。特
に、本発明においては、芳香族２価カルボン酸／
脂肪族２価カルボン酸モル比が80／20乃至20／
80、好ましくは70／30乃至50／50である飽和２価
カルボン酸混合物とグリコールとを等モル比にて
重縮合させて得られる飽和共重合ポリエステル樹
脂が好ましく用いられる。本発明においては、芳
香族２価カルボン酸としてテレフタル酸、脂肪族
多価カルボン酸としてセバシン酸、アジピン酸、
グリコールとしてエチレングリコール、１，４−
ブタンジオール、プロピレングリコール等を用い
て得られる飽和共重合ポリエステル樹脂が好まし
く用いられる。尚、必要に応じて、飽和共重合ポ
リエステル樹脂の製造においては、カルボン酸成
分として３価以上の飽和多価カルボン酸や、３価
以上の多価アルコールが一部併用されてもよい。また、ポリアクリル酸エステル又はアクリル酸
の共重合体としては、従来よりアクリル系粘着剤
として知られている粘着剤において、主成分であ
る弾性重合体として用いられている任意のものを
含む。アクリル系粘着剤において弾性重合体とし
て用いられている重合体は、通常、実質的にアク
リル酸エステル共重合体である。この共重合体
は、通常、粘着性を有せしめるために低いガラス
転移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチ
ル、アクリル酸ブチル、アクリル酸−２−エチル
ヘキシル等のアクリル酸アルキルエステルを主モ
ノマーとし、凝集性を有せしめるために高いガラ
ス転移点を有する硬い重合体を形成するコモノマ
ー、例えば、酢酸ビニル、アクリロニトリル、ス
チレン、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル
等、及び架橋性や接着性の改良のためにカルボン
酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロ
キシルメチル基等の官能基を有する単量体、例え
ば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒ
ドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシルプ
ロピルメタクリレート、アクリルアミド、グリシ
ジルメタクリレート等のモノマーを共重合させて
なる共重合体である。本発明において用いる電磁波架橋性アクリル酸
エステルは、電磁波の照射によつて架橋するオリ
ゴマー又はモノマーとしてのアクリル酸エステル
又はメタクリル酸エステルをいい、分子内に少な
くとも２つのアクリロイル基又はメタクリロイル
基を有する。その分子量は、5000以下であること
が好適である。かかる電磁波架橋性アクリル酸エステルとして
は、具体的には、オリゴマーとしては、例えばオ
リゴエステルアクリレート等を、また、モノマー
としては、例えば、１，６−ヘキサンジオールジ
アクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、テトラメチロールメタンテトラアクリ
レート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレ
ート等の多価アルコールとアクリル酸のエステ
ル、或いは１，６−ヘキサンジオールジメタクリ
レート、トリメチロールプロパンメタクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラメタクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレー
ト等の多価アルコールとメタクリル酸のエステル
等を挙げることができる。本発明において用いる感圧接着剤組成物は、前
記弾性重合体100重量部について、上記電磁波架
橋性アクリル酸エステルを15〜200重量部、好ま
しくは50〜150重量部の範囲にて含有する。弾性
重合体100重量部について、上記電磁波架橋性ア
クリル酸エステルが15重量部よりも少ないとき
は、得られる接着剤組成物に電磁波を照射して
も、その接着力が実質的に変化せず、一方、200
重量部を越えるときは、電磁波照射によつて、そ
の接着力を低減させることはできるが、例えば、
シリコンウエハーのダイシング後のダイスのピツ
クアツプ時に、ダイスに接着剤が残留することが
あり、好ましくないからである。本発明において用いる感圧接着剤組成物は、好
