JPH03128667U - - Google Patents

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JPH03128667U
JPH03128667U JP3778890U JP3778890U JPH03128667U JP H03128667 U JPH03128667 U JP H03128667U JP 3778890 U JP3778890 U JP 3778890U JP 3778890 U JP3778890 U JP 3778890U JP H03128667 U JPH03128667 U JP H03128667U
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JP
Japan
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spheroidal
mirror
focal point
spheroidal mirror
microwave discharge
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JP3778890U
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  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図はマイクロ波放電ランプの構成を説明する図
、第３図は別の実施例を示す断面図、第４図は別
の実施例におけるマイクロ波放電ランプの構成を
説明する図、第５図は従来のイメージ加熱装置を
示す断面図である。 図において、１は回転楕円鏡、２はマイクロ波
放電プラズマランプ、３は支持具、４は電波遮蔽
板、５は空洞共振器、６は導波管、７は高周波発
信器、８は試料、９は光、１０はコツプ状電波遮
蔽板、１１はキセノンランプ、１２は電源、１３
はワイヤ、１４は窓である。なお、図中、同一符
号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 回転楕円体の反射面を内側に有する第１の
    回転楕円鏡と、この第１の回転楕円鏡の第２焦点
    を共有する第２の回転楕円鏡と、これら第１の回
    転楕円鏡と第２の回転楕円鏡の中心軸と直交する
    軸に置かれ同じく第２焦点を共有する第３の回転
    楕円鏡と第４の回転楕円鏡と、これら４個の回転
    楕円鏡の第１焦点に各々置かれた４個のマイクロ
    波放電プラズマランプと、これらのマイクロ波放
    電プラズマランプを支持する支持具と、上記４個
    の回転楕円鏡の各々の第１焦点側端部において、
    その内面に円周状の縁が接するように取り付けら
    れた円盤状の電波遮蔽板と、この電波遮蔽板と回
    転楕円鏡とで形成された空洞共振器に高周波電流
    を注入する高周波発信器を各々備えたことを特徴
    とする４楕円マイクロ波放電イメージ加熱装置。 (2) 回転楕円体の反射面を内側に有する第１の
    回転楕円鏡と、この第１の回転楕円鏡の第２焦点
    を共有する第２の回転楕円鏡と、これら第１の回
    転楕円鏡と第２の回転楕円鏡の中心軸と直交する
    軸に置かれ同じく第２焦点を共有する第３の回転
    楕円鏡と第４の回転楕円鏡と、これら４個の回転
    楕円鏡の第１焦点に各々置かれた４個のマイクロ
    波放電プラズマランプと、これらのマイクロ波放
    電プラズマランプを支持する支持具と、上記４個
    の楕円鏡の各々の第１焦点側端部において、その
    内面に円周状の縁が接するように取り付けられた
    断面コの字状のカツプ型に形成された電波遮蔽板
    と、この電波遮蔽板と楕円鏡とで形成された空洞
    共振器の中にマイクロ波放電プラズマランプを収
    納することを特徴とする４楕円マイクロ波放電イ
    メージ加熱装置。
JP3778890U 1990-04-09 1990-04-09 Pending JPH03128667U (ja)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4824179U (ja) * 1971-07-29 1973-03-20
JPS5795890A (en) * 1980-12-04 1982-06-14 Natl Inst For Res In Inorg Mater Crystal growing device
JPH0268486A (ja) * 1988-08-31 1990-03-07 Mitsubishi Electric Corp イメージ加熱装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4824179U (ja) * 1971-07-29 1973-03-20
JPS5795890A (en) * 1980-12-04 1982-06-14 Natl Inst For Res In Inorg Mater Crystal growing device
JPH0268486A (ja) * 1988-08-31 1990-03-07 Mitsubishi Electric Corp イメージ加熱装置

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