ましくは、更に粘着付与剤を含有する。特に、用
いる弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂で
ある場合は、この粘着付与剤を併用することが好
ましい。用い得る粘着付与剤は特に制限されず、
従来より一般に粘着剤の製造において用いられて
いるものが適宜に用いられる。このような粘着付
与剤として、例えば、キシレン樹脂、ロジンや重
合ロジン、水添ロジン、ロジンエステル等の変性
ロジン系樹脂、テルペン樹脂、テルペンフエノー
ル樹脂、ロジンフエノール樹脂等のテルペン系樹
脂、脂肪族系、芳香族系及び脂環式系石油樹脂、
クマロン樹脂、スチレン系樹脂、アルキルフエノ
ール樹脂等を挙げることができる。粘着付与剤
は、飽和共重合ポリエステル樹脂100重量部につ
いて、通常、10〜200重量部の範囲で用いられる。
粘着付与剤の配合量が余りに少ないときは、接着
力又は粘着力が不十分であり、他方、多すぎると
きは、得られる接着剤組成物に電磁波を照射した
後の接着力の低下幅が小さく、また、かかる接着
剤組成物をダイシングフイルムに適用した場合、
シリコンウエハーのダイシング後のダイスのピツ
クアツプ時に、ダイスに粘着付与剤が残留するこ
とがあり好ましくないからである。本発明において用いる感圧接着剤組成物は、更
に重合開始剤又は光増感剤を含有し、必要に応じ
て重合禁止剤を含有する。重合開始剤は、上記電
磁波架橋性アクリル酸エステルの電磁波照射によ
る架橋を促進するために用いられる。このような
重合開始剤は、一般に、電磁波架橋重合の技術分
野においてよく知られており、本発明において
は、従来より一般に知られている重合開始剤を用
いることができる。かかる重合開始剤の具体例と
して、例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインアル
キルエーテル類や、ベンゾイン、ベンジル、ベン
ゾフエノン等の芳香族オキシケトン類や芳香族ケ
トン類を挙げることができるが、これらに限定さ
れるものではない。熱重合禁止剤は、上記電磁波架橋性アクリル酸
エステルが電磁波照射によらず、例えば、熱によ
つて重合することを防止するために、必要に応じ
て添加されるもので、かかる重合禁止剤として
も、従来より知られている通常の重合禁止剤を用
いることができる。このような重合禁止剤として
は、例えば、ピクリン酸、フエノール、ハイドロ
キノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル等を
用いることができる。上記重合開始剤及び重合禁止剤の配合量は、電
磁波架橋重合の技術分野において一般に使用され
ているところに従えばよく、例えば、重合開始剤
は、前記電磁波架橋性アクリル酸エステル100重
量部について１〜20重量部、重合禁止剤は必要に
応じて0.1〜１重量部の範囲で用いられる。本発明において用いる感圧接着剤組成物は、好
ましくは、更に、弾性重合体100重量部について、
ポリイソシアネート１〜100重量部及び／又は無
水シリカ粉末１〜30重量部を含有する。このよう
に、ポリイソシアネート及び／又は無水シリカを
感圧接着剤中に含有させることによつて、電磁波
照射による接着力の低減幅を一層大きくすること
ができる。まず、ポリイソシアネートについて説明する。
上記したように、電磁波照射による接着力の低減
幅を大きくするには、ポリイソシアネートを弾性
重合体100重量部について少なくとも１重量部加
える必要がある。ポリイソシアネートの配合量が
弾性重合体100重量部について、１重量部よりも
少ないときは、電磁波照射後の接着力の低下効果
が十分でない。しかし、100重量部よりも多いと
きは、得られる感圧接着剤組成物の電磁波照射前
の接着力が経時的に低下する。特に好ましい配合
量の範囲は、弾性重合体100重量部について、１
〜50重量部であり、特に好ましくは１〜20重量部
の範囲である。上記ポリイソシアネートとしては、特に限定さ
れるものではないが、本発明においては、ジイソ
シアネート及びトリイソシアネートが好適であ
る。ジイソシアネートとしては、例えば、２，４
−トルエンジイソシアネート、ｍ−フエニレンジ
イソシアネート、ｍ−キシリレンジイソシアネー
ト、４，4′−ジフエニルジイソシアネート、４，
4′−ジフエニルメタンジイソシアネート、１，５
−ナフタレンジイソシアネート、イソホロンジイ
ソシアネート、ジアニシジイソシアネート、ヘキ
サメチレンジイソシアネート等を例示することが
できる。また、トリイソシアネートも種々のもの
が市販されており、例えば、住友化学工業(株)より
「スミジユールＬ」として市販されているトリメ
チロールプロパントルエンジイソシアネートは、
本発明において、ポリイソシアネートとして好適
に用いることができるトリイソシアネートの一例
である。次に、ジイソシアネートとポリオールとをジイ
ソシアネートの過剰量の存在下に反応させて得ら
れる末端イソシアネートの所謂ウレタンプレポリ
マーもポリイソシアネートとして用いることがで
きる。また、感圧接着剤組成物に無水シリカを配合し
て、電磁波照射による接着力の低減幅を大きくす
るには、無水シリカを弾性重合体100重量部につ
いて少なくとも１重量部配合する必要がある。配
合量が弾性重合体100重量部について、１重量部
よりも少ないときは、電磁波照射後の接着力の低
下効果に乏しい。他方、30重量部よりも多いとき
は、得られる感圧接着剤組成物が著しく増粘して
ゲル状となり、例えば、塗布操作が困難となる。
好ましい配合量の範囲は弾性重合体100重量部に
ついて１〜20重量部の範囲であり、特に好ましく
は１〜15重量部の範囲である。上記無水シリカ粉末としては、特に限定される
ものではないが、本発明においては、微粒子であ
ることが好ましく、従つて、例えば、デグツサ社
による「アエロジル」を好ましく用いることがで
きる。以上のように、弾性重合体と電磁波架橋性アク
リル酸エステルと重合開始剤とを主成分とする感
圧接着剤組成物にポリイソシアネート又は無水シ
リカをそれぞれ単独で配合しても、これに電磁波
を照射するとき、その接着力が著しく低下する
が、しかし、上記感圧接着剤組成物にポリイソシ
アネートと無水シリカ粉末とを併用して添加する
とき、ポリイソシアネートと無水シリカ粉末との
相乗的効果によつて、それぞれ単独にて配合する
場合に比較して、電磁波照射後の接着力の低下が
一層顕著となる。このように、感圧接着剤組成物にポリイソシア
ネートと無水シリカとを共に配合する場合も、そ
の配合量は、前述したと同じく、ポリイソシアネ
ートは弾性重合体100重量部について１〜100重量
部の範囲であり、また、無水シリカについては、
弾性重合体100重量部について１〜30重量部の範
囲である。特に、ポリイソシアネートについて
は、好ましい配合量の範囲は、弾性重合体100重
量部について、１〜50重量部であり、特に好まし
くは１〜20重量部の範囲である。また、無水シリ
カについては、弾性重合体100重量部について１
〜20重量部の範囲であり、特に好ましくは１〜15
重量部の範囲である。本発明において用いる感圧接着剤組成物は、前
述した配合量にて弾性重合体、電磁波架橋性アク
リル酸エステル及び重合開始剤と、好ましくはポ
リイソシアネート及び／又は無水シリカ粉末と、
必要に応じて粘着付与剤、重合禁止剤、充填剤、
老化防止剤、着色剤等とを、無水シリカ粉末を除
く有機成分を溶解する適宜の有機溶剤、例えば、
芳香族炭化水素、ケトン類、又はこれらの混合物
に溶解し、無水シリカ粉末を分散させることによ
つて、均一な液状組成物として得ることができ
る。溶剤としては、例えば、具体的にはトルエン
とメチルエチルケトンとの混合溶剤が好ましく用
いられるが、しかし、これに限定されるものでは
ない。また、接着剤組成物における弾性重合体の
含有量は、通常、10〜50重量％の範囲である。し
かし、これに限定されるものではない。上記のような感圧接着剤組成物の調整方法は、
何ら制限されるものではないが、通常、弾性重合
体及び粘着付与剤は溶液の形態にて市販されてお
り、これらを使用することが便利であるので、例
えば、これらの溶液を混合し、これに電磁波架橋
性アクリル酸エステル、重合開始剤、ポリイソシ
アネート及び／又は無水シリカ粉末、更に必要に
応じて重合禁止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤
等を添加し、均一に混合すればよい。更に、本発明による感圧接着剤組成物は、必要
に応じて、液状ポリアクリル酸エステル、液状ポ
リブテン、鉱油、ラノリン等の可塑剤や、また、
充填剤、、老化防止剤等を適宜に含有してもよい。本発明による感圧接着性シートは、電磁波は透
過させ得る基材シート上に、後述するように、バ
リヤー層として、特に、アミノアルキルアクリレ
ート又はアミノアルキルメタクリレートとエチレ
ン性不飽和単量体との共重合体からなる樹脂の塗
膜層を設け、この上に上述したような液状組成物
としての感圧接着剤組成物を塗布し、乾燥するこ
とによつて得ることができる。上記基材シートとしては、電磁波、好ましくは
紫外線を透過し得る限りは、特に制限されること
なく、種々のシートを用いることができるが、通
常は、透明乃至半透明の合成樹脂シートが用いら
れる。例えば、塩化ビニル樹脂、塩化ビニル−塩
化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル−酢酸ビ
ニル共重合体樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリオ
レフイン、アセチルセルロース、ポリビニルアル
コール、ポリアミド、ポリエステル、ポリカーボ
ネート等からなる樹脂シートが好適に用いられ
る。上記した種々の基材樹脂シートのなかでも、可
塑剤を含有するポリ塩化ビニル又は塩化ビニルの
共重合体からなる樹脂シートは、柔軟であつて、
後述するように、半導体ウエハーのダイシングに
おいて必要とされる伸長を好適に行なうことがで
き、更に、廉価でもあるので、本発明において特
に好適に用いることができる。また、塩化ビニル
樹脂シート以外にも、可塑剤を含有する基材シー
トとして、好適に用いる得るものもある。例え
ば、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、
塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニ
ル−アクリル酸エステル共重合体樹脂、ポリ塩化
ビニリデン、アセチルセルロース等を挙げること
ができる。ここに、可塑剤としては、特に制限されるもの
ではないが、例えば、ジブチルフタレート、ジオ
クチルフタレート、ジデシルフタレート、ジトリ
デシルフタレート、ブチルベンジルフタレート等
のフタル酸ジエステル、トリクレジルホスフエー
ト、トリオクチルホスフエート、トリフエニルホ
スフエート、２−エチルヘキシルジフエニルホス
フエート、クレジルジフエニルホスフエート等の
リン酸エステル、ジオクチルアジペート、ジオク
チルセバケート、ジオクチルアゼレート、アセチ
ルクエン酸トリ−２−エチルヘキシル等の脂肪酸
ジエステル、ポリプロピレンアジペート、ポリプ
ロピレンセバケート等のポリエステル系可塑剤、
エポキシ化大豆油等のエポキシ系可塑剤、塩素化
パラフイン、塩素化脂肪酸エステル等の塩素系可
塑剤等を挙げることができる。半導体ウエハーのダイシングにおいては、ウエ
ハーをダイシングフイルム上に感圧接着固定し、
所定の寸法に裁断した後、ダイスをダイシングフ
イルムから剥離させるために、ダイシングを一方
向に10〜25％程度伸長させることが好ましいが、
上記したような可塑剤を含有する樹脂シートは、
容易に伸長させることができる。しかしながら、このように、感圧接着性シート
の基材樹脂シートとして、可塑剤を含有する樹脂
シートを用いる場合は、この樹脂シートから可塑
剤が感圧接着剤組成物中に移行し、また、通常、
可塑剤と電磁波架橋性アクリル酸エステルとは相
溶性がよいために、感圧接着剤組成物に含まれる
電磁波架橋性アクリル酸エステルが樹脂シート中
に移行し、このような相互移行によつて、感圧接
着性シートの電磁波照射後に接着力の低減効果が
著しく減少する。また、その理由は明らかではな
いが、おそらくは電磁波架橋性アクリル酸エステ
ルが基材シートを構成する樹脂との親和性がよい
ために、基材樹脂シート中に移行するためである
とみられるが、樹脂シートによつては、これが可
塑剤を含有しない場合であつても、電磁波照射前
の接着力が経時的に著しく低減することがある。従つて、本発明においては、基材シートと感圧
接着剤組成物相との間に電磁波架橋性アクリル酸
エステルを透過させないバリヤー層を形成し、ま
た、感圧接着性シートの基材シートとして、可塑
剤を含有する樹脂シートを用いる場合は、この基
材シートと感圧接着剤組成物層との間に可塑剤及
び電磁波架橋性アクリル酸エステルを共に透過さ
せない樹脂層からなるバリヤー層を介在させる。
但し、このバリヤー層は、電磁波の透過を妨げる
ものであつてはならない。即ち、このバリヤー層は、電磁波の透過は何ら
妨げないが、感圧接着剤組成物に含まれている電
磁波架橋性アクリル酸エステルが基材樹脂シート
に移行するのを阻止し、好ましくは、更に、基材
樹脂シートに含まれている可塑剤が感圧接着剤組
成物中に移行するのを阻止し、このようにして、
基材樹脂シートに含まれている可塑剤をこの基材
中に保持し、感圧接着剤組成物に含まれている電
磁波架橋性アクリル酸エステルを接着剤組成物中
に保持して、感圧接着性シートの電磁波照射によ
る接着力の経時的な低下を防止する。本発明においては、かかるバリヤー層として、
特に、アミノアルキルアクリレート又はアミノア
ルキルメタクリレートとエチレン性不飽和単量体
との共重合体からなる樹脂の塗膜層が好適に用い
られる。即ち、本発明において、バリヤー層は、
上記共重合体の上記樹脂脂の溶液を塗布し、乾燥
することによつて、形成することができる。上記アミノアルキルアクリレート又はアミノア
ルキルメタクリレートとエチレン性不飽和単量体
との共重合体は、例えば、特公昭38−26763号公
報や特公昭43−6235号公報に記載されているよう
に、既に知られており、一般式（但し、R¹は水素又はメチル基、R²は炭素数１
〜６のアルキレン基又はヒドロキシアルキレン
基、R³は水素又は炭素数１〜６のアルキル基を
示す。）で表わされるアミノアルキルアクリレー
ト又はアミノアルキルメタクリレート単量体単位
とエチレン系不飽和単量体単位との共重合体であ
る。ここにおいて、アミノアルキルアクリレート又
はアミノアルキルメタクリレート単量体単位とし
て、例えば、アミノメチルアクリレート、アミノ
エチルアクリレート、アミノプロピルアクリレー
ト、アミノ−ｎ−ブチルアクリレート、アミノヘ
キシルアクリレート、Ｎ−メチルアミノエチルア
クリレート、Ｎ−tert.−ブチルアミノエチルアク
リレート、アミノヒドロキシプロピルアクリレー
ト等のアクリル酸エステル、アミノメチルメタク
リレート、アミノエチルメタクリレート、アミノ
−ｎ−ブチルメタクリレート、Ｎ−メチルアミノ
エチルメタクリレート、Ｎ−tert.−ブチルアミノ
エチルメタクリレート、アミノヒドロキシプロピ
ルメタクリレート等のメタクリル酸エステルを挙
げることができる。これらアミノアルキルアクリ
レート又はアミノアルキルメタクリレート単量体
単位は、共重合体において、通常、約１〜40重量
％、好ましくは、約２〜20重量％の範囲で含有さ
れる。一方、エチレン系不飽和単量体単位とは、例え
ば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、
ｎ−ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルア
クリレート等のアクリル酸エステル、メチルメタ
クリレート、エチルメタクリレート、ｎ−ブチル
メタクリレート等のメタクリル酸エステル、酢酸
ビニル、プロピオン酸ビニル等の脂肪族有機酸ビ
ニルエステル、エチレン、プロピレン、イソブテ
ン等の脂肪族モノオレフイン、スチレン、ビニル
トルエン等の芳香族モノオレフイン、その他アク
リロニトリル、塩化ビニル、フツ化ビニル等を挙
げることができる。共重合体において、このエチレン系不飽和単量
体単位は、通常、約60〜99重量％、好ましくは約
80〜98重量％の範囲で含有される。かかる共重合体は、上記したアミノアルキルア
クリレート又はアミノアルキルメタクリレート単
量体単位とエチレン系不飽和単量体単位とをトル
エン酸の芳香族炭化水素溶剤、イソプロパノール
等のアルコール溶剤、酢酸エチル等のエステル系
溶剤、又はこれらの混合物中において、アゾビス
イソブチロニトリル等の過酸化物系ラジカル重合
開始剤を用いて、必要ならば、メルカプタン類の
連鎖移動剤を用いて、常法にて重合させることに
よつて、通常、溶液として得ることができる。上記共重合体は、分子量は、重量平均分子量に
て1000〜1000000程度、好ましくは5000〜50000の
範囲であることが適当である。上記共重合体は、通常、有機溶剤に溶解してな
る溶液として得られ、かかる溶液として、基材シ
ート上に塗布され、乾燥されて、バリヤー層を形
成する。上記溶液を形成するための有機溶剤とし
ては、例えば、前記重合溶剤のほか、アセトン、
メチルエチルケトン等のケトン溶剤を用いること
ができる。かかる溶液における不揮発分は、特に
限定されるものではないが、通常、約70重量％以
上であることが好ましい。尚、上記共重合体溶液は、必要に応じて、少量
のエポキシ樹脂、イソシアネート系プレポリマー
等の架橋用オリゴマーを含有していてもよい。本発明において、バリヤー層は、上記共重合体
溶液を基材シートに塗布し、乾燥することによつ
て形成することができる。ここに、塗布手段は何
ら制限されず、刷毛、ローラー刷毛、スプレーガ
ン、フローコーター、ロールコーター等を用いる
ことができる。基材シートへの塗布量は、通常、
約１〜50ｇ/m²の範囲が好適である。本発明による感圧接着性シートを所要の被着面
に適用した後に、これに電磁波を照射する手段及
び方法は特に制限されず、電磁波硬化性樹脂塗料
や電磁波硬化性接着剤の技術分野において、従来
より通常に行な割れている手段及び方法によるこ
とができる。本発明においては、電磁波として、
特に、紫外線及び電子線が好適に用いられるが、
紫外線を用いる場合は、その照射手段として、例
えば、キセノンランプ、低圧、中圧、高圧或いは
超高圧水銀灯灯のような電磁波源を使用し、数秒
乃至数分、照射すればよい。本発明の方法によれば、上述したような感圧接
着性シートをダイシングフイルムとして用いるこ
とによつて、半導体ウエハーのダイシングを極め
て容易に行なうことができる。即ち、前記本発明
による感圧接着性シートは、紫外線照射前は、
100〜1000ｇ／25mm程度又はそれ以上の接着力を
有し、一方、紫外線の照射後には、接着力が数十
ｇ／25mm程度又はこれ以下に低減される。従つ
て、本発明の方法によれば、半導体ウエハーは、
ダイシングフイルム上に大きい接着力にて感圧接
着固定されるので、裁断した後、ダイシングフイ
ルムの裏面から電磁波、例えば、紫外線を照射す
れば、感圧接着性シートは、その接着力を著しく
低減し、しかも、この後、ダイシングフイルムを
10〜25％伸長すれば、ダイスを容易にダイシング
フイルム上から剥離することができる。発明の効果以上のように、本発明による感圧接着性シート
は、電磁波を透過させ得る基材樹脂シート上に所
定の単量体成分組成からなる共重合体の層がバリ
ヤー層として設けられているので、基材樹脂シー
ト中に含まれる可塑剤の感圧接着剤組成物層中へ
の移行のみならず、感圧接着剤組成物層中に含ま
れる電磁波架橋性アクリル酸エステルの基材樹脂
シートへの移行が共に防止され、かくして、感圧
接着性シートの裏面からの電磁波照射による接着
力の低減効果が長期間にわたつて保持される。従つて、本発明によるかかる感圧接着性シート
を用いることによつて、シリコンウエハーのダイ
シングを生産性高く行なうことができる。更に、本発明に従つて、感圧接着剤組成物に弾
性重合体、電磁波架橋性アクリル酸エステル及び
重合開始剤と共に、ポリイソシアネート及び／又
は無水シリカ粉末、特に好ましくはこれらを両者
を共に配合することによつて、感圧接着剤組成物
の電磁波照射による接着力の低減幅を一層高める
ことができ、好ましい場合には、電磁波照射によ
つて、その接着力を実質的に消滅させることがで
きる。実施例以下に、実施例を示すが、本発明はこの実施例
に限定されるものではない。また、実施例中、部
とあるのは重量部を示す。実施例１離型紙上に第１表に示す配合の感圧接着剤組成
物、及びをそれぞれ塗布し、120℃で１分
間乾燥し、感圧接着剤組成物の層を固形分として
10μｍ厚みに形成した。ここに、ポリアクリル酸エステル又はアクリル
酸エステルの共重合体を弾性重合体として用いる
場合は、市販のアクリル系粘着剤溶液に所定量の

【表】紫外線架橋性アクリル酸エステル、重合開始剤
及びその他の添加剤を加えて、感圧接着剤組成物
を調製し、これを上記のように離型紙上に塗布
し、乾燥させて、感圧接着剤組成物の層を形成さ
せた。また、弾性重合体として、飽和共重合ポリエス
テル樹脂を用いる場合は、テレフタル酸／セバシ
ン酸モル比70/30の飽和２価カルボン酸混合物と
エチレングリコールとを等モルにて重縮合させて
得られるガラス転移点約10℃の樹脂を用いた。次に、平均重合度1300のポリ塩化ビニル100部、
可塑剤としてジオクチルフタレート又はポリエス
テル系可塑剤35部及び適宜量の安定剤からなる塩
化ビニル樹脂組成物から成形した厚み0.1mmのシ
ート上に、第２表に示す単量体組成を有する固形
分30重量％の共重合体溶液を塗布し、120℃で30
秒間乾燥させて、バリヤー層を形成した。この
後、この基材樹脂シートのバリヤー層の表面に上
記感圧接着剤を重ねて貼り合わせて、本発明によ
る感圧接着性シートを得た。

【表】前述したように、バリヤー層は、感圧接着剤組
成物に含まれる紫外線架橋性アクリル酸エステル
及び基材樹脂シートに含まれる可塑剤のいずれに
も溶解しないことが要求される。第３表に本発明
においてバリヤー層として用いる上記共重合体樹
脂とその他の樹脂の紫外線架橋性アクリル酸エス
テル及び可塑剤の溶解性を示す。本発明において
用いる共重合体樹脂は、比較的低分子量の紫外線
架橋性アクリル酸及び可塑剤のいずれをも溶解し
ないことが理解される。尚、上記可塑剤及び紫外線架橋性アクリル酸エ
ステルに対するバリヤー層の溶解性は、第２表に
示す単量体組成からなる共重合体の厚さ約50μｍ
のフイルムを調製し、これを液体である可塑剤又
は紫外線架橋性アクリル酸エステル100mlに80℃
の温度にそれぞれ所定期間浸漬し、上記フイルム
の状態を目視にて観察することによつて評価し
た。また、比較例として、上記した感圧接着性シー
トの調製において、バリヤー層を設けない以外
は、

【表】全く同様にして、感圧接着性シートを得た。更に、比較例として、ポリイソシアネート及び
無水シリカ粉末のいずれをも含有しないほかは、
上記実施例と同じ組成の感圧接着剤組成物を調製
し、上記と同様にして感圧接着性シートを調製し
た。このようにして得たそれぞれの感圧接着性シー
トから離型紙を剥離し、シートをステンレス板に
貼り合わせ、温度21℃で30分間放置した後、その
ままにて接着力を測定し、また、別に塩化ビニル
樹脂シート側から主波長365ｍμ、120W／cmにて
紫外線を７秒間照射した後、接着力を測定した。
結果を第４表及び第５表に示す。先ず、実施例番号１〜５にみられるように、本
発明の感圧接着性シートによれば、その調製の
後、長期間経過しても、紫外線照射前には高い接
着力を有し、しかも、紫外線照射による接着力の
低下が顕著である。従つて、適当な配合設計によ
つて、当初数百ｇ／25mmの接着力を有せしめ、紫
外線照射後は数十ｇ乃至数ｇ／25mm程度にまで接

【表】

【表】着力を減少させ、又は実質的に消滅させることが
できるので、前述したように、シリコンウエハー
のダイシングに好適に用いることができる。しかし、比較例番号１及び２に示すように、バ
リヤー層設けない場合には、感圧接着性シートの
調製直後には、紫外線照射前は高い接着力を有
し、紫外線照射によつてその接着力は低減する
が、しかし、感圧接着性シートを調製して、長期
間の経過後は、紫外線照射前の接着力の経時低下
又は変動が著しく、しかも、紫外線照射による接
着力の低減効果が経時的に不安定である。また、比較例番号３及び４に示すように、バリ
ヤー層として、ポリエステルポリウレタン樹脂や
ポリメタクリル酸メチルを用いた場合は、感圧接
着性シートの調製直後は、紫外線照射前は高い接
着力を有し、紫外線照射によつてその接着力は低
減するが、しかし、感圧接着性シートを調製し
て、長期間の経過後は、紫外線照射による接着力
の低減効果は、経時的に極めて不安定であつて、
紫外線照射によつて接着力が高まる場合もあるこ
とが認められる。また、比較例番号２は、基材シートとして、可
塑剤を含まない塩化ビニル樹脂シートを用いた例
を示し、本発明に従つてバリヤー層を設けないと
きは、紫外線照射前の接着力の経時低下が著し
い。更に、比較例番号５及び６にみられるように、
感圧接着剤組成物がポリイソシアネート及び無水
シリカを含まない場合に比べて、本発明に従つ
て、これらのいずれかを含むときは、感圧接着剤
組成物は、紫外線照射による接着力の低減幅が増
幅されており、特に、ポリイソシアネート及び無
水シリカの両方を含むときは、紫外線照射による
接着力の低減幅が一層増大していることが明らか
である。尚、実施例番号６〜８及び比較例番号５
及び６は、いずれも基材シート上に第２表に共重
合体２として示す共重合体からなるバリヤー層を
有するものである。尚、接着力の測定方法は次のとおりである。即
ち、感圧接着性シートを幅25mm、長さ100mmに裁
断して試験片とし、これを被着体としてのステン
レス板上に重ね、３Kgローラにて５回往復して押
圧した後、シヨツパーにて引張速度300mm／分に
て180゜剥離試験を行なつた。

Claims

【特許請求の範囲】１電磁波を透過させ得る基材樹脂シート上に、
アミノアルキルアクリレート又はアミノアルキル
メタクリレートとエチレン性不飽和単量体との共
重合体からなるバリヤー層を形成し、この上に弾
性重合体と電磁波架橋性アクリル酸エステルと重
合開始剤とを含有する感圧接着剤の層を形成して
なることを特徴とする電磁波照射によつて接着力
を低減し得る感圧接着性シート。２弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の感圧接着性シート。３弾性重合体がポリアクリル酸エステル又はア
クリル酸エステルの共重合体であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の感圧接着性シー
ト。４感圧接着剤が粘着付与剤を含有することを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の感圧接着性
シート。５基材樹脂シートがポリ塩化ビニル又は塩化ビ
ニルの共重合体からなるシートであることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の感圧接着性シ
ート。６基材樹脂シートが可塑剤を含有することを特
徴とする特許請求の範囲第１項又は第５項記載の
感圧接着性シート。７電磁波を透過させ得る基材樹脂シート上に、
アミノアルキルアクリレート又はアミノアルキル
メタクリレートとエチレン性不飽和単量体との共
重合体からなるバリヤー層を形成し、この上に弾
性重合体と電磁波架橋性アクリル酸エステルと重
合開始剤と共に、ポリイソシアネート及び／又は
無水シリカ粉末を含有する感圧接着性剤の層を形
成してなることを特徴とする電磁波照射によつて
接着力を低減し得る感圧接着性シート。８弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂で
あることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載
の感圧接着性シート。９弾性重合体がポリアクリル酸エステル又はア
クリル酸エステルの共重合体であることを特徴と
する特許請求の範囲第７項記載の感圧接着性シー
ト。１０感圧接着剤が粘着付与剤を含有することを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感圧接着
性シート。１１基材樹脂シートがポリ塩化ビニル又は塩化
ビニルの共重合体からなるシートであることを特
徴とする特許請求の範囲第７項記載の感圧接着性
シート。１２基材樹脂シートが可塑剤を含有することを
特徴とする特許請求の範囲第７項又は第１１項記
載の感圧接着性シート。１３電磁波を透過させ得る基材樹脂シート上
に、アミノアルキルアクリレート又はアミノアル
キルメタクリレートとエチレン性不飽和単量体と
の共重合体からなるバリヤー層を形成し、この上
に弾性重合体と電磁波架橋性アクリル酸エステル
と重合開始剤とを含有する感圧接着剤の層を形成
してなるダイシングフイルム上に半導体ウエハー
を載置し、接着固定して、ダイシングした後、上
記ダイシングフイルムの裏面から電磁波を照射
し、上記接着剤の接着力を低減させ、次いで、ダ
イシングフイルムを伸長させ、ダイスを取り上げ
ることを特徴とする半導体ウエハーのダイシング
方法。１４弾性重合体が飽和共重合ポリエステル樹脂
であることを特徴とする特許請求の範囲第１３項
記載の半導体ウエハーのダイシング方法。１５弾性重合体がポリアクリル酸エステル又は
アクリル酸エステルの共重合体であることを特徴
とする特許請求の範囲第１３項記載の半導体ウエ
ハーのダイシング方法。１６感圧接着剤が粘着付与剤を含有することを
特徴とする特許請求の範囲第１３項記載の半導体
ウエハーのダイシング方法。１７基材樹脂シートがポリ塩化ビニル又は塩化
ビニルの共重合体からなるシートであることを特
徴とする特許請求の範囲第１３項記載の半導体ウ
エハーのダイシング方法。１８基材樹脂シートが可塑剤を含有することを
特徴とする特許請求の範囲第１３項又は第１７項
記載の半導体ウエハーのダイシング方法。１９感圧接着剤組成物がポリイソシアネート及
び／又は無水シリカを含有することを特徴とする
特許請求の範囲第１３項記載の半導体ウエハーの
ダイシング方法